JPH01316979A - ホール効果測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はホール素子のホール効果を測定するホール効果
ｉｌＮ定装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図に従来のホール効果測定装置を示す。ホルダ４１
．４２に保持された磁性体（例えば電磁石）４３．４４
が対向配置され、磁性体４３゜４４の間にホール素子５
０が挿入されている。ホール素子５０上には十文字状に
直交する位置に４つの電極が形成されており、対向する
一対の電極に電流供給端子４５が接触し、他方の一対の
電極にホール効果検出端子４７が接触し、これらの端子
４５．４７が各電極と例えば半田付けされる。

電流供給端子４５は直流電源４６に接続されてホール素
子５０に電流が供給される。これによりホール効果検出
端子４７では電圧が生じるため、この電圧を電圧計４８
によって検出してホール効果の測定が行われる。なお、
磁性体４３．４４としては永久磁石、電極石などが使用
され、一般的には１〜１０キロガウスの磁界内で測定が
行われる。

そして、このような測定が終了した後は、別のホール素
子を同様にセットしてホール効果の測定を行う。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように、従来の測定装置はホール素子毎に測定を行
うものである。従って、ホール素子のセットやホール素
子の電極と各端子の半田付けがホール素子毎に必要とな
り、操作が煩雑で、迅速性に欠けたものとなっている。

そこで本発明は、ホール効果の測定を簡便且つ迅速に行
うことができるホール効果測定装置を提供する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るホール効果測定装置は、ホール素子が形成
された半導体ウェーハが載置される磁性基板と、少なく
とも一対の電流供給プローブ針およびホール効果検出プ
ローブ針を有してなり、各プローブ針が各ホール素子の
電極に接触するように半導体ウェーハと相対的にステッ
プ移動するブローμとを備えていることを特徴とする。

〔作用〕

本発明に係るホール効果測定装置は、以上の通りに構成
されるので、ブローμはそのステップ移動により半導体
ウェーハ状態でのホール効果の測定を行うように作用す
る。

〔実施例〕

以下、本発明のいくつかの実施例を図面により説明する
。なお、図面の説明において、同一要素は同一符号を付
して対応させて、重複する説明は省略する。

第１図は本発明の第１実施例を示す斜視図、第２図はそ
の作動を示す側面図である。ホール効果測定装置は、磁
性基板１と、ブローμ１０とを備えて構成される。磁性
基板１は上部が扁平な円盤形状に成形されており、表面
からは磁力線が均一に出るようになっている。この磁性
基板１は永久磁石あるいは電磁石からなり、電磁石の場
合には磁界の強度調整が可能なため、より良好である。

ブローμ１０は磁性基板１上方に対向して設けられてい
る。このブローμ１０または磁性基板のいずれか一方ま
たは双方は相互にステップ移動するように制御されるも
のである。ブローμ１０は中央に検査穴が開口されたプ
ローブカード１１と、プローブカード１１に取り付けら
れ先端部が検査穴から下方に延びるプローブ針１２．１
２および１３．１３とを備えている。

これらプローブ針１２．１３は９０度間隔で配設され、
対向する一対のプローブ針１２．１２は直流電流１４に
接続されて電流供給プローブ針１２．１２となっており
、対向する他の一対のプローブ針１３．１３は電圧計１
５に接続されてホール効果検出プローブ針１３．ｉ３と
なっている。

さらにプローブカード１１の上面には支持アーム２が立
設されており、この支持アーム２に円柱状の磁性部材３
が取り付けられている。磁性部材３は永久磁石または電
磁石からなり、プローブカード１１の検査穴上に設けら
れている。これにより磁性部材３は磁性基板１と対向し
て磁性基板１との間で均一に強い磁界を形成するように
作用する。

被検体となるホール素子２１は、例えばＧａ　Ｐ。

ＧａＡｓ、ＩｎＰなどの化合物半導体からなり、ダイシ
ング工程以前の半導体ウェーハ２０の形態で供給される
。この半導体ウェーハ２０は素子形成面が上面となるよ
うに磁性基板１上に載置されてΔＮ定に供される。なお
、各ホール素子２１には十字方向の位置に電極２２が形
成されており、この電極２２に各プローブ針１２．１２
および１３゜１３が接触して測定が行われる。

次に、測定方法を説明する。

磁性基板１および磁性部材３は対向する磁極が異極とな
るように設けられており、これにより磁力線Ｂが第２図
に図示のように磁性基板１、磁性部材３間に発生する。

この磁場においては磁性部材３と磁性基板１とが対向す
る部分で磁石線Ｂが平行となっており、測定に最も適し
た場所となっている。この状態で半導体ウェーハ２０を
磁性基板１上に載置する。そして、ブローμ１０をステ
ップ移動させながら、プローブ針１２．１２および１３
．１３を各ホール素子２１の電極２２に接触させる。か
かる接触は電流供給プローブ針１２゜１２とホール効果
検出プローブ針１３．１３とが直交位置から電極２２に
接触するため、電流供給プローブ針１２．１２から直流
電流を供給することによりホール効果検出プローブ針１
３．１３がホール電圧を測定することができる。この測
定では磁性部材３がプローブカード１１の検査穴上、す
なわちプローブ針１２，１２，１３．１３上に位置して
おり、磁石線Ｂが平行となっているため、正確な１ｉｌ
ＰＪ定を行うことができる。このようにして半導体ウェ
ーハ２０の−のホール素子２１を測定した後は、ブロー
μ１０をステップ移動され、隣接するホール素子を測定
し、以後、同様にしてステップ移動させて測定を続行す
る。

このような構成では半導体ウェーハの形態での測定が可
能であり、しかもプローブ針をホール素子の電極に接触
させるだけであるので、測定が簡便となり、迅速に行う
ことができる。

第２図は本発明の第２実施例を示し、磁性部材３が鉄心
を除去したコイルのみからなる電極石によって形成され
ている。鉄心を除去することによってコイルの内部には
空洞部分５が形成され、この空洞部分５がプローブカー
ド１１の検査穴上に位置するように設けられている。こ
の空洞部分５は覗き穴として使用されるものであり、覗
き穴５が検査穴上に位置することにより、覗き穴５を通
しで半導体ウェーハ２０のホール素子２１へのプローブ
針１２．１２，１３．１３の接触位置の調整が可能とな
り、位置決めが確実且つ容易となるメリットがある。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々変
更が可能である。例えば、磁性基板１により十分な磁場
が形成される場合には磁性部材３を省略しても良い。ま
た、電流供給プローブ針１２゜１２およびホール効果検
出プローブ針１３．１３は少なくとも各−封有していれ
ば良く、それぞれの複数対配設しても良い。さらに、ホ
ール素子を一部に組み込んだ集積回路にも適用すること
ができる。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように本発明は、電流供給プロー
ブ針とホール効果検出プローブ針を有するブローμによ
り、半導体ウェーハ状態のホール素子を測定するように
したので、ホール効果のｎ１定を半導体ウェーハを単位
として行うことができ、その測定を簡便且つ迅速に行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例を示す斜視図、第２図は
、そのａｌ定状態を示す側面図、第３図は、第２実施例
の要部を示す平面図および断面図、第４図は、従来装置
の斜視図である。 １・・・磁性基板、３・・・磁性部材、５・・・覗き穴
、〕０・・・ブローμ、１２・・・一対の電流供給プロ
ーブ針、１３・・・一対のホール効果検出プローブ針、
２０・・・半導体ウェーハ、２１・・・ホール素子。 実施例の斜視図 第１図 実施例の作用 第２図 変形例の構成 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ホール素子が形成された半導体ウェーハが載置され
   る磁性基板と、 少なくとも一対の電流供給プローブ針およびホール効果
   検出プローブ針を有してなり、各プローブ針が各ホール
   素子の電極に接触するように半導体ウェーハと相対的に
   ステップ移動するプローバと を備えていることを特徴とするホール効果測定装置。 ２、前記プローバには、前記磁性基板との間で磁界を形
   成する磁性部材が磁性基板に対向して設けられている請
   求項１記載のホール効果測定装置。 ３、前記磁性部材には、前記磁性基板方向に開口した覗
   き穴が形成されている請求項２記載のホール効果測定装
   置。