JPH01298162A - 光ディスク用スパッタ治具 - Google Patents
光ディスク用スパッタ治具Info
- Publication number
- JPH01298162A JPH01298162A JP12981388A JP12981388A JPH01298162A JP H01298162 A JPH01298162 A JP H01298162A JP 12981388 A JP12981388 A JP 12981388A JP 12981388 A JP12981388 A JP 12981388A JP H01298162 A JPH01298162 A JP H01298162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- optical disk
- substrate
- support
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク用スパッタ治具、特に、コンピュ
ータの大容量記憶媒体として用いられる光ディスク媒体
を製造する成膜工程における光ディスク基板を支持する
ための光ディスク用スパッタ治具に関する。
ータの大容量記憶媒体として用いられる光ディスク媒体
を製造する成膜工程における光ディスク基板を支持する
ための光ディスク用スパッタ治具に関する。
従来の光ディスク用スパッタ治具は、第３図に示すよう
に、基板ホルダー１″と内周支持具３′および基板ホル
ダー１′と外周支持具４′との位置決めをそれぞれネジ
５，６′によって行っていた。
に、基板ホルダー１″と内周支持具３′および基板ホル
ダー１′と外周支持具４′との位置決めをそれぞれネジ
５，６′によって行っていた。
すなわち光ディスク媒体においては、記録膜の成膜範囲
は、すくなくともグループ面を覆う必要がある。このた
め成膜時の治具の位置決め精度を考慮して一定の余裕幅
を持たせである。
は、すくなくともグループ面を覆う必要がある。このた
め成膜時の治具の位置決め精度を考慮して一定の余裕幅
を持たせである。
他方光ディスク媒体は通常片面光ディスク媒体基板を貼
り合わせ、両面光ディスク媒体として用いるため内外周
に貼り合わせるための幅が必要となる。さらに光ディス
ク媒体の基板は通常ＰＣ（ポリカーボネイト）やＰＭＭ
Ａ （アクリル）が用いられており比較的熱に弱いため
前述の両面貼り合わせの際には、紫外線硬化型の接着剤
が多様されている。このため前述の記録膜の成膜範囲が
広すぎた場合、記録膜の成膜部は紫外線を通さないため
、接着部面積を減少させ充分な接着強度が得られない。
り合わせ、両面光ディスク媒体として用いるため内外周
に貼り合わせるための幅が必要となる。さらに光ディス
ク媒体の基板は通常ＰＣ（ポリカーボネイト）やＰＭＭ
Ａ （アクリル）が用いられており比較的熱に弱いため
前述の両面貼り合わせの際には、紫外線硬化型の接着剤
が多様されている。このため前述の記録膜の成膜範囲が
広すぎた場合、記録膜の成膜部は紫外線を通さないため
、接着部面積を減少させ充分な接着強度が得られない。
このように記録膜の成膜範囲と接着剤の接着面積はトレ
ードオフの関係に有り、それぞれに僅かの余裕幅が与え
られている。
ードオフの関係に有り、それぞれに僅かの余裕幅が与え
られている。
しかしながらこのような上述した従来の光ディスク用ス
パッタ治具は位置精度が主に内周支持治具と光ディスク
基板、内周支持治具とネジおよび外周支持具とネジの位
置決め精度によって決まるため、充分な精度が得られず
しばしばグループ上に記録膜が成膜されない場合、ある
いは接着剤の有効面積が減少し、接着強度に問題が残る
等の欠点があった。
パッタ治具は位置精度が主に内周支持治具と光ディスク
基板、内周支持治具とネジおよび外周支持具とネジの位
置決め精度によって決まるため、充分な精度が得られず
しばしばグループ上に記録膜が成膜されない場合、ある
いは接着剤の有効面積が減少し、接着強度に問題が残る
等の欠点があった。
本発明の光ディスク用スパッタ治具は、光ディスク基板
を設定するための基板ホルダーと、前記光ディスク基板
の内周側を支持する内周支持具と、前記光ディスク基板
の外周側を支持する外周支持具からなる光ディスク用ス
パッタ治具において、前記基板ホルダーと内周支持具お
よび基板ホルダーと外周支持具との間がそれぞれはめ合
わせによる位置決めがなされるように構成される。
を設定するための基板ホルダーと、前記光ディスク基板
の内周側を支持する内周支持具と、前記光ディスク基板
の外周側を支持する外周支持具からなる光ディスク用ス
パッタ治具において、前記基板ホルダーと内周支持具お
よび基板ホルダーと外周支持具との間がそれぞれはめ合
わせによる位置決めがなされるように構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図である。
第１図に示す光ディスク用スパッタ治具は、基板ホルダ
ー】と、内周支持具３と、外周支持具４とを含んで構成
される。
ー】と、内周支持具３と、外周支持具４とを含んで構成
される。
基板ホルダー１には光ディスク基板２を設定するための
設定穴８を設け、光ディスク基板２の設定を容易にする
とともに、光ディスク基板２の記録面９を基板ホルダー
１の面に合わせ、スパッタ時の電界の乱れを少なくなる
ようにしている。
設定穴８を設け、光ディスク基板２の設定を容易にする
とともに、光ディスク基板２の記録面９を基板ホルダー
１の面に合わせ、スパッタ時の電界の乱れを少なくなる
ようにしている。
光ディスク基板２の内周部は内周支持具３とネジ５によ
り基板ホルダー１に固定されている。この場合に、基板
ホルダー１と内周支持具３の位置精度は両者のはめ合い
によって決定され、ネジ５は単に内周支持具３を介して
光ディスク基板２を固定するものである。
り基板ホルダー１に固定されている。この場合に、基板
ホルダー１と内周支持具３の位置精度は両者のはめ合い
によって決定され、ネジ５は単に内周支持具３を介して
光ディスク基板２を固定するものである。
次に、光ディスク基板２の外周部は外周支持具４とネジ
６により基板ホルダー１に固定されている。この場合の
基板ホルダー１と外周支持具４の位置精度は基板ホルダ
ー１に立てたビン７と外周支持具４との間のはめ合いに
よって決定されネジ６は単に外周支持具４を固定するも
のである。
６により基板ホルダー１に固定されている。この場合の
基板ホルダー１と外周支持具４の位置精度は基板ホルダ
ー１に立てたビン７と外周支持具４との間のはめ合いに
よって決定されネジ６は単に外周支持具４を固定するも
のである。
なお、内周支持具３および外周支持具４は前述のように
光ディスク基板２を基板ホルダー１に支持固定するもの
であると同時に記録面９の成膜範囲を決定するものであ
り、内周支持具３および外周支持具４とともに基板ホル
ダー１との位置精度をはめ合いによって行なっているた
め上述成膜範囲の高精度の制御が可能となる。
光ディスク基板２を基板ホルダー１に支持固定するもの
であると同時に記録面９の成膜範囲を決定するものであ
り、内周支持具３および外周支持具４とともに基板ホル
ダー１との位置精度をはめ合いによって行なっているた
め上述成膜範囲の高精度の制御が可能となる。
従って、グループ上に成膜がなされず不良品となるとか
、接着有効面積が減り信頼性が低下するようなことがな
い。
、接着有効面積が減り信頼性が低下するようなことがな
い。
次に、本発明の第２の実施例を第２図に示す縦断面図を
参照に説明する。
参照に説明する。
第２図に示す実施例では、第１図に示す実施例と内周支
持の構造としての内周支持具３とネジ５は同じであるが
外周支持具の構造は外周支持具４′と基板ホルダー１′
とのはめ合わせを基板ホルダー１′に形成した矩形溝１
１と外周支持具４′に形成した凸部ＩＯにより行なって
おり、固定は従来通りネジ６によって行なっている。
持の構造としての内周支持具３とネジ５は同じであるが
外周支持具の構造は外周支持具４′と基板ホルダー１′
とのはめ合わせを基板ホルダー１′に形成した矩形溝１
１と外周支持具４′に形成した凸部ＩＯにより行なって
おり、固定は従来通りネジ６によって行なっている。
本発明の光ディスク用スパッタ治具は、ネジによる位置
決めを廃し、はめ合いによる高精度な位置決めを行なう
ことにより、光ディスク媒体の製造における歩留り向上
と、信頼性の高い光ディスク媒体の製造を可能とできる
という効果がある。
決めを廃し、はめ合いによる高精度な位置決めを行なう
ことにより、光ディスク媒体の製造における歩留り向上
と、信頼性の高い光ディスク媒体の製造を可能とできる
という効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図、第２図
は本発明の第２の実施例を示す縦断面図、第３図は従来
の一例を示す縦断面図である。 １、１’ 、 １″・・・・・・基板ホルダー、２・・
・・・・光ディスク基板、２・・・・・・光ディスク基
板、３，３′・・・・・・内同文持具、４．４’ 、
４″・・・・・・外周支持具、５゜６，６′・・・・・
・ネジ、７・・・・・・ビン、８・・・・・・設定穴、
９・・・・・・記録面、１０・・・・・・凸部、１１・
・・・・・矩形溝。 代理人 弁理士 内 原 音 策１図
は本発明の第２の実施例を示す縦断面図、第３図は従来
の一例を示す縦断面図である。 １、１’ 、 １″・・・・・・基板ホルダー、２・・
・・・・光ディスク基板、２・・・・・・光ディスク基
板、３，３′・・・・・・内同文持具、４．４’ 、
４″・・・・・・外周支持具、５゜６，６′・・・・・
・ネジ、７・・・・・・ビン、８・・・・・・設定穴、
９・・・・・・記録面、１０・・・・・・凸部、１１・
・・・・・矩形溝。 代理人 弁理士 内 原 音 策１図
Claims (1)
- 光ディスク基板を設定するための基板ホルダーと、前記
光ディスク基板の内周側を支持するために前記基板ホル
ダーとの間をはめ合せにより位置決めするための内周支
持具と、前記光ディスク基板の外周側を支持するために
前記基板ホルダーとの間をはめ合わせにより位置決めす
るための外周支持具とを含むことを特徴とする光ディス
ク用スパッタ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981388A JPH01298162A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981388A JPH01298162A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298162A true JPH01298162A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=15018857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12981388A Pending JPH01298162A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 光ディスク用スパッタ治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298162A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5753091A (en) * | 1993-05-05 | 1998-05-19 | Hoechst Aktiengesellschaft | Carrier palette for substrates of optical storage media |
| US6022462A (en) * | 1996-07-02 | 2000-02-08 | Sony Corporation | DC sputtering system |
| US6841049B2 (en) * | 1999-02-09 | 2005-01-11 | Ricoh Company, Ltd. | Optical device substrate film-formation apparatus, optical disk substrate film-formation method, substrate holder manufacture method, substrate holder, optical disk and a phase-change recording type of optical disk |
| WO2005024812A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Steag Hamatech Ag | Halter für scheibenförmige, ein innenloch aufweisende substrate |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP12981388A patent/JPH01298162A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5753091A (en) * | 1993-05-05 | 1998-05-19 | Hoechst Aktiengesellschaft | Carrier palette for substrates of optical storage media |
| US6022462A (en) * | 1996-07-02 | 2000-02-08 | Sony Corporation | DC sputtering system |
| US6841049B2 (en) * | 1999-02-09 | 2005-01-11 | Ricoh Company, Ltd. | Optical device substrate film-formation apparatus, optical disk substrate film-formation method, substrate holder manufacture method, substrate holder, optical disk and a phase-change recording type of optical disk |
| US7273534B2 (en) | 1999-02-09 | 2007-09-25 | Ricoh Company, Ltd. | Optical device substrate film-formation apparatus, optical disk substrate film-formation method, substrate holder manufacture method, substrate holder, optical disk and a phase-change recording type of optical disk |
| WO2005024812A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Steag Hamatech Ag | Halter für scheibenförmige, ein innenloch aufweisende substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01298162A (ja) | 光ディスク用スパッタ治具 | |
| JPH11161956A (ja) | 磁気転写用マスタおよび磁気転写装置 | |
| JP3537701B2 (ja) | 光学記録媒体、光学記録媒体の製造方法、および、光学記録媒体の製造装置 | |
| JPS61265748A (ja) | 光デイスク | |
| JPS6396751A (ja) | マグネツト・チヤツク用ハブ付光デイスク基板 | |
| JP2702497B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JPH0416252Y2 (ja) | ||
| JP2001273664A (ja) | 光ピックアップ | |
| JP2740242B2 (ja) | 光情報記録ディスク | |
| JP2504117B2 (ja) | 光ディスクの貼り合せ方法 | |
| JPH0430650Y2 (ja) | ||
| JPH0477973B2 (ja) | ||
| JPS60173741A (ja) | 情報記録基板の製造方法 | |
| JPH0341641A (ja) | 光ディスク | |
| JPH04121843A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPH0283834A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPS63119040A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JPH02139778A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0244543A (ja) | 光情報記録デイスク | |
| JPH0261814A (ja) | 磁気ヘッド装置 | |
| JPH02263342A (ja) | 情報記録媒体 | |
| JPS63229641A (ja) | 光デイスク | |
| JPS63146249A (ja) | 光デイスク | |
| JPH02183447A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPH02249151A (ja) | 光記録媒体 |