JPH01281759A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH01281759A
JPH01281759A JP63111245A JP11124588A JPH01281759A JP H01281759 A JPH01281759 A JP H01281759A JP 63111245 A JP63111245 A JP 63111245A JP 11124588 A JP11124588 A JP 11124588A JP H01281759 A JPH01281759 A JP H01281759A
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JP
Japan
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thermal stress
semiconductor chips
heat dissipation
external electrode
semiconductor device
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JP63111245A
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JPH0787229B2 (ja
Inventor
Masanori Nakatsuka
中司 正憲
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • H01L2224/331Disposition
    • H01L2224/3318Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/33181On opposite sides of the body

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、放熱基板上に設けられた半導体チップと、
この半導体チップに内部リード線を介して電気的に接続
された外部電極端子とを樹脂で封止した半導体装置に関
するものである。
〔従来の技術〕
第2図は、この種の半導体装置の従来例の1つである電
力用半導体モジュールを一部切り欠いて示す斜視図であ
る。図において、金属材料からなる放熱基板1上には絶
縁基板2が半田付けされており、その絶縁基板2上には
外部電極端子の1つである概形し字状の三相入力端子3
が3つ、その下辺部3aを半田付けされている。そして
、各三相入力端子3の下辺部3a上には、銅やモリブデ
ンなどの熱1lfI材11を介して、ダイオードなどの
整流用素子の形成された半導体チップ4が各々2個宛、
都合6個半田付けされている。また、別の外部電極端子
である概形逆T字状の直流出力端子5が2つ、半導体チ
ップ4の上方に配置され、各直流圧力端子5に対してそ
れぞれ3つの半導体チップ4が内部リード線6を介して
半田付けされ、以上の結線によって三相ブリッジが構成
されている。
放熱基板1上に設けられた上記の各部材は、放熱基板1
上に別に接着固定されるケース7によって全体を囲まれ
、そのケース7内にシリコンゲルなどのゲル状樹脂8を
注入されたあと、エポキシ系樹脂9で封止されて整流用
6素子入りの電力用半導体モジュールとされる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記構成の半導体装置では、ケース7内
に注入されたゲル状樹脂が半導体チップ4の発熱や周囲
温度の変化によって熱膨張を起すと、ゲル状樹脂内に浮
いた状態で配置されている直流出力端子5にゲル状樹脂
による熱応力が生じ、その力が内部リード線6を介して
半導体チップ4に及び、故障の原因になるという問題点
があった。
特に、図示例のようにゲル状樹脂8とエポキシ系樹脂9
とによる二層封止の場合、半導体装置が通常使用される
(−40℃)〜(+150℃)の温度範囲では、後者の
熱膨張係数が前者のそれよりも大きいため、ゲル状樹脂
8の熱膨張が妨げられて、この熱応力は特に大きくなり
、上記の問題の発生が顕著となる この発明は、このような問題点を解消するためになされ
たもので、熱応力が半導体チップに及ぶのを軽減した半
導体装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る半導体装置は、放熱基板上に設けられた
半導体チップと、この半導体チップに内部リード線を介
して電気的に接続された外部電極端子とを樹脂で封止し
た半導体装置であって、放熱基板を絶縁材料によって形
成し、その放熱基板上に外部電極端子の下端部を固着し
たものである。
〔作用〕
この発明においては、封止に用いられる樹脂が熱膨張し
て、外部電極端子に熱応力が生じても、外部電極端子の
下端部が放熱基板上に直接固着されているため変位が少
なく、したがってその熱応力が内部リード線を介して半
導体チップに及ぶのが軽減される。
〔実施例〕
第1図はこの発明による半導体装置の一実施例である整
流用6素子入りの電力用半導体モジュールを一部切り欠
いて示す斜視図であり、3,4゜6〜9,11は上記従
来装置と全く同一のものである。このモジュールでは、
放熱基板10は(たとえばヒツト基板(商品名)などの
)絶縁材料によって形成されており、したがって放熱基
板10上には別に絶縁基板は設けられない。すなわち、
外部電極端子の1つである三相入力端子3の下辺部3a
は直接放熱基板10上に半田付けされている。また、別
の外部電極端子である2つの直流出力端子5は概形逆T
字状で、その下辺部5aの両端に取付脚5bが形成され
ており、この取付脚5bを放熱基板10上に半田付けす
ることによって、放熱基板10上に固着されている。放
熱基板10が絶縁材料で形成されているため、2つの直
流出力端子5の闇の電気的絶縁性も確保されている。
各直流出力端子5に対してそれぞれ3つの半導体チップ
4が内部リード線6を介して半田付けされ、以上の結線
によって三相ブリッジが構成されること、およびこれら
の部材が放熱基板10上に別に接着固定されるケース7
によって全体を囲まれ、そのケース7内にシリコンゲル
などのゲル状樹脂8が注入され、エポキシ系樹脂9で封
止されて整流用6素子入りの電力用半導体モジュールと
されることは従来装置の場合と同様である。
上記構成のモジュールでは、ケース7内に注入されたゲ
ル状樹脂が半導体チップ4の発熱や周囲温度の変化によ
って熱膨張を起すのに伴って、直流出力端子5に熱応力
が生じても、直流出力端子5の下端部つまり取付脚5b
が放熱基板10上に直接固着されているため、熱応力に
よる変位は小さく抑えられる。したがうて、その熱応力
が内部リード線6を介して半導体チップ4に作用するこ
とはほとんどなく、熱応力に起因する半導体チップ4の
故障が確実に回避される。
なお、上記実施例においては整流用6素子入りの電力用
半導体モジュールの場合について説明したが、これに限
らずサイリスタ・モジュールやトランジスタ・モジュー
ルなどにも同様に適用することができる。樹脂封止が一
層によってなされている場合も、この発明を利用可能で
ある。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、封止に用いられる樹
脂が熱膨張して、外部電極端子に熱応力が生じても、外
部電極端子の下端部が放熱基板上に直接固着されていて
その変位が少ないため、熱応力が内部リード線を介して
半導体チップに及ぶ作用が緩和され、熱応力に起因する
断線や半導体チップの故障が回避されて半導体装置の信
頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明による半導体装置の一実施例を示す
一部切欠き斜視図、第2図は従来の半導体装置を示す一
部切欠き斜視図である。 図において、1,10は放熱基板、4は半導体チップ、
5は外部電極端子の1つである直流出力端子、5bは直
流出力端子の取付脚、6は内部リード線、8はゲル状樹
脂、9はエポキシ系樹脂である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)放熱基板上に設けられた半導体チップと、この半
    導体チップに内部リード線を介して電気的に接続された
    外部電極端子とを樹脂で封止した半導体装置において、 前記放熱基板を絶縁材料によって形成し、その放熱基板
    上に前記外部電極端子の下端部を固着したことを特徴と
    する半導体装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7855464B2 (en) 2008-07-10 2010-12-21 Mitsubishi Electric Corporation Semiconductor device having a semiconductor chip and resin sealing portion
CN102366839A (zh) * 2011-09-28 2012-03-07 哈尔滨电机厂有限责任公司 无模板制备棒状钴铁合金粉体的方法

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JPS6346754A (ja) * 1986-08-15 1988-02-27 Hitachi Ltd モ−ルド型電子装置

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US8183094B2 (en) 2008-07-10 2012-05-22 Mitsubishi Electric Corporation Method of manufacturing a semiconductor device having a semiconductor chip and resin sealing portion
CN102366839A (zh) * 2011-09-28 2012-03-07 哈尔滨电机厂有限责任公司 无模板制备棒状钴铁合金粉体的方法

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