JPH01295754A

JPH01295754A - 光学素子の洗浄方法と装置

Info

Publication number: JPH01295754A
Application number: JP63123571A
Authority: JP
Inventors: Hisayuki Takei; 久幸武井
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1988-05-20
Filing date: 1988-05-20
Publication date: 1989-11-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、研磨加工後の光学素子の洗浄方法と装置に関
する。

〔従来の技術〕

研削、研磨により光学素子を成形する工程においては、
研削、研磨加工直後に光学素子に付着した水分、研磨材
等の洗浄を行う必要がある。この水分、研磨材等の洗浄
を行わないと光学素子面にヤケ、シミ、汚れが発生し、
品質を著しく低下する原因となるからである。

そこで、従来、上記洗浄にあっては、研磨直後のレンズ
面に付着した水分や研磨材は布を使用して空拭きして除
去され、その後保護液を塗布して一時保管されていた。

しかし、上記洗浄方法にあっては、手作業による空拭き
であり、研磨機から外して行わなければならず、工数が
かかるとともに、拭きむらが生ずる等かなりの熟練を要
する等の問題点があった。

そこで、上記問題点を解決するために特公昭６１−３６
２６号公報の油浸洗浄方法が提案された。

上記方法は、第５図に示すように、弾性材料（シート）
１を被覆した洗浄皿２に、例えばニジロン化学製の商品
名ニジロンＣＧオイル等の油４を供給しつつ弾性材料１
を研磨加工直後のレンズ３のレンズ面３ａに圧着しつつ
回転してレンズ面３ａに付着した水分、研磨材等を上記
油により拭き取り、かつレンズ面３ａに上記油の保護膜
を形成する方法で、かかる場合、洗浄皿２はレンズ面３
ａの曲率半径と同様な曲率半径に形成し、面対面のすり
合せによって油洗浄を行う構成となっている。

さらに、ＫＺＦＳ−ＬａＫ等のヤケの発生し易い硝材の
レンズを洗浄する際には、回転運動と研磨工程と同様な
揺動運動を並用しつつ上記と同様に洗浄作業を行うこと
により効果的にレンズを洗浄することができる。

一方、レンズの洗浄方法にあっては、オイルシャワーに
より、レンズ面のどのような形状にも対応して洗浄する
方法もあるが、実際には拭き取り等の問題が多く、実用
化は難しく、弾性材料を用いて、レンズ面とのすり合せ
により洗浄するという、いわゆる物理的作用による洗浄
が行われている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の光学素子の洗浄方法及び装置にあっは、洗浄皿２
の台皿２ａにシート状の弾性材料１を接着剤により貼付
しであるので、台皿２ａの曲率半径Ｒと弾性材料１の厚
さｔ（第６図参照）との関係がｔ　／　Ｒ＞０．０７近
傍又は曲率半径ＲがＲ＜５近傍となると弾性材料１の弾
性復帰により台皿２ａに弾性材料１の貼付が困難となる
問題点があり、薄い弾性材料１を用いる必要があった。

一方、弾性材料１が薄くなると台皿２ａに貼付るための
接着剤が加工部にはみ出し易くなり接着剤の選定が必要
となるとともに、弾性材料１の耐久性が低下するという
問題点があった。

さらに、弾性材料１は球面状の台皿２ａに貼付けられる
ため第７図示の如く花びら状にカッティングされるので
、台皿２ａに貼付けられた際、不必要な溝（隙間）６が
発生するとともに該溝６の部分から弾性材料１の剥れが
起き易い問題点があった。また、弾性材料１のカッティ
ング精度が必要となりカッティング工数が増大するとと
もに切断加工等の困難性により厚さ０．３ｍ未満の弾性
材料の入手が困難であるという問題点があった。

加えて、弾性材料１と台皿２ａとの接着性を高めるため
、台皿２ａは所定の曲率に形成される必要があるととも
に貼付面の面精度を鏡面より適度な面荒れ状態とする必
要があり台皿２ａの曲率と面粗度を高精度に形成する必
要があった。

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あって、弾性材料の貼付けを不必要とした洗浄皿により
光学素子を洗浄する方法と装置を提供することを目的と
する。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明の光学素子の洗浄方
法にあっては、研磨加工後の光学素子の研磨面を洗浄皿
により洗浄する光学素子の洗浄方法において、上記研磨
面形状に対応して弾性ペレットにより一体形成した上記
洗浄皿の加工面と上記研磨面に洗浄液を供給し、かつ、
上記加工面と研磨面とを接触させつつ回転揺動させて上
記研磨面を洗浄し得るように構成されるとともに、上記
洗浄方法を実施するための装置は、上記研磨面を洗浄す
る加工面を上記研磨面形状と対応して弾性ペレットによ
り一体形成した上記洗浄皿と、上記研磨面と加工面に洗
浄液を供給する洗浄液供給手段と、上記研磨面と加工面
とを接触させつつ回転揺動させる回転揺動手段とを設け
て構成されている。

〔作用〕

上記のように構成された光学素子の洗浄方法と装置によ
れば、光学素子の研磨面形状と同一形状に弾性ペレット
により一体形成された洗浄皿の加工面が研磨面に面接触
しつつ回転揺動されて供給された洗浄液により光学素子
の研磨面が洗浄される。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

（第１実施例）第１図は本発明の光学素子の洗浄装置１０の第１実施例
を示す部分断面図である。

図において１１で示すのはワークで、カンデラ１２に支
持されたワーク保持皿１３により回転、揺動自在に保持
されている。ワーク１１は、その洗浄面１１ａが凹球面
（Ｒ＜５）に形成され、ワーク１１の下方には、その洗
浄面１１ａと接離自在に洗浄面１５が配置されている。

洗浄面１５は、加工部（洗浄部）１６とスピンドル軸１
日との保持部１７とより構成されている。

加工部１６はポリウレタンからなる弾性ペレットで形成
されるとともに、ワーク１１の洗浄面１１ａの凹球面と
対応して加工面１６ａが凸球面に形成され、洗浄面１１
ａと加工面１６ａとが面接触し得るように構成されてい
る。保持部１７は、加工部１６と同一材料で一体化して
形成され、止めネジ１９を介してスピンドル軸１８に固
着されるとともに、スピンドル軸１８は、図示を省略し
た回転揺動手段に保持され、洗浄面１５をワーク１１に
対して中心軸ａを中心に回転、かつ、凸球面の球心０を
中心に揺動し得るように構成されている。

２０は洗浄液で、この洗浄液２０は、例えば油性系不溶
性切削油よりなり、ノズル２１を介してワーク１１の洗
浄面１１ａと洗浄面１５の加工面１６ａに供給されるよ
うになっている。なお、図中ｔは加工部（弾性ペレット
）１６の最小厚、Ｒは加工部１６の曲率半径を示し、本
実施例においてはｔ／Ｒ＞０．０７となるように構成さ
れている。

そして、上記構成の洗浄装置１０によりワーク１１を洗
浄する場合、ワーク１１をワーク保持皿１３に保持させ
、ワーク１１と洗浄面１５のいずれか一方又は双方を移
動してワーク１１と洗浄面１５とを相対的に接近させて
ワーク１１の洗浄面Ｌ　ｉ　ａと洗浄面１５の加工面１
６ａとを面接触されるとともに、洗浄面１１ａと加工面
１６ａに洗浄液２０を供給しつつスピンドル軸１日を介
して洗浄面Ｊ５を中心軸ａを中心に回転かつ球心０を中
心に揺動させつつ洗浄面１５によりワーク１１を洗浄す
るものである。

本実施例によれば、洗浄面の加工部を弾性ペレットで構
成するとともに保持部と一体化して洗浄面を形成し、シ
ート状の弾性部材を接着剤を介して貼付けして洗浄面を
形成する必要がないので、小径ワークの洗浄加工を行う
ことができる。また、弾性部材の剥れがないとともに洗
浄面の耐久性が向上し光学素子の洗浄加工を長期間良好
な状態で行うことができる。

（第２実施例）第２図は本発明の光学素子の洗浄装置の第２実施例を示
し、上記第１実施例と異なる点は、洗浄面の構成である
ので洗浄面のみを図示し、その他の構成は図示を省略す
るととともにその説明を省略する。

即ち、本実施例においては、洗浄面２５がワーク（図示
省略）を洗浄する加工部２６の加工面２６ａを凹球面形
状に形成し、凸球面形状を有するワークに対応しつつワ
ークを洗浄し得るように構成されている。その他の構成
は上記第１実施例と同様であるので同一部分には同一番
号を符してその説明を省略する。

本実施例の洗浄装置にあっても上記第１実施例と同様な
洗浄方法によりワークを洗浄し得るとともに、同様な作
用、効果を得ることができる。

（第３実施例）第３図は本発明の光学素子の洗浄装置の第３実施例を示
し、上記第１実施例と異なる点は、洗浄面の構成である
ので洗浄面のみを図示し、その他の構成は図示を省略す
るととともにその説明を省略する。

即ち、第３図ａは洗浄面２７の平面図、第３図すは第３
図ａのＡ−Ａ線断面図を示し、図示するように、本実施
例の洗浄面２７は、ワーク（図示省略）を洗浄する加工
部２８を円柱状に形成するとともに、この加工部２８を
中心軸ａを中心に同心円上に多数個配設して構成されて
いる。その他の構成は上記第１実施例と同様であるので
同一部分には同一番号を符してその説明を省略する。

（第４実施例）第４図は本発明の光学素子の洗浄装置３０の第４実施例
を示す部分断面図である。

図において３１で示すのはワークで、このワーク３１は
ワーク保持皿３２に保持されている。ワーク保持皿３２
はその下軸部３３がスピンドル軸３４に止めネジ３５を
介して固着され、ワーク３１を回転かつ揺動し得るよう
に構成されている。

３７は洗浄器で、この洗浄器３７は、その加工部３８の
加工面３８ａをワーク３１の洗浄面３１ａの凸球面と対
応して凹球面に形成したポリウレタンからなる弾性ペレ
ットにより構成され、その上端面３７ａ中央部において
カンデラ３９により回転、揺動自在に支持されている。

本実施例の洗浄方法は、ノズル２１を介して洗浄液２０
を洗浄面３１ａと加工面３８ａに供給しつつワーク３１
をスピンドル軸３４により回転揺動運動させてワークの
洗浄加工を行うもので、その他の工程は上記第１野実施
例と同様であるのでその説明を省略する。

本実施例においても上記第１実施例と同様な作用、効果
を得ることができる。

なお、上記第１実施例から第４実施例にあっては、弾性
ペレットをポリウレタンを用いた場合を示して説明した
が、フェルト、ポリエステル不織布、短繊維、ベロア、
スェード等にて弾性ペレットを構成し得るとともに砥粒
化、無砥粒化のいずれにおいても実施することができる
。

また、弾性ペレットは、シロア硬度Ａ５０からショア硬
度Ｄ８０の硬度のものを用いて実施することが望ましく
、ショア硬度Ａ５０未満にあっては柔らかすぎて弾性ペ
レットが繕れて洗浄器としての機能を果たすことができ
ない場合があり、−方、ショア硬度Ｄ８０超えると硬く
なりすぎ弾性ペレットとしての緩衝効果が少なくなりワ
ークを傷つける場合がある。

さらに、曲率半径の小さなワーク、即ち、Ｒ〈５の小径
ワークに限らず、Ｒ〉５のワークあるいは平面状のワー
クにあっても同様に洗浄することができる。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の光学素子の洗浄方法と装置によ
れば、洗浄器を弾性ペレットにより一体成形するととも
に洗浄器の加工部を光学素子の研磨面と同一形状に形成
したので、洗浄器にシート状の弾性部材を貼付ける必要
がなくなり、洗浄器の加工部に洗浄加工に際し不必要な
溝の発生を防止し得るとともに、小径ワークの洗浄加工
を行うことができる。また、弾性部材の剥れ、加工部へ
の接着剤のはみ出しの発生がな（なるとともに洗浄器の
耐久性が向上する等、光学素子の洗浄を良好な状態で安
定して長期間行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の光学素子の洗浄装置の第１実施例を
示す半裁縦断面図、第２図は本発明の光学素子の洗浄装
置における洗浄器の第２実施例を示す半裁縦断面図、第
３図ａ、ｂは本発明の光学素子の洗浄装置における洗浄
器の第３実施例を示す平面図、縦断面図、第４図は本発
明の光学素子の洗浄装置の第４実施例を示す半縦断面図
、第５図から第７図は従来技術を示し、第５図は洗浄装
置の断面図、第６図は洗浄器の半裁縦断面図、第７図は
弾性部材の平面図である。１０・・・光学素子の洗浄装置１１・・・ワーク１１ａ・・・洗浄面１２・・・カンデラ１５・・・洗浄器１６ａ・・・加工面１８・・・スピンドル軸２０・・・洗浄液２１・・・ノズル特許出願人　　　オリンパス光学工業株式会社第１図第３図第２図第４図第６図第６図第７図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）研磨加工後の光学素子の研磨面を洗浄皿により洗
浄する光学素子の洗浄方法において、上記研磨面形状に
対応して弾性ペレットにより一体形成した上記洗浄皿の
加工面と上記研磨面に洗浄液を供給し、かつ、上記加工
面と研磨面とを接触させつつ回転揺動させて上記研磨面
を洗浄することを特徴とする光学素子の洗浄方法。
（２）研磨加工後の光学素子の研磨面を洗浄皿により洗
浄する光学素子の洗浄装置において、上記研磨面を洗浄
する加工面を上記研磨面形状と対応して弾性ペレットに
より一体形成した上記洗浄皿と、上記研磨面と加工面に
洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、上記研磨面と加工
面とを接触させつつ回転揺動させる回転揺動手段とを設
けたことを特徴とする光学素子の洗浄装置。