JPH01501A

JPH01501A - 反射鏡の製造方法

Info

Publication number: JPH01501A
Application number: JP62-211606A
Authority: JP
Inventors: 謙二佐藤; 上田　勝宣; 住谷　充夫
Original assignee: 株式会社東芝
Priority date: 1987-03-13
Filing date: 1987-08-26
Publication date: 1989-01-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、反射鏡の製造方法の改良に関する。

（従来の技術）従来、光学的鏡面を有する反射鏡を製造するには被加工
物を直接切削、研削、研磨、鏡面コーティングを行なう
方法が実施されている。

ところで、反射鏡の多くは凹形状をなすため、切削工程
において穴ぐり加工が必要である。このため、上述した
方法により小型の反射鏡を製造する場合、バイト寸法に
よる制約を受け、穴ぐり加工が困難となる。具体的には
、穴ぐり加工においてその内径が数１０ｕ程度で、長さ
がその２倍程度の場合、バイトシャンクが細くなり、剛
性が低く、その結果加工中にびびり振動を発生して加工
が困難となる。また、研削、研磨工程においても同様な
制約を受け、反射鏡の形状、寸法が制約され、ひいては
小型、高精度化が困難となる。即ち、研磨によって表面
粗さを向上させる場合、穴内面の加工が難しく、かつ穴
内面の形状、表面粗さ測定にも制約を受ける。更に、同
形状で複数個の反射鏡を製造する場合、１個づつ前述し
た煩雑な工程を繰返す必要があるため、製品精度のばら
つき、生産コストの高騰化を招く問題があった。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、加工工程から生じる形状、寸法の制約を受ける
ことなく、所望する形状、寸法の反射鏡を高精度で安価
かつ量産的に製造し得る方法を提供しようとするもので
ある。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）本発明は、貫通する穴ををし、かつ該穴内面を鏡面とし
た反射鏡の製造において、反射鏡の穴と同形状をなす母
材の外周面に被覆形成された金属薄膜に電鋳層を形成し
、この電鋳層に裏当てかねを形成する工程と、これら裏
当てかわが形成された母材に対して急激な温度変化を与
えることにより熱膨張係薮の差で前記金属薄膜を境に電
鋳層及び裏当てかねを前記母材から分離する工程とを具
備したことを特徴とする反射鏡の製造方法である。

上記母材としては、例えばアンバー合金等を使用するこ
とができる。

上記母材の外周面に被覆する金属薄膜は、急激な温度変
化を与えて上記電鋳層を剥離する際の剥離材として作用
する。かかる金属薄膜としては、例えば金（Ａｕ　）　
、銅（Ｃｕ　）　、ニッケル（Ｎｌ）、アルミニウム（
Ａり　、銀（Ａｇ　）、白金（Ｐｔ　）等を用いること
ができる。但し、これら金属薄膜の材質と上記電鋳層の
材質とが同質にならないようにそれらの組合わせを選択
する８髪がある。また、金属薄膜の厚さについては１０
人〜１０００人程度にすればよい。

上記電鋳層は、上記金属薄膜から分離した後において反
射鏡の反射面となる。かかる電鋳層としては、例えばＮ
ｌ　、Ｃｒ　、Ｎ１−Ｃｒ合金等を使用することができ
る。また、電鋳層の厚さは５μｍ〜３０ＩＩＩＩ１１程
度とすることが望ましい。なお、上記金属薄膜への電鋳
層の形成に先立って、反射面の反射特性を向上する目的
で該金属薄膜上に無電解ニッケルめっき膜等の無電解め
っき膜を形成してもよい。

上記裏当てかねは、例えば電気めっき又は通常の被加工
物への切削、研磨等の加工により形成される。かかる裏
当てかねとしては、例えばＮ１、アンバー合金を使用す
ることができる。

上記急激な温度変化を与える手段としては、例えば■裏
当てかねを形成した母材を液体窒素等の冷却媒体に浸漬
して急冷する方法、■同母材に高温の加熱ガスを吹付け
て急熱する方法、を採用し得る。

（作用）本発明によれば、反射鏡の穴と同形状に加工して作製し
た母材を用いるため、従来のように穴ぐり加工を施す必
要がなく、加工工程を簡略化できる。こうして作製した
母材の外周面に金属薄膜を被覆し、この金属薄膜に電鋳
層を形成し、この電鋳層に裏当てかねを形成した後、こ
れら裏当てかわが形成された母材に対して急激な温度変
化を与えることによって、熱膨張係数の差により剥離材
として作用する金属薄膜を境に電鋳層及び裏当てかねが
母材から分離され、反射面となる電鋳層と裏当てかねか
らなる反射鏡を製造できる。また、かかる金属薄膜被覆
母材は一旦作製すれば、該母材を用いて同形状で精度の
ばらつきの少ない反射鏡を何個でも製造することが可能
となる。なお、裏当てかねを電気めっき法によらず被加
工物から機械加工により作製する場合、貫通する略円錐
台形状の穴を形成するための穴ぐり加工が必要である。

しかしながら、該裏当てかねの内面は反射鏡の製造後に
おいて反射面として機能させないため、該穴ぐり加工は
被加工物そのものから反射鏡を製造する従来法のように
精度をそれほど要求されず、しかもその内面への研磨処
理も不要となる。従って、加工工程から生じる形状、寸
法の制約を受けることなく、所望する形状、寸法の反射
鏡を高精度で安価かつ量産的に製造することができる。

（発明の実施例）以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

まず、アンバー合金からなる被加工物を切削、研削、研
磨等の機械加工を施して製造すべき反射鏡に対して反転
した略円錐台形状の母材ｌを作製した。つづいて、この
母材ｌの外周面に金めつき処理により厚さ１０人の金（
Ａｕ　）薄膜２を形成した（第１図図示）。ひきつづき
、アンバー合金からなる被加工物を穴ぐり加工、研削し
て貫通する略円錐台形状の穴を有する裏当てかね３を作
製し、この裏当てかね３の穴を前記母材１の金薄膜２の
外周面に約３Ｍの間隔をあけて配置した後、ニッケル電
鋳を施して母材の金薄膜２と裏当てかね３内面の間の厚
さ３ＩＩｊＩのＮ１電鋳層４を形成した（第２図図示）
。

次いで、裏当てかね３がＮｌ電鋳層４を介して一体化さ
れた母材ｌを液体窒素に浸漬して急冷したところ、母材
ｌとＮｉ’ｊｌ！鋳層４との熱膨張係数の差により金薄
膜２を境にしてＮｌ電鋳層４及び裏当てかね３が母材１
から分離され、第３図に示すように裏当てかね３とその
内面に形成された反射面として機能するＮｉ電鋳層４と
からなる反射ｖＬ５を製造することができた。

また、上記ＮＩ電鋳層４及び裏当てかね３が分離された
金薄膜２の被覆母材ｌを用いて上述したのと同様な処理
を複数回行なったところ、既に製造した反射鏡を含めて
互いに同形状で精度のばらつきの少ない反射鏡を複数個
製造できた。

なお、上記実施例では母材をアンバー合金、電鋳層をニ
ッケル、裏当てかねをアンバー合金で形成し、急冷によ
り反射鏡を製造したが、これに限定されない。例えば、
母材をアンバー合金、電鋳層をニッケル、裏当てかねを
ニッケル合金で形成し、これを急熱することによっても
実施例と同様□に反射鏡を製造することができる。

上記実施例では、母材の外周面に被覆する金属薄膜とし
てＡｕ薄膜を用いたが、Ａｕ８Ｍの代わりにＣｕ、Ｎ１
、Ａノ、Ａｇ５Ｐｔの薄膜を用いても実施例と同様な反
射鏡を製造することができる。但し、Ｎ１薄膜を使用す
る場合にはＣｒからなる電鋳層を使用した。

［発明の効果コ以上詳述した如く、本発明によれば加工工程から生じる
形状、寸法の制約を受けることなく、所望する形状、寸
法の反射鏡を高精度で安価かつ量産的に製造でき、ひい
ては光学素子などに有効に利用し得る等顕著な効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は、本発明の実施例における反射鏡の製
造工程を示す断面図である。１・・・母材、２・・・金薄膜、３・・・裏当てかね、
４・・・Ｎｉ電鋳層、５・・・反射鏡。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第１図第３図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、貫通する穴を有し、かつ該穴内面を鏡面とした
反射鏡の製造において、反射鏡の穴と同形状をなす母材
の外周面に被覆形成された金属薄膜に電鋳層を形成し、
この電鋳層に裏当てかねを形成する工程と、これら裏当
てかねが形成された母材に対して急激な温度変化を与え
ることにより熱膨張係数の差で前記金属薄膜を境に電鋳
層及び裏当てかねを前記母材から分離する工程とを具備
したことを特徴とする反射鏡の製造方法。
（２）、母材の金属薄膜に電鋳層を形成する前に、該金
属薄膜上に無電解めっき膜を形成することを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の反射鏡の製造方法。
（３）、母材に対して急激な温度変化を与える手段を、
液体窒素への浸漬により行なうことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の反射鏡の製造方法。