JPH01248623A - 光洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ヒートパイプを用いてランプの管端部の冷却
を行う光洗浄装置に関する。

（従来の技術） 従来よりシリコンウェハーや、液晶パネルを溝成するガ
ラスパネルなどの被照射物（以下ワークという）の表面
の汚れすなわち有機物を紫外線およびオゾンで揮発性分
子に変換して除去する光洗浄装置が知られている。

上記ワークの表面処理工程は上記光洗浄装置による洗浄
工程の他一般的に前工程として、水洗浄工程、石けんな
どの洗浄剤による洗浄工程、空気吹きつけによる空気洗
浄工程、熱処理による乾燥工程後に行なねる。これらの
工程を経るために各工程用のコンベアなどの各搬送装置
の水平レベルを一致させ、被照射物の振動あるいは落脱
によって位置ずれが起きたりして進行速度にばらつきが
生じてしまい、その結果洗浄が行えなかったり、たとえ
洗浄がうまく行えても洗浄度にばらつきが生じたりする
。従って、これらの工程をスムースに行わせるためには
一般的にコンベアの水平レベルを一致させるのがよい。

また、光洗浄装置とはオゾンを積極的に発生させない点
で事なる紫外線照射装置があった。この種のもので例え
ば器具を光源と被照射物との照射距離を変更するために
上下に移動させるものがあった。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記光洗浄装置であるとコンベアの水平
レベルは決められてしまうので、ランプとワークとの距
離に変化を持たせワークの種類例えば材質、厚みの変化
に応じて好ましい照射強度にするためにはランプの入力
を変化させることでしか対応できなかった。

また、上記紫外線照射装置のように器具を上下させるよ
うにすればコンベア位置を変えずともワークに当たる照
射強度を変えることができるが゛、器具自体を上げた場
合、器具外部へのオゾン漏れがひどくなるという問題が
生じる。なお、コンベアを上下移動させ得たとしても器
具外部へのオゾン漏れの問題はやはり生じるものである
。

本発明は以上の問題点を鑑みてなされたもので、その目
的はオゾン漏れを極力防止しながらしかも照射距離の変
更が容易な光洗浄装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明の光洗浄装置は器具本体内に設けられ放電ランプ
の保持および冷却を同時に行う目的で上記ランプの管端
部近傍を動態的に配設してなる熱伝導性の高い物質性の
ブロックと、このブロックの上面および下面に設けられ
たランプ取付は部と、上記上面および下面間の中心線を
さけた位置に設けられたヒートパイプ挿通穴と、これら
う上記ヒートパイプ挿通穴に着脱自在に挿入され、上記
ブロックの外側に放熱端を突出してなり吸熱端と放熱端
の中間部を上記器具本体に固定されたヒートパイプと、
を具備したことを特徴とするものである。

上記高出力の放電ランプとは、Ｕ字状、直管状などのラ
ンプ管端部近傍において所定の冷却を必要とする程度の
放電ランプである。

上記ランプ押え部材は、例えば上記ブロックに対してラ
ッチ、ねじあるいは、ランプ押え部材自体の荷重でラン
プ管端部近傍を支持するものであればよく、好ましくは
熱伝導性が高い物質製のものがよい。また、上記ランプ
押え部材は、上記ブロックと同材料同形状のものでラン
プが当る部分を円弧状に切欠いてもよい。

上記ヒートパイプは、複数個のヒートパイプの放熱端に
放熱フィンを複数個設けたものでもよい。

上記放熱端の冷却を行うため空冷手段を用いてもよい。

例えば、ランプ管端部近傍に配置した温度センサからの
信号によって駆動、停止するものや、タイマなどにより
一定周期で駆動するもので常時一定の速度で駆動するも
のなど送風機および排風機の一方または両方を有するも
ののいずれでもよい。さらに自然冷却による方法をとっ
てもよい。

上記ブロック上には、上記ランプが複数個設けられてい
てもかまわない。また、上記ランプは、反射体などで内
包され、紫外線の集束などを行ってもよい。

上記器具本体はオゾン炉であり、例えばコンベア等を器
具本体の下部に配置した場合、ワーク取入れ口、ワーク
取出し口を極力小さくしてなりオゾン漏れ防止を行うも
のである。

（作用） 本発明は、ブロックのヒートパイプ挿入穴の位置をブロ
ック上面および下面間固定されたヒートパイプが挿入さ
れたブロックを一旦取外し上限面を逆転させた後上記ヒ
ートパイプを改めてブロックのヒートパイプ挿入穴に挿
入すれば容易に上記ランプの位置の変更が可能となる。

しかもこのランプの位置の変更は器具本体の位置を変更
の前後において変えずに行えるためランプ位置変更に関
するオゾン漏れの配慮も不要である。

（実施例） 本発明の第１の実施例を第１〜第３図を参照して説明す
る。

このものは、２５４　ｎｍおよび１８５１ｍの紫外線お
よび’１８５ｎｍによって発生するオゾンを使って半導
体ウェハーなどの有機物除去を行う光洗浄装置である。

１は５００Ｗの低圧放電ランプで、バルブ内に水銀を有
してなるＵ字状のものであり、このランプを点灯させる
ために管端部１ａを電源に接続してなる。このランプ１
によって良好に２５４および１８５１ｍの紫外線を放射
する最冷部の温度範囲はおよそ３０〜５０″Ｇである。

２は、銅製の各上ブロックであり、上部２ａに上記ラン
プ１の管端部近傍を配設可能なランプ取付は部２Ｃを有
してなる。また下部２ｂにも上記ランプ１の管端部近傍
を配設可能な例えばねじ穴を有したランプ取付は部２Ｇ
を有してなる。上記ランプ取付は部２Ｇは上記ランプ１
の管端部の熱を受は易いように管端部の形状に対応した
凹部を有していることが好ましい。また、後述する３本
のヒートパイプの吸熱端が導熱的にかつ着脱自在に挿入
できるように上記ブロックの側面２ｄの上部および下部
間の中心線ｅを避けた位置すなわち中心線ｅに対する平
行線２ｅ上にヒートパイプ挿入穴２ｆを設けている。

３は、アルミニウム製のランプ押え部材であり、上記ラ
ンプを上記ブロックとで挟み込み、端部３ａを上記ラン
プ取付は部２Ｃのねじ穴２ｇに対しねじによって固定し
である。

４は、放熱端４ａに放熱フィン４ｂを取付けたヒートパ
イプであり、吸熱端４Ｃを上記ブロックの側面２ｄに設
けられたヒートパイプ挿入穴２ｆに導熱的にかつ着脱自
在に挿入させてあり、放熱端４ａおよび吸熱端４ｂの中
間部は後述する器具本体に固着手段４ｄによって固着さ
れてなる。

５は、送風機からなる空冷手段であり、ヒートパイプ４
の近傍に配設していて、図示しないが例えば熱電対から
なる温度センサを上記ランプ１管端部近傍と、ブロック
２との間に設は温度センサの温度が５０℃以上のとき空
冷手段５を駆動して、コンピュータ制御によりほぼラン
プ管端部近傍を５０’Ｃに定めることができるような制
御を行う。

８は、被照射物１０に対する紫外線量を増加させるため
に、上記ランプ１の上部に配設されたアルミニウム製の
反射体である。

１１は、ワーク１０を搬送するためのコンベア手段であ
り、上記ランプ１に対して近接して設けられている。コ
ンベア手段１１はゴミ等の発生しやすいベルトコンベア
でないものが好ましい。本実施例では複数のロール１１
ａを回転させることでワークを搬送するコンベアとして
いる。

１２は、空冷手段５．上記放熱＠４ａおよび放熱フィン
４ｂを除く上記の各部分を内部に有してなる器具本体で
ある。器具本体には上記コンベア１１を内部に挿通させ
ないものでもよいが、コンベアと器具本体１２の間隔を
せまくして器具本体１２の外部へオゾンが漏れにくい構
造とすることが望ましい。

第一の実施例は、以上の構成であるが、上記ランプ１か
ら発生する２　５４　ｎｍおよび１８５ｎｍは、空気中
の酸素をオゾン等に変化させるため操作者に対する安全
性、および反応促進上、酸素および窒素導入口、オゾン
排気ダクト、オゾン濃度測定用パイプ、ランプ冷却用媒
体導入口などを設けてもよい。

上記実施例において、電源、電源接続構造、各種部品取
付構造については、当業者によって容易に実施できるも
のなので図示を省略した。

第１の実施例の作用について説明する。

上記ランプ１の紫外線放射とともに、上記ランプ１は、
発熱し、管端部の温度は、上昇する。管端部の熱は、ラ
ンプ押え部材３およびブロック２に伝達され、ヒートパ
イプ４の吸熱端にて吸熱され放熱端である程度の熱は自
然放熱によって、それ以上の熱は、例えば温度制御手段
よって冷却手段５が駆動され、ヒートパイプ４の放熱端
に風を送り、冷却効果を促進させ管端部を冷却すること
ができる。

冷却についてはこのように行われるが、厚さあるいは材
質の異なるワークを洗浄する等の理由によって、照射距
離を変更する必要が生じた場合には、次の順序で作業を
行う。

■　ねじをランプ取付部から抜くことでランプ押え部材
ランプブロック器具本体を分離可能状態とする。

■　ランプ押え部材を取外す。

■　ランプの電極リード線１ｂの接続を外しランプを取
外す。

■　ブロックをヒートパイプから扱き取った後上下面を
逆転させて再びヒートパイプ挿入穴にヒートパイプを挿
入させてブロックをヒートパイプによって支持させる。

（このときのブロックの上面と器具本体間には隙間が生
じるのでスペーサ１５を必要に応じてはさみ込む。ヒー
トパイプが強度であれば要しない。） ■　■■■とは逆の作業を行いランプ押え部材、ランプ
ブロック、器具本体を固定状態とする。

上述■ないし■の作業の結果ランプの位置は作業前より
も低くなるあるいは高くなるため照射強度を高くあるい
は低く変更することができる。

［発明の効果］ 本発明の光洗浄装置は器具本体内に設けられたランプ冷
却あるいは保持用のブロックの上下部を逆転させること
で、ランプ位置の変更が行えるために、コンベアおよび
器具本体を上下移動させることに伴うオゾン漏れ防止の
配慮が不要となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す断面図、第２図
は同実施例の要部を示す斜視図、第３図は同実施例の概
略を示す一部透視図である。 １・・・放電ランプ、　２・・・ブロック。 ３・・・ランプ押え部材、　４・・・ヒートパイプ。 ２ｆ・・・ヒートパイプ挿通穴、　１２・・・器具本体
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）器具本体と； 吸熱端および放熱端を有してなる、上記器具本体に固着
   されたヒートパイプと； このヒートパイプの放熱端から熱を強制的に奪う空冷手
   段と； 上記器具本体内に配設された紫外線を放射する高出力の
   放電ランプと； 上記器具本体内に配設され上部および下部にこのランプ
   の管端部近傍を導熱的に配設可能なランプ取付け部を有
   し、かつ上部および下部間の中心線を避けた位置に上記
   ヒートパイプの吸熱端が着脱自在に挿入されるヒートパ
   イプ挿入穴を有した熱伝導性が高物質製のブロックと； 上記ランプの管端部近傍を固定するために、上記ランプ
   取付け部に上記ランプを介して着脱されるランプ押え部
   材と； を具備したことを特徴とする光洗浄装置。