JPH01257343A - ウエハプローバ制御装置 - Google Patents
ウエハプローバ制御装置Info
- Publication number
- JPH01257343A JPH01257343A JP63086569A JP8656988A JPH01257343A JP H01257343 A JPH01257343 A JP H01257343A JP 63086569 A JP63086569 A JP 63086569A JP 8656988 A JP8656988 A JP 8656988A JP H01257343 A JPH01257343 A JP H01257343A
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- wafer
- mouse
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- chip
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- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 18
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体の製造及び検査に際して使用されるウ
エハブローバ制御装置に関するものである。
エハブローバ制御装置に関するものである。
第２図は従来のウエハブローバ制御装置を示すブロック
図である０図において、１０はウェハチップデータ、指
定チップの座標、及びプローバ制御命令を入力するデー
タ入力装置、１１はデータ入力装置ｌ！１０より入力さ
れたデータを処理し、ウニへブローバ１２にデータを転
送する中央処理装置、１３は中央処理装置１１から転送
されたデータを受は取り、駆動部１４に制御命令を伝え
るウエハプローバ中央処理装置である。
図である０図において、１０はウェハチップデータ、指
定チップの座標、及びプローバ制御命令を入力するデー
タ入力装置、１１はデータ入力装置ｌ！１０より入力さ
れたデータを処理し、ウニへブローバ１２にデータを転
送する中央処理装置、１３は中央処理装置１１から転送
されたデータを受は取り、駆動部１４に制御命令を伝え
るウエハプローバ中央処理装置である。
次に動作について説明する。
まｆ、ＩＰＪウェハをウエハブローバ１２にセットする
０次に、データ入力装置ｌＯよりウェハ径。
０次に、データ入力装置ｌＯよりウェハ径。
チップサイズ等のウェハチップデータを入力し、その後
、指定チップの座標、それに伴うプローバ制’＋Ｈ！命
令を入力する。データ入力装置１０より入力されたデー
タは中央処理装置１１で処理され、処理されたデータは
ウエハプローバ１２のウェハプローバ中央処理装置１３
に転送され、データ処理後、駆動部１４に駆動するため
のデータが転送され、指定チップにウェハがプロービン
グされる。
、指定チップの座標、それに伴うプローバ制’＋Ｈ！命
令を入力する。データ入力装置１０より入力されたデー
タは中央処理装置１１で処理され、処理されたデータは
ウエハプローバ１２のウェハプローバ中央処理装置１３
に転送され、データ処理後、駆動部１４に駆動するため
のデータが転送され、指定チップにウェハがプロービン
グされる。
従来のウエハプローバ制御装置は以上のように構成され
ているので、指定チップにウェハをプロービングさせる
時、指定チップの座標及びそれに伴う制御命令のデータ
を事前に知っておく必要があるという操作上の問題があ
った。
ているので、指定チップにウェハをプロービングさせる
時、指定チップの座標及びそれに伴う制御命令のデータ
を事前に知っておく必要があるという操作上の問題があ
った。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、指定チップの座標及びそれに伴う制御命令の
データを事前に知らなくても指定チップへのウェハのプ
ロービングができるウエハプローバ制御装置を提供する
ことを目的とする。
たもので、指定チップの座標及びそれに伴う制御命令の
データを事前に知らなくても指定チップへのウェハのプ
ロービングができるウエハプローバ制御装置を提供する
ことを目的とする。
この発明に係るウエハプローバ制御装置は、ウエハブロ
ーバ制御命令を入力するマウス及びマウスデータ解読部
と、マウスからのデータ入力のため、ウェハチップ情報
に基づいた画面を表示する表示装置を備えたものである
。
ーバ制御命令を入力するマウス及びマウスデータ解読部
と、マウスからのデータ入力のため、ウェハチップ情報
に基づいた画面を表示する表示装置を備えたものである
。
この発明におけるウエハプローバ制御装置では表示装置
にウェハ及びそのチップ概観が表示され、その表示内に
マウスの動きと連動するカーソルが表示されるので、指
定チップにそのカーソルを設定し、次にマウスの確定用
ボタンを押すことによりウエハプローバが指定チップに
ウェハをプロービングすることができる。
にウェハ及びそのチップ概観が表示され、その表示内に
マウスの動きと連動するカーソルが表示されるので、指
定チップにそのカーソルを設定し、次にマウスの確定用
ボタンを押すことによりウエハプローバが指定チップに
ウェハをプロービングすることができる。
以下、この発明の一実施例を図を用いて説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるウエハプローバ制御
装置を示すブロック図であり、図において、１はウェハ
径、チップサイズ等のウェハチップデータを入力するデ
ータ入力装置、２はウェハプローバの制御命令を入力で
き、確定用ボタン３がついたマウス、４はマウス２より
の入力データを解読するマウスデータ解読装置、５はウ
ェハチップデータに基づきウェハ及びそのチップの概観
を表示し、マウスによるプローバ制御命令すなわち指定
チップへのカーソル表示をするための表示装置、６はマ
ウス２．マウスデータ解読装置４゜表示装置５．データ
入力装置１を管理、制御し、ウェハプローバフにウェハ
チップデータ、駆動命令を転送する中央処理装置、８は
中央処理装置６から転送されるデータを受取り、ウエハ
プローバの駆動部９に制御命令を伝えるウエハプローバ
中央処理装置である。
装置を示すブロック図であり、図において、１はウェハ
径、チップサイズ等のウェハチップデータを入力するデ
ータ入力装置、２はウェハプローバの制御命令を入力で
き、確定用ボタン３がついたマウス、４はマウス２より
の入力データを解読するマウスデータ解読装置、５はウ
ェハチップデータに基づきウェハ及びそのチップの概観
を表示し、マウスによるプローバ制御命令すなわち指定
チップへのカーソル表示をするための表示装置、６はマ
ウス２．マウスデータ解読装置４゜表示装置５．データ
入力装置１を管理、制御し、ウェハプローバフにウェハ
チップデータ、駆動命令を転送する中央処理装置、８は
中央処理装置６から転送されるデータを受取り、ウエハ
プローバの駆動部９に制御命令を伝えるウエハプローバ
中央処理装置である。
次に動作について説明する。
まス、８亥当ウエハをウェハブローバフにセットする。
次にデータ入力装置１よりウェハ径、チップサイズ等の
ウェハチップデータを入力する。入力されたウェハチッ
プデータは中央処理装置６を介して表示装置５にそのウ
ェハ、チップの概観が表示され、また、ウェハブローバ
中央処理装置８に転送される。次にマウス２の動きに連
動したカーソル表示が表示袋ＷＬ５になされる。この時
、マウス２からのデータはマウスデータ解読装置４、中
央処理装置６を介して表示装置５に表示される。
ウェハチップデータを入力する。入力されたウェハチッ
プデータは中央処理装置６を介して表示装置５にそのウ
ェハ、チップの概観が表示され、また、ウェハブローバ
中央処理装置８に転送される。次にマウス２の動きに連
動したカーソル表示が表示袋ＷＬ５になされる。この時
、マウス２からのデータはマウスデータ解読装置４、中
央処理装置６を介して表示装置５に表示される。
このマウス２を用いて表示装置５の表示画面上の指定チ
ップをカーソルにより指定し、マウス２の確定用ボタン
３を押すことにより、そのウエハブローバ制御命令がマ
ウスデータ解読装置４で解読され、中央処理装置６を介
してウエハプローバ中央処理装置７に転送され、そこで
処理され、駆動部１４に駆動命令が転送され、指定チッ
プにウェハがプロービングされる。
ップをカーソルにより指定し、マウス２の確定用ボタン
３を押すことにより、そのウエハブローバ制御命令がマ
ウスデータ解読装置４で解読され、中央処理装置６を介
してウエハプローバ中央処理装置７に転送され、そこで
処理され、駆動部１４に駆動命令が転送され、指定チッ
プにウェハがプロービングされる。
なお、上記実施例ではプローバ制御命令入力手段にマウ
ス２を設けたものを示したが、表示装置５をタッチパネ
ル方式にすることにより、指定チップの設定を行っても
よい。
ス２を設けたものを示したが、表示装置５をタッチパネ
ル方式にすることにより、指定チップの設定を行っても
よい。
以上のように本発明によれば、ウエハブローバ制御命令
を入力するマウス及びマウスデータ解読部と、マウスか
らのデータ入力のため、ウェハチップ情報に基づいた画
面を表示する表示装置を備え、マウスにより指定チップ
へのウエハブ口−バのブロービングを可能としたので、
視覚的に操作ができ、また、指定チップのチップ座標及
びそれに伴う制御命令のデータを事前に知る必要もなく
、入力する必要もないので、操作を迅速かつ容易に行え
る効果がある。
を入力するマウス及びマウスデータ解読部と、マウスか
らのデータ入力のため、ウェハチップ情報に基づいた画
面を表示する表示装置を備え、マウスにより指定チップ
へのウエハブ口−バのブロービングを可能としたので、
視覚的に操作ができ、また、指定チップのチップ座標及
びそれに伴う制御命令のデータを事前に知る必要もなく
、入力する必要もないので、操作を迅速かつ容易に行え
る効果がある。
第１図は本発明の一実施例によるウエハブローバ制御装
置を示すブロック図、第２図は従来のウエハプローバ制
御装置を示すブロック図である。 １はデータ入力装置、２はマウス、３は確定用ボタン、
４はマウスデータ解読装置、５は表示装置、６は中央処
理装置、７はウエハフローバ、８はウエハプローバ中央
処理装置、９は駆動部である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
置を示すブロック図、第２図は従来のウエハプローバ制
御装置を示すブロック図である。 １はデータ入力装置、２はマウス、３は確定用ボタン、
４はマウスデータ解読装置、５は表示装置、６は中央処
理装置、７はウエハフローバ、８はウエハプローバ中央
処理装置、９は駆動部である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）駆動部と、該駆動部を制御するウエハプローバ中
央処理装置を備えたウエハプローバと、ウェハチップデ
ータを入力するデータ入力手段と、 上記ウエハプローバ制御命令を入力するプローバ制御命
令入力手段（以下、マウスと称す）と、上記マウスより
の入力データを解読するマウスデータ解読手段と、 上記ウェハチップデータに基づき、マウスによるプロー
バ制御命令を入力するための画面を表示する表示手段と
、 上記マウス、マウスデータ解読手段、データ入力手段、
及び表示手段のそれぞれを管理制御し、上記ウエハプロ
ーバにウェハチップデータと駆動命令を転送する中央処
理装置とを備えたことを特徴とするウエハプローバ制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086569A JPH01257343A (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | ウエハプローバ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086569A JPH01257343A (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | ウエハプローバ制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01257343A true JPH01257343A (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=13890647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63086569A Pending JPH01257343A (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | ウエハプローバ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01257343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369592B1 (en) | 1999-05-24 | 2002-04-09 | International Business Machines Corporation | Probe for testing and repairing printed circuit features |
-
1988
- 1988-04-07 JP JP63086569A patent/JPH01257343A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369592B1 (en) | 1999-05-24 | 2002-04-09 | International Business Machines Corporation | Probe for testing and repairing printed circuit features |
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