JPH01247810A

JPH01247810A - 金型駆動用の油圧シリンダ装置

Info

Publication number: JPH01247810A
Application number: JP7574988A
Authority: JP
Inventors: Mitsugi Ishii; 貢石井; Shoji Oe; 大江　庄治; Yuji Horii; 掘井　祐治
Original assignee: MATSUMURA SEISAKUSHO KK
Current assignee: MATSUMURA SEISAKUSHO KK
Priority date: 1988-03-29
Filing date: 1988-03-29
Publication date: 1989-10-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、半導体素子を樹脂モールド加工する際等に用
いる樹脂成形のための金型を駆動し高圧に型締めする金
型駆動用の油圧シリンダ装置についての改良に関する。

半導体製品を作る際、第１図および第２図の如く、半導
体ｌＯに対するワイヤー１１のボンディング加工の工程
が完了した半導体の半製品１゛は、それらが連結してい
るリードフレームｌａを、金型にセットして、溶融した
樹脂を高圧で注入し、ボンディングした個所に樹脂１３
の成形加工を行ない、第３図および第４図に示している
如き半導体製品ｌに仕上げていくが、この樹脂成形を行
なう金型２は１通常、第５図に示している如く、それの
上金型２ａ（または下金型）を機枠３に固定しておＳ、
下金型２ｂ（または上金型）を上金型に対して進退する
よう、機枠３に上下可動に支持せしめておいて、その可
動とした下金型２ｂを動かすことで、金型２に対するリ
ードフレーム１ａのセットと型、締めを行なうようにし
である。そしてその金型２の可動側とした下金型２ｂ（
または上金型）の駆動は、その可動とした下金型２ｂに
シリンダ装置ａのピストン４０を連繋しておいて、その
シリンダ装置ａを作動させることで行なうが、そのシリ
ンダ装置ａは油圧を用いたものとなっている。

ところで、この金型駆動用の油圧シリンダ装置ａは、金
型２に対し樹脂成形を行なおうとするリードフレームｌ
ａのセットと樹脂成形後の金型２からの取出しが容易に
行なえるよう、可動の下金型２ｂを動かすためのストロ
ークが充分にあることと、下金型２ｂを上金型２ａに閉
じ合わせて型締めを行なわせた後に、その金型２内に高
圧で供給される溶融した合成樹脂材の圧力に対向するよ
うにその金型２を締め付けておく高い圧力とが要求され
る。

このため、この金型駆動用のシリンダ装置ａは、油圧発
生装置として油圧ポンプと、それを駆動するモーターと
、油圧回路に流す油をためておく油タンクとが必要とな
り、それらのために装置全体が大きくなって、フロワー
使用スペースを広くするようになることと、油圧ポンプ
およびモーターの回転で生じてくる騒音が避けられない
問題がある。

本発明は、従来手段に生じているこの問題を解消せしめ
るためになされたものであって、フロワー使用スペース
を狭くして騒音を低くしながら金型の駆動と高圧での型
締めが行なえるようになる新たな手段を提供することを
目的とする。

そして、本発明においては、この目的を達成するための
手段として、シリンダ内に摺動自在に嵌挿せしめたピス
トンに、回転により該ピストンをシリンダの軸方向に摺
動さすネジジヤツキの螺子軸を連繋し、その螺子軸に駆
動用のモーターを伝導し、シリンダには前記ピストンを
押出す側に油圧パイプを接続し、その油圧パイプを油タ
ンクと増圧ブースタとに、油圧バルブを介して切換自在
に連通せしめてなる金型駆動用の油圧シリンダ装置を提
起するものである。

次に実施例を図面に従い詳述する。なお、図面符号は同
効の構成部材については従前手段のものと同一の符号を
用いるものとする。

第６図は本発明を実施せる金型駆動用の油圧シリンダ装
置の全体の概要説明図で、同図において１３は機枠、２
ば金型、５は該金型２の上金型２ａおよび下金型２ｂを
機枠３に支架せしめる支持機枠、ａはシリンダ装置、６
０はネジジヤツキ６の螺子軸、Ｍは駆動用モーター、ｂ
はシリンダ装置ａに接続する油パイプ、Ｔは油タンク、
７は増圧ブースタを示す。

機枠３はフロワーに対し固定して設置される台枠であり
、一部だけを示している。

金型２は、上金型２ａと下金型２ｂとよりなり、図面で
は省略しているが、それらが閉じ合わされたどきに、そ
れらの閉じ合わせ面に形成される型内腔に対し溶融した
合成樹脂材を高圧に加圧して送り込むための湯道を具備
している通常のものである。

支持機枠５は、機枠３の上面に立設せるガイドボスト５
０・・・と、それらガイドボスト５０・・・の上端部に
固定して組付けた固定ベース５１と、それらガイドボス
ト５０・・・に摺動自在に嵌合せしめた昇降自在の可動
ベース５２とにより構成してあって、それの固定ベース
５１の下面側に上金型２ａを組付は支持し、可動ベース
５２の上面側に下金型２ｂを組付は支持している。

シリンダ装置ａは、第７図に示している如く、機枠３の
下面側にセットポルト８０により固定装着される天井部
８１と、その天井部８１にタイロッド８２・・・により
吊下げ支持される底板部８３と、その底板部８３と前記
天井部８１との間に′ｍ架されるよう組付けられるシリ
ンダ周壁８４とにより、軸線方向を上下方向としたシリ
ンダ８を構成し、そのシリンダ８の内部にピストン８５
を上下方向となる該シリンダ８の軸線方向に摺動自在に
嵌挿し、それに一体に連結するピストンロッド８５０を
、前記天井部８０の軸心部位に開設した透孔に水密を保
持せしめて摺動自在に嵌挿することで、ピストン８５の
摺動作動によりピストンロッド８５０が上下に作動する
ようにしてあり、そのピストンロッド８５０の上端側か
機枠３の上面側に突出して、前述の下金型２ｂを組付は
支持している可動ベース５２の下面側に連繋している。

そして、それの前記ピストン８５およびピストンロッ）
”　８５０は、それの軸心部位が中空に形成しである。

前記シリンダ装置ａのピストン８５を作動さすネジジヤ
ツキ６は、中空とした前記ピストン８５およびピストン
ロッド８５０の内腔の軸心部位にゆるく嵌挿する螺子軸
６０と、その螺子軸６０の外周の雄ねじに螺合して、前
記ピストン８５の内腔軸心部位にセットネジ６１により
一体に組付けられる雌ねじ６２とで構成されている。そ
して。

それの螺子軸６０は、下端側が前述のシリンダ８の底板
部８３の軸心部位に開設しである透孔に水密に嵌挿して
、その下端部が底板部８３の下方に突出し、かつ、シリ
ンダ８の底板部８３の透孔との嵌合部位において、推力
軸受６３を介し底板部８３に回転自在に軸支してあり、
その螺子軸６０の下方への突出部となっている下端部を
正または逆に回転させることで、その螺子軸６０に螺合
する雌ねじ６２が該螺子軸６０に対し昇降し、その雌ね
じ６２の動きで、ピストン８５を作動さすようになって
いる。

駆動用モーターＭは、上述の螺子軸６０に与えられる回
転運動を雌ねじ６２の上下方向の直線運動に変換して推
力を出力するネジジヤツキ６を駆動するモーターであっ
て、回転方向が正逆に切換わる逆転モーターであり、前
述のシリンダ８の底板部８３に一体的に組付けたモータ
ーベース６４に組付は支持せしめである。そして、それ
のモーター軸ｍに設けたプーリー６５と前記螺子軸６０
の下端部に設けたプーリー６６と、それらプーリー６５
−６６間にかけまわした伝導ベルト６７とにより螺子軸
６０に伝導していて、正または逆に回転さすことで、前
記螺子軸６０を正または逆に回転させてネジジヤツキ６
を正または逆に作動させ、ピストン８５を昇降さすよう
作動する。

また、前記螺子軸６０の下端部に設けたプーリー６６は
、伝導トルクが所望に設定できるトルクリミッタ−付き
プーリーに構成してあって、ピストン口、ド８５０の上
端側と連結する可動ベース８２が下降側のストロークの
エンドに達したとき、およびその可動ベース５２が、そ
れに組付けた下金型ｚｂが丘金型２ａに衝合する上昇側
のストロークエンドに達したときに、空転するようにな
って、設定した伝導トルク以上のトルクが雌ねじ６２に
伝達されることのないようにするとともにその雌ねじ６
２の上昇側および下降側のストロークエンドが自動的に
設定されるようになっている。

油圧パイプｂは、それの一端側が、前述のシリンダ装ｍ
ａのシリンダ８の底板部８３とそのシリンダ８内に嵌挿
したピストン８５との間に形成されるピストン８５を押
出していく側の室に対し、シリンダ８の底板部８３に開
設したボートＰｌを介し連通させである。そして、他端
側は、油タンクＴと増圧ブースタ７とに、油圧バルブｖ
１および油圧バルブｖ２を介し切換え自在に連通してい
る。そして、これにより、油圧バルブｖ１を開放して油
圧バルブｖ２を閉じた状態において、駆動゛用モーター
Ｍを正転させてネジジヤツキ６を正に作動させ、ピスト
ン８５を押上げていくと、油圧タンクＴ内の油がシリン
ダ８内に流入していき、そのピストン８５が上昇側のス
トロークエンドに達したところで、油圧バルブ■１を閉
じて油圧バルブＶ２を開放し、その状態において、増圧
ブースタ７を作動させると、それにより増圧された圧力
がシリンダ８内に送込まれたオイルに加わり。

そのオイルを高圧に加圧していくようになって、ピスト
ンロッド８５０の押出圧力を高圧に保持する状態となる
ようにしである。

前記増圧ブースタ７は、シリンダ７０内に嵌挿したピス
トン７１のロッド７２を、シリンダ７０より内径を遥か
に小径にしたシリンダ７３に、プランジャー状に嵌挿し
て、その小径のシリンダ７３を前記油バイブｂに接続し
、大径のシリンダ７０内のピストン７１を押込んでいく
側に空圧が加わるようにした通常の空油圧変換増巾器で
あって、大径のシリンダ７０と小径のシリンダ７３との
断面積の比をもって圧力を増大させるようにしである。

なお、油タンクＴは上面側が大気に開放している開放型
のものであり、また、Ｐ２はシリンダ装置ａのシリンダ
８の天井部８１に、シリンダ８内のピストン８５と天井
部８１との間に形成される室を外気に対し連通させるよ
う形成したボート、Ｐ３はピストンロッド８５０の内腔
を外部に対し連通させるように、ピストンロッド８５０
の上端部に形設したボートである。

このように構成せる実施例装置は次にように作用する。

第６図に示している如く、下金型２ｂを支持する可動ベ
ース５２が下限にまで下降していて、従って、シリンダ
装置ａのピストン８５が、第７図の如く、下降側のスト
ロークのエンドに達しているとする。

この状態において、下金型２ｂに対する被成形品たるリ
ードフレーム１ａのセットが終了して。

その下金型２ｂを上昇させて上金型２ａに閉じ合わせる
ときは、駆動用のモーターＭを正回転させる。このとき
、油圧バルブｖ２は゛閉°゛とし油圧バルブＶｌを“開
”としておく。

これにより、ネジジヤツキ６が正に作動して。

雌ねじ６２が上昇し、これに伴ないピストン８５および
ピストンロッド８５０は上昇する。そして、ピストン８
５の上昇により、シリンダ８内のピストン８５の下面側
か負圧になることで、そこに油圧タンクＴ内の油が流入
してくる。この作動は、上昇する可動ベース５２に組付
けた下金型２ｂが上金型２ａに衝合して、プーリー６６
が空転し出すまで続く。

このときの駆動用のモーターＭは、螺子軸６０と雌ねじ
６２との螺合による減速とプーリー６５・６６との径比
により設定される減速比をもって螺子軸６０を回転させ
、それにより、可動ベース５２と下金型２ｂとを上昇さ
せていくだけの負荷となるから、その負荷に見合う能力
のあるものであればよく、極く小型のものが選択できる
。

次に、上述の如く、可動ベース５２がそれの上昇側のス
トロークエンドに達したとき、前述の油圧バルブＶｌを
“閉”に、また油圧バルブｖ２を“開°°に切換え、そ
の状態で増圧ブースタ７を作動させる。これにより、シ
リンダ８内に流入していた油の全体が高圧に加圧され、
ピストン８５がその高圧のオイルで押上げられる。従っ
て、下金型２ｂと上金型２ａとは、この高圧のオイルの
圧力で型締めされる状態となる。

この状態において、溶融した合成樹脂材を高圧で金型２
内に注入し、樹脂成形作業を行なう。

次に、前述の油圧バルブＶｌ−Ｖ２を、旧の状態に切換
えて、シリンダ８内が油タンクＴに接続連通する状態と
し、駆動用のモーターＭを逆回転させる。

これにより、雌ねじ６２は下降し、従って、ピストン８
５、ピストンロッド８５０および可動ベース５２ならび
に下金型２ｂは下降し、第６図および第７図に示した旧
の状態に戻る。

以上説明したように、本発明による金型駆動用の油圧シ
リンダ装置は、シリンダ内に摺動自在に嵌挿せしめたピ
ストンに、回転により該ピストンをシリンダの軸方向に
摺動さすネジジヤツキの螺子軸を連繋し、その螺子軸に
駆動用のモーターを伝導し、シリンダには前記ピストン
を押出す側に油圧パイプを接続し、その油圧パイプを油
タンクと増圧ブースタとに、油圧バルブを介して切換自
在に連通せしめて構成しているのだから、実質的なピス
トンの昇降作動はモーターにより作動するネジジヤツキ
で行ない、型締めのためにピストンを高圧で押出す作動
だけを、ピストンの上昇作動に追従してシリンダ内に流
入してくる油を増圧ブースタで加圧することによって行
なうようになるので、実質的にピストンを動かすための
モーターが小型で騒音のないものを選択できるようにな
り、また、騒音の激しい油圧ポンプが省略できるように
なって、フロワー使用スペースを狭くして騒音を低くし
ながら金型の駆動と高圧での型締めが行なえるようにな
る。

また、螺子軸と駆動用のモーターのモーター軸とを、ト
ルクリミッタ−付プーリーを介し伝導せしめることで、
モーターの作動によるネジジヤツキのストロークのエン
ドが自動的に設定されるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体製品の半製品の平面図、第２図は同上の
側面図、第３図は同上の樹脂成形加工後の平面図、第４
図は同上の側面図、第５図は従前の金型駆動用の油圧シ
リンダ装置の概要図、第６図は本発明による金型駆動用
の油圧シリンダ装置の全体の概要図、第７図は同上の要
部の縦断正面図、第８図は同上の作用の説明図である。図面符号の説明Ｍ・・・駆動用モーター　　　Ｔ・・・油タンクａ・・
・シリンダ装］　　　　　ｂ・・・油バイブｍ・・・モ
ーター軸ｌ・・・半導体製品　　　　　１°・・・半製品１ａ・
・・リードフレーム　　１０・・・半導体１１・・・ワ
イヤー　　　　　１３・・・樹脂２・・・金型　　　　
　　　　２ａ・・・上金型２ｂ・・・下金型　　　　　
　３・・・機枠４０・・・ピストン　　　　　５・・・
支持機枠５０・・・ガイドボスト　　　５１・・・固定
ベース５２・・・可動ベース　　　　６・・・ネジジヤ
ツキ６０・・・螺子軸　　　　　　６１・・・セットネ
ジ６２・・・雌ねじ　　　　　　６３・・・推力軸受６
４・・・モーターベース６５９６６・・・プーリー６７・・・伝導ベルト　　　　　７・・・増圧ブースタ
７０・・・大径のシリンダ　　　７１・・・ピストン７
２・・・ロヤド　　　　　７３・・・小径のシリンダ８
・・・シリンダ　　　　　　８０・・・セットポルト８
１・・・天井部　　　　　　８２・・・タイロー２ド８
３・・・底板部　　　　　　８４・・・シリンダ周壁８
５・・・ピストン　　　８５０・・・ピストンロッドＰ
１・Ｐ２φＰ３・・・ボートｖｌ・ｖ２・・・油圧バルブ特　許　出　願　人　　　　株式会社　松村製作所第５第６図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、シリンダ内に摺動自在に嵌挿せしめたピストン
に、回転により該ピストンをシリンダの軸方向に摺動さ
すネジジャッキの螺子軸を連繋し、その螺子軸に駆動用
のモーターを伝導し、シリンダには前記ピストンを押出
す側に油圧パイプを接続し、その油圧パイプを油タンク
と増圧ブースタとに、油圧バルブを介して切換自在に連
通せしめてなる金型駆動用の油圧シリンダ装置。
（２）、螺子軸と駆動用のモーターのモーター軸とを、
トルクリミッター付プーリーを介し伝導せしめてなる請
求項１記載の金型駆動用の油圧シリンダ装置。