JPH01272912A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH01272912A JPH01272912A JP10290288A JP10290288A JPH01272912A JP H01272912 A JPH01272912 A JP H01272912A JP 10290288 A JP10290288 A JP 10290288A JP 10290288 A JP10290288 A JP 10290288A JP H01272912 A JPH01272912 A JP H01272912A
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- Japan
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- magnetic
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、産業用ロボット等において、角度や位置を
検出する際に用いられる磁気エンコーダに関する。
検出する際に用いられる磁気エンコーダに関する。
「従来の技術」
第3図は従来の磁気エンコーダの構成を示したものであ
る。この図において、1は磁気スケールであり、磁気記
録媒体の所定の軌道上に波長λの正弦波状着磁パターン
がピッチ信号源として記録されている。2は原点信号ト
ラックであり、磁気記録媒体上に磁気スケールlと平行
に設けられている。この原点信号トラック2は、原点位
置に原点用着磁パターンMzが形成されており、磁気ス
ケールlと連動する。3はピッチ信号検出用センサであ
り、図示してないガラス基板上に磁気抵抗素子パターン
Lが形成されてなる。4は原点検出用センサであり、原
点信号トラック2に対向配置され、ピッチ信号検出用セ
ンサ3と連動する。そして、ピッチ信号検出用センサ3
および原点検出用センサ4と磁気スケール1および原点
信号トラック2とは、M方向に相対的に移動自在になっ
ており、いずれか一方を固定された場合に、他方が運動
可能になっている。
る。この図において、1は磁気スケールであり、磁気記
録媒体の所定の軌道上に波長λの正弦波状着磁パターン
がピッチ信号源として記録されている。2は原点信号ト
ラックであり、磁気記録媒体上に磁気スケールlと平行
に設けられている。この原点信号トラック2は、原点位
置に原点用着磁パターンMzが形成されており、磁気ス
ケールlと連動する。3はピッチ信号検出用センサであ
り、図示してないガラス基板上に磁気抵抗素子パターン
Lが形成されてなる。4は原点検出用センサであり、原
点信号トラック2に対向配置され、ピッチ信号検出用セ
ンサ3と連動する。そして、ピッチ信号検出用センサ3
および原点検出用センサ4と磁気スケール1および原点
信号トラック2とは、M方向に相対的に移動自在になっ
ており、いずれか一方を固定された場合に、他方が運動
可能になっている。
次に、ピッチ信号検出用センサ3の磁気抵抗素子パター
ンLについて詳述する。磁気抵抗素子パターンLは、磁
界中に置かれた場合、その磁界の強さに応じて固有抵抗
が変化する現象、いわゆる磁気抵抗効果が生じる素子材
料によって構成されており、この磁気抵抗効果を利用し
て、磁気スケール1上に記録された正弦波状着磁パター
ンが読み取られる。この磁気抵抗素子パターンLは、磁
気スケール1の変位方向Mと直交する方向に延びる検出
部81〜S8を有している。ここで、各検出部S、−S
oは磁気スケールlにお(Jる正弦波状着磁パターンの
波長λに合わせた配置となっている。
ンLについて詳述する。磁気抵抗素子パターンLは、磁
界中に置かれた場合、その磁界の強さに応じて固有抵抗
が変化する現象、いわゆる磁気抵抗効果が生じる素子材
料によって構成されており、この磁気抵抗効果を利用し
て、磁気スケール1上に記録された正弦波状着磁パター
ンが読み取られる。この磁気抵抗素子パターンLは、磁
気スケール1の変位方向Mと直交する方向に延びる検出
部81〜S8を有している。ここで、各検出部S、−S
oは磁気スケールlにお(Jる正弦波状着磁パターンの
波長λに合わせた配置となっている。
すなわち、検出部S、は検出部S1とλ離間し、検出部
S3は検出部S、とλ/2離間し、検出部S4は検出部
S3とλ離間し、検出部S5は検出部S4とλ/4離間
し、検出部S8は検出部S、とλ離間し、検出部S7は
検出部S6とλ/2離間し、検出部S8は検出部S7と
λ離間している。そして、検出部81〜S8の端部には
端子T、〜T sが形成され、端子T 3は接地され、
端子T IおよびT5には電源十Vccが供給される。
S3は検出部S、とλ/2離間し、検出部S4は検出部
S3とλ離間し、検出部S5は検出部S4とλ/4離間
し、検出部S8は検出部S、とλ離間し、検出部S7は
検出部S6とλ/2離間し、検出部S8は検出部S7と
λ離間している。そして、検出部81〜S8の端部には
端子T、〜T sが形成され、端子T 3は接地され、
端子T IおよびT5には電源十Vccが供給される。
そして、検出部81〜Soは磁気スケールlから受ける
磁界によって抵抗値が変化し、この結果、端子′I゛、
および′1゛4からは磁気スケールlとピッチ信号検出
用センサ3との位置関係に応じたレベルの信号が得られ
る。すなわち、磁気スケール1上の正弦波状着磁パター
ン1周期の区間をθ−〇〜2πとすると、端子′■゛、
からはS1nθ、端子′I゛4からはcos Oのレベ
ル信号が得られる。そして、磁気スケール1がピッチ信
号検出用センサ3に対して移動すると、それに伴って端
子T、およびT4から位相がπ/2ずれた2相のピッチ
信号sinθ、 cosθが得られる。
磁界によって抵抗値が変化し、この結果、端子′I゛、
および′1゛4からは磁気スケールlとピッチ信号検出
用センサ3との位置関係に応じたレベルの信号が得られ
る。すなわち、磁気スケール1上の正弦波状着磁パター
ン1周期の区間をθ−〇〜2πとすると、端子′■゛、
からはS1nθ、端子′I゛4からはcos Oのレベ
ル信号が得られる。そして、磁気スケール1がピッチ信
号検出用センサ3に対して移動すると、それに伴って端
子T、およびT4から位相がπ/2ずれた2相のピッチ
信号sinθ、 cosθが得られる。
次に、5は角度検出部であり、ピッチ信号検出用センサ
3によって検出されるピッチ信号sin□およびcos
θから、角度データOを算出し、出力する。
3によって検出されるピッチ信号sin□およびcos
θから、角度データOを算出し、出力する。
次に、6.7は、各々ピッチ信号検出用センサ3によっ
て検出されるピッチ信号5inOお」;びCOSθを所
定のしきい値で判定する事により、“I−1″と“′L
″の2値信号に変換する波形整形回路である。この場合
、波形整形回路6.7の出力信号P1、P、は、第4図
に示すように、お互いに位相がπ/2ずれた矩形波とな
り、また、ピッチ信号検出用センサ3の移動が正方向の
場合は、パルスP、が進み、移動が負方向の場合は、パ
ルスP、が進むようになっている。8は磁気センサ3の
移動方向を判別する方向判別回路であり、例えば、パル
スP1の立ち上がり時にパルスP、のレベルが“I−I
“か“I7″かによって方向を判別するようになってい
る。この方向判別回路8の出力信号Swは、カウンタ9
のアップダウン切り換え端子に供給されるとともに、外
部に出力されるようになっている。カウンタ9は、信号
Swによってアップかダウンの切換を行いながら、パル
スP、をカウントするようになっている。この例では、
ピッチ信号検出用センサ3が正方向に移動している時に
アップカウント、負方向に移動している時にダウンカラ
ン)・が行われるようになっている。また、原点検出用
センサ4が原点位置を通過する毎に、その原点位置にお
いて原点信号Szが検出され、これが波形整形回路10
を介しノコ後に原点パルスPzとなりカウンタ9のリセ
ット端子Rに供給されるようになっている。この結果、
カウンタ9は、原点検出用センサ4が原点位置に達する
毎にリセットされる。従って、カウンタ9のカウント値
Nは、ピッチ信号検出用センサ3の現在位置と原点位置
との間において、ピッチ信号検出用センサ3が通過した
磁気スケールl上の磁化区間の数(磁極数)に対応する
値となる。そして、このカウンタ9の出力信号Nと、角
度算出部5の出力信号0とが、アブソリュート位置デー
タDoutとなる。
て検出されるピッチ信号5inOお」;びCOSθを所
定のしきい値で判定する事により、“I−1″と“′L
″の2値信号に変換する波形整形回路である。この場合
、波形整形回路6.7の出力信号P1、P、は、第4図
に示すように、お互いに位相がπ/2ずれた矩形波とな
り、また、ピッチ信号検出用センサ3の移動が正方向の
場合は、パルスP、が進み、移動が負方向の場合は、パ
ルスP、が進むようになっている。8は磁気センサ3の
移動方向を判別する方向判別回路であり、例えば、パル
スP1の立ち上がり時にパルスP、のレベルが“I−I
“か“I7″かによって方向を判別するようになってい
る。この方向判別回路8の出力信号Swは、カウンタ9
のアップダウン切り換え端子に供給されるとともに、外
部に出力されるようになっている。カウンタ9は、信号
Swによってアップかダウンの切換を行いながら、パル
スP、をカウントするようになっている。この例では、
ピッチ信号検出用センサ3が正方向に移動している時に
アップカウント、負方向に移動している時にダウンカラ
ン)・が行われるようになっている。また、原点検出用
センサ4が原点位置を通過する毎に、その原点位置にお
いて原点信号Szが検出され、これが波形整形回路10
を介しノコ後に原点パルスPzとなりカウンタ9のリセ
ット端子Rに供給されるようになっている。この結果、
カウンタ9は、原点検出用センサ4が原点位置に達する
毎にリセットされる。従って、カウンタ9のカウント値
Nは、ピッチ信号検出用センサ3の現在位置と原点位置
との間において、ピッチ信号検出用センサ3が通過した
磁気スケールl上の磁化区間の数(磁極数)に対応する
値となる。そして、このカウンタ9の出力信号Nと、角
度算出部5の出力信号0とが、アブソリュート位置デー
タDoutとなる。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した従来の磁気エンコーダは、磁気スケ
ールに平行して原点信号用トラックを設ける必要がある
ので、磁気記録媒体」二にそのための余地を確保する必
要があり、また、磁気スケールに記録された磁気情報を
読み取るためのセンサ以外に、原点信号を読み取るため
の原点検出用センサを必要とし、磁気エンコーダが大型
になってしまうという問題があった。
ールに平行して原点信号用トラックを設ける必要がある
ので、磁気記録媒体」二にそのための余地を確保する必
要があり、また、磁気スケールに記録された磁気情報を
読み取るためのセンサ以外に、原点信号を読み取るため
の原点検出用センサを必要とし、磁気エンコーダが大型
になってしまうという問題があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたちので、1組
の磁気スケールと磁気抵抗センサによって構成される磁
気エンコーダを提供することを目的としている。
の磁気スケールと磁気抵抗センサによって構成される磁
気エンコーダを提供することを目的としている。
「課題を解決するための手段」
この発明は、磁気記録媒体上の所定の軌道に沿って正弦
波状着磁パターンが繰り返し記録され、かつ、前記軌道
上の所定の位置に原点用着磁パターンが記録されてなる
磁気スケールと、前記磁気スケールに対向して配置され
、基板」二に前記正弦波状着磁パターンに対応した磁気
抵抗素子パターンおよび前記原点用着磁パターンに対応
した原点検出用磁気抵抗素子パターンが同一基板上に形
成されてなる磁気抵抗センサとを有する事を特徴として
いる。
波状着磁パターンが繰り返し記録され、かつ、前記軌道
上の所定の位置に原点用着磁パターンが記録されてなる
磁気スケールと、前記磁気スケールに対向して配置され
、基板」二に前記正弦波状着磁パターンに対応した磁気
抵抗素子パターンおよび前記原点用着磁パターンに対応
した原点検出用磁気抵抗素子パターンが同一基板上に形
成されてなる磁気抵抗センサとを有する事を特徴として
いる。
「作用」
上記構成によれば、磁気スケールと磁気抵抗センサとが
相対的に変位した場合に、変位に応じたピッチ信号がピ
ッチ信号検出用磁気抵抗素子パターンによって検出され
、また、原点位置においては、原点検出用磁気抵抗素子
パターンによって原点信号が検出される。
相対的に変位した場合に、変位に応じたピッチ信号がピ
ッチ信号検出用磁気抵抗素子パターンによって検出され
、また、原点位置においては、原点検出用磁気抵抗素子
パターンによって原点信号が検出される。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
る。
第1図はこの発明の一実施例による磁気エンコーダの構
成図である。なお、この図において、前述した第3図と
対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略す
る。lOは磁気スケールであり、磁気記録媒体の所定の
軌道上に沿って波長λ1の正弦波状着磁パターンが繰り
返し形成されている。また、磁気スケールlOの正弦波
状着磁パターンにおけるある1つ磁化区間において、N
極から距離λ、隔たった位置に磁極SIが着磁されてい
る。20は磁気抵抗センサであり、図示してないガラス
基板上にピッチ信号検出用磁気抵抗素子パターンL、お
よび原点検出用磁気抵抗素子パターンL、が形成されて
なる。磁気抵抗素子パターンし、およびり、は、それぞ
れ磁気スケールの変位方向Mと直交する方向に延びた検
出部S、〜S18およびSt+〜S24を有する。そし
て、検出部5=7= 11〜SIDは磁気スケールIOにおける着磁パターン
の記録ピッチλ、に対応した配置になっている。
成図である。なお、この図において、前述した第3図と
対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略す
る。lOは磁気スケールであり、磁気記録媒体の所定の
軌道上に沿って波長λ1の正弦波状着磁パターンが繰り
返し形成されている。また、磁気スケールlOの正弦波
状着磁パターンにおけるある1つ磁化区間において、N
極から距離λ、隔たった位置に磁極SIが着磁されてい
る。20は磁気抵抗センサであり、図示してないガラス
基板上にピッチ信号検出用磁気抵抗素子パターンL、お
よび原点検出用磁気抵抗素子パターンL、が形成されて
なる。磁気抵抗素子パターンし、およびり、は、それぞ
れ磁気スケールの変位方向Mと直交する方向に延びた検
出部S、〜S18およびSt+〜S24を有する。そし
て、検出部5=7= 11〜SIDは磁気スケールIOにおける着磁パターン
の記録ピッチλ、に対応した配置になっている。
すなわち、検出部S12は検出部Sllとλ1離間し、
検出部S 13は検出部Satとλ、/2離間し、検出
部S 14は検出部Sllとλ1離間し、検出部S I
6は検出部S 14と1/4λ1離間し、検出部S I
l+は検出部S15とλ、船離間、検出部SI7は検出
部SI6とλ、/2離間し、検出部5l11は検出部S
l?とλ1離間している。一方、検出部Sol〜St4
は磁気スケール10における原点信号S1の記録ピッチ
λ、に対応した配置になっている。ずなわら、検出部S
t+は磁気抵抗素子パターンL 、の検出部S1□とλ
、船離間、検出部S22は検出部SK+とλ、船離間、
検出部S。
検出部S 13は検出部Satとλ、/2離間し、検出
部S 14は検出部Sllとλ1離間し、検出部S I
6は検出部S 14と1/4λ1離間し、検出部S I
l+は検出部S15とλ、船離間、検出部SI7は検出
部SI6とλ、/2離間し、検出部5l11は検出部S
l?とλ1離間している。一方、検出部Sol〜St4
は磁気スケール10における原点信号S1の記録ピッチ
λ、に対応した配置になっている。ずなわら、検出部S
t+は磁気抵抗素子パターンL 、の検出部S1□とλ
、船離間、検出部S22は検出部SK+とλ、船離間、
検出部S。
3は検出部S 22とλ、/2離間し、検出部824は
検出部S、3とλ、船離間ている。そして、磁気抵抗素
子パターンL、およびL2の各検出部Sl+””’SI
8およびSol〜S24の端部には、それぞれ端子T1
.〜T16および′r9.〜′r2.が形成されている
。そして、端子T、いT、5、T3.は電源+Vccが
印加され、端子TI3、T23は接地される。そして、
端子TI2、TI4はピッチ信号出力端、端子T22は
原点信号出力端となっている。
検出部S、3とλ、船離間ている。そして、磁気抵抗素
子パターンL、およびL2の各検出部Sl+””’SI
8およびSol〜S24の端部には、それぞれ端子T1
.〜T16および′r9.〜′r2.が形成されている
。そして、端子T、いT、5、T3.は電源+Vccが
印加され、端子TI3、T23は接地される。そして、
端子TI2、TI4はピッチ信号出力端、端子T22は
原点信号出力端となっている。
次に、この磁気エンコーダの動作について説明する。磁
気スケールlOと磁気抵抗センサ20とが相対的に変位
すると、それに伴って磁気抵抗センサ20が受ける磁界
が変化するので、ピッチ信号出力端TI2およびTI4
から変位に応じたピッチ信号sinθおよびcosθが
出力される。第2図はこのピッチ信号検出用磁気抵抗素
子パターンL 、によって検出されるピッチ信号5in
Oの波形を示したものであり、原点位置において原点用
着磁パターンS1の影響を多少受けるが、ピッチ信号と
して支障のないものが得られる。そして、角度算出部5
において、これらのピッチ信号sinθ、cosθから
角度データθが算出され、出力される。
気スケールlOと磁気抵抗センサ20とが相対的に変位
すると、それに伴って磁気抵抗センサ20が受ける磁界
が変化するので、ピッチ信号出力端TI2およびTI4
から変位に応じたピッチ信号sinθおよびcosθが
出力される。第2図はこのピッチ信号検出用磁気抵抗素
子パターンL 、によって検出されるピッチ信号5in
Oの波形を示したものであり、原点位置において原点用
着磁パターンS1の影響を多少受けるが、ピッチ信号と
して支障のないものが得られる。そして、角度算出部5
において、これらのピッチ信号sinθ、cosθから
角度データθが算出され、出力される。
そして、磁気スケールIOが磁気抵抗センサ20に対し
て移動すると、磁気抵抗センサ20を通過した磁気スケ
ールIO上の磁化区間数がカウンタ9によって計数され
る。一方、原点検出用磁気抵抗素子パターンL2は、磁
気スケールlOの正弦波状着磁パターンからの強力磁場
外であるため、第2図に示すように原点位置以外におい
て端子T21から得られる出力信号は弱い。しかし、原
点位置においては、磁気スケールlO上の磁極Nと原点
用着磁パターンS、とで形成される強力磁場を受けて、
端子T 21から高い振幅の原点信号Szが得られる。
て移動すると、磁気抵抗センサ20を通過した磁気スケ
ールIO上の磁化区間数がカウンタ9によって計数され
る。一方、原点検出用磁気抵抗素子パターンL2は、磁
気スケールlOの正弦波状着磁パターンからの強力磁場
外であるため、第2図に示すように原点位置以外におい
て端子T21から得られる出力信号は弱い。しかし、原
点位置においては、磁気スケールlO上の磁極Nと原点
用着磁パターンS、とで形成される強力磁場を受けて、
端子T 21から高い振幅の原点信号Szが得られる。
この結果、原点位置において、この原点信号Szが検出
され、カウンタ9がリセットされる。従って、カウント
9のカウント値Nは原点位置から現在位置までの磁気ス
ケール10における磁化区間数となる。以」二のように
して、磁化区間数Nおにび角度データθが求められ、ア
ブソリコート位置データD outとして出力される。
され、カウンタ9がリセットされる。従って、カウント
9のカウント値Nは原点位置から現在位置までの磁気ス
ケール10における磁化区間数となる。以」二のように
して、磁化区間数Nおにび角度データθが求められ、ア
ブソリコート位置データD outとして出力される。
「発明の効果」
以」二説明したように、この発明によれば、磁気記録媒
体−にの所定の軌道に沿って正弦波状着磁パターンがピ
ッチ信号源として繰り返し記録され、かっ、前記軌道上
の所定の位置に原点用着磁パターンが記録されてなる磁
気スケールと、前記磁気スケールに対向して配置され、
前記正弦波状着磁パターンに対応したピッチ信号検出用
磁気抵抗素子パターンおよび前記原点用着磁パターンに
対応した原点検出用磁気抵抗素子パターンか同一基板」
−に形成されてなる磁気抵抗センサとで、磁気エンコー
ダを構成したので、磁気記録媒体」二に原点信号トラッ
クを設ける必要がなく、また、原点検出用センサを設け
る必要がない。従って、小型の磁気エンコーダを実現す
る事ができる効果が得られる。
体−にの所定の軌道に沿って正弦波状着磁パターンがピ
ッチ信号源として繰り返し記録され、かっ、前記軌道上
の所定の位置に原点用着磁パターンが記録されてなる磁
気スケールと、前記磁気スケールに対向して配置され、
前記正弦波状着磁パターンに対応したピッチ信号検出用
磁気抵抗素子パターンおよび前記原点用着磁パターンに
対応した原点検出用磁気抵抗素子パターンか同一基板」
−に形成されてなる磁気抵抗センサとで、磁気エンコー
ダを構成したので、磁気記録媒体」二に原点信号トラッ
クを設ける必要がなく、また、原点検出用センサを設け
る必要がない。従って、小型の磁気エンコーダを実現す
る事ができる効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例による磁気エンコーダの構
成図、第2図は同実施例にお+−)る磁気抵抗センサお
よび原点検出用センサの検出信号の波形図、第3図は従
来の磁気エンコーダの構成図、第4図は第3図における
波形整形回路6.7の出力信号波形を示す波形図である
。 lO・・磁気スケール、20・・・・磁気抵抗センサ、
L 、・・ ピッチ信号検出用磁気抵抗素子パターン、
L、・・・・原点検出用磁気抵抗素子パターン。
成図、第2図は同実施例にお+−)る磁気抵抗センサお
よび原点検出用センサの検出信号の波形図、第3図は従
来の磁気エンコーダの構成図、第4図は第3図における
波形整形回路6.7の出力信号波形を示す波形図である
。 lO・・磁気スケール、20・・・・磁気抵抗センサ、
L 、・・ ピッチ信号検出用磁気抵抗素子パターン、
L、・・・・原点検出用磁気抵抗素子パターン。
Claims (1)
- 磁気記録媒体上の所定の軌道に沿って正弦波状着磁パタ
ーンがピッチ信号源として繰り返し記録され、かつ、前
記軌道上の所定の位置に原点用着磁パターンが記録され
てなる磁気スケールと、前記磁気スケールに対向して配
置され、前記正弦波状着磁パターンに対応したピッチ信
号検出用磁気抵抗素子パターンおよび前記原点用着磁パ
ターンに対応した原点検出用磁気抵抗素子パターンが同
一基板上に形成されてなる磁気抵抗センサとを有する事
を特徴とする磁気エンコーダ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10290288A JPH01272912A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 磁気エンコーダ |
US07/324,391 US4954803A (en) | 1988-03-18 | 1989-03-15 | Magnetic-resistor sensor and a magnetic encoder using such a sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10290288A JPH01272912A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01272912A true JPH01272912A (ja) | 1989-10-31 |
Family
ID=14339792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10290288A Pending JPH01272912A (ja) | 1988-03-18 | 1988-04-26 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01272912A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151181A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 磁気式位置検出装置 |
WO2020003658A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像表示装置および駆動装置 |
-
1988
- 1988-04-26 JP JP10290288A patent/JPH01272912A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151181A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 磁気式位置検出装置 |
WO2020003658A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像表示装置および駆動装置 |
JPWO2020003658A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2021-08-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像表示装置および駆動装置 |
US11322057B2 (en) | 2018-06-27 | 2022-05-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image display device and driving device |
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