KR102664998B1 - 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판이 로딩 또는 언로딩되는 인덱스 모듈; 상기 인덱스 모듈로 로딩된 상기 기판에 대하여 기판 처리를 수행하는 처리 모듈; 상기 인덱스 모듈과 상기 처리 모듈 사이에 배치되는 버퍼 챔버; 및 상기 기판 처리 설비의 내부의 특정 위치에서의 압력과, 기준이 되는 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치를 포함하고, 상기 차압 측정 장치는 상기 기판 처리 설비의 외부에 제공되는 기판 처리 설비에 관한 것이다.

Description

차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비{DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE AND SUBSTRATE TREATING EQUIPMENT INCLUDING THE SAME}
본 발명의 실시예는 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비에 관한 것이다.
최근 기판 상의 패턴의 미세화 및 고집적화됨에 따라, 반도체 제조 설비 내부의 압력 및 기류 관리의 중요성이 높아지고 있다. 특히, 외부 파티클의 유입을 방지하고, 반도체 제조 설비 내부에서 발생되는 파티클을 효과적으로 배출하기 위하여 반도체 제조 설비 내주의 기류에 대한 관리 및 조정이 필요하다. 반도체 제조 설비 내부의 기류의 경우, 반도체 제조 설비 내부의 압력을 제조 설비 외부의 압력보다 높게 유지되도록 관리한다. 또한, 반도체 제도 설비 내주 장치 간 압력의 차이가 일정한 차압을 유지하도록 함으로써 반도체 제조 설비 내부의 기류를 조정할 수 있다.
설비 내 차압 모니터링 및 차압의 제어에 있어서, 차압 측정의 기준이 되는 기준 압력이 일정하도록 제어하는 것이 중요하다. 일반적으로, 기준 압력은 설비 외부의 특정 위치에서의 측정 압력으로 제공된다. 그러나, 기준 압력 측정 포트는 설비 외부에는 반도체 제조 라인 상부에서 지속적으로 공급되는 하강기류와, 피이송체를 이송하는 이송 수단 등에 의하여 영향을 받게 되고, 이에 따라 기준 압력 헌팅 현상이 발생되는 문제가 있다.
또한, 기준 압력이 헌팅됨에 따라 설비 내의 정확한 차압을 측정할 수 없게 되어 차압의 관리가 어려운 문제가 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 정확한 차압을 측정할 수 있는 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면 차압 측정의 기준이 되는 기준 압력의 헌팅을 방지할 수 있는 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면 기준 압력 측정 포트에 가해지는 환경적, 인위적 영향을 최소화할 수 있는 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예는 기판 처리 설비를 개시한다. 기판 처리 설비는 기판이 로딩 또는 언로딩되는 인덱스 모듈; 상기 인덱스 모듈로 로딩된 상기 기판에 대하여 기판 처리를 수행하는 처리 모듈; 상기 인덱스 모듈과 상기 처리 모듈 사이에 배치되는 버퍼 챔버; 및 상기 기판 처리 설비의 내부의 특정 위치에서의 압력과, 기준이 되는 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치를 포함하고, 상기 차압 측정 장치는 상기 기판 처리 설비의 외부에 제공될 수 있다.
상기 차압 측정 장치는, 제1박스 유닛; 상기 제1박스 유닛 위에 제공되는 제2박스 유닛; 및 상기 제2박스 유닛 내부에 제공되는 제3박스 유닛을 포함하고, 상기 제1박스 유닛은, 복수의 측판 중 일 측판에 제공되며 상기 특정 위치와 제1연결 라인에 의해 연결되는 차압 포트와, 상기 복수의 측판 중 타 측판에 제공되며 상기 기준 위치와 제2연결 라인에 의해 연결되는 기준 차압 포트를 포함할 수 있다.
상기 제1박스 유닛과 상기 제2박스 유닛 각각은 내부 공간을 가지되, 상기 내부 공간이 밀폐되도록 제공될 수 있다.
상기 제1박스 유닛은, 상기 제1박스 유닛의 내부에 제공되는 차압 보드와 기준 차압 보드를 포함하고, 상기 차압 보드는 상기 제1연결 라인과 연결되어 상기 특정 위치에서의 압력을 측정하고, 상기 기준 차압 보드는 상기 제2연결 라인과 연결되어 상기 기준 위치에서의 압력을 측정할 수 있다.
상기 기준 위치는 상기 제3박스 유닛의 내부일 수 있다.
상기 제3박스 유닛은 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제1측판과 제2측판과, 상기 제1측판에 제공되는 제1포트와, 상기 제2측판에 제공되는 제2포트를 포함하고, 상기 제3박스 유닛의 상기 제1측판은 상기 제2박스 유닛의 복수의 측판 중 일 측판과 접촉되도록 제공되며, 상기 제3박스 유닛의 상기 제2측판은 상기 제2박스 유닛의 상기 복수의 측판과 이격되도록 제공되고, 상기 제3박스 유닛의 내부 공간은 상기 제2측판의 상기 제2포트에 의해 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통될 수 있다.
상기 제3박스 유닛의 상기 제1포트는 상기 제1측판과 상기 제2박스 유닛의 상기 일 측판을 관통하여 형성되고, 상기 제1포트는 상기 제2연결 라인과 연결될 수 있다.
상기 기판 처리 설비는 제어기를 포함하고, 상기 제어기는 상기 차압 보드에서 측정된 상기 특정 위치에서의 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정된 상기 기준 위치에서의 압력의 차이가 일정하게 유지되도록 제어할 수 있다.
상기 기준 위치에서의 압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력으로 제공되며, 상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력과, 상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력 차는 0일 수 있다.
상기 차압 측정 장치는 상기 버퍼 챔버의 위에 제공될 수 있다.
상기 차압 측정 장치는 상기 버퍼 챔버의 상면 중 중앙 영역에 제공될 수 있다.
상기 차압 측정 장치는, 상기 기판 처리 설비가 제공되는 공간의 천장면에 제공되며, 피반송체를 반송하는 반송 레일과 중첩되지 않는 위치에 제공될 수 있다.
상기 차압 측정 장치는 상기 기준 위치가 주변 환경에 의해 영향을 받지 않는 위치에 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예는 특정 위치에서의 제1압력과 기준 위치에서의 제2압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치를 개시한다. 차압 측정 장치는 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제1박스 유닛; 상기 제1박스 유닛의 위에 배치되며, 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제2박스 유닛; 및 상기 제2박스 유닛 내부에 제공되며 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통되는 내부 공간을 가지는 제3박스 유닛을 포함하고, 상기 제2압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력일 수 있다.
상기 제1박스 유닛은, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제1압력을 측정하는 차압 보드와, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제2압력을 측정하는 기준 차압 보드를 포함할 수 있다.
상기 제1박스 유닛의 측판에는 상기 특정 위치와 상기 차압 보드를 연결하는 제1연결 라인이 접속되는 차압 포트와, 상기 기준 위치와 상기 기준 차압 보드를 연결하는 제2연결 라인이 접속되는 기준 차압 포트를 포함할 수 있다.
상기 제3박스 유닛은 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제1측판과 제2측판과, 상기 제1측판에 제공되는 제1포트와, 상기 제2측판에 제공되는 제2포트를 포함하고, 상기 제3박스 유닛의 상기 제1측판은 상기 제2박스 유닛의 복수의 측판 중 일 측판과 접촉되도록 제공되며, 상기 제3박스 유닛의 상기 제2측판은 상기 제2박스 유닛의 상기 복수의 측판과 이격되도록 제공되고, 상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간은 상기 제2측판의 상기 제2포트에 의해 상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간과 연통되고, 상기 제2연결 라인은 상기 제3박스 유닛의 상기 제1포트에 접속될 수 있다.
상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력과, 상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력 차는 0일 수 있다.
본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 설비를 개시한다. 기판 처리 설비는 기판을 로딩 또는 언로딩하는 인덱스 모듈; 상기 인덱스 모듈로 로딩된 상기 기판에 대하여 기판 처리를 수행하되, 상기 기판에 대하여 서로 다른 처리를 수행하는 복수의 공정 챔버를 포함하는 처리 모듈; 상기 인덱스 모듈과 상기 처리 모듈 사이에 배치되는 버퍼 챔버; 상기 버퍼 챔버의 상부에 배치되며, 상기 공정 챔버 내부의 압력과 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치; 및 제어기를 포함하고, 상기 차압 측정 장치는, 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제1박스 유닛; 상기 제1박스 유닛의 위에 배치되며, 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제2박스 유닛; 및 상기 제2박스 유닛 내부에 제공되며 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통되는 내부 공간을 가지는 제3박스 유닛을 포함하고, 상기 기준 위치에서의 압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력일 수 있다.
상기 복수의 공정 챔버는 상기 기판에 대하여 액 처리가 수행되는 제1공정 챔버와, 상기 기판에 대하여 열 처리가 수행되는 제2공정 챔버를 포함하고, 상기 제1박스 유닛은, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제1공정 챔버 내부의 압력을 측정하는 제1차압 보드, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제2공정 챔버 내부의 압력을 측정하는 제2차압 보드, 및 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 기준 압력을 측정하는 기준 차압 보드를 포함하고, 상기 제어기는 상기 제1차압 보드에서 측정된 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정되는 기준 압력의 차이가 제1차압으로 유지되도록 제어하고, 상기 제2차압 보드에서 측정된 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정되는 압력의 차이가 제2차압으로 유지되도록 제어하되, 상기 제1차압과 상기 제2차압은 서로 다른 차압으로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 정확한 차압을 측정할 수 있는 차압 측정 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비를 제공할 수 있다.
또한, 차압 측정의 기준이 되는 기준 압력의 헌팅을 방지할 수 있다.
또한, 기준 압력 측정 포트에 가해지는 환경적, 인위적 영향을 최소화할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 도포 블록 또는 현상 블록을 보여주는 기판 처리 설비의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 4는 도 3의 반송 챔버에 제공되는 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적을 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다.
도 7은 도 3의 액 처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 차압 측정 장치의 사시도이다.
도 9는 도 8의 차압 측정 장치의 정면도이다.
도 10은 도 8의 차압 측정 장치의 분해 사시도이다.
도 11은 도 8의 차압 측정 장치의 단면도이다.
도 12는 도 11의 차압 보드의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 차압 측정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 실시예의 장치는 원형 기판에 대해 사진 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 장치는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않고, 기판을 회전시키면서 기판에 처리액을 공급하는 다양한 종류의 공정에 사용될 수 있다. 아래에서는 기판으로 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.
이하에서는, 도 1 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 도포 블록 또는 현상 블록을 보여주는 기판 처리 설비의 단면도이고, 도 3은 도 1의 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비(10)는 인덱스 모듈(100, Index module), 처리 모듈(300, Treating module) 및 인터페이스 모듈(400, Interface module)을 포함할 수 있다. 일 예에 의하면, 인덱스 모듈(100), 처리 모듈(300) 및 인터페이스 모듈(400)은 순차적으로 일렬로 배치될 수 있다. 이라, 인덱스 모듈(100), 처리 모듈(300) 및 인터페이스 모듈(400)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라고 하며, 제1방향(12) 및 제2방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3방향(16)이라고 한다.
인덱스 모듈(100)은 기판(W)이 수납된 용기(F)로부터 기판(W)을 처리 모듈(300)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(F)로 수납할 수 있다. 인덱스 모듈(100)의 길이 방향은 제2방향(14)으로 제공될 수 있다. 인덱스 모듈(100)은 로드포트(110)와 인덱스 프레임(130)을 포함할 수 있다. 로드 포트(110)는 인덱스 프레임(130)에 결합될 수 있다. 로드포트(110)는 인덱스 프레임(130)의 일측면에 결합될 수 있다. 로드 포트(110)는 인덱스 프레임(130)을 기준으로 처리 모듈(300)의 반대 측에 배치될 수 있다. 복수의 기판(W)이 수납되는 용기(F)는 로드포트(110)에 놓일 수 있다. 로드포트(110)는 복수의 로드포트(110)를 포함할 수 있다. 복수의 로드포트(110)는 제2방향(14)을 따라 배치될 수 있다. 복수의 로드포트(110)는 인덱스 프레임(130)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다.
용기(F)는 밀폐용 용기로 제공될 수 있다. 예를 들어, 용기(F)는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod, FOUP)로 제공될 수 있다. 용기(F)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer, OHT), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(110)에 놓일 수 있다.
인덱스 프레임(130)은 로드 포트(110)에 놓인 용기(F)와 처리 모듈(300) 간에 기판(W)을 반송할 수 있다. 인덱스 프레임(130)은 인덱스 로봇(132)과 가이드 레일(134)을 포함할 수 있다. 가이드 레일(134)은 인덱스 프레임(130)의 내부에 제공되며, 길이 방향이 제2방향(14)으로 제공될 수 있다. 가이드 레일(134)의 길이 방향은 인덱스 프레임(130)의 길이 방향과 동일한 방향일 수 있다. 인덱스 로봇(132)은 가이드 레일(134) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 예를 들어, 인덱스 로봇(132)은 가이드 레일(134)을 따라 제2방향으로 이동될 수 있다. 인덱스 로봇(132)은 기판(W)이 놓이는 핸드(1321)를 포함할 수 있다. 핸드(1321)는 가이드 레일(134)의 길이 방향으로의 축을 기준으로 전진 이동 및 후진 이동할 수 있다. 또한, 핸드(1321)은 제3방향(16)을 축으로 한 회전이 가능할 수 있다. 도한, 핸드(1321)은 제3방향(16)을 따라 이동이 가능할 수 있다.
처리 모듈(300)은 기판(W)에 대하여 도포 공정과 현상 공정을 수행할 수 있다. 처리 모듈(300)은 도포 블록(300a)과 현상 블록(300b)를 포함할 수 있다. 도포 블록(300a)는 기판(W)에 대하여 도포 공정을 수행할 수 있다. 현상 블록(300b)은 기판(W)에 대하여 현상 공정을 수행할 수 있다. 도포 블록(300a)은 복수의 도포 블록(300a)으로 제공될 수 있다. 복수의 도포 블록(300a)은 서로 적층되게 제공될 수 있다. 현상 블록(300b)은 복수의 현상 블록(300b)을 포함할 수 있다. 복수의 현상 블록(300b)은 서로 적층되게 제공될 수 있다. 또한, 도포 블록(300a)과 현상 블록(300b)은 서로 적층될 수 있다. 일 예로, 복수의 도포 블록(300a)과 복수의 현상 블록(300a)은 적층될 수 있다. 또 다른 예로, 1개의 도포 블록(300a)과 1개의 현상 블록(300b)은 교대로 적층될 수 있다. 도 2의 실시예를 참조하면, 도포 블록(300a)과 현상 블록(300b)은 각각 2개의 도포 블록(300a)과 2개의 현상 블록(300b)을 포함할 수 있다. 또한 2개의 도포 블록(300a)은 2개의 현상 블록(300b) 아래에 배치될 수 있다.
복수의 도포 블록(300a)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 복수의 현상 블록(300b)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.
도 3을 참조하면, 도포 블록(300a)은 열처리 챔버(320), 반송 챔버(340), 액 처리 챔버(360) 및 버퍼 챔버(380)를 포함할 수 있다. 열 처리 챔버(320)는 기판(W)에 대하여 열처리 공정을 수행할 수 있다. 열처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액 처리 챔버(360)에서는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액막을 형성할 수 있다. 액막은 포토레지스트막 또는 반사 방지막일 수 있다. 반송 챔버(340)는 도포 블록(300a) 내에서 열처리 챔버(320)와 액 처리 챔버(360) 간에 기판(W)을 반송할 수 있다.
반송 챔버(340)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(340)는 반송 로봇(342)과 가이드 레일(346)을 포함할 수 있다. 가이드 레인(346)은 반송 챔버(340) 내에 제공될 수 있다. 가이드 레일(346)은 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 제공될 수 있다. 가이드 레일(346)은 반송 챔버(340)의 길이 방향과 동일한 길이 방향을 가질 수 있다. 반송 로봇(342)은 열처리 챔버(320), 액처리 챔버(360) 및 버퍼 챔버(380) 간에 기판을 반송할 수 있다. 반송 로봇(342)는 가이드 레일(346) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 로봇(342)은 기판(W)이 놓이는 핸드(344)를 가질 수 있다. 핸드(344)는 반송 챔버(340)는 가이드 레일(346)의 길이 방향으로의 축을 기준으로 전진 이동 및 후진 이동할 수 있다. 또한, 핸드(344)는 제3방향(16)을 축으로 한 회전이 가능하게 제공될 수 있다. 또한, 핸드(344)는 제3방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.
도 4는 도 3의 반송 챔버에 제공되는 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 반송 로봇(342)의 핸드(344)는 베이스(3442)와 지지 돌기(3444)를 포함할 수 있다. 베이스(3442)는 원주의 일부가 절단된 환형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(3442)는 기판(W)의 직경보다 큰 내경을 가질 수 있다. 지지 돌기(3444)는 베이스(3442)로부터 내측으로 돌출될 수 잇다. 지지 돌기(3444)는 복수의 지지 돌기(3444)를 포함할 수 있다. 복수의 지지 돌기(3444)는 서로 이격될 수 있다. 복수의 지지 돌기(3444)는 기판(W)의 가장자리 영역을 지지할 수 있다. 일 예에 의하면, 지지 돌기(3444)는 등간격으로 4개가 제공될 수 있다.
열처리 챔버(320)은 복수 개로 제공될 수 있다. 복수의 열처리 챔버(320)는 제1방향(12)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 열처리 챔버(320)는 반송 챔버(340)의 일측에 배치될 수 있다. 복수의 열처리 챔버(320) 중 일부는 인덱스 모듈(100)과 인접한 위치에 제공될 수 있다. 이하, 이들 열처리 챔버(320)들을 전단 열처리 챔버(3202)라고 칭할 수 있다. 복수의 열처리 챔버(320) 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(400)과 인접한 위치에 제공될 수 있다. 이하, 이들 열처리 챔버(320)들을 후단 열처리 챔버(3204)라고 칭할 수 있다. 전단 열처리 챔버(3202)와 후단 열처리 챔버(3204)에서는 기판(W)에 대하여 열처리 공정이 수행될 수 있다. 전단 열처리 챔버(3202)와 후단 열처리 챔버(3204)는 동일한 구조로 제공될 수 있다.
도 5는 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적을 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 열처리 챔버(320)는 하우징(321), 냉각 유닛(322), 가열 유닛(323) 및 반송 플레이트(324)를 포함할 수 있다.
하우징(321)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공될 수 있다. 하우징(321)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성될 수 있다. 반입구는 개방된 상태로 유지될 수 있다. 선택적으로 반입구를 개폐하는 도어(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 냉각 유닛(322), 가열 유닛(323), 그리고 반송 플레이트(324)는 하우징(321) 내에 제공될 수 있다. 냉각 유닛(322) 및 가열 유닛(323)은 제2방향(14)을 따라 나란히 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 냉각 유닛(322)은 가열 유닛(323)에 비해 반송 챔버(3400)에 더 가깝게 위치될 수 있다.
냉각 유닛(322)은 냉각판(3222)을 포함할 수 있다. 냉각판(3222)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 냉각판(3222)에는 냉각 부재(3224)가 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 냉각 부재(3224)는 냉각판(3222)의 내부에 형성되며, 냉각 유체가 흐르는 유로로 제공될 수 있다.
가열 유닛(323)은 가열판(3231), 히터(3233) 및 커버(3235)를 가질 수 있다. 가열판(3231)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 가열판(3231)은 기판(W)보다 큰 직경을 가질 수 있다. 가열판(3231)에는 히터(3233)가 설치될 수 있다. 히터(3233)는 전류가 인가되는 발열 저항체로 제공될 수 있다. 가열판(3231)에는 제3방향(16)을 따라 상하 방향으로 구동 가능한 리프트 핀(3239)들이 제공될 수 있다. 리프트 핀(3239)은 외부의 반송 수단으로부터 기판(W)을 인수받아 가열판(3231) 상에 내려놓거나 가열판(3231)으로부터 기판(W)을 들어올려 가열 유닛(3231) 외부의 반송 수단으로 인계할 수 있다. 일 예에 의하면, 리프트 핀(3239)은 3개가 제공될 수 있다. 커버(3235)는 내부에 하부가 개방된 공간을 가질 수 있다. 커버(3235)는 가열판(3231)의 상부에 위치되며 구동기(3237)에 의해 상하 방향으로 이동될 수 있다. 커버(3235)가 가열판(3231)에 접촉되면, 커버(3235)와 가열판(3231)에 의해 둘러싸인 공간은 기판(W)을 가열하는 가열 공간으로 제공될 수 있다.
반송 플레이트(324)는 대체로 원판 형상을 제공되고, 기판(W)과 대응되는 직경을 가질 수 있다. 반송 플레이트(340)에는 슬릿 형상의 가이드 홈(3242)이 형성될 수 있다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(340)의 끝단에서 반송 플레이트(340)의 내부까지 연장되어 형성될 수 있다. 가이드 홈(3242)은 그 길이 방향이 제2방향(14)으로 형성될 수 있다. 가이드 홈(3242)는 복수의 가이드 홈(3242)을 포함할 수 있다. 복수의 가이드 홈(3242)은 제1방향(12)으로 서로 이격되게 위치될 수 있다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(340)와 가열 유닛(323) 간에 기판(W)의 인수인계가 이루어질 때 반송 플레이트(324)와 리프트 핀(3239)이 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다.
반송 플레이트(324)의 가장자리에는 노치(3244)가 형성될 수 있다. 노치(3244)는 상술한 반송 로봇(342)의 핸드(344)에 형성된 돌기(3444)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 또한, 노치(3244)는 핸드(344)에 형성된 돌기(3444)와 대응되는 수로 제공될 수 있다. 또한, 노치(3244)는 핸드(344)에 형성되는 돌기(3444)와 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 핸드(344)와 반송 플레이트(340)가 상하 방향으로 정렬된 위치에서 핸드(344)와 반송 플레이트(340) 간에 기판(W)의 전달이 이루어질 수 있다. 노치(3244)는 복수의 노치(3244)를 포함할 수 있다. 복수의 노치(3244)는 반송 플레이트(324)의 가장자리를 따라 서로 이격되게 배치될 수 있다. 복수의 노치(3244)는 상술한 가이드 홈(3242)과 중첩되지 않은 위치에 형성될 수 있다. 일 예로, 하나의 가이드 홈(3242)는 2개의 노치(3244) 사이에 형성될 수 있다. 일 예로, 하나의 노치(3244)는 2개의 가이드 홈(3242) 사이에 형성될 수 있다.
열처리 챔버(320)은 내부에 제공되는 가이드 레일(3246)을 포함할 수 있다. 가이드 레일(3246)은 그 길이 방향이 제2방향(14)을 가질 수 있다. 반송 플레이트(340)는 가이드 레일(3246) 상에 장착될 수 있다. 반송 플레이트(340)은 구동기(3288)에 의해 가이드 레일(3246)을 따라 이동될 수 있다. 반송 플레이트(340)는 가이드 레일(3246)을 따라 이동하면서 기판(W)을 냉각 유닛(322)과 가열 유닛(323) 간에 반송할 수 있다. 반송 플레이트(340)를 가이드 레일(3246)을 따라 냉각판(3222)의 상부 영역과 가열판(3231)의 상부 영역을 이동할 수 있다.
기판(W)의 가열은 기판(W)이 가열판(3231) 상에 직접 놓인 상태에서 이루어지고, 기판(W)의 냉각은 기판(W)이 놓인 반송 플레이트(324)가 냉각판(3222)에 접촉된 상태에서 이루어질 수 있다. 냉각판(3222)과 기판(W) 간에 열전달이 잘 이루어지도록 반송 플레이트(324)는 열전달율이 높은 재질로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 플레이트(324)은 금속 재질로 제공될 수 있다.
열처리 챔버(320)들 중 일부의 열처리 챔버에 제공된 가열 유닛(323)은 기판(W)의 가열 중에 가스를 공급하여 포토레지스트의 기판(W) 부착률을 향상시킬 수 있다. 일 예에 의하면, 가스는 헥사메틸디실란(hexamethyldisilane) 가스일 수 있다.
액처리 챔버(360)는 복수 개로 제공될 수 있다. 복수의 액처리 챔버(360) 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 복수의 액 처리 챔버(360)는 반송 챔버(340)의 일측에 배치될 수 있다. 복수의 액 처리 챔버(360)는 제1방향(12)을 따라 나란히 배열될 수 있다. 복수의 액 처리 챔버(360) 중 일부는 인덱스 모듈(100)과 인접한 위치에 제공될 수 있다. 이하, 이들 액처리 챔버를 전단 액처리 챔버(3602)(front liquid treating chamber)라 칭할 수 있다. 복수의 액 처리 챔버(360) 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(400)과 인접한 위치에 제공될 수 있다. 이하, 이들 액처리 챔버를 후단 액처리 챔버(3604)(rear heat treating chamber)라 칭할수 있다.
전단 액처리 챔버(3602)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액처리 챔버(3604)는 기판(W) 상에 제2액을 도포할 수 있다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트로 제공될 수 있다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사 방지막일 수 있다. 이 경우, 반사 방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.
도 7은 도 3의 액 처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 7을 참조하면, 액 처리 챔버(360)는 하우징(361), 컵(363), 기판 지지 유닛(365), 그리고 액 공급 유닛(369)를 포함할 수 있다. 하우징(361)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공될 수 있다. 하우징(361)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성될 수 있다. 반입구는 도어(도시되지 않음)에 의해 개폐될 수 있다. 컵(363), 기판 지지 유닛(365), 그리고 액 공급 유닛(369)는 하우징(361) 내에 제공될 수 있다. 하우징(361)의 상벽에는 하우징(361) 내에 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛(367)이 제공될 수 있다. 컵(363)은 상부가 개방된 처리 공간을 가질 수 있다. 지지 유닛(365)은 처리 공간 내에 배치되며, 기판(W)을 지지할 수 있다. 지지 유닛(365)은 액 처리 도중에 기판(W)이 회전 가능하도록 제공될 수 있다. 액 공급 유닛(369)은 지지 유닛(365)에 지지된 기판(W)으로 액을 공급할 수 있다.
버퍼 챔버(380)는 복수 개로 제공될 수 있다. 복수의 버퍼 챔버(380) 중 일부는 인덱스 모듈(100)과 반송 챔버(340) 사이에 배치될 수 있다. 이하, 이들 버퍼 챔버(380)를 전단 버퍼(3802)(front buffer)라 칭한다. 전단 버퍼(3802)는 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 배치될 수 있다. 복수의 버퍼 챔버(380) 중 다른 일부는 반송 챔버(340)와 인터페이스 모듈(400) 사이에 배치될 수 있다. 이하. 이들 버퍼 챔버(380)를 후단 버퍼(3804)(rear buffer)라 칭할 수 있다. 후단 버퍼(3804)는 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 배치될 수 있다. 전단 버퍼(3802)들 및 후단 버퍼(3804)둘 각각은 복수의 기판(W)을 일시적으로 보관할 수 있다. 전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)은 인덱스 로봇(132) 및 반송 로봇(342)에 의해 반입 또는 반출될 수 있다. 후단 버퍼(3804)에 보관된 기판(W)은 반송 로봇(342) 및 제1로봇(442)에 의해 반입 또는 반출될 수 있다. 버퍼 챔버(3802, 3804)들 각각은 기판의 공정 처리 전과 공정 처리 후에 기판을 일시적으로 보관하며, 기판을 냉각할 수 있는 냉각 유닛(미도시)으로 제공될 수 있다. 냉각 유닛은 복수의 냉각 플레이트(Wafer Cooling Plate, WCP)가 상하 방향으로 적층되게 제공될 수 있다. 냉각 유닛은 도포 모듈(300a) 및 현상 모듈(300b) 각각에 대응되게 위치되도록 복수 개로 제공될 수 있다.
현상 블럭(300b)은 열처리 챔버(320), 반송 챔버(340), 그리고 액처리 챔버(360)를 가질 수 있다. 현상 블럭(300b)의 열처리 챔버(320), 그리고 반송 챔버(340)는 도포 블럭(300a)의 열처리 챔버(320), 그리고 반송 챔버(340)와 대체로 유사한 구조 및 배치로 제공되므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
현상 블록(300b)에서 액처리 챔버(360)들은 모두 동일하게 현상액을 공급하여 기판을 현상 처리하는 현상 챔버로 제공될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 인터페이스 모듈(400)은 처리 모듈(300)을 외부의 노광 장치(500)와 연결할 수 있다. 인터페이스 모듈(400)은 인터페이스 프레임(410), 부가 공정 챔버(420), 인터페이스 버퍼(430), 그리고 반송 부재(440)를 포함할 수 있다.
인터페이스 프레임(410)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(420), 인터페이스 버퍼(430), 그리고 반송 부재(440)는 인터페이스 프레임(410)의 내부에 배치될 수 있다. 부가 공정 챔버(420)는 도포 블럭(300a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(500)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(420)는 노광 장치(500)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블럭(300b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정 공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(420)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(420)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(420)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.
인터페이스 버퍼(430)는 도포 블럭(300a), 부가 공정 챔버(420), 노광 장치(500), 그리고 현상 블럭(300b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송 도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공할 수 있다. 인터페이스 버퍼(430)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼(430)들은 서로 적층되게 제공될 수 있다.
일 예에 의하면, 반송 챔버(340)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(420)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(440)가 배치될 수 있다.
반송 부재(440)는 도포 블럭(300a), 부가 공정 챔버(420), 노광 장치(500), 그리고 현상 블럭(300b) 간에 기판(W)을 반송할 수 있다. 반송 부재(440)는 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(440)는 제1로봇(442) 및 제2로봇(444)을 가질수 있다. 제1로봇(442)은 도포 블럭(300a), 부가 공정 챔버(420), 그리고 인터페이스 버퍼(430) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(444)은 인터페이스 버퍼(430)와 노광 장치(500) 간에 기판(W)을 반송할 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(440)는 도시되지 않은 제3로봇을 포함할 수 있으며, 제3로봇은 인터페이스 버퍼(430)와 현상 블럭(300b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다. 제1로봇(442) 및 제2로봇(444)은 각각 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.
인덱스 로봇(132), 제1로봇(442), 그리고 제2로봇(444)의 핸드는 모두 반송 로봇(342)의 핸드(344)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 열처리 챔버(320)의 반송 플레이트(324)와 직접 기판(W)을 주고받는 로봇의 핸드는 반송 로봇(342)의 핸드(344)와 동일한 형상으로 제공되고, 나머지 로봇의 핸드는 이와 상이한 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 인덱스 로봇(132)은 도포 블럭(300a)에 제공된 전단 열처리 챔버(320)의 가열 유닛(323)과 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공된다.
또한, 도포 블럭(300a) 및 현상 블럭(300b)에 제공된 반송 로봇(342)은 열처리 챔버(320)에 위치된 반송 플레이트(324)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공될 수 있다.
기판 처리 설비(10)는 차압 측정 장치(600)를 포함할 수 있다. 이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 차압 측정 장치(600)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 차압 측정 장치의 사시도이고, 도 9는 도 8의 차압 측정 장치의 정면도이고, 도 10은 도 8의 차압 측정 장치의 분해 사시도이고, 도 11은 도 8의 차압 측정 장치의 단면도이고, 도 12는 도 11의 차압 보드의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)의 내부의 특정 위치에서의 압력과, 기준이 되는 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정할 수 있다. 예컨대, 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)에 제공되는 인덱스 모듈(100), 처리 모듈(300), 또는 인터페이스 모듈(400) 내부의 특정 위치에서의 압력과, 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정할 수 있다. 예컨대, 차압 측정 장치(600)는 인덱스 프레임(130) 내부의 압력과 기준 위치 에서의 압력 사이의 차압을 측정할 수 있다. 예컨대, 차압 측정 장치(600)는 처리 모듈(300)에 제공되는 각 챔버 내부(열처리 챔버(320), 반송 챔버(340), 액 처리 챔버(360))의 압력과, 기준 위치 에서의 압력 사이의 차압을 측정할 수 있다. 제어기(700)는 차압 측정 장치(600)에서 측정된 차압을 모니터링하고, 차압 값이 일정하게 유지되도록 제어할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)의 외부에 제공될 수 있다. 차압 측정 장치(600)는 기준 압력을 측정하는 기준 위치가 주변 환경에 의해서 영향을 받지 않거나, 주변 환경에 의한 영향이 최소화된 위치에 제공될 수 있다. 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)가 제공되는 공간의 천장면에 제공되며, 피반송체를 반송하는 반송 레일(미도시)과 중첩되지 않는 위치에 제공될 수 있다. 일 예로, 차압 측정 장치(600)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer, OHT), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단이 주행되는 주행 경로와 중첩되지 않는 위치에 제공될 수 있다.
차압 측정 장치(600)는 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)의 상부에 제공될 수 있다. 예를 들어, 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)의 상면에 설치될 수 있다. 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 설비(10)의 상부 중 버퍼 챔버(380)의 상부에 제공될 수 있다. 차압 측정 장치(600)는 전단 버퍼 챔버(3802)의 상면에 제공될 수 있다. 차압 측정 장치(600)는 전단 버퍼 챔버(3802)의 상면 중 중앙 영역에 제공될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 차압 측정 장치(600)는 기판 처리 서립(10)의 상부 중에서 주변 환경에 의한 영향이 최소인 위치라면 어디든지 설치될 수 있다. 이를 통해, 차압 측정의 기준이 되는 기준 압력의 측정시, 주변 환경으로의 영향을 최소화할 수 있어 기준 압력을 일정하게 유지할 수 있다. 이를 통해, 보다 정확한 차압의 측정 및 모니터링이 가능하고, 차압 헌팅 현상을 최소화할 수 있다.
도 8 내지 도 12를 참조하면, 차압 측정 장치(600)는 제1박스 유닛(610), 제2박스 유닛(630) 및 제3박스 유닛(650)을 포함할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 제1박스 유닛(610)은 제2 및 제3박스 유닛(630, 650) 아래에 제공될 수 있다. 제1박스 유닛(610)은 단면이 사각 형상으로 제공되며, 내부에 내부 공간(611)을 가질 수 있다. 도 10을 참조하면, 제1박스 유닛(610)은 상판(6111), 상판(6111)의 반대편에 배치되는 하판(6112), 상판(6111)과 하판(6112)을 연결하는 복수의 측판(6113, 6114, 6115, 6116)을 포함할 수 있다 복수의 측판(6113, 6114, 6115, 6116)은 서로 이웃하는 제1 내지 제4측판(6113, 6114, 6115, 6116)을 포함할 수 있다. 제1박스 유닛(610)의 내부 공간(611)은 상판(6111), 하판(6112) 및 제1 내지 제4측판(6113, 6114, 6115, 6116)의 조합에 의해 형성되는 공간일 수 있다.
제1박스 유닛(610)의 내부 공간(611)은 상판(6111), 하판(6112) 및 제1 내지 제4측판(6113, 6114, 6115, 6116)에 의해 밀폐되는 공간으로 제공될 수 있다.
도 11을 참조하면, 제1박스 유닛(610)은 기준 차압 포트(612)와 차압 포트(613)을 포함할 수 있다. 도 11의 (a)는 제1박스 유닛(610)의 단면도이고, 도 11의 (b)는 제2 및 제3박스 유닛(630, 650)의 단면도이다.
차압 포트(613)는 제1박스 유닛(610)의 복수의 측판 중 어느 하나의 측판에 제공될 수 있다. 차압 포트(613)은 복수의 차압 포트(613)를 포함할 수 있다. 복수의 차압 포트(613)는 복수의 측판 중 어느 하나의 측판에 제공될 수 있다. 복수의 차압 포트(613)는 서로 이격될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며 후술하는 연결 라인과의 연결이 용이한 위치에 제공될 수 있다. 일 예로, 복수의 차압 포트(613)는 서로 다른 측판에 제공될 수 있다. 차압 포트(613)는 후술하는 제1연결 라인(661)이 결합되는 포트일 수 있다. 차압 포트(613)는 측판을 관통하는 홀로 제공될 수 있다. 차압 포트(613)에는 제1연결 라인(661)이 관통할 수 있다. 복수의 차압 포트(613)는 제1박스 유닛(610) 내부에 제공되는 차압 보드(615)의 수와 대응되는 수로 제공될 수 있다.
기준 차압 포트(612)는 복수의 측판 중 어느 하나의 측판에 제공될 수 있다. 기준 차압 포트(612)에는 후술하는 제2연결 라인(662)에 결합될 수 있다. 기준 차압 포트(612)는 제2연결 라인(662)를 통해 연결되는 기준 위치와 기준 차압 보드(614)의 연결 통로일 수 있다. 기준 차압 포트(612)는 1개의 기준 차압 포트(612)를 포함할 수 있다. 기준 차압 포트(612)는 차압 포트(613)가 제공되는 측판과 다른 측판에 제공될 수 있다. 또는 기준 차압 포트(612)는 차압 포트(613)가 제공되는 측판과 동일한 측판에 제공될 수 있다. 즉, 기준 차압 포트(612)는 제2연결 라인(662)이 기준 차압 보드(612)와 기준 위치를 연결하기 쉬운 위치에 제공될 수 있다.
제1박스 유닛(610)은 내부 공간(611)에 제공되는 기준 차압 보드(614)와 차압 보드(615)를 포함할 수 있다. 기준 차압 보드(614)와 차압 보드(615)는 센서로 제공될 수 있다. 기준 차압 보드(614)와 차압 보드(615)는 특정 공간의 압력을 측정하는 압력 측정 센서로 제공될 수 있다. 일 예로, 기준 차압 보드(614)와 차압 보드(615)는 룸 압력 측정 센서로 제공될 수 있다.
차압 보드(615)는 복수의 차압 보드(615)를 포함할 수 있다. 복수의 차압 보드(615) 각각은 후술하는 복수의 차압 포트(613)와 일대일 연결될 수 있다. 또한, 복수의 차압 보드(615) 각각은 처리 모듈(300) 내에서 차압 측정 대상이 되는 챔버와 일대일 연결될 수 있다. 차압 보드(615)는 제1연결 라인(661)과 연결될 수 있다. 제1연결 라인(661)의 일 단은 차압 보드(615)에 연결되고, 타 단은 압력을 측정하고자 하는 공간에 제공될 수 있다. 이때, 압력을 측정하고자 하는 공간은 처리 모듈(300)에 제공되는 복수의 챔버들 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간일 수 있다. 일 예로, 제1연결 라인(661)의 타 단은 열처리 챔버(320)의 처리 공강, 반송 챔버(340)의 내부 공간, 액 처리 챔버(360)의 처리 공간 중 어느 하나에 연결될 수 있다. 또한, 제1연결 라인(661)의 타 단에는 센서가 결합될 수 있으며, 이를 통해 차압 보드(515)는 제1연결 라인(661)의 타 단이 위치한 공간의 압력을 측정할 수 있다.
차압 보드(615)는 복수의 차압 보드(615)를 포함할 수 있다. 복수의 차압 보드(615)는 제1박스 유닛(610)의 내부 공간(611)에 제공될 수 있다. 복수의 차압 보드(615)는 제1박스 유닛(610)의 내부에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 차압 보드(615)가 복수 개로 마련되는 경우, 제1연결 라인(661)도 복수 개로 마련되어 복수의 차압 보드(615) 각각에 연결될 수 있다. 일 예로, 복수의 차압 보드(615)가 제1차압 보드, 제2차압 보드, 제3차압 보드를 포함하는 경우, 제1연결 라인(661)은 제1차압 보드에 연결되는 제1-1연결 라인, 제2차압 보드에 연결되는 제1-2연결 라인, 제3차압 보드에 연결되는 제1-3연결 라인을 포함할 수 있다. 이때, 제1-1연결 라인, 제1-2연결 라인 및 제1-3연결 라인은 서로 다른 챔버에 연결될 수 있다. 일 예로, 제1-1연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 어느 하나의 챔버에 연결되고, 제1-2연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 다른 하나의 챔버에 연결되며, 제1-3연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 또 다른 하나의 챔버에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1차압 보드는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정하고, 제2차압 보드는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 다른 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정하며, 제3차압 보드는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 또 다른 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다. 또한, 일 예로, 제1-1연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 어느 하나의 챔버에 연결되고, 제1-2연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 열 처리 챔버(320) 중 다른 하나의 챔버에 연결되며, 제1-3연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 반송 챔버(340)에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1차압 보드는 복수의 액 처리 챔버(360) 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정하고, 제2차압 보드는 복수의 열처리 챔버(320) 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정하며, 제3차압 보드는 반송 챔버(340)의 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다. 일 예로, 제1-1연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버에 연결되고, 제1-2연결 라인은 기판 처리 설비(10)의 현상 블록(30b)에 제공되는 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1차압 보드는 도포 블록(30a)에 제공되는 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정하고, 제2차압 보드는 현상 블록(30b)에 제공되는 복수의 챔버 중 어느 하나의 챔버의 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다. 즉, 차압 보드(615)는 내부의 압력을 측정하고자 하는 챔버의 수와 대응되는 수로 제공되며, 각 챔버와 제1연결 라인(661)에 의해 일대일 연결될 수 있다.
기준 차압 보드(614)는 제1박스 유닛(610)의 내부 공간(611)에 제공된다. 기준 차압 보드(614)는 차압 보드(615)와 이격되어 배치된다. 기준 차압 보드(614)는 기준 위치에서의 압력을 측정할 수 있다. 기준 차압 보드(614)는 제2연결 라인(662)에 의해 기준 압력을 측정하기 위한 공간과 연결될 수 있다. 기준 차압 보드(614)는 차압을 측정하기 위한 기준 압력을 제공한다. 기준 압력은 후술하는 제3박스 유닛(650)의 내부 공간의 압력일 수 있다. 기준 차압 보드(614)는 제2연결 라인(662)에 의해 제3박스 유닛(650)의 내부 공간에 연결될 수 있다. 제2연결 라인(662)의 일 단은 기준 차압 보드(614)에 연결되고, 타 단은 제3박스 유닛(650)의 내부 공간에 연결될 수 있다.
도 12는 차압 보드의 모습을 도시한 것이다. 도 12에 도시된 차압 보드는 기준 차압 모드(614) 및/또는 차압 보드(615)일 수 있다. 즉, 차압 보드(615)와 기준 차압 모드(614)는 동일한 구조로 제공될 수 있다. 이하에서는 차압 보드(615)를 기준으로 설명한다. 차압 보드(615)는 압력을 측정하고자 하는 공간의 기류를 받아들이는 인 포트(air-in port)(6131)를 포함할 수 있다. 인 포트(6131)는 제1연결 라인(661)과 연결될 수 있다. 기준 차압 보드(614)의 인 포트의 경우 제2연결 라인(662)과 연결될 수 있다. 차압 보드(615)는 인 포트(air-in port)(6131)를 통해 유입되는 기류의 압력을 측정할 수 있다. 차압 보드(615)는 아웃 포트(air-out port)(6132)를 포함할 수 있다. 다만, 아웃 포트(6132)는 생략되거나, 도 11에 도시된 것처럼 아웃 포트(6132)가 닫힘 상태로 유지될 수 있다.
제2박스 유닛(630)은 제1박스 유닛(610) 위에 제공될 수 있다. 제2박스 유닛(630)은 단면이 사각 형상으로 제공될 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 단면적은 제1박스 유닛(650)의 단면적 보다 작게 형성될 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 단면적은 제3박스 유닛(650)의 단면적 보다 크게 제공될 수 있다. 제2박스 유닛(630)은 내부 공간(631)을 가질 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)에 제3박스 유닛(650)을 수용할 수 있다. 제2박스 유닛(630)은 상판(6311), 상판(6311)의 반대편에 배치되는 하판(6312), 상판(6311)과 하판(6312)을 연결하는 복수의 측판을 포함할 수 있다. 복수의 측판은 서로 이웃하는 제1 내지 제4측판(6313, 6314, 6315, 6316)을 포함할 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)은 상판(6311), 하판(6312) 및 복수의 측판(6313, 6314, 6315, 6316)에 의해 밀폐되는 공간으로 제공될 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 제1측판(6313)은 후술하는 제3박스 유닛(650)의 제1측판(6513)과 접촉될 수 있다. 제2박스 유닛(630)의 제3측판(6315)은 후술하는 제3박스 유닛(650)의 제2측판(6514)와 이격될 수 있다.
제2박스 유닛(640)은 홀(632)을 포함할 수 있다. 홀(632)는 제1측판(6313)에 형성될 수 있다. 홀(632)은 후술하는 제3박스 유닛(650)의 제1포트(652)과 연결될 수 있다. 홀(632)에는 후술하는 제3박스 유닛(650)의 제1포트(652)가 배치될 수 있다. 홀(632)은 후술하는 제3박스 유닛(650)의 제1포트(652)와 대응되는 위치에 형성되며, 제1포트(652)와 연통될 수 있다. 이를 통해, 홀(632)에는 제2연결 라인(662)이 연결될 수 있다. 제2연결 라인(662)은 홀(632)를 관통하여 제1포트(652)와 연결될 수 있다.
제2박스 유닛(640)의 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제2측판(6314)과 제4측판(6316)에는 포트(633)가 제공될 수 있다. 포트(633)는 복수의 포트(633)를 포함할 수 있다. 복수의 포트(633)는 닫힘 상태로 유지될 수 있다. 다만, 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)의 압력을 조절할 필요가 있을 경우에는 선택적으로 열림 상태로 전환될 수 있다. 복수의 포트(633)에는 개폐 장치가 제공될 수 있다.
제3박스 유닛(650)은 제2박스 유닛(630) 내에 제공될 수 있다. 제3박스 유닛(650)은 단면이 사각 형상으로 형성될 수 있다. 제3박스 유닛(650)은 내부 공간(651)을 가질 수 있다. 제3박스 유닛(650)은 상판(6511), 상판(6511)의 반대편에 배치되는 하판(6512), 상판(6511)과 하판(6512)를 연결하는 복수의 측판을 포함할 수 있다. 내부 공간(651)은 상판(6511), 하판(6512), 및 복수의 측판에 의해 규정되는 공간일 수 있다. 복수의 측판은 제2박스 유닛(630)의 제1측판(6313)과 접촉되는 제1측판(6513), 제1측판(6513)의 반대편에 배치되는 제2측판(6514), 제1측판(6513)과 제2측판(6514)를 연결하는 제3측판(6515)와 제4측판(6516)을 포함할 수 있다. 제1측판(6513)은 제2박스 유닛(630)의 제1측판(6313)과 접촉될 수 있다. 제2측판(6514)는 제2박스 유닛(630)의 제3측판(6315)과 대향할 수 있다. 제2측판(6514)는 제2박스 유닛(630)의 제3측판(6315)과 이격될 수 있다. 제3측판(6515)는 제2박스 유닛(630)의 제2측판(6314)과 대향할 수 있다. 제3측판(6515)는 제2박스 유닛(630)의 제2측판(6314)과 이격할 수 있다. 제4측판(6516)는 제2박스 유닛(630)의 제4측판(6316)과 대향할 수 있다. 제4측판(6516)는 제2박스 유닛(630)의 제4측판(6316)과 이격할 수 있다.
제3박스 유닛(650)은 제1포트(652)를 포함할 수 있다. 제1포트(652)는 제3박스 유닛(650)의 제1측판(6513)에 제공될 수 있다. 제1포트(652)는 제2박스 유닛(630)의 홀(632)와 연통될 수 있다. 제1포트(652)는 2박스 유닛(630)의 홀(632)과 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 제1포트(652)는 제2연결 라인(662)의 타 단과 연결될 수 있다.
제3박스 유닛(650)은 제2포트(653)를 포함할 수 있다. 제2포트(653)은 제1포트(652)의 반대편에 배치될 수 있다. 제2포트(653)는 제2측판(6514)에 형성될 수 있다. 제2포트(653)는 제2측판(6514)를 관통하는 관통홀로 제공될 수 있다. 제3박스 유닛(650)의 내부 공간(651)은 제2포트(653)에 의해 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)과 연통될 수 있다. 이를 통해, 제3박스 유닛(650)의 내부 공간(651)의 압력은 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)의 압력과 대응되는 압력으로 제공될 수 있다.
제3박스 유닛(650)은 차압 측정을 위한 기준 압력을 측정하는 공간으로 제공될 수 있다. 기준 차압 보드(614)에서 측정하는 기준 압력은 제3박스 유닛(650)의 내부 공간(651)의 압력일 수 있다. 제3박스 유닛(650)의 내부 공간(651)의 압력은 대기압으로 제공될 수 있다. 제 제2박스 유닛(630)의 내부 공간(631)의 압력과 제3박스 유닛(650)의 내부 공간(650)의 압력 차이는 0일 수 있다.
기준 압력을 측정하는 공간인 제3박스 유닛(650)은 제2박스 유닛(630)의 내부에 수용됨에 따라 주변 환경의 영향을 최소화시킬 수 있다. 이를 통해, 기준 압력이 상시로 변동되는 압력 헌팅 현상을 방지할 수 있다. 차압의 기준이 되는 기준 압력의 헌팅을 방지함으로써, 정확한 차압 모니터링 및 차압의 제어가 가능할 수 있다.
기판 처리 설비(10)는 제어기(700)를 포함할 수 있다. 제어기(700)는 기판 처리 설비(10)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(700)는 기판 처리 설비(10)가 가지는 구성들을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(700)는 차압 측정 장치(600)에서 측정된 차압이 일정한 값을 유지하도록 기판 처리 설비(10)의 각 구성을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 기판 처리 설비(10)에서 기판(W)이 처리되는 각 공정을 제어할 수 있다.
또한, 제어기(700)는 기판 처리 설비(10)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 설비(10)를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 설비(10)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 설비(10)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
제어기(700)는 기준 차압 보드(614)와 차압 보드(615)로부터 측정된 각각의 압력을 전송받을 수 있다. 이때, 기준 차압 보드(614)에서 측정된 압력은 기준 압력으로 칭할 수 있다. 제어기(700)는 기준 차압 보드(614)에서 측정한 기준 압력과 차압 보드(615)에서 측정한 압력 사이의 차압을 산출할 수 있다. 제어기(700)는 기준 차압 보드(614)에서 측정한 기준 압력과 차압 보드(615)에서 측정한 압력 사이의 차압을 모니터링 및 제어할 수 있다. 예를 들어, 도포 공정이 수행되는 액 처리 챔버(360)에서 배기 압력의 손실로 인해 공정 결과과 변동되었을 경우(예를 들어, 도포 막의 두께(Thickness, THK)의 변동, 에지비드제거(Edge Bead Removal, EBR) 정도의 변동), 액 처리 챔버(360)의 내부 압력의 상승되어 차압 값도 증가하게 된다. 이 경우, 제어기(700)는 도포 공정이 수행되는 액 처리 챔버(360)와 연결된 반송 챔버(340) 영역의 압력을 높여 도포 공정이 수행되는 액 처리 챔버(360)로 불어조는 기류의 양을 변경시키도록 제어할 수 있다. 이를 통해, 도포 공정이 수행되는 액 처리 챔버(360)의 처리 공간의 압력을 조절하여 차압을 제어할 수 있다.
일 예로, 제어기(700)는 제1처리 챔버의 처리 공간과 연결된 제1차압 보드에서 측정한 압력과 기준 차압 보드(614)에서 측정한 기준 압력 사이의 제1차압을 모니터링할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 제2처리 챔버의 처리 공간과 연결된 제2차압 보드에서 측정한 압력과 기준 차압 보드(614)에서 측정한 기준 압력 사이의 제2차압을 모니터링할 수 있다. 이때, 제어기(700)는 제1차압과 제2차압을 서로 다른 차압으로 설정 및 제어할 수 있다. 이는, 각 처리 챔버에서 수행되는 공정의 종류에 따라 달라질 수 있다. 또는 각 처리 챔버에서 같은 공정이 수행되는 경우라도 공정 레시피에 따라 서로 다은 차압으로 제어될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 차압 측정 장치에 대하여 도면을 참고하며 설명한다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 차압 측정 장치의 단면도를 도시한 도면이다. 일 실시예에 다른 차압 측정 장치(600)는 제1박스 유닛(610)의 위에 제2박스 유닛(630) 및 제3박스 유닛(650)이 배치되고 있으나, 다른 실시예에 따른 차압 측정 장치(800)는 제1박스 유닛(810)의 내부 공간(811)에 제2박스 유닛(830)이 배치되고, 제2박스 유닛(830)의 내부 공간(831)에 제3박스 유닛(850)이 배치될 수 있다.
제1박스 유닛(810)의 내부 공간(811)에는 복수의 차압 보드(815)와 하나의 기준 차압 보드(814)가 제공될 수 있다. 제1박스 유닛(810)의 복수의 측벽 중 일 측벽에는 복수의 차압 보드(815)와 연결되는 복수의 차압 포트(813)과, 기준 차압 보드(814)와 연결되는 기준 차압 포트(812)가 제공될 수 있다. 복수의 차압 보드(815) 각각은 복수의 제1연결 라인(661)에 의해 복수의 차압 포트(813) 및 복수의 챔버와 연결될 수 있다. 이를 통해, 복수의 차압 보드(815) 각각은 연결된 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다. 기준 차압 보드(814) 각각은 제2연결 라인(662)에 의해 기준 차압 포트(812) 및 제3박스 유닛(850)과 연결될 수 있다. 이를 통해, 기준 차압 보드(814)는 제3박스 유닛(850)의 내부 공간(851)의 압력을 측정할 수 있다. 제어기(700)는 차압 보드(815)에서 측정한 압력과 기준 차압 보드(814)에서 측정한 압력 사이의 차압을 측정하여, 차압을 모니터링할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 측정된 차압이 일정하게 유지되도록 제어할 수 있다.
제2박스 유닛(830)은 제1박스 유닛(810)의 일 측벽에 접촉될 수 있다. 일 예로, 제2박스 유닛(830)은 제1박스 유닛(810)의 복수의 측벽 중 차압 포트(813)가 제공되는 측벽과 이격되고, 복수의 측벽 중 차압 포트(813)가 제공되는 측벽의 반대편에 배치되는 측벽과는 접촉되도록 배치될 수 있다. 제2박스 유닛(830)의 단면은 제1박스 유닛(810)의 단면보다 작게 형성될 수 있다. 이에 따라, 제2박스 유닛(830)의 복수의 측벽 중 제1박스 유닛(810)과 접촉되는 측벽을 제외한 나머지 측벽들은 제1박스 유닛(810)에 이격될 수 있다.
제3박스 유닛(850)은 제2박스 유닛(830)의 내부 공간(831)에 제공될 수 있다. 제3박스 유닛(850)의 단면은 제2박스 유닛(830)의 단면보다 작게 형성될 수 있다. 제3박스 유닛(850)은 복수의 측벽 중 이웃하는 2개의 측벽이 제2박스 유닛(830)과 접촉되도록 배치될 수 있다. 제3박스 유닛(850)의 복수의 측벽 중 제2박스 유닛(830)과 접촉되는 일 측벽에는 제1포트(852)가 제공될 수 있다. 제1포트(852)는 기준 차압 보드(814)와 제2연결 라인(6620에 의해 연결될 수 있다. 제3박스 유닛(850)의 복수의 측벽 중 제1포트(852)가 제공되는 측벽의 반대편에 배치되는 측벽에는 제2포트(853)이 제공될 수 있다. 제2포트(853)는 홀로 제공될 수 있다. 제2포트(853)로 인하여, 제3박스 유닛(850)의 내부 공간(851)과 제2박스 유닛(830)의 내부 공간(831)은 연통될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 차압 측정 장치(600)와 다른 실시예에 따른 차압 측정 장치(800)은 구조가 상이할 뿐이며, 차압의 측정, 차압의 모니터링 및 차압의 제어는 동일한 방법으로 수행될 수 있다. 따라서, 이하에서는 중복되는 설명을 생략한다.
기판 처리 설비 내의 차압을 오토로 관리하기 위해서는 차압의 기준이 되는 기준 압력을 측정하는 공간 또는 포트가 주변 환경의 영향을 최소한으로 받아야 한다. 그렇지 않은 경우에 주변 환경 요소 또는 인위적 요소로 인하여 기준 압력의 헌팅이 발생되어 정확한 차압의 측정이 불가능 하고, 이는 차압 제어 불량 및 공정 불량으로 이어진다. 따라서, 기준이 되는 기준 압력을 일정하게 유지하는 것이 중요하다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판 처리 설비 내의 차압을 전체적으로 모니터링하고, 모듈 또는 챔버 간의 편차 발생시 자동 보정이 가능한 차압 제어 시스템을 제공할 수 있다. 차압 자동 보정을 위해 기준이 되는 기준 압력의 일정한 관리가 요구되는데, 본 발명의 실시예에 따르면 기준 압력을 측정하기 위한 공간을 제공하는 제3박스 유닛이 제2박스 유닛 내부에 제공됨에 따라 환경적, 인위적 영향을 최소화되어 압력 헌팅을 방지할 수 있다.
기준 압력의 헌팅을 방지함에 따라, 기준 압력이 일정하게 유지할 수 있으므로 설비 전체의 차압 상태를 실시간으로 반영할 수 있으며, 설비의 상ㅌ채 변화를 모니터링 하여 변경 인자를 용이하게 분석할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 인덱스 모듈
300: 처리 모듈
400: 인터페이스 모듈
500: 노광 장치
600: 차압 측정 장치
700: 제어기

Claims (20)

  1. 기판 처리 설비에 있어서,
    기판이 로딩 또는 언로딩되는 인덱스 모듈;
    상기 인덱스 모듈로 로딩된 상기 기판에 대하여 기판 처리를 수행하는 처리 모듈;
    상기 인덱스 모듈과 상기 처리 모듈 사이에 배치되는 버퍼 챔버; 및
    상기 기판 처리 설비의 내부의 특정 위치에서의 압력과, 기준이 되는 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치를 포함하고,
    상기 차압 측정 장치는 상기 기판 처리 설비의 외부에 제공되고,
    상기 차압 측정 장치는,
    제1박스 유닛;
    상기 제1박스 유닛 위에 제공되는 제2박스 유닛; 및
    상기 제2박스 유닛 내부에 제공되는 제3박스 유닛을 포함하고,
    상기 제1박스 유닛은,
    복수의 측판 중 일 측판에 제공되며 상기 특정 위치와 제1연결 라인에 의해 연결되는 차압 포트와, 상기 복수의 측판 중 타 측판에 제공되며 상기 기준 위치와 제2연결 라인에 의해 연결되는 기준 차압 포트를 포함하고,
    상기 제3박스 유닛은 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제1측판과 제2측판과, 상기 제1측판에 제공되는 제1포트와, 상기 제2측판에 제공되는 제2포트를 포함하고,
    상기 제3박스 유닛의 상기 제1측판은 상기 제2박스 유닛의 복수의 측판 중 일 측판과 접촉되도록 제공되며, 상기 제3박스 유닛의 상기 제2측판은 상기 제2박스 유닛의 상기 복수의 측판과 이격되도록 제공되고,
    상기 제3박스 유닛의 내부 공간은 상기 제2측판의 상기 제2포트에 의해 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통되는 기판 처리 설비.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1박스 유닛과 상기 제2박스 유닛 각각은 내부 공간을 가지되, 상기 내부 공간이 밀폐되도록 제공되는 기판 처리 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1박스 유닛은,
    상기 제1박스 유닛의 내부에 제공되는 차압 보드와 기준 차압 보드를 포함하고,
    상기 차압 보드는 상기 제1연결 라인과 연결되어 상기 특정 위치에서의 압력을 측정하고,
    상기 기준 차압 보드는 상기 제2연결 라인과 연결되어 상기 기준 위치에서의 압력을 측정하는 기판 처리 설비.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기준 위치는 상기 제3박스 유닛의 내부인 기판 처리 설비.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3박스 유닛의 상기 제1포트는 상기 제1측판과 상기 제2박스 유닛의 상기 일 측판을 관통하여 형성되고,
    상기 제1포트는 상기 제2연결 라인과 연결되는 기판 처리 설비.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 기판 처리 설비는 제어기를 포함하고,
    상기 제어기는 상기 차압 보드에서 측정된 상기 특정 위치에서의 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정된 상기 기준 위치에서의 압력의 차이가 일정하게 유지되도록 제어하는 기판 처리 설비.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 기준 위치에서의 압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력으로 제공되며,
    상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력과, 상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력 차는 0인 기판 처리 설비.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 차압 측정 장치는 상기 버퍼 챔버의 위에 제공되는 기판 처리 설비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 차압 측정 장치는 상기 버퍼 챔버의 상면 중 중앙 영역에 제공되는 기판 처리 설비.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 차압 측정 장치는,
    상기 기판 처리 설비가 제공되는 공간의 천장면에 제공되며, 피반송체를 반송하는 반송 레일과 중첩되지 않는 위치에 제공되는 기판 처리 설비.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 차압 측정 장치는 상기 기준 위치가 주변 환경에 의해 영향을 받지 않는 위치에 제공되는 기판 처리 설비.
  14. 특정 위치에서의 제1압력과 기준 위치에서의 제2압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치에 있어서,
    밀폐되는 내부 공간을 가지는 제1박스 유닛;
    상기 제1박스 유닛의 위에 배치되며, 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제2박스 유닛; 및
    상기 제2박스 유닛 내부에 제공되며 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통되는 내부 공간을 가지는 제3박스 유닛을 포함하고,
    상기 제2압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력이고,
    상기 제3박스 유닛은 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제1측판과 제2측판과, 상기 제1측판에 제공되는 제1포트와, 상기 제2측판에 제공되는 제2포트를 포함하고,
    상기 제3박스 유닛의 상기 제1측판은 상기 제2박스 유닛의 복수의 측판 중 일 측판과 접촉되도록 제공되며, 상기 제3박스 유닛의 상기 제2측판은 상기 제2박스 유닛의 상기 복수의 측판과 이격되도록 제공되고,
    상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간은 상기 제2측판의 상기 제2포트에 의해 상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간과 연통되는 차압 측정 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1박스 유닛은,
    상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제1압력을 측정하는 차압 보드와, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제2압력을 측정하는 기준 차압 보드를 포함하는 차압 측정 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1박스 유닛의 측판에는 상기 특정 위치와 상기 차압 보드를 연결하는 제1연결 라인이 접속되는 차압 포트와, 상기 기준 위치와 상기 기준 차압 보드를 연결하는 제2연결 라인이 접속되는 기준 차압 포트를 포함하는 차압 측정 장치.
  17. 삭제
  18. 제14항에 있어서,
    상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력과, 상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간의 압력 차는 0인 차압 측정 장치.
  19. 기판을 처리하는 설비에 있어서,
    기판을 로딩 또는 언로딩하는 인덱스 모듈;
    상기 인덱스 모듈로 로딩된 상기 기판에 대하여 기판 처리를 수행하되, 상기 기판에 대하여 서로 다른 처리를 수행하는 복수의 공정 챔버를 포함하는 처리 모듈;
    상기 인덱스 모듈과 상기 처리 모듈 사이에 배치되는 버퍼 챔버;
    상기 버퍼 챔버의 상부에 배치되며, 상기 공정 챔버 내부의 압력과 기준 위치에서의 압력 사이의 차압을 측정하는 차압 측정 장치; 및
    제어기를 포함하고,
    상기 차압 측정 장치는,
    밀폐되는 내부 공간을 가지는 제1박스 유닛;
    상기 제1박스 유닛의 위에 배치되며, 밀폐되는 내부 공간을 가지는 제2박스 유닛; 및
    상기 제2박스 유닛 내부에 제공되며 상기 제2박스 유닛의 내부 공간과 연통되는 내부 공간을 가지는 제3박스 유닛을 포함하고,
    상기 기준 위치에서의 압력은 상기 제3박스 유닛의 내부 공간의 압력이고,
    상기 제3박스 유닛은 복수의 측판 중 서로 반대편에 배치되는 제1측판과 제2측판과, 상기 제1측판에 제공되는 제1포트와, 상기 제2측판에 제공되는 제2포트를 포함하고,
    상기 제3박스 유닛의 상기 제1측판은 상기 제2박스 유닛의 복수의 측판 중 일 측판과 접촉되도록 제공되며, 상기 제3박스 유닛의 상기 제2측판은 상기 제2박스 유닛의 상기 복수의 측판과 이격되도록 제공되고,
    상기 제3박스 유닛의 상기 내부 공간은 상기 제2측판의 상기 제2포트에 의해 상기 제2박스 유닛의 상기 내부 공간과 연통되는 기판 처리 설비.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 복수의 공정 챔버는 상기 기판에 대하여 액 처리가 수행되는 제1공정 챔버와, 상기 기판에 대하여 열 처리가 수행되는 제2공정 챔버를 포함하고,
    상기 제1박스 유닛은,
    상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제1공정 챔버 내부의 압력을 측정하는 제1차압 보드, 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 상기 제2공정 챔버 내부의 압력을 측정하는 제2차압 보드, 및 상기 제1박스 유닛의 상기 내부 공간에 제공되며 기준 압력을 측정하는 기준 차압 보드를 포함하고,
    상기 제어기는 상기 제1차압 보드에서 측정된 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정되는 기준 압력의 차이가 제1차압으로 유지되도록 제어하고, 상기 제2차압 보드에서 측정된 압력과 상기 기준 차압 보드에서 측정되는 압력의 차이가 제2차압으로 유지되도록 제어하되,
    상기 제1차압과 상기 제2차압은 서로 다른 차압으로 제공되는 기판 처리 설비.
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