JPH01242464A - 圧電性または焦電性セラミックス組成物 - Google Patents

圧電性または焦電性セラミックス組成物

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JPH01242464A
JPH01242464A JP63070648A JP7064888A JPH01242464A JP H01242464 A JPH01242464 A JP H01242464A JP 63070648 A JP63070648 A JP 63070648A JP 7064888 A JP7064888 A JP 7064888A JP H01242464 A JPH01242464 A JP H01242464A
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JP
Japan
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ceramics
piezoelectric
powder
pyroelectric
lead
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JP63070648A
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English (en)
Inventor
Koichiro Sakata
坂田 好一郎
Tadashi Takenaka
正 竹中
Mamoru Kamiyama
上山 守
Mikiya Ono
幹也 尾野
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Mitsubishi Mining and Cement Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Mining and Cement Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の属する技術分野] 本発明は鉛を含まないか、または鉛を少ししか含まない
圧電性セラミックス組成物または焦電性セラミックス組
成物に関し、 詳しくは無鉛または低塩の、比誘電率(
ε、)が小さく、かつ話電損失、したがって損失正接(
tanδ)もある程度小さく、さらに圧電異方性が大き
な高周波用圧電性セラミックスまたは性能指数、すなわ
ち電圧感度(FV )および比検出率(Fo )の大き
な焦電性セラミックス組成物に関するものである。
[従来の技術] 一般に、セラミックス材料は電子工業材料の分野におい
て非常に大きな割合を占めており、電子機器の高性能、
高機能化に重要な役割を果たしてきた。このようなセラ
ミックス材料のなかでも、圧電性セラミックスまたは焦
電性セラミックスは、機械的エネルギを電気的エネルギ
に変換し、またその逆に電気的エネルギを機械的エネル
ギに変換する性質、あるいは熱的エネルギを電気的エネ
ルギに変換する性質を持つなど、特殊な特性、機能をそ
なえ、温度特性や経時安定性にも優れているので、高電
圧発生装置、音響機器、超音波機器、通信機器、計測機
器、赤外線検出器などの装置並びに機器において広範囲
に利用されており、電子材料産業に欠くことのできない
重要な材料となっている。
その具体的応用例としては、例えば櫃械的エネルギを電
気的エネルギに変換するものとして、ピックアップやマ
イクロホン用デバイスがあり、また電気的エネルギを機
械的エネルギに変換するものとして、超音波発生用振動
子やフィルタ用の電気共振子などがある。
従来、これらの応用分野に使用されている圧電性セラミ
ックスまたは焦電性セラミックスとしては、チタン酸バ
リウム(BaTi03) 、チタン酸鉛(PbTi03
)を主成分としたPT系セラミックス、およびチタン酸
鉛とジルコン酸鉛(1’bZrOa>を主成分とし、こ
れに各種の添加材を混合してなる(PbTiOs−Pb
ZrO,)系ノイわゆるPZT系セラミックスなど多結
晶の強誘電性セラミックスが知られており、そして今日
では、超音波探傷機や超音波遅延線、弾性表面波用デバ
イスなどにおいて、使用周波数が高周波になるにつれて
高周波領域で比誘電率(e、)や話電損失、したがって
損失正接(tan δ)が小さく、また電気機械結合係
数が(coupling factor )が大きな圧
電性セラミックスの開発が強く要望されている。
[発明が解決しようとする問題点コ このように基本組成が八803で代表される前記の11
aTi(IsやPbTi0+、PZTなとノイわゆるヘ
ロブスカイト族のセラミックスは、前述のように、圧電
性セラミックスまたは焦電性セラミックスとして好適と
いわれているけれども、前記BaTiO3は電気機械結
合係数が小さく、またキュリー温度が低いため、その使
用温度域は特性が安定する掻く低温域に制限されるので
、使用範囲や用途が大幅に制限される欠点がある。
また、前記のPbTiO3を主成分とした1丁系セラミ
ックスおよびこれを改良したPZT系セラミックスのよ
うな、鉛を主要基材としたペロブスカイト酸化物は他の
系と異なる優れた圧電、焦電特性を具備しているけれど
も、これらのセラミックスは、圧粉体を焼結する場合に
、1200℃のような高温で16時間はど焼成しないと
完全な単一相にならないという重大な欠点を有し、この
ような過酷な焼成処理を行うと焼成中にPbOが蒸発し
て緻密なセラミックスになり難く、また満足に焼結した
とじても組成の変動によって製品の圧電特性や焦電特性
に大きなばらつきを生じ、さらに前記PbOの蒸発が環
境汚染をひき起こして、面倒な公害対策を必要とすると
いう問題がある。
上記の問題を解決するため、前記PzT系セラミックス
に種々の添加剤を添加し、低温でも焼結が進むように改
善したPZT系セラミックスが研究されている。例えば
、P b (Mg+/Jb2/s)・03−PbTi0
3−pbZrO3のような比較的良好な特性を持った圧
電用1’ZT系セラミツクスが、前記3aTiO3に代
って実用化されている。
しかしながら、このようなPZT系セラミックスは、周
知のように木賃的に61が1000程度と大きいため、
高周波域で使用すると人出力インピーダンスが低下して
、周辺回路との整合がとりにくくなり、また比較的低温
の焼成処理においてもPbOの蒸発は依然として避ける
ことができないので、前記のようにPbOを回収するた
めの公害処理対策が必要となるなどの問題がある。
[研究に基づく知見事項] 本発明者等は、上述のような状況に鑑みて種々研究を重
ねた結果、 抗電界が大きいため分極処理が困難なことから、これま
では有用な圧電性または焦電性セラミックスとして利用
することが殆どかえりみられなかフた無鉛の(Bi・A
) ry2TiOs (AはNa、におよびLiのうち
いずれか単独または2以上複合したものを表わす)が、
ε1が小さく、キュリー温度が高く、かつ電気tnti
結合係数が大きいセラミックスになることが予測される
点に着目して、前記無鉛の(Bi・八) ry2Ti(
hを主要な構成成分として選定し、前記の欠点を改善す
るための改質成分として5rTi03、PbTiO3お
よびGaTiOsを選んで(Bi・Al l/2TjO
,に対し5rTi03、PbTiOsおよびCaTi0
aのうちのいずれか1種または2種以上を10〜20モ
ル%添加すると、1000〜1100℃の低温で容易に
焼結緻密化し、そしてこのようにして得られた焼結体は
数にV/mm (例えば3 KV/l11m1の電圧を
短時間(例えば10分間)印加するだけで十分分極が可
能となり、しかもこの分極した焼結体はε、が250以
下と小さく、キュリー温度が300℃程度と高く、さら
に電気機械結合係数も大きい高周波用の特殊な圧電性セ
ラミックス、または性能指数の大とい焦電性セラミック
スとして利用できること、 を見出した。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、上記知見に基づいて発明されたもので、 ε、が小さく、比較的高いキュリー温度においてtan
δも十分小さく、さらにPZT系セラミックスに匹敵す
る電気機械結合係数を有する無鉛または低鉛の高周波用
圧電性セラミックス、または性能指数の高い焦電性セラ
ミックスを提供することを目的とし、 一般式(Bi+/z・A+/2)+−x(Sra・Pb
ts(:ac)++4103で表わされる、(Bi・八
) +z2TiOs (ただし上記のAはNa、におよ
びLlのうちいずれか単独または2以上複合したものを
表わす)に5rTiOs、PbTiOs、CaTiOs
を単独あるいは2成分以上複合して含有させてなる圧電
性または焦電性セラミックス組成に(系るものである。
なお、本発明の圧電性または焦1性セラミックスは、ま
ず原料粉末として(Bi・Na) 、、、Tie、粉末
、(Bi・K)+z2Ti03粉末、(Bi−Li) 
、72TiO5粉末、5rTiCh粉末、Cal’i0
.粉末、およびPbTiO3粉末を用意し、これら原料
粉末のうちから適宜選択したものを所定の配合組成に配
合し、混合し、ついで混合粉末を成形し、か焼し、つい
でか焼体を粉砕して得たか焼体粉末を再び成形してから
、温度:1080〜1100℃において2〜3時間保持
する条件下で焼成することによって得られた焼結体に数
KV/mmの電圧を10分捏上加することによって、製
造することができる。
[実施例] ついで、実施例を参照して本発明をさらに詳しく説明す
る。
実施例1 原料粉末として、いずれも平均粒径:1μm、純度: 
99.5%の(81va) l/2Ho3粉末、5rT
i03粉末、CaTi0.粉末、およびPbTi0*粉
末を用意し、これら原料粉末のうちから適宜選択したも
のを所定の割合に配合するために秤量し、配合した粉末
をボールミルを用いてアセトン中で十分混合した。
ついで、混合した原料粉末をホーロバットにとり出して
、加熱乾燥し、乾燥した混合粉末を金型に入れて600
にg/cm2の圧力で成形してから、800℃で1時間
か焼した後、再びボールミルを用いて成形体を平均粒径
:1μmとなるまで粉砕してか焼体粉末とした。
つぎにこのか焼体粉末を金型に充填して圧力800〜1
200Kg/ci2で円板状に成型してから、第1図に
示されるような焼成温度曲線にしたがって500℃に1
時間保持し、さらに1080〜1100℃で2時間普通
焼成して焼結体を製造した後、これらの焼結体に3にV
/mmの電圧を10分間印加して、いずれも(Bi−N
a) 、7.TiO,粉末に、相境界近傍、すなわち改
質材濃度:X=13モル%の改質材が添加されている、
すなわち(a)SrTiO8+ 6.5%(モル%、以
下同様)とPbTjOi・6.5%、(b) PbTi
O3:9.75%とCaTi0.:3.25%、(C)
 PbTiO3: 6.5%とCaTiO3:6.5%
、(d) CaTiO3:13%がそれぞれ添加されて
いる本発明の圧電性または焦電性セラミックス(a)〜
(d)とした。
なお、上記の圧電性または焦電性セラミックスを特性測
定用の試料とするため、前記圧電性または焦電性セラミ
ックスを厚さ1m+nになるように切断研磨した後、そ
の薄板表面に銀電極を塗布し、セラミックス薄板に銀電
極を550℃で焼付けることによって上記測定用試料を
作製した。
ついで、上記のようにして製造した本発明の圧電性また
は焦電性セラミックス(a)〜(d)のIMl(2にお
ける話電的性質、すなわち比話電率:e、および損失正
接: tanδの温度に対する変動を第2図に示す。
第2図に示されたグラフから、キュリー温度におけるO
1は小さく、またtanδも比較的小さく、温度特性が
平坦であるので、これらのセラミックス(a)〜(d)
は圧電性または集電性セラミックスとして適しているこ
とがわかる。
実施例2 つぎに(1) Sr/Pbモル比を1・1に維持しなが
ら改質材の濃度:Xを10%、13%、15%および2
0%に(第3図中、Δ印で示す) 、(2)Pb/Ca
モル比を3:1に維持しながら改質材の濃度:Xを13
%、15%および20%に(同、0印で示す) 、(3
)Pb/Caモル比を1:1に維持しながら改質材の濃
度;Xを8%、10%、12%、13%、15%および
20%に(同、x印で示す) 、 (4) GaTj0
3車味の濃度:Xを1%、7%、12%、13%、14
%および20%に(同、○印で示す)、それぞれ変化さ
せた本発明の圧電性または焦電性セラミックスを実施例
1と全く同様な手順で製造し、これらのセラミックスの
室温における比誘電率を測定して、その結果を改質材の
濃度変化に対応させて、第3図にグラフで示した。
第3図に示されたグラフから、(1)〜(4)のいずれ
のセラミックスにおいても、ε、はX=13モル%近傍
で最大値を示し、この近傍に相境界の存在を示唆してい
ることがわかる。
つぎに、改質材として5rTi03とPbTiO3を各
々モル比で1対1の割合で添加したもの(すなわち前記
(1)の場合)およびPbT10.とCaTiO3を各
々モル比で1対1の割合で添加した時(すなわち前記(
3)の場合)の改質材添加量:Xと、電気機械結合係数
にpおよびKt並びに周波数定数NpおよびNtとの関
係を第4図に示した。
第4図にみられるように、前者のにpはX=13モル%
近傍に極大値を持つが、後者のHpはXとともに徐々に
増加した。また相境界近傍(X=lO〜14モル%)の
にtは50%であり、PZT系セラミックスと比肩でき
る大きさ(約60%)を有し、Ntも3000Hz・m
(PZT系セラミックスは2500)1z−m前後)と
太きいが、ε1は200〜300(PZT系セラミック
スは1500前後)と非常に小さい。
なお、上記の実施例1および2におけるセラミックス組
成物中の基材: (Bi・Na)+/2Ti03を(B
i・に)+y2Ti03または(Bl−Li) 、7.
7+O,に代えたセラミックス組成物について実験した
場合にも、実施例1および2に示した結果と同様な結果
が得られた。
[発明の効果] 以上述べた説明から明らかなように、本発明によると、
ε、が小さく、比較的高いキュリー温度においてta口
δも十分小さく、さらにPZT系セラミックスに匹敵す
る電気機械結合係数を有する無鉛または低鉛の高周波用
圧電性セラミックス組成物、または性能指数の高い焦電
性セラミックス組成物が提供される。
【図面の簡単な説明】
第1図は、実施例において用いた焼成温度を示す焼成温
度曲線、第2図は実施例において得られた本発明セラミ
ックス組成物の8電的性質の温度特性を示すグラフ、第
3図は、室温における比誘電率二61と改質材添加量:
Xとの関係を示すグラフ、そして第4図は実施例におけ
る上記Xと、電気機械結合係数にp、 Ktおよび周波
数定数Np、Ntとの関係を示すグラフである。 出願人  三菱鉱業セメント株式会社 代理人  倉 持 裕  外2名 8I n=M [hr〕 電え次J岐籟冶発款:K〔%j 周!歓ズ@:N(Hz・m〕 、a’  # f 青く  、’  ES  (fi’
 ;H)手糸売ネ甫正書(自発) 昭和63年7月1す日 特許庁長官   吉 1)文 股 殿 1、事件の表示 昭和63年特許願第70648号 2、発明の名称 圧電性まなは焦電性セラミックス組成物3、補正をする
者 事件との関係  特許出願人 住所   東京都千代田区丸の内−丁目5番1号名称 
   三菱鉱業セメント株式会社代表者 藤村正哉 4、代理人 住所 〒101  東京都千代田区神田項田町1丁目2
番地5、補正命令の日付  (自発) 6、補正の対象 一補正の内容− 1゜明細書、第1頁、下から3行目に 「低塩」とあるを、 「低鉛」 と訂正する。 2、同、第10頁、下から2行目に 「集電性」とあるを、 「焦電性」 と訂正する。 3、同、第13頁、第13行に 「室温における」とあるを、 r本発明セラミックス組成物の室温における」と訂正す
る。 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  一般式(Bi_1_/_2・A_1_/_2)_1_
    −_x(Sr_a・Pb_b・Ca_c)_x・TiO
    _3で表わされる、(Bi・A)_1_/_2TiO_
    3(ただし上記のAはNa、KおよびLiのうちいずれ
    か単独または2以上複合したものを表わす)にSrTi
    O_3、PbTiO_3、CaTiO_3を単独あるい
    は2成分以上複合して含有させてなる圧電性または焦電
    性セラミックス組成物。
JP63070648A 1988-03-24 1988-03-24 圧電性または焦電性セラミックス組成物 Pending JPH01242464A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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