JPH01199788A - 防塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 クリーンルームにおける組立ロボットなどのように可動
部を有する装置において、可動部からの発塵を捕捉し、
クリーンルームの汚染を防止する装置に関し、 簡単かつ小型の装置で、粉塵を確実に捕捉し、除去可能
とすることを目的とし、 少なくとも発塵部を覆うカバーを有し、該カバーの一部
に開口を設け、 該開口を磁性体ウールで塞ぎ、該磁性体ウール中を空気
が通過する構造とし、 該磁性体ウールに強ノＪな磁界を印加する磁石を有する
構成とする。

〔産業上の利用分野］ 本発明は、クリーンルームにおける組立ロボットなどの
ように可動部を有する装置において、可動部からの発塵
を捕捉し、クリーンルームの汚染を防止する装置に関す
る。

〔従来の技術〕

半導体の製造工場や磁気ディスク装置の組立工場などに
おいては、粉塵の付着による製品の動作障害を防止する
ために、粉塵をできるだけ除去したクリーンルームにお
いて作業が行われている。

ところで、組立作業に多用されるロボットは、次のよう
に粉塵を発生しやすい。

（１）ＤＣモーターのブラシの摩耗による粉塵の発生 （２）減速機構における歯の摩耗による粉塵の発生（３
）回転機構、スライド機構の摩耗による粉塵の発生 このように、ロボットは粉塵を発生し易いため、そのま
まクリーンルーム内で使用することはできない。そこで
、組立ロボットをクリーンルーム中で使用するには、従
来から次のような工夫がなされている。

（ａ）機構の可動部をカバーで包んで密閉する。

（ｂ）機構の可動部付近の空気を吸入し、フィルターを
通して粉塵を除去し、粉塵を含まないクリーンエアにす
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、（ａ）の方法は、機構が複雑になり、製造コ
ストの上昇、メインテナンスが難しくなるなどの欠点が
ある。また（ｂ）の方法は、空気を吸入する装置を取り
付けなければならないため、ロボットの装置全体が大き
くなるなどの欠点がある。

本発明の技術的課題は、従来の防塵装置におけるこのよ
うな問題を解消し、簡単かつ小型の装置で、粉塵を確実
に捕捉し、除去可能とすることにある。

ｃ問題点を解決するための手段〕 第１図は本発明による防塵装置の基本原理を説明する図
である。ｌは、ロボットなどの発塵部を覆うカバーであ
り、該カバー１の一部に開口２を有している。カバー１
は、発塵部を含んでおれば、ロボットなどの一部を謂う
ものでもよく、または全体を覆うものでもよい。

そしてこの間口２に、スチールウールなどのような磁性
体ウール３を配置し、開口２中において（１１性体ウー
ル３の部分を、空気が通過する構造となっている。また
該磁性体ウール３に強力な磁界を印加する磁石４を有し
ている。なお鉄心に超電導体のコイルを巻いた磁石を用
いるこきにより、強力な磁場を発生させることができる
。

〔作用〕

ロボットなどが動作するときに、開口２を空気が出入り
し、通過する。このとき、空気は、開口２中の磁性体ウ
ール３の部分を通過する。すなわち、強磁性を有する磁
性体ウール３の１本１本の間の隙間を、粉塵を含んだ空
気が通過する。

本発明では、第２図に示すように、この磁性体ウール３
が、磁石４によって磁化されているため、１本１本の磁
性体ウールの近傍は、磁場勾配の急な状態となっている
。そのため、鉄粉などのように磁性を有する通常の粉塵
はもちろん、アルミニウムなどのような常磁性体の粉塵
も確実に磁性体ウール３に吸着され、捕捉される。

通常、ロボットの機構部は、＾ｌのような常磁性物質と
、Ｆｅのような強磁性物質で構成されており、発生する
粉塵もＡＩ、　Ｆｅである。ところが本発明によれば、
強力な磁石によって磁化された、磁場勾配の急な磁界を
形成するスチールウール３の微小隙間を粉塵が通過する
ため、金属粉塵の材質に関係なく総て確実に捕捉される
。

このように、粉塵５・・・は確実に磁性体ウール３に捕
捉されるので、カバーｌから外に飛散することはない。

〔実施例〕

次に本発明による防塵装置が実際上どのように具体化さ
れるかを実施例で説明する。第３図、第４図は本発明の
防塵装置をロボットに実施した例を示す斜視図である。

第３図はロボット６の全体をカバー１で覆い、ロボット
の脚部６１を取り巻くようにＬｉｔ石４０鉄心７が配設
されている。鉄心７には、２〜１０胴程度のギャップを
有しおり、鉄心７のギャップ部に、直径５ｍｍ程度の開
口２が設けられ、該開口２位置に、磁性を有するスチー
ルウール３が配設されている。

したがって、磁石４の鉄心７に巻いた超電導コイルに通
電して、ギャップ中のスチールウール３を強力に磁化す
ると、ロボットの動作によって開口２を空気が移動する
際に、スチールウール３の近傍の強力な磁場勾配により
、ロボットの可動部から発生した鉄粉はもちろん、アル
ミニウム粉塵などのような常磁性粉塵もスチールウール
３に吸着され、捕捉される。

第４図の実施例は、ロボットの可動部をカバー１で覆い
、可動部のアーム部６２において、開口２を設け、該開
口２を塞ぐスチールウール３を有している。そしてスチ
ールウール３を挾むように、一対の超電導磁石４．４を
有している。

これらの実施例から明らかなように、カバー１は、ロボ
ットなどの少なくとも可動部を含む部分のみを覆うもの
であってもよく、ロボットの全体をカバーするものであ
っもよい。そして、該カバー１の、磁石４を配設し易い
位置に、開口２を設け、スチールウール３を配設する。

第５図は、磁石４の実施例を示す図であり、環状の鉄心
にコイル８を巻き、その一部に磁極形成用のギャップを
有している。そしてカバー１は、このギャップに対応す
る位置に、開口２を有し、ギャップ中にスチールウール
３が配設されている。

磁石４のコイル８を超電導体で構成し、電源９を接続し
て通電すると、ギャップに強力が磁界が発生し、スチー
ルウール３が磁化される。

第６図は、スチールウール３をギャップに配置するため
の実施例である。７１．７２は磁石の鉄心７の両端の磁
極であり、両磁極７１．７２間にギャップが形成されて
いる。１０は、合成樹脂などのような非磁性体から成る
枠であり、該枠１０中にスチールウール３が保持されて
いる。そしてこの枠】０が、ギャップに配置されている
。

このようにスチールウール３を枠１０などのようなホル
ダーを介して、ギャップに配置し、カバー１の内面に取
り付ければ、磁石の強力な磁界により、スチールウール
３が片方の磁極に吸着されるのを防止し、ギャップ中に
安定して保持できる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、ロボットなどの可動部を
覆うカバー１に、スチールウール３で塞がれた開口２を
設け、開口２を通過する空気中の粉塵を、磁石４で磁化
されたスチールウール３で吸着捕捉する構造になってい
る。このようにカバー１に開口２を設けるので、従来の
ように完全にロボットを密閉し、粉塵を出さないように
する構造に較べて、構造が簡単であり、保守も容易であ
る。また、ロボットの可動部の空気を吸入し、フィルタ
ーで濾過する構造に較べて、吸入するための装置が不要
なため、装置が小型になり、騒音が発生するといった問
題も解消される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による防塵装置の基本原理を説明する図
、第２図は作用を説明する図、第３図、第４図は防塵装
置の実施例を示す斜視図、第５図は磁石の実施例を示す
図、第６図はスチールウールの保持手段の実施例を示す
図である。 図においで、ｌはカバー、２は開口、３はスチールウー
ル、４は磁石、５は粉塵、７は鉄心、７１．７２は磁極
、８はコイルをそれぞれ示す。 特許出願人　　　　　冨士通株式会社 復代理人　弁理士　　福　島　康　文 第１図 作阿説Ｆ３ｆ１ｆ 第２図 ロボット咥メ本をカバーした合υ 第３図 ロボツトの一部をカバーした例 第４図 ノ 磁石の大施例 第５図 スキール・クールの取付１すぷＩ九 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも発塵部を覆うカバー１を有し、該カバ
   ー１の一部に開口２を設け、 該開口２を磁性体ウール３で塞ぎ、該磁性体ウール３中
   を空気が通過する構造とし、 該磁性体ウール３に強力な磁界を印加する磁石４を有す
   ることを特徴とする防塵装置。
2. （２）前記の磁石４は、超電導磁石であることを特徴と
   する請求項（１）記載の防塵装置。