JPH01216551A - 半導体基板の収納保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体の製造に用いる半導体基板の収納保管装
置に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体基板の収納保管装置には、ゴミの付着を防
止するためのエアー・フロー装置は設けられているもの
の、収納保管室内の温度、湿度。

圧力等を常時適正に制御することは行なわれていなかっ
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述した従来の収納保管装置は、温度、
湿度および気圧の制御の機能を持たないので、目合せ前
のレジスト塗布後の半導体基板では保管中にレジスト膜
が劣化するという不都合を生じる。

本発明の目的は、上記の情況に鑑み、レジスト塗布後の
半導体基板にレジスト膜劣化を生じる等のことなき半導
体基板の収納保管装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、半導体基板収納保管室と、前記半導体
基板収納保管室の室内温度、湿度および気圧を測定する
それぞれの計測手段と、前記計測手段の出力データに基
づき前記室内の温度、湿度および気圧をそれぞれ規定値
内に保持する制御手段とを含んで構成される。

〔実施例〕

以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す半導体基板の収納保管
装置の斜視構造図である０本実施例によれば、本発明半
導体基板の収納保管装置は、半導体基板収納キャリア９
を収納する半導体基板収納保管室１０と、密開用扉８と
、半導体基板収納保管室１０内の温度、湿度および気圧
をそれぞれ計測する温度、湿度および気圧の各計測部１
．２および３と、計測部１．２および３の計測データを
基にそれぞれ作動する温度、湿度および気圧の各コント
ローラ４，５および６と、コントローラ４．５および６
によりそれぞれ制御され半導体基板収納保管室１０の温
度、湿度および気圧を常に規定値に保持する温度、湿度
および気圧の補正制御部７とを含む。本実施例から明ら
かなように、本発明によれば、半導体基板収納保管室内
の温度、湿度および気圧を常に計測し、これらのデータ
を基に常に適正値にコントロールする手段を備えるので
、塗布したレジスト膜等に劣化を生じることなく、極め
て良好な管理状態で半導体ウェハーを保管することが可
能である０以上は一つの実施例について説明したが、本
発明の要旨を逸脱しない限り上記実施例に関わりなく構
造の設定は自由である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、半導体基板の保
管室内が常に規定された一定の温度、湿度および気圧に
保持されるので、レジスタ膜等の劣化が防止される。

従って、集積度が著しく高密度となった最近の半導体装
置の製造に実施すれば、その生産歩留りの向上に顕著な
効果をあげることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す半導体基板収納保管装
置の斜視構造図である。 １・・・温度計測部、２・・・湿度計則部、３・・・圧
力計測部、４・・・温度コントローラ、５・・・湿度コ
ントローラ、６・・・気圧コントローラ、７・・・温度
、湿度および気圧の補正制御部、８・・・密開扉、９・
・・半導体基板収納キャリア、１０・・・半導体基板収
納保管室。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体基板収納保管室と、前記半導体基板収納保管室
   の室内温度、湿度および気圧を測定するそれぞれの計測
   手段と、前記計測手段の出力データに基づき前記室内の
   温度、湿度および気圧をそれぞれ規定値内に保持する制
   御手段とを含むことを特徴とする半導体基板の収納保管
   装置。