JPH01231549A - 中継器監視方式 - Google Patents
中継器監視方式Info
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- JPH01231549A JPH01231549A JP63057878A JP5787888A JPH01231549A JP H01231549 A JPH01231549 A JP H01231549A JP 63057878 A JP63057878 A JP 63057878A JP 5787888 A JP5787888 A JP 5787888A JP H01231549 A JPH01231549 A JP H01231549A
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Landscapes
- Monitoring And Testing Of Transmission In General (AREA)
- Detection And Prevention Of Errors In Transmission (AREA)
- Dc Digital Transmission (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
多数の中継器を含む回線における中継器監視方式に関し
、 端局において位相復調回路を必要とせず、かつ主信号の
伝送に悪影響を及ぼすことなく中継器の動作監視を行い
得るようにすることを目的とし、両端局装置間に多数の
中継器を具え、パリティビットを挿入した主信号を順次
再生して中継するディジタル通信方式において、各中継
器に対する監視指示に対応して主信号のパリテイビット
に偶奇変調を施して中継器に送出するパリティ偶奇変調
手段を一方の端局装置に、該パリティ偶奇変調周期によ
って指示されたとき、監視情報に応じて主信号における
該パリティ偶奇変調周期を強制置換によってさらに変調
して他方の端局装置に対して送出するパリテイビット強
制置換手段を各中継器に、主信号のパリティ偶奇変調周
期における前記強制置換周期を検出して被指示中継器に
おける該監視情報を判別する監視手段を他方の端局装置
にそれぞれ具えて構成する。
、 端局において位相復調回路を必要とせず、かつ主信号の
伝送に悪影響を及ぼすことなく中継器の動作監視を行い
得るようにすることを目的とし、両端局装置間に多数の
中継器を具え、パリティビットを挿入した主信号を順次
再生して中継するディジタル通信方式において、各中継
器に対する監視指示に対応して主信号のパリテイビット
に偶奇変調を施して中継器に送出するパリティ偶奇変調
手段を一方の端局装置に、該パリティ偶奇変調周期によ
って指示されたとき、監視情報に応じて主信号における
該パリティ偶奇変調周期を強制置換によってさらに変調
して他方の端局装置に対して送出するパリテイビット強
制置換手段を各中継器に、主信号のパリティ偶奇変調周
期における前記強制置換周期を検出して被指示中継器に
おける該監視情報を判別する監視手段を他方の端局装置
にそれぞれ具えて構成する。
本発明は多数の中継器を含む回線における中継器監視方
式に関するものである。
式に関するものである。
光中継システム特に長距離海底中継システム等において
は、回線中に含まれる中継器を正常な動作状態に保つた
めに、各中継器の動作状態を常時監視できることが必要
である。
は、回線中に含まれる中継器を正常な動作状態に保つた
めに、各中継器の動作状態を常時監視できることが必要
である。
このような中継器の動作監視を行う中継器監視方式は、
主信号と同系統の信号を用いて主信号伝送に悪影響を及
ぼすことなく実行することができ、かつ他の変復調回路
を必要としないものであることが要望される。
主信号と同系統の信号を用いて主信号伝送に悪影響を及
ぼすことなく実行することができ、かつ他の変復調回路
を必要としないものであることが要望される。
第5図は従来の、および本発明の適用される光ディジク
ル中継回線の構成を例示したものであって、端局21.
22とその間に設けられた上り回線23、下り回線24
とからなっている。上り回!l、’A23 ハ端局装置
25、中継器26.〜26゜、端局装置27を有し、下
り回線24は端局装置28、中継器291〜29ゎ、端
局装置30を有している。
ル中継回線の構成を例示したものであって、端局21.
22とその間に設けられた上り回線23、下り回線24
とからなっている。上り回!l、’A23 ハ端局装置
25、中継器26.〜26゜、端局装置27を有し、下
り回線24は端局装置28、中継器291〜29ゎ、端
局装置30を有している。
従来このような中継回線において、各光デイジタル中継
器の動作監視をインサービス状態で行う方法としては、
各回線の主信号にパリティビットを設けて一方の端局に
おいて偶奇のパリティ変調を行い、この際のパリティ変
調周波数にベースバンドコマンドを重畳することによっ
て、中継器を制御して応答信号を送出させ、他方の端局
においてこれを受信して応答信号の内容から当該中継器
の動作状態を監視する方式が用いられている。
器の動作監視をインサービス状態で行う方法としては、
各回線の主信号にパリティビットを設けて一方の端局に
おいて偶奇のパリティ変調を行い、この際のパリティ変
調周波数にベースバンドコマンドを重畳することによっ
て、中継器を制御して応答信号を送出させ、他方の端局
においてこれを受信して応答信号の内容から当該中継器
の動作状態を監視する方式が用いられている。
この場合、中継器から他方の端局に対する応答信号の転
送をパリテイビットを用いて行うことは、i■常は中継
器内におけるパリティビット抽出のための回路規模が大
きくなるため用いられず、その代りに中継器において主
信号に位相変調をかけることによって応答信号を端局に
転送する方法が一般に用いられている。
送をパリテイビットを用いて行うことは、i■常は中継
器内におけるパリティビット抽出のための回路規模が大
きくなるため用いられず、その代りに中継器において主
信号に位相変調をかけることによって応答信号を端局に
転送する方法が一般に用いられている。
上iホした従来の方法では、端局からのコマンド送出と
中継器からの応答信号の送出とで用いられる変調方式が
異なっているため、端局において位相復調の回路が必要
となって回路規模が増大するという問題がある。
中継器からの応答信号の送出とで用いられる変調方式が
異なっているため、端局において位相復調の回路が必要
となって回路規模が増大するという問題がある。
また、位相変調によって各中継器から応答信号を送出す
る方式では、多中継伝送の場合、ジッタの累積によって
伝送特性を悪化させるという問題がある。
る方式では、多中継伝送の場合、ジッタの累積によって
伝送特性を悪化させるという問題がある。
本発明はこのような従来技術の課題を解決しようとする
ものであって、端局において位相譚調回路を必要とせず
、また主信号の伝送に悪影響を及ぼすことなく中継器の
動作監視を行うことができる。中継器監視方式を提供す
ることを目的としている。
ものであって、端局において位相譚調回路を必要とせず
、また主信号の伝送に悪影響を及ぼすことなく中継器の
動作監視を行うことができる。中継器監視方式を提供す
ることを目的としている。
本発明の中継器監視方式は、第1図にその実施例を示す
ように両端局装置間に多数の中継器を具え、パリテイビ
ットを挿入した主信号を順次再生して中継するディジク
ル通信方式において、パリティ偶奇変調手段2を一方の
端局装置に、パリティビット強制置換手段8を各中継器
に、監視手段12を他方の端局装置にそれぞれ具えたも
のである。
ように両端局装置間に多数の中継器を具え、パリテイビ
ットを挿入した主信号を順次再生して中継するディジク
ル通信方式において、パリティ偶奇変調手段2を一方の
端局装置に、パリティビット強制置換手段8を各中継器
に、監視手段12を他方の端局装置にそれぞれ具えたも
のである。
パリティ偶奇変調手段2は、各中継器に対する監視指示
に対応して主信号のパリティビットに偶奇変調を施しさ
らにパリティ変調周波数に個々の中継器のアドレスを含
むベースバンドコマンドを重畳して中継器に送出するも
のである。
に対応して主信号のパリティビットに偶奇変調を施しさ
らにパリティ変調周波数に個々の中継器のアドレスを含
むベースバンドコマンドを重畳して中継器に送出するも
のである。
パリテイビット強制置換手段8は、該パリティ偶奇変調
周期によって指示されたとき、監視情報に応して主信号
における該パリティ偶奇変調周期を強制置換によってさ
らに変調して他方の端局装置に対して送出するものであ
る。
周期によって指示されたとき、監視情報に応して主信号
における該パリティ偶奇変調周期を強制置換によってさ
らに変調して他方の端局装置に対して送出するものであ
る。
監視手段12は、主信号のパリティ偶奇変調周期におけ
る前記強制置換周期を検出して被指示中継器における該
監視情報を判別するものである。
る前記強制置換周期を検出して被指示中継器における該
監視情報を判別するものである。
両端局装置間に多数の中継器を具え、パリティビットを
挿入した主信号を順次再生して中継するディジタル通信
方式において、中継器の動作監視をインライン状態で可
能にする。
挿入した主信号を順次再生して中継するディジタル通信
方式において、中継器の動作監視をインライン状態で可
能にする。
そのために一方の端局装置において、指示された監視す
べき中継器に応じて、主信号のパリティビットに偶奇変
調を施して中継器に対して送出する。
べき中継器に応じて、主信号のパリティビットに偶奇変
調を施して中継器に対して送出する。
中継器では、受信した主信号におけるパリティ偶奇変調
周期によって指示されたことを知ったとき、所定の監視
情報に応じて主信号におけるこのパリティ偶奇変調周期
を強制置換によってさらに変調して他方の端局装置に対
して送出する。
周期によって指示されたことを知ったとき、所定の監視
情報に応じて主信号におけるこのパリティ偶奇変調周期
を強制置換によってさらに変調して他方の端局装置に対
して送出する。
他方の端局装置では、受信した主信号のパリティ偶奇変
調周期における上述の強制置換周期を検出して指示され
た中継器における監視情報を判別する。
調周期における上述の強制置換周期を検出して指示され
た中継器における監視情報を判別する。
従って本発明の中継器監視方式では、位相変調方式で応
答信号を送信する場合のように端局に位相復調回路を必
要とせず、かつ主信号の伝送に悪影響を及ぼすことなく
、中継器の動作監視を行うことができる。
答信号を送信する場合のように端局に位相復調回路を必
要とせず、かつ主信号の伝送に悪影響を及ぼすことなく
、中継器の動作監視を行うことができる。
第1図は本発明の一実施例の構成を示す図である。同図
においては一方の端局装置Aと、他方の端局装置Bおよ
び1個の中継器のみが示されているが、他の多数の中継
器も同様の構成を有しているものとする。
においては一方の端局装置Aと、他方の端局装置Bおよ
び1個の中継器のみが示されているが、他の多数の中継
器も同様の構成を有しているものとする。
端局装置Aにおいては、パリティ検出回路1にティ検出
結果に応じてブロックごとにパリティビットを挿入する
が、中継器の監視を行う場合は挿入されるパリティビッ
トを、例えば通常は偶パリティビットであるが、一定フ
レーム数ごとに奇パリティビットとするパリティ偶奇変
調を施すことによって監視指示を行う。この場合の変調
周波数は、システムの符号構成に応じて選択されるが、
中継器監視を行わない場合には、パリティ偶奇変調を行
わず、上例の場合偶パリテイビットのみを送出する。送
信回路3はこのようにして作成された信号を光信号に変
換して出力する。
結果に応じてブロックごとにパリティビットを挿入する
が、中継器の監視を行う場合は挿入されるパリティビッ
トを、例えば通常は偶パリティビットであるが、一定フ
レーム数ごとに奇パリティビットとするパリティ偶奇変
調を施すことによって監視指示を行う。この場合の変調
周波数は、システムの符号構成に応じて選択されるが、
中継器監視を行わない場合には、パリティ偶奇変調を行
わず、上例の場合偶パリテイビットのみを送出する。送
信回路3はこのようにして作成された信号を光信号に変
換して出力する。
中継器においては、受信回路4を経て光信号を受信して
電気信号に変換する。パリティ偶奇復調回路5は、受信
信号に施されているパリティ偶奇変調を復調して例えば
上例の場合、奇パリティビットごとに極性反転する周期
信号からなる復調信号を発生する。パリテイビット判定
回路6は、この復調信号における変化点の位置から、受
信信号における奇パリテイビット挿入位置を検出する。
電気信号に変換する。パリティ偶奇復調回路5は、受信
信号に施されているパリティ偶奇変調を復調して例えば
上例の場合、奇パリティビットごとに極性反転する周期
信号からなる復調信号を発生する。パリテイビット判定
回路6は、この復調信号における変化点の位置から、受
信信号における奇パリテイビット挿入位置を検出する。
−力応答信号発生回路7は、端局装置Aからの監視指示
に対して応答信号として送出すべき中継器内の監視情報
に対応して、周期の変化する強制置換パルスを発生する
。強制置換パルスの周期は、監視情報の内容に応じて複
数個設けられる。パリティビット強制置換回路8は、パ
リティビット判定回路6から示される奇パリテイビット
挿入位置のうち、応答信号発生回路7から与えられる強
制置換パルスに対応する位置において、奇パリティビッ
トを強制的に偶パリティビットに置換する。
に対して応答信号として送出すべき中継器内の監視情報
に対応して、周期の変化する強制置換パルスを発生する
。強制置換パルスの周期は、監視情報の内容に応じて複
数個設けられる。パリティビット強制置換回路8は、パ
リティビット判定回路6から示される奇パリテイビット
挿入位置のうち、応答信号発生回路7から与えられる強
制置換パルスに対応する位置において、奇パリティビッ
トを強制的に偶パリティビットに置換する。
送信回路9は、このパリティビットの置換の行われた信
号を光信号に変換して送出する。
号を光信号に変換して送出する。
端局装置Bにおいて、受信回路1oは中継器を経由して
送られた光信号を受信し電気信号に変換して出力信号を
生じる。パリティ偶奇復調回路11は受信信号における
パリティ偶奇復調を変調して、奇パリティビットごとに
極性反転する周期信号からなる復調信号を発生する。こ
の復調信号は一定周期で極性反転する周期信号中に、こ
れより長い一定周期で強制置換によって極性反転しない
部分を含んでいる。監視回路12はこの強制置換の周期
を検出することによって、中継器における応答信号の内
容を判別することができる。なおこの際、復調信号にお
ける極性反転周期に含まれる2種類のヘースパンド周期
のうち、パリティ偶奇変調変調で重畳したベースバンド
信号から監視指示を受けた中継器(と監視項目)を知り
、パリティ偶奇の強制置換で重畳したベースバンド応答
信号から応答信号すなわち被監視情報の内容を知るよう
にすることもできる。このような方法で中継器から応答
される中継器内における被監視情報としては、例えば中
継器内の受信回路における受信電力のレベル、送信回路
におけるレーザダイオードのバイアス等があるが、これ
以外にも中継器内各部の動作状態を示す電圧信号等の監
視を行うことができる。
送られた光信号を受信し電気信号に変換して出力信号を
生じる。パリティ偶奇復調回路11は受信信号における
パリティ偶奇復調を変調して、奇パリティビットごとに
極性反転する周期信号からなる復調信号を発生する。こ
の復調信号は一定周期で極性反転する周期信号中に、こ
れより長い一定周期で強制置換によって極性反転しない
部分を含んでいる。監視回路12はこの強制置換の周期
を検出することによって、中継器における応答信号の内
容を判別することができる。なおこの際、復調信号にお
ける極性反転周期に含まれる2種類のヘースパンド周期
のうち、パリティ偶奇変調変調で重畳したベースバンド
信号から監視指示を受けた中継器(と監視項目)を知り
、パリティ偶奇の強制置換で重畳したベースバンド応答
信号から応答信号すなわち被監視情報の内容を知るよう
にすることもできる。このような方法で中継器から応答
される中継器内における被監視情報としては、例えば中
継器内の受信回路における受信電力のレベル、送信回路
におけるレーザダイオードのバイアス等があるが、これ
以外にも中継器内各部の動作状態を示す電圧信号等の監
視を行うことができる。
第2図は本発明方式における中継器の具体的構成例を示
したものであって、第1図におけると同じ部分を同じ番
号で示し、パリティ偶奇復調回路5において、5.はN
R:Z−RZ変換回路、5□は分周回路、53は低域通
過フィルタ、54は波形成形回路、55は遅延回路であ
る。
したものであって、第1図におけると同じ部分を同じ番
号で示し、パリティ偶奇復調回路5において、5.はN
R:Z−RZ変換回路、5□は分周回路、53は低域通
過フィルタ、54は波形成形回路、55は遅延回路であ
る。
第3図は第2図の回路における各部信号を示し、■は受
信回路4の出力信号、■は分周器5□の出力信号、■は
低域通過フィルタ53の出力信号である。
信回路4の出力信号、■は分周器5□の出力信号、■は
低域通過フィルタ53の出力信号である。
また第4図はパリテイビット強制置換回路8の動作を説
明するものであって、(1)は受信入力信号、(2)は
強制置換パルス、(3)はパリティピッi・強制置換回
路8の出力信号である。
明するものであって、(1)は受信入力信号、(2)は
強制置換パルス、(3)はパリティピッi・強制置換回
路8の出力信号である。
受信回路4は中継線からの入力光ディジタル信号を受信
して、電気信号に変換して出力信号を生じる。この信号
は第3図■に示すように一定周期のブロック構成され、
各ブロックごとに一定位置にパリティビットを挿入され
ている。この場合のパリティビットは、前述のように端
局においてパリティ偶奇変調変調されることによって、
例えば第3図■のように偶パリテイビット中に一定周期
で奇パリティビットが挿入された形になっている。
して、電気信号に変換して出力信号を生じる。この信号
は第3図■に示すように一定周期のブロック構成され、
各ブロックごとに一定位置にパリティビットを挿入され
ている。この場合のパリティビットは、前述のように端
局においてパリティ偶奇変調変調されることによって、
例えば第3図■のように偶パリテイビット中に一定周期
で奇パリティビットが挿入された形になっている。
伝送信号としてNRZ信号が使用される場合、NRZ−
RZ変換回路51は、この信号をRZ部信号変換する。
RZ変換回路51は、この信号をRZ部信号変換する。
分周回路5□は、出力RZ部信号2分周する。分周回路
5□の出力信号は第3図■に示ずように、各ブロックが
マーク率1/2の信号における最後のパリテイビット挿
入位置において、1”または“0”が現れ、奇数バリテ
イビツ1−ごとに“1”または“O″に交互に変化する
。
5□の出力信号は第3図■に示ずように、各ブロックが
マーク率1/2の信号における最後のパリテイビット挿
入位置において、1”または“0”が現れ、奇数バリテ
イビツ1−ごとに“1”または“O″に交互に変化する
。
従ってこの信号を低域通過フィルタ53を1JTl過さ
せることによって、マーク率の変化によって、第3図■
に示すような周期的に変化する信号からなる復調信号が
生じる。復調信号は波形整形回路54において波形整形
を行われ、遅延回路5.において低域通過フィルタ53
に基づく遅延時間を補正する遅延を与えられて、パリテ
イビット判定回路6に加えられて、奇数パリティビット
挿入位置を判定される。
せることによって、マーク率の変化によって、第3図■
に示すような周期的に変化する信号からなる復調信号が
生じる。復調信号は波形整形回路54において波形整形
を行われ、遅延回路5.において低域通過フィルタ53
に基づく遅延時間を補正する遅延を与えられて、パリテ
イビット判定回路6に加えられて、奇数パリティビット
挿入位置を判定される。
応答信号発生回路7は、端局からの制御に応して送出す
べき中継器内の監視情報に対応して周期の変化する、第
4図(2)に示すような強制置換パルスを発生ずる。パ
リテイビット強制置換回路8は、パリティビット判定回
路6から示される第4図(1)に示す奇パリティビット
挿入位置のうち、強制置換パルスに対応する位置におい
て、第4図(3)に示すように奇パリテイビットを強制
的に偶パリティビットに置換する。送信回路9は、この
パリティビットの置換の行われた信号を光信号に変換し
て次位の中継器または端局Bに対して送出する。
べき中継器内の監視情報に対応して周期の変化する、第
4図(2)に示すような強制置換パルスを発生ずる。パ
リテイビット強制置換回路8は、パリティビット判定回
路6から示される第4図(1)に示す奇パリティビット
挿入位置のうち、強制置換パルスに対応する位置におい
て、第4図(3)に示すように奇パリテイビットを強制
的に偶パリティビットに置換する。送信回路9は、この
パリティビットの置換の行われた信号を光信号に変換し
て次位の中継器または端局Bに対して送出する。
以上説明したように本発明の中継器監視方式によれば、
光デイジタル中継器等において、端局から中継器に対す
る監視制御と、中継器から端局に対する応答とを主信号
のパリティビットを用いて行うようにしたので、主信号
の伝送に悪影響を及ぼすことがなく、また他の変復調回
路を必要とすることなく、中継器の動作監視を行うこと
ができる。
光デイジタル中継器等において、端局から中継器に対す
る監視制御と、中継器から端局に対する応答とを主信号
のパリティビットを用いて行うようにしたので、主信号
の伝送に悪影響を及ぼすことがなく、また他の変復調回
路を必要とすることなく、中継器の動作監視を行うこと
ができる。
第1図は本発明の、実施例の構成を示す図、第2図は本
発明方式における中継器の具体的構成例を示す図、 第3図は第2図の回路における各部信号を示す図、 第4図はパリテイビット強制置換回路の動作を説明する
図、 第5図は従来のおよび本発明が適用される光デイジタル
中継回線の構成例を示す図である。 1・・・パリティ検出回路 2・・・パリティ偶奇変調回路 3.9・・・送信回路 4.10・・・受信回路 5.11・・・パリティ偶奇復調回路 6・・・パリテイビット判定回路 7・・・応答信号発生回路 8・・・パリテイビット強制置換回路 12・・・監視回路 特許出願人 富 士 通 株式会社 代理人 弁理士 玉 蟲 久五部 (外1名) ○ OO
発明方式における中継器の具体的構成例を示す図、 第3図は第2図の回路における各部信号を示す図、 第4図はパリテイビット強制置換回路の動作を説明する
図、 第5図は従来のおよび本発明が適用される光デイジタル
中継回線の構成例を示す図である。 1・・・パリティ検出回路 2・・・パリティ偶奇変調回路 3.9・・・送信回路 4.10・・・受信回路 5.11・・・パリティ偶奇復調回路 6・・・パリテイビット判定回路 7・・・応答信号発生回路 8・・・パリテイビット強制置換回路 12・・・監視回路 特許出願人 富 士 通 株式会社 代理人 弁理士 玉 蟲 久五部 (外1名) ○ OO
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 両端局装置間に多数の中継器を具え、パリテイビットを
挿入した主信号を順次再生して中継するディジタル通信
方式において、 各中継器に対する監視指示に対応して主信号のパリテイ
ビットに偶奇変調を施して中継器に送出するパリテイ偶
奇変調手段(2)を一方の端局装置に、該パリテイ偶奇
変調周期によつて指示されたとき、監視情報に応じて主
信号における該パリテイ偶奇変調周期を強制置換によつ
てさらに変調して他方の端局装置に対して送出するパリ
テイビット強制置換手段(8)を各中継器に、 主信号のパリテイ偶奇変調周期における前記強制置換周
期を検出して被指示中継器における該監視情報を判別す
る監視手段(12)を他方の端局装置にそれぞれ具えた
ことを特徴とする中継器監視方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5787888A JP2711670B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 中継器監視方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5787888A JP2711670B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 中継器監視方式 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01231549A true JPH01231549A (ja) | 1989-09-14 |
JP2711670B2 JP2711670B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=13068240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5787888A Expired - Lifetime JP2711670B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 中継器監視方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2711670B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03205938A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-09-09 | Fujitsu Ltd | 光信号中継伝送制御方式 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0258217A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 金属膜の形成方法 |
JPH02308526A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-21 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH03205830A (ja) * | 1990-01-06 | 1991-09-09 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び多結晶ゲルマニウムの製造方法 |
JPH04221821A (ja) * | 1990-12-25 | 1992-08-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP5787888A patent/JP2711670B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0258217A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 金属膜の形成方法 |
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JPH03205830A (ja) * | 1990-01-06 | 1991-09-09 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び多結晶ゲルマニウムの製造方法 |
JPH04221821A (ja) * | 1990-12-25 | 1992-08-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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---|---|---|---|---|
JPH03205938A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-09-09 | Fujitsu Ltd | 光信号中継伝送制御方式 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2711670B2 (ja) | 1998-02-10 |
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