JPH01268893A - 反射鏡の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は１反射鏡の製造方法の改良に関する。

（従来の技術） 従来、光学的ｆＩＡＷＪを有する反射鏡を製造するには
被加工物を直接切削、研削、研磨、鏡面コーティングを
行なう方法が実施されている。

ところで１反射鏡の多くは凹形状をなすため。

切削工程において穴ぐシ加工が必要である。このため、
上述した方法により小型の反射鏡を製造する場合、バイ
ト寸法による制約を受け、穴ぐ）加工が困難となる。具
体的には、穴ぐシ加工においてその内径が数１０１１１
程度で、長さがその２倍程度の場合、バイトシャンクが
細くなり、剛性が低く。

その結果加工中にびびシ振動を発生して加工が困難とな
る。また、研削、研磨工程においても同様な制約を受け
１反射鏡の形状１寸法が制約され。

ひいては小型、高精度化が困難となる。即ち、研磨によ
って表面粗さを向上させる場合、穴内面の加工が難しく
、かつ穴内面の形状１表面粗さ測定にも制約を受ける。

更に、同形状で複数個の反射鏡を製造する場合、１個づ
つ前述した煩雑な工程を繰返す必要があるため、製品精
度のばらつき。

生産コストの高騰化を招く問題があった。

（発明が解決しようとする鴫題点） 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、加工工程から生じる形状０寸法の制約を受ける
ことなく、所望する形状１寸法の反射鏡を高精度で安価
かつ量産的に製造し得る方法を提供しようとするもので
ある。

〔発明の構成〕

丁ｌ （鴫題点を解決するための手段） 本発明は、買通する穴を有し、かつ該穴内面を鏡面とし
た反射鏡の製造において１反射鏡の穴と同形状をなす母
材の外周面に被覆形成された金属酸化物被膜に電鋳層を
形成母材に対して２０℃〜１５０℃の熱サイクルを作用
させると同時に、数１０ｋｇの荷重を負荷することによ
シ前記金属酸化物被膜を境に電鋳層を前記母材から分離
する工程とを具備したことを特徴とする反射鏡の製造方
法である。

上記母材としては０例えば鋼を使用することができる。

上記母材の外周面に被覆する金属酸化物被膜は、２０℃
〜１５０℃の熱サイクルと数１０＃の荷重を与えて上記
電鋳層を剥離する際の剥離材として作用する。かかる金
属酸化物被膜としては１例えば酸化クロム、酸化モリブ
デンを用いることができる。この金属酸化物被膜の厚さ
については１０Ｘ程度にすればよい。

上記電鋳層は、上記金属酸化物被膜から分離した後にお
いて反射鏡の反射面となる。かかる電鋳層としては１例
えばＣｕ、　Ｎｉ、　Ｃｒ、　Ｎｉ−Ｃｒ合金等を使用
することができる。また、電鋳層の厚さは５〜１０１１
１程度とすることが望ましい。なお、上記金属酸化物被
膜への電鋳層の形成に先立って１反射面の反射特性を向
上する目的で該金属酸化物被膜上に金（Ａｕ　）等のめ
りき膜を形成してもよい。

（作用） 本発明によれば１反射鏡の穴と同形状に加工して作製し
た母材を用いるため、従来のように穴ぐシ加工を施す必
要がなく、加工工程を簡略化できる。こりして作製した
母材の外周面に金属酸化物膜を被覆し、この金属酸化物
被膜に電鋳層を形成し母材に対して熱サイクルと荷重を
与えることＫよりて剥離材として作用する金属酸化物被
膜を境に電鋳層が母材から分離され１反射面となる電鋳
層を有する反射鏡を製造できる。また、かかる金属酸化
物被膜被覆母材は一旦作製すれば、該母材を用いて同形
状で精度のばらづきの少ない反射鏡を何個でも製造する
ことが可能となる。従りて。

加工工程から生じる形状１寸法の制約を受けることなく
、所望する形状１寸法の反射鏡を高精度で安価かつ量産
的に製造することができる。

（発明の実施例） 以下１本発明の実施例を図面を参照して説明する。

まず、鋼からなる被加工物を切削、研削、研磨等の機械
加工を施して製造すべき反射鏡に対して反転した略円錐
台形状の母材（１）を作製した（第１図、ステップ（８
１））。つづいて、この母材（１）の外周面に無電解ニ
ッケル（Ｎｌ）めりき処理によシ厚さ８０μ程度のＮｉ
薄膜（２ａ）を形成した（第２図参照）。

ついで、とのＮｉ￥＃膜（２ａ）を再び切削、研削、研
磨等の機械加工（よシ加工し、製造すべて反射鏡に対し
て反転した高精度の鏡面を形成する（第１図、ステップ
（８２乃。つぎに、第２図に示すようＫこのＮ１薄膜（
２ｍ）上に厚さＩＯＡ種度の酸化クロム薄１！！（２ｂ
）ｔ−無電解めっきＫよシ形成する（第１図、ステップ
（８３））。このときのめっきは、水１１Ｋ無水クロム
酸を１．ｐ〜１０ｇ入れた水溶液中に。

Ｎ１薄膜（２ａ）を被着している母材（１）を１〜５秒
間浸漬することにより行う。その後、第２図に示すよう
に、金（Ａｕ　）薄ｊｌ（２Ｃ）を厚さ１〜５μｍとな
るように酸化クロム薄膜（２ｂ）上に電解めりきＫよシ
形成する（第１図、ステップ（８４））。ひきつづき。

第２図に示すように、前記母材（１）のＡｕ薄膜（２Ｃ
）の外周面上に銅（Ｃｕ）電鋳を施して母材のＡｕ薄膜
（２Ｃ）上に厚さ５〜１０ｍ　ＯＣｕ電鋳層（４）を形
成する（第１図、ステップ（８５））。ついで、第３因
に示すようＩｃ、Ｃｕ電鋳層（４）が一体化している母
材（１）に２０℃〜１５０℃の熱サイクルをヒータによ
る加熱と水冷とを組合せることＫよシ作用させるととも
に。

Ｃｕ電鋳層（４）側を固定した状態で数１０ｋｇの荷重
を例えば小形油圧ジヤツキなどによシ母材（１）　Ｋ矢
印（ト）方向に負荷すると、酸化クロム薄膜（２ｂ）を
境にしてＡｕ薄膜（２Ｃ）を被着したＣｕ電鋳層（４）
がＮｉ薄膜（２ａ）を一体的に被着している母材（１）
から分離され。

第４図に示すよう九反射面として機能するＡｕ薄膜（２
Ｃ）を被着したＣｕ′ＷＬ鋳層（４錆層からなる反射鏡
（５）を製造することができた（第１図。ステップ（８
６））。

また、上記Ｃｕ［錆層（４）が分離され九Ｎｌ薄膜（２
ａ）を被覆している母材（１）を洗浄して（第１図、ス
テップ（８７））　、上述したステップ（Ｓ３）からス
テップ（８６）ｔでの処理を複数回行なりたところ、既
に製造した反射鏡を含めて互いに同形状で精度のばらつ
きの少ない反射鏡を複数個製造できた。

なお、上記実施例では母材を鋼、電鋳層を銅（Ｃｕ）で
形成し、熱サイクロと荷重負荷によ９反射鏡を製造した
が、これに限定されない。例えば、母材をアンバー合金
、電鋳層をニッケル形成しても上記実施例と同様に反射
鏡を製造することができる。

上記実施例では、母材の外周面に被覆する剥離用の薄膜
として酸化クロム薄膜を用いたが、酸化クロム薄膜の代
わシに例えば酸化モリブデンなどの薄膜を用いても実施
例と同様な反射鏡を製造することかできる。さらに、母
材（１）の表面仕上げが高精度にできる場合は、上記実
施例のＮ［薄膜（２ａ）は省略してもよい。同じく１反
射面としてＣｕ面でもよい場合は、金薄膜（２Ｃ）は省
略できる。また。

ｆｓ５図のよ５　Ｋ　Ｃｕ電鋳層（４）を１４幽てかね
（３）によシ支持させてもよい。

〔発明の効果〕

以上詳述した如く１本発明によれば加工工程から生じる
形状１寸法の制約を受けることなく６所望する形状０寸
法の反射鏡を高精度で安価かつ量産的に製造でき、ひい
ては光学素子などに有効に利用し得る等顕著な効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の実施例における反射鏡の製
造工程を示す図、第５図は本発明の他の実施例の説明図
である。 １・・・母　材。 ２ｂ・・・酸化クロム（金属酸化物被膜）。 ２Ｃ・・・金薄膜。 ４・・・Ｃｕ電鋳層、　　　　　５・・・反射鏡。 第１ｒＡ ４へ電鏑漫 １１４図　　　　第５図 時間 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 貫通穴を有し、且つ、上記貫通穴の内面を鏡面とする反
   射鏡の製造方法において、上記貫通穴と同形状をなす母
   材の外周面に金属酸化物被膜を被着させる第１工程と、
   この第１工程後に上記金属酸化物被膜上に電鋳層を形成
   する第２工程と、この第２工程後に上記金属酸化物被膜
   及び上記電鋳層が被着された母材に熱サイクルを加えな
   がら力を負荷し上記金属酸化物被膜を境界として上記母
   材から上記電鋳層を分離する第３工程とを具備すること
   を特徴とする反射鏡の製造方法。