JPH0170327U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0170327U JPH0170327U JP1987165467U JP16546787U JPH0170327U JP H0170327 U JPH0170327 U JP H0170327U JP 1987165467 U JP1987165467 U JP 1987165467U JP 16546787 U JP16546787 U JP 16546787U JP H0170327 U JPH0170327 U JP H0170327U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- etching
- vacuum chamber
- evacuated
- film thickness
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例に係るドライエツチン
グ装置を示す模式図、第2図は従来のドライエツ
チング装置を示す模式図である。 1a乃至1c;ウエハ、2a,2b;電極、3
;エツチングチヤンバ、4;高周波電源、5,5
a,5b;排気ポンプ、6,6a,6b;バルブ
、7;キヤリア、8;膜厚測定器、9;減圧室。
グ装置を示す模式図、第2図は従来のドライエツ
チング装置を示す模式図である。 1a乃至1c;ウエハ、2a,2b;電極、3
;エツチングチヤンバ、4;高周波電源、5,5
a,5b;排気ポンプ、6,6a,6b;バルブ
、7;キヤリア、8;膜厚測定器、9;減圧室。
Claims (1)
- 高周波電力が印加される電極を備え排気可能の
エツチングチヤンバと、このエツチングチヤンバ
に隣接して設けられ排気可能の減圧室と、この減
圧室内に設置されエツチングすべき膜の膜厚を測
定する膜厚測定手段と、減圧室とエツチングチヤ
ンバとの間でウエハを出入させる送給手段と、を
有することを特徴とするドライエツチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987165467U JPH0170327U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987165467U JPH0170327U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0170327U true JPH0170327U (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=31451977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987165467U Pending JPH0170327U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0170327U (ja) |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP1987165467U patent/JPH0170327U/ja active Pending