JPH01238667A - 両面焼付機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、それぞれが多数面焼付けられた表面及び裏
面用の１対の原稿版を、１対のマスター版を用いて同時
に焼付ける両面焼付機に関し、特に、シャドウマスク又
はリードフレーム等の製造に使用される原稿版を焼付け
る両面焼付機に関する。

［従来の技術］ 近時、受像管の大型化及び画質の高品質化の傾向に伴い
、シャドウマスクのパターンを更に高精度化することが
要求されている。シャドウマスクパターンの多数の微細
孔は、電子ビームの通過精度を高めるために、素材両面
を同時エツチングすることにより蛍光面側より電子銃側
のほうが狭くなるように形成される。すなわち、遮光部
の大きさが異なる微細パターンを有するマスター版を表
面用及び裏面用として個々につくり、マスター版をオリ
ジナルとして表面用及び裏面用の原稿版（実用版）をそ
れぞれ焼付け、これら１対の実用版を原稿とじてンヤド
ウマスクを大量生産する。

両面エツチングにおいては表裏面のパターンを正確に一
致させる必要があり、近時、表裏面原稿のパターン位置
合せ精度についてますます高いものが要求されている。

特に、大型受像管用のシャドウマスクにおいては、表裏
面原稿の位置ずれの許容差を数ミクロン以下にする必要
がある。

ところで、オリジナルとなるマスター版は、その製造に
あたり多大な労力と時間を要し、高価なものであるので
、表面用及び裏面用をそれぞれ一面ずつのみ作製する。

そして、−面のみ描画されたマスター版を使用して多面
描画技術により、−枚に複数パターンを焼付けて多面の
実用版とする。

この多面実用版を原稿に用いることにより、−面版を使
用する場合よりも生産性を高め、製品歩留の向上を図る
。

従来の多面描画技術には、マスター版作画機を利用する
技術、プロジェクション法による技術、手動操作による
技術等がある。

［発明か解決しようとする課題］ しかしながら、マスター版作画機を利用する技術におい
ては、描画面積か制限されると共に露光に長時間を要し
、大型の多面原稿版を低コストで製造することができな
い。また、プロジェクション法による技術においては、
パターン中心部と周辺部とで点径にばらつきが生じ、高
精度のパターンを得ることができない。また、手動操作
にょる技術においては、パターン相互を正確に位置合せ
することが困難であり、精度及び信頼性か低下する。

ところで、表面用及び裏面用のマスター版のパターンを
正確に整合させるには、高精度のアライメント装置を必
要とする。アライメント操作における精度は、焼付は姿
勢及び乾板（感光部材）重量から大きな影響を受ける。

すなわち、原版作画機のように水平姿勢で一面ごとに焼
付ける場合は高精度を得ることができるか、両面焼付機
のように表裏面を同時に焼付ける場合は大型で竪型であ
ることが不利に作用し、保持された感光部材のバランス
が崩れてアライメント精度が低下する。

この発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって
、大型で竪型であっても表裏面１対のマスター版を容易
にアライメント操作することかできる両面焼付機を提供
することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 発明者等は、両面焼付機のアライメント操作における不
都合を解決するために種々研究を重ねた結果、大型（幅
４００■×長さ７００　＋＋ｕｎ程度）で、かつ大重量
（４〜５　ｋｇ）のマスター版の一方を固定して他方を
これに整合させる方式では両者の相対角度にずれを生じ
やすく、高精度のアライメントを達成することかできな
いという知見を得た。

この発明に係る両面焼付機は、素材の表裏面に所定パタ
ーンを形成する際に使用される１対の原稿版を、１対の
マスター版を用いて焼付ける両面焼付機において、前記
１対のマスター版をそれぞれ保持し相互に対面させる１
対のホルダを有し、１対のホルダは、一方のホルダをマ
スター版の面内で揺動させる揺動手段と、他方のホルダ
をマスター版の面内で直線的に平行移動させる平行移動
手段と、を具備することを特徴とする。

［作用コ この発明に係る両面焼付機においては、一方のホルダを
マスター版面内で平行移動させ、他方のマスター版のア
ライメント用マークにＸ軸及びＹ軸座標を合せる。次い
で、他方のホルダをマスター版面内で揺動させ、両マス
ター版の相対角度のずれを修正する。

［実施例］ 以下、添付の図面を参照してこの発明の実施例について
具体的に説明する。

第２図に示すように、両面焼付機１０は、原稿版となる
べきワーク５０を保持搬送するためのワーク搬送部１１
及びマスター版２を相互に整合させるための本体部２７
により構成されている。ワーク搬送部１１の梁１４が１
対の支柱１２に掛は渡され、梁１４に平行にガイドバー
１６が設けられている。ホルダ１８か、１対のスライダ
２０によりガイドバー１６に沿って摺動するように吊り
下げられている。一方のスライダ２０はナツト２２を有
しており、このナツト２２がスクリュウ２４に螺合し、
駆動モータ２６によりスクリュウ２４か回転するとホル
ダ１８が待機位置から本体部２７のほうへ水平移動する
ようになっている。

モータ２６はリミットスイッチを有しており、ホルダ１
８を所定位置に正確に停止させるようになっている。ま
た、待機位置にて１対のワーク５〇かホルダ１８の両面
にそれぞれ取付けられるようになっている。

第３図に示すように、搬送部１１のワーク搬送路は本体
部２７の中央を通過する構造を採り、ワーク５０か１対
のマスター版２ａ、２ｂの間に位置するようになってい
る。

本体部２７は、ホルダ１８の待機位置がら離れた支柱１
２の近傍に設けられている。本体部２７のベツド２８が
制振装置（図示せず）を介して床上に固定され、ベツド
２８より上方に振動が伝わり難くしている。ベツド２８
の上には、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸並びにＣ軸用の駆動手段が
それぞれ設けられている。本体ヘッド２８の１対の凸状
ガイド２９か、Ｚ軸用ベツド３ｏの凹状スライダ３１に
それぞれ嵌合され、ベツド下部の駆動モータ３２により
ベツド３ｏがＺ軸方向（水平面内て梁１４に直交する方
向）にスライドするようになっている。更に、Ｚ軸用ベ
ツド３ｏの１対の凸状ガイド３３が、Ｘ軸周ベツド３４
の凹状スライダ３５にそれぞれ嵌合され、駆動モータ３
６によりベツド３４がＸ軸方向（水平面内で梁１４に平
行な方向）にスライドするようになっている。また、更
に、Ｘ軸周ベット３４の上に二組のスタンド３８が載置
され、駆動モータ３９によりスタンド３８がＹ軸方向（
垂直方向）にスライドするようになっている。額縁状の
ホルダ４２か各組のスタンド３８の間にそれぞれ設けら
れ、それぞれがマスター版を保持して表面用と裏面用と
を対面させるようになっている。

第１図に示すように、一方のホルダ４２ｂは、これを取
囲むサドル７０に複数のネジ７１で固定されている。サ
ドル７０の上部にはピン孔が形成され、孔にピン７２が
挿入されている。一方、サドル７０の下部側面に、シャ
フト４１及びスプリング４７がサドル７０を挟むように
取付けられている。シャフト４１にはＣ軸駆動用モータ
４０が連結されており、モータ駆動によりシャフト４１
が突出又は退入してサドル７０がその面内で揺動するよ
うになっている。

第４図に示すように、他方のホルダ４２ａは、これを取
囲むサドル８０に複数のネジ８１で固定されている。こ
のサドル８０は、前述のＸ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構
の上に載置されている。固体撮像素子カメラ４４がアー
ム４３及び軸４５を介してサドル８０の上部及び下部に
設けられ、それぞれかＺ軸方向に移動するように設けら
れている。すなわち、焦点深度を一定にした１組のカメ
ラ４４によりマスター版２ａ、２ｂの上下レジスターマ
ーりを順次撮影・記録し、これに基づきマスター版２ａ
のＸ軸及びＹ軸座標を調節すると共に、マスター版２ｂ
のＣ軸回りのアライメントを調節し、両マスター版２ａ
、２ｂのパターンを相互に一致させるようになっている
。

第５図に示すように、本体部２７を両側がら挟むように
１組のカメラ４４及びスポット光源４６がそれぞれ配設
され、光源４６によりマスター版２ａ、２ｂのマークに
スポット光を照射し、マークをカメラ４４で撮影・記録
するようになっている。更に、１組の光源４８ａ、４８
ｂが本体部２７の両側に配設され、マスター版２ａ、２
ｂを介してワ−り５０ａ、５０ｂの感光面が露光される
ようになっている。

第６図に示すように、マスター成用のホルダ４２は、窓
６１を有する額縁状をなし、マスター版２に光が照射さ
れるようになっている。ホルダ４２は、真空ポンプ（図
示せず）に連通ずる排気管６２を有している。管６２の
開口６３は、マスター版２かホルダ４２に密着する部分
に形成されている。更に、シールゴム６４かマスター版
２の取付は部を取囲むように設けられている。第７図に
示すように、マスター版２は、原版作画機により有効面
３に所定のパターンが形成されたものであり、有効面短
辺の外側にそれぞれレジスターマーク４か付されている
。なお、マスター版２は、ガラス製であり、その片面に
のみパターン及びマークか形成されている。

第８図に示すように、ワーク用のホルダ１８は、左右対
称に形成された二つの部材６５ａ、６５ｂを張合わせた
ものである。ホルダ１８は、不透明な材料、例えば、金
属板でつくられている。部材６５ａ、６５ｂの内部には
多数の分岐通路６７がそれぞれ形成されている。通路６
７は、真空ポンプ（図示せず）に連通ずる排気管６６に
連通ずる一方、ワーク５０ａ、５０ｂの取付は面の全面
にほぼ一様に分散開口している。

次に第５図を参照しつつこの実施例の動作について説明
する。

マスター版２ａ、２ｂのそれぞれを、その有効面か内側
になるように、ホルダ４２ａ、４２ｂに真空密着により
取付ける。ホルダ４２ａ、４２ｂをＺ軸方向に移動し、
有効面を相互に密着させる。

光源４６によりスポット光を照射し、マスター版２ｂの
レジスターマーりにカメラ４４の焦点を合せ、これを撮
影・記録（記憶）する。次いて、カメラ４４を後退させ
てマスター版２ａのレジスターマークに焦点を合せ、前
回撮影時に記憶した像と実像とか一致するように、先ず
Ｃ軸回りのずれを調節する。すなわち、Ｃ軸周モータ４
ｏの駆動によりシャフト４１を突出又は退入させ、サド
ル７０をピン７２を中心としてその面内で揺動させ、マ
スター版２ａに対するマスター版２ｂの傾き（相対角度
のずれ）を修正する。次いで、Ｙ軸用及びＹ軸用のモー
タ３６，３９を駆動してマスター版２ａのマークの位置
を調整し、虚像に実像を重ね合せる。これにより両マス
ター版２ａ、２ｂのマーク４か一致する。両者の整合か
完了すると、カメラ４４及び光源４６を露光用光源４８
ａ。

４８ｂの影響を受けない待機位置へ移動する。次いで、
Ｚ軸駆動により両マスター版２ａ、２ｂを引き離し、ワ
ーク５０ａ、５０ｂをマスター版相互間の所定の位置に
搬入する。ワーク５０ａ。

５０ｂは、待機位置にて予めホルダ１８に真空密着され
ている。なお、ワ−り５０ａ、５０ｂの片面には感光材
が塗布されている。Ｚ軸駆動により両マスター版２ａ、
２ｂをワ−り５０ａ、５０ｂにそれぞれ密着させる。次
いて、露光による影響を防止するために、遮光暗幕及び
遮光テープ等（図示せず）でワーク５０ａ、５０ｂを覆
い、窓６１を除く領域を遮光する。そして、光源４８ａ
。

４８ｂにより光を照射し、ワーク５０ａ、５０ｂの感光
面に所定時間だけ露光する。露光完了後、Ｚ軸駆動によ
り両マスター版２ａ、２ｂをワーク５０ａ、５０ｂから
引き離し、ワ−り５０ａ。

５０ｂを所定距離移動し、ワーク５０ａ、５０ｂの未露
光領域をマスター版相互間に位置させる。

次いで、前回と同様に露光する。その後これを現像する
ことにより、第９図に示すように、ワーク５０か、同一
パターンの有効面５１．５２を有する多面の原稿版とな
る。

上記実施例によれば、固体撮像素子カメラ及び各軸駆動
装置を使用するので、表面用及び裏面用のマスター版の
パターンを高精度に整合することができる。

また、上記実施例によれば、マスター版及びワークをそ
れぞれ真空密着するので、取扱いが簡便であると共に、
迅速かつ確実に両面焼付けすることができる。

なお、上記実施例では、ワークを水平方向にのみ移動さ
せて多面の原稿版を製造する場合について説明したか、
これに限られることなくワークを垂直方向にも移動させ
てもよく、水平及び垂直方向にワークを移動させること
により上下左右にパターンが配列された多面の原稿版を
作製することも可能である。

［発明の効果］ この発明によれば、表裏面１対のマスター版を確実かつ
容易にアライメント操作することかできる。このため、
大型の多面原稿版を短時間で高精度に作製することがで
き、品質向上及び製造コストの低減を図ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例に係る両面焼付機の一方のマ
スタ御飯用ホルダに設けられた揺動手段を示す模式図、
第２図は両面焼付機の正面図、第３図は両面焼付機の平
面図、第４図は両面焼付機の他方のマスタ御飯用ホルダ
を示す模式図、第５図は両面焼付機を側方から見た模式
図、第６図はマスター服用のホルダを示す縦断面図、第
７図はマスター版の平面模式図、第８図はワーク用のホ
ルダを示す縦断面図、第９図は多面の原稿版を示す平面
模式図である。 ２；マスター版、１０：両面焼付機、１６．ガイドバー
、１８；ワーク用ホルダ、２２；ナツト、２４、スクリ
ュウ、２６，３２，３６，３９゜４０、モータ、２８．
３０，３４　、ヘッド、３８；スタンド、４２．マスタ
御飯用ホルダ、４４゜カメラ、４６．４８；光源、４７
．スプリング、５０；ワーク（感光部材）、６２，６６
；排気管、６４、ンールゴム、７０，８０；サドル、７
２゜ピン。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 素材の表裏面に所定パターンを形成する際に使用される
   １対の原稿版を、１対のマスター版を用いて焼付ける両
   面焼付機において、前記１対のマスター版をそれぞれ保
   持し相互に対面させる１対のホルダを有し、１対のホル
   ダは、一方のホルダをマスター版の面内で揺動させる揺
   動手段と、他方のホルダをマスター版の面内で直線的に
   平行移動させる平行移動手段と、を具備することを特徴
   とする両面焼付機。