JPS6295207A

JPS6295207A - トランスフアモ−ルドプレス

Info

Publication number: JPS6295207A
Application number: JP23526785A
Authority: JP
Inventors: Tomoo Sakamoto; 友男坂本; Yoshiji Kakizaki; 芳次柿崎; Tetsuo Tsukui; 津久井　哲男; Junichi Nakamura; 順一中村
Original assignee: MATSUMURA SEISAKUSHO KK; Hitachi Ltd
Current assignee: MATSUMURA SEISAKUSHO KK; Hitachi Ltd
Priority date: 1985-10-23
Filing date: 1985-10-23
Publication date: 1987-05-01
Anticipated expiration: 2010-01-11
Also published as: JPH07319B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明はトランスファモールドプレスに関する。

〔背景技術〕

レジンモールド型半導体装置の製造における封止（パッ
ケージ）にあっては、一般にトランスファモールドプレ
スが用いられている。この装置では、チップ搭載、ワイ
ヤ張りが終了したリードフレームをモールド型（成形型
）の上型と下型との間に挟んだ（型締め）後、上型中央
のポット内に投入されかつ下型中央のカル上に載るレジ
ンタブレットを、プランジャで加圧加熱して溶融させ、
溶けたレジンを上・下型によって形成されたレジン流路
（メインランチ、サブランナ、ゲート）を通してキャビ
ティ内に送り込み、キャビティ内に位置するリードフレ
ーム部分をレジンで被うようになっている。また、キャ
ビティおよびレジン流路内のレジンはキュア処理されて
硬化するので、硬化した成形品は上型と下型とが引き離
された（型開き）後取り出される。

ところで、前記トランスファモールドプレスは、たとえ
ば、工業調査会発行「電子材料Ｊ　１９８１年別冊号、
昭和５６年１１月１０日発行、Ｐ１７１にも記載されて
いるように、型締め圧力が１０Ｑｔｏｎ〜２００ｔｏｎ
程度となる大型のものが一般的で、何れも油圧により作
動する構造となっている。

しかし、油圧を用いるトランスファモールドプレスは、
以下に述べるような点において好ましくないことが本発
明者によってあきらかとされた。

（１）油圧駆動系は油圧ポンプ、モータ、油タンクのよ
うな大型の部品を必要とするので、装置全体が大型で高
価になり、重量も増大し、据付等のレイアウトが制限さ
れる。たとえば、型締め圧力が２００ｔｏｎ程度のもの
は、総重量が約５ｔｏｎにも達し、上記のような欠点が
顕著に現れている。

（２）半導体装置の製造におけるレジンモールドは、上
・下型の型締め圧力は３Ｑｔｏｎ程度で充分である。そ
こで、半導体装置製造用のトランスファモールドプレス
として小型化を図ろうとした場合、従来構造では期待で
きる程の小型化および小型化に伴う製造コストの低減が
達成出来ない。すなわち、型締め圧力を低くするように
しても、油圧駆動系は前述のように大型部品である油圧
ポンプ。

モータ、油タンク等の部品を必要とするため、油圧系ユ
ニットの小型化に限界があり、トランスファモールドプ
レス全体の小型化は難しい。また、これは、装置製造コ
ストの面においても、型締め圧力の減少に比例して装置
製造コストが低くなるということがないことを意味する
。

（３）上記（２）のように、トランスファモールドプレ
スの小型化が難しいことから、従来のトランスファモー
ルドプレスは工場内での据付面積が大きくなり、製造の
ライン化に適しない。

（４）従来のトランスファモールドプレスは油圧を用い
ているため、油の洩れ等によって周辺環境を汚染するこ
とが多い。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、小型かつ軽量で安価なトランスファモ
ールドプレスを提供することにある。

本発明の他の目的は、周辺環境を清潔に保つことができ
るトランスファモールドプレスを提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明のトランスファモールドプレスにあっ
ては、一対の上・下型の開閉はエアーを入力とし、かつ
油圧を出力とする出力増倍型のエアーハイドロ・ユニッ
トによって行う構造となっているため、大型部品である
油圧ポンプ、油圧モータ、油タンクが不要となり、全体
を小型軽量とすることができるとともに、高価な前述の
ような部品の廃止および構造の簡素化によって装置コス
トの低減が達成でき、かつ油による環境汚染を防ぐこと
ができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例によるトランスファモールド
プレスの概要を示す一部を断面とする正面図、第２図は
同じくエアーハイドロ・ユニットを示す油圧回路図、第
３図は同じく型締め時の予圧状態を示すトランスファモ
ールドプレスの正面図、第４図は同じく予圧動作時の油
圧回路図、第５図は同じく型締め時の増圧状態を示すト
ランスファモールドプレスの正面図、第６図は同じく増
圧動作時の油圧回路図である。

このトランスファモールドプレスは、第１図に示される
ように、箱型の架台１を有していて、この架台１の中央
に固定台２を有している。この固定台２の四隅にはそれ
ぞれ支柱からなるタイロッド３が垂設され、各タイロッ
ド３はその上端を固定板４を支持している。この固定板
４の中央には、トランスファシリンダー５が支持枠６を
介して倒立状態で取り付けられている。そして、このト
ランスファシリンダー５のシリンダーロッド７は、前記
固定板４を貫通して固定板４の下方に突出している。ま
た、固定板４の下面には上型８が取り付けられている。

前記シリンダーロッド７はその先端（下端）をこの上型
８内に侵入させ、上型８内に投入されるレジンタブレッ
トを加圧してレジンモールドを行うようになっている。

一方、前記タイロッド３には慴動自在となる可動板９が
取り付けられている。この可動板９の上面には下型１０
が取り付けられている。また、この可動板９は、前記固
定台２の下面側に配設されたエアーハイドロ・ユニット
１１における増圧機構付エアーシリンダー１２の固定台
２から上方に突出するシリンダーロッド１３の先端に支
持されている。したがって、前記可動板９は前記シリン
ダーロッド１３の上昇によって上昇し、下降によって下
降するようになっていて、上昇によって上型８と下型１
０との間で型締めを行い、下降によって型開きを行うよ
うになっている。

エアーハイドロ・ユニット１１は、第２図に示されるよ
うな構造となっている。すなわち、増圧機横付エアーシ
リンダー１２内には、前記可動板９に直接作用するシリ
ンダーロッド１３と、増圧ロッド１４とが同軸上に連続
して配設されている。

前記シリンダーロッド１３のピストン１５が慴ｔｌｊＪ
するシリンダー１６の外側には、シリンダー１６と同心
円的に設けられたリング状空間１７からなる空油圧切換
コンバータ部１８が設けられている。

また、この空油圧切換コンバータ部１８内には、油１９
　（図中油は点々で示されている。）が充填されている
。この油１９は連通孔２０を介してロッドガイド孔２１
にまで及んでいる。ロッドガイド孔２１は前記増圧ロッ
ドＩ４を案内する孔であるとともに、前記ピストン１５
が慴動するシリンダー１６の一端（下端）に連通状態に
ある。したがって、前記連通孔２０の位置から増圧ロフ
ト１４が外れた状態（第２図および第４図参照）になる
と、空油圧切換コンバータ部１８内の油１９は、ロフト
ガイド孔２１内に流入して前記シリンダー１６内に入り
、ピストン１５を押し上げて可動板９を上昇させるよう
になっている。このピストン１５の上昇および下降は、
それぞれ前記増圧機構付エアーシリンダー１２に設けら
れ、かつ前記空油圧切換コンバータ部１８の油１９の上
部に存在するエアー領域に臨むシリンダーロンド前進側
ポート２２と、前記シリンダー１６に連通ずるシリンダ
ーロンド後退側ポート２３への方向切換電磁弁２４を介
するエアー２５供給によって行われる。

なお、このエアー２５の方向切換電磁弁２４への供給は
、方向切換電磁弁２４を工場内を流れるように配設され
た工場配管２６に接続することによって行われる。

他方、前記増圧ロッド１４のピストン２７が往復動する
シリンダー２８の両端側には、増圧ロッド前進側ボート
２９および増圧ロッド後退側ポート３０がそれぞれ設け
られているとともに、この部位には方向切換電磁弁３１
からエアー２５が送り込まれるようになっていて、増圧
ロッド１４の前進および後退を行うようになっている。

前記方向切換電磁弁３１へのエアー２５の供給は、前記
方向切換電磁弁２４と同様に方向切換電磁弁３１を工場
配管２６に接続することによって行われる。

なお、図中の３２は配管である。

このようなエアーハイドロ・ユニット１１にあっては、
可動板９を上昇させて、型締め時に増圧を行う場合は、
第３図および第４図に示されるように、最初に前記方向
切換電磁弁２４の切り換えによって、シリンダーロッド
１３が上昇させられる。この場合は、空油圧切換コンバ
ータ部１８内の油１９がシリンダー１６内に流入するこ
とから、短時間でシリンダーロフト１３は上昇し、型締
めが行われる。その後、第５図および第６図に示される
ように、前記方向切換電磁弁３１の切り換えによって、
シリンダー２８内にエアー２５が送り込まれ、増圧ロッ
ド１４は上昇する。この際、増圧ロッド１４は上昇に伴
って前記連通孔２ｏを塞ぎ、かつ油１９が充満している
シリンダー１６内に進むため、このシリンダー１６内の
非圧縮流体である油１９が加圧される。増圧ロッド１４
の直径はピストン２７の外径に比較して溝かに小さい。

このため、ピストン２７が受ける全圧力がこのピストン
２７面よりもその断面積が小さな空間（増圧ロッド１４
が臨むシリンダ−１６空間）に閉じ込められた油１９に
加わるため、パスカルの原理によって油１９の単位面積
あたりに加わる圧力は断面積に反比例して増加し、シリ
ンダーロッド１３は強い力で上方に押し上げられ、強力
な力で型締めが行われることになる。

なお、前記トランスファシリンダー５は、前記エアーハ
イドロ・ユニット１１と同様な駆動系あるいは空圧系に
よって駆動するようになっていて、トランスファモール
ドプレス全体の駆動は、工場配管２６内を流れるエアー
（５〜６気圧）を利用して行われる。

〔効果〕

１１１本発明のトランスファモールドプレスは、その駆
動系は空圧を利用して行われるため、油圧駆動のように
、油圧ポンプ、モータ、油タンク等の大型となる部品は
不要となり、装置全体の小型軽量が達成できるという効
果が得られる。

（２）本発明のトランスファモールドプレスは、増圧の
ために、エアーハイドロ・ユニット構造となっているが
、このエアーハイドロ・ユニット構造は、増圧のために
使用する油は、シリンダーの外側に同心円的に設けられ
たリング状空間の空油圧切換コンバータ部に充填されて
いて、増圧時に前記空油圧切換コンバータ部とシリンダ
ー内を移動するだけであるため、増圧機構付エアーシリ
ンダー１２の外形もそれほど大型とはならないという効
果が得られる。

（３）上記（１）および（２）により、本発明のトラン
スファモールドプレスはその構造が簡素にできるため、
装置の製造コストの軽減が達成できるという効果が得ら
れる。

（４）上記＋１）〜（３）により、本発明のトランスフ
ァモールドプレスは小型軽量となるため、自動化ライン
に組み込み易いという効果が得られる。

（５）上記（４）により、本発明のトランスファモール
ドプレスは、小型となるため、据付面積の縮小化が達成
できるという効果が得られる。

（６）本発明のトランスファモールドプレスは、工場配
管内を流れるエアーを使用できるため、配管のために特
別な設備や工事を必要としないという効果が得られる。

（７）上記（１）および（２）により、本発明のトラン
スファモールドプレスは、エアーを駆動源とし、必要最
小限の油は閉ループ内を移動する構造となっていること
から、油洩れの心配もなく、周辺環境を油で汚染するお
それもないという効果が得られる。

（８）上記（１）〜（７）により、本発明のトランスフ
ァモールドプレスによれば、レジンモールドのコストの
低減が達成できるという相乗効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造に
おけるレジンモールド技術に適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではない。

本発明は少なくとも物品の一部あるいは全部をレジンで
モールドする技術には適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるトランスファモールド
プレスの概要を示す一部を断面とする正面図、第２図は同じくエアーハイドロ・ユニットを示す油圧回
路図、第３図は同じく型締め時の予圧状態を示すトランスファ
モールドプレスの正面図、第４図は同じく予圧動作時の油圧回路図、第５図は同じ
く型締め時の増圧状態を示すトランスファモールドプレ
スの正面図、第６図は同じく増圧動作時の油圧回路図である。１・・・架台、２・・・固定台、３・・・タイロッド、
４・・・固定板、５・・・トランスファシリンダー、６
・・・支持枠、７・・・シリンダーロッド、８・・・上
型、９・・・可動板、１０・・・下型、１１・・・エア
ーハイドロ・ユニット、１２・・・増圧機横付エアーシ
リンダー、１３・・・シリンダーロッド、１４・・・増
圧ロッド、１５・・・ピストン、１６・・・シリンダー
、１７・・・リング状空間、１８・・・空油圧切換コン
バータ部、１９・・・油、２０・・連通孔、２１・・・
ロッドガイド孔、２２・・・シリンダーロッド前進側ポ
ート、２３・・・シリンダーロッド後退側ボート、２４
・・・方向切換電磁弁、２５・・・エアー、２６・・・
工場配管、２７・・　・ピストン、２８・・・シリンダ
ー、２９・　・・増圧ロッド前進側ボート、３０・・・
増圧口・ノド後退側ボート、３１・・・方向切換電磁弁
、３第　　３　　図第　　４　　図第　　５　　図第　　６　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、一対の上型および下型と、前記下型のカル上に載る
レジンタブレットを加圧溶融させ前記上・下型によって
形成されたレジン流路を通してキャビティ内に前記レジ
ンを送り込むプランジャとを備えるトランスファモール
ドプレスであって、少なくとも前記上・下型の開閉はエ
アーを制御源とするエアーハイドロ・ユニットにより行
われていることを特徴とするトランスファモールドプレ
ス。２、前記エアーハイドロ・ユニットは増圧装置を有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のトランス
ファモールドプレス。