JPH01194149A - 光ディスク基板 - Google Patents

光ディスク基板

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JPH01194149A
JPH01194149A JP63018970A JP1897088A JPH01194149A JP H01194149 A JPH01194149 A JP H01194149A JP 63018970 A JP63018970 A JP 63018970A JP 1897088 A JP1897088 A JP 1897088A JP H01194149 A JPH01194149 A JP H01194149A
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JP
Japan
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groove
tracking
film
width
sio2
Prior art date
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Pending
Application number
JP63018970A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinichi Katsuta
伸一 勝田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Home Electronics Ltd
NEC Corp
Original Assignee
NEC Home Electronics Ltd
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Home Electronics Ltd, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Home Electronics Ltd
Priority to JP63018970A priority Critical patent/JPH01194149A/ja
Publication of JPH01194149A publication Critical patent/JPH01194149A/ja
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、消去・書き換え可能な光磁気ディスク等の
光ディスクに適用される光ディスク基板の改良構造に関
するものである。
従来の技術 DRAW(追記可能)型ディスク、光磁気ディスクなど
の光ディスクは、集束されたレーザ光のビームスポット
により情報を記録、再生するものである。これらの光デ
ィスクは、情報の高密度記録化を図るために、そのディ
スク基板には、通常記録トラックに沿って微細なトラッ
キング用溝か形成されている。このトラ、キング用溝が
形成された面上に記録媒体が形成される。例えば、通常
の光磁気ディスクであれば、保護層/磁性層/保護層の
如く、2つの保護層で磁性層をサンドウィッチした三層
構造の記録媒体が形成される。
これらの光ディスクを形成するディスク基板としては、
最近PC(ポリカーボネート)等のプラスチック(樹脂
)基板が用いられることが多い。
それは、ガラス基板に比べて量産性、コスト、記録感度
、破損に対する危険性が少ないこと等の点で優れている
からであり、特に量産性、コストの点で実用化レベルで
は格段に有利であるからである。
発明か解決しようとする課題 しかしながら、ディスク基板として樹脂基板を用いた場
合、スパッタ法等による記録膜の膜形成後、内部応力等
によってディスクに反り、変形が発生するという問題が
生じる。そこで、最近、この現象を防くべくSiO2膜
でディスク基板全而を被覆することが本発明者等によっ
て提案されている。記i)膜は、このSiO2膜の上に
膜形成される。これによると、反り、変形等に対しては
良好な結果が得られるのであるが、トラ、キングサーボ
の面で以下に述へるような新たな問題が生じた。
第2図は従来の光ディスク基板を示すもので、PC等よ
り成る透明樹脂基板10の一面にトラッキング用溝(案
内溝)11がスパイラル状に形成されている。トラッキ
ング用溝11.11・・・の溝間にはランド部(溝間部
)12が溝11に対して凹凸状に形成されている。情報
の記録・再生は、ランド部12を通してレーザビームを
照射集束させることによって行われる。ところで、現在
用いられている光ディスクは、トラノクビ、チか1.6
μm1溝幅が0.6μm1溝の深さが700〜100O
A(オングストローム)のものが主流を占めている。透
明基板10のトラッキング用溝11・・・か形成された
一面にはSiO2校13が全面にわたって形成されてい
る。このSiO2膜13によって基板全体か被覆されて
いる。しかし、この従来のディスク基板の構造によると
、SiO2F213は1000〜2000A Cオング
ストローム)程度で比較的厚(設けられるので、この膜
13を膜付けしたとき、トラッキング用溝11の部分て
溝部の端縁から溝内部にたれた状態で付着することにな
り、これによって溝部に変形等が生じ、溝幅Wが本来の
0.6μmに対して減少し幅狭になる問題があった。そ
の結果、以後の信号の記録再生の際、溝部に照射される
レーザビームの回折光の強弱の変化として取り出される
トラッキングエラー信号が良好かつ正確に検出されず、
トラッキングサーボが不十分となり、十分にうまくかけ
られなくなる問題が生じていた。
この発明は、記録面に膜付けされるSiO2膜を厚くし
てもトラッキング用溝に変形等を生しさせることなくト
ラッキングエラー信号が取り出せるようにすることを目
的とするものである。
課題を解決するための手段 この発明は、上記課題を達成するために、トラッキング
用溝の溝幅aと溝間隔すとの比をa/b=0.6〜3.
0 の関係に設定した。
さらに、本発明は、トラッキング用溝の溝幅aと溝間隔
すとの比を a/b=0.6〜3.0 の関係に設定し、トラッキング用溝の上にSiO2系ま
たはガラス系の膜を1000〜2000Aの膜厚で成膜
したことを要旨としている。
作用 トラッキング用溝の溝幅と溝間隔との比を上述した関係
に選んで溝形成しておくと、SiO2系、カラス系膜の
成膜の際、1000〜2000A程度と多少厚く膜形成
した場合でも、膜たれによるトランキング溝の変形、そ
れに伴う溝幅の減少の影響はなくなり、良好なトラッキ
ングエラー信号の検出が行えるようになる。
実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明に係る光ディスク基板を示すもので、第
2図と同一部分には同一符号を付しである。
PC(ポリカーボネート)等から成る透明樹脂基板10
の信号記録面にトラッキング用溝11か記録トランクに
沿ってスパイラル状に形成されている。トラッキング用
溝11の溝間は、すなわちランド部12であり、このラ
ンド部12が溝11に対して凹凸状に形成されている。
記録媒体への情報の記録・再生はランド部12を通して
レーザ光をμ、6射集束させることによって行われる。
トラッキング用溝11のトランクピッチCは1゜611
 m N溝の深さは700A−1000Aに設定されて
いる。溝11の溝幅aとランド部12の溝間幅すとの比
は、a/b=0.6〜3.0の範囲に選ばれている。そ
の数値の範囲で最も好適に値に選ばれる。実施例では、
溝部11の幅は0.9μmであり、これに対して上述し
た比の範囲に収まるようにランド部12の幅か設定され
ている。
この場合は、ランド部12の幅は0.7μmである。
透明基板10のトラ、キング用慮11が形成された一面
にSiO2膜13が形成されている。
SiO2膜13は、LPD(LiQuid  Phas
e  Deposition)法と呼ばれる析出法文は
スパッタ法等により基板10の溝形成面側に被着される
。その膜厚は、1000〜2000A1より具体的には
1500A程度である。
このSiO2膜13により、記録膜形成後における光デ
ィスクが反り、変形等から保護される。したがって、膜
形成後におけるディスクの反り、変形等はなくなる。
5102膜13は、例えば上述したLPD法で膜形成さ
れる。このLPD法では、室温近くの溶液中へ透明基板
10を浸漬するたけで、その表面にSiO2のvL13
か形成される。基板10の浸漬液としては、ケイぶつ化
水素酸(H2SiF6)の水溶液にSiO2粉末(たと
えば、シリカゲル)を飽和し、その後、ホウ酸水溶液(
H3BO3)を添加したものが用いられる。この溶液中
に透明基数10を浸漬すると、表面へのSiO2N2の
析出が始まり、所定の時間で基板表面にSiO2膜が所
望の厚さで形成される。このようにして得られたSiO
2y:13は、膜組成が極めて緻密であるという特長を
有する。また、基板を室温近くの溶液中へ短時間浸漬す
るたけで良いので、他のコーティング手法に比べて膜作
製が簡単に行える。
トラッキング用溝11のトランクピッチCは、ディスク
のサイズ、種類等に応じて変わるものであり、上述した
1、6μmに対して2,0μm等に設定することが可能
である。そこで、上述した第1の実施例に対して第2の
実施例では、トラ。
クピソチCを2.04m1溝幅を1.0μmに設定して
トラッキング用溝11を形成した。この場合溝間のラン
ド部12の幅すは1.0μmであり、溝幅との比a/b
は上述した(0.6〜3.0)の範囲にある。この溝1
1の上にさらにSiO2膜13が約1500Aの膜厚で
成膜される。
以上のように形成された光ディスク基板の8102膜1
3上には、さらに記録媒体かスパッタ法等によって成膜
される。例えば、光磁気ディスクである場合は、SiO
2膜13膜上3保護層14/磁性層15/保護層16の
如く三層構造で光磁気記録媒体か成膜される。この場合
、s+02膜13を1500A程度に厚くしておくと、
第2層の保護層の厚さを薄くできるので、保護層の成膜
に要する時間を短縮することができる。磁性層15は、
TbFe1TbFeCo等の希土類−遷移金属アモルフ
ァス合金より成る光磁気記録膜で形成されており、その
上下面を二層の保護膜14.16によってサンドウィッ
チ状に挟持されている。
保護層14.16は、A1203、Y203.SiO3
等の酸化物、あるいはS r N% A I N等の窒
化物材料で形成される。磁性層15へMO(光磁気)情
報を記録又は再生するにあたり、MOヘッドから照射さ
れるレーザ光は、透明基板10のランド部12を通して
磁性層15の記録領域に照射集束される。その記録・再
生の原理は周知の通りであるから省略する。そして、ト
ラ、キング用溝11に入射したレーザ光はその溝部で反
射され、例えば反射回折光の強度分布の変化として読み
取られる。これによってトラッキングエラー信号が検出
される。このトラッキングエラー信号に基づいて磁性層
15に照射されるレーザビームかトラ、キングサーボさ
れ、MO情報の記録トラックに追従制御される。その際
、トラッキング用溝11の溝幅aと溝間幅すとの比が上
述したとおり、0゜6〜3.0の範囲で選定されている
のて、溝部11の幅aを0.9〜1.0μmと幅広くす
ることかでき、その上に形成するSiO2YX13の膜
厚を100.0〜2000A程度と厚くした場合でも、
溝11の変形、それに伴う溝幅Wの減少による影響を受
けることな(、十分かつ良好にトラッキングエラー信号
を取り出すことができる。すなわち)S102膜13を
1000〜2000Aの膜厚で成膜すると、トラ、キン
グ用溝11の溝部の幅aに対してトラッキングエラー信
号取り出しに要する自゛効溝幅Wが減少するが、それで
もなおかつ、トラッキングエラー信号取り出しに支障を
来たさない程度の十分な広さの溝幅Wを得ることができ
る。
なお、本発明はMOディスク、追記可能型ディスクのデ
ィスク基板たけてなく、トラッキング用のプリグループ
が形成される溝付き基板であれば広く適用することがで
きる。
また、S l 02膜13に代えてガラス系膜を使用す
ることもできる。例えば、コーニング社の商品番号70
59 (バリウム硼珪酸ガラス)が好適であるが、無ア
ルカリガラスであれば、その他の適宜のものを適用する
ことができる。
発明の効果 以上の説明に明らかなとおり、本発明によれば、SiO
2系、ガラス系の膜形成に伴う溝変形の影響を受けるこ
となく、トラッキング用溝の溝幅を十分に広く確保する
ことができ、良好かつ正確なトラッキングエラー信号の
取り出しが行える。したかって、SiO2系、ガラス系
膜の形成に伴う溝変形、それによる溝幅の減少をなくシ
、十分かつ良好なトラッキングサーボをかけられるよう
になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る光ディスク基板を示す部分拡大断
面図、第2図は従来の光ディスク基板を示す部分拡大断
面図である。 1011・・透明基板、 11・舎・トラッキング用溝、 12φ・番溝間ランド部、 13・Φ・SiO2膜。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板の一面にトラッキング用溝が形成された
    光ディスク基板において、前記トラッキング用溝の溝幅
    aと溝間幅bとの比を a/b=0.6〜3.0 の関係に設定したことを特徴とする光ディスク基板。
  2. (2)透明樹脂基板の一面にトラッキング用溝が形成さ
    れた光ディスク基板において、前記トラッキング用溝の
    溝幅aと溝間幅bとの比を a/b=0.6〜3.0 の関係に設定し、前記トラッキング用溝の上にSiO2
    系またはガラス系の膜を1000〜2000A(オング
    ストローム)の範囲で成膜したことを特徴とする光ディ
    スク基板。
JP63018970A 1988-01-29 1988-01-29 光ディスク基板 Pending JPH01194149A (ja)

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JP63018970A JPH01194149A (ja) 1988-01-29 1988-01-29 光ディスク基板

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991016708A1 (fr) * 1990-04-17 1991-10-31 Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. Procede de preparation d'un support d'enregistrement magnetooptique et support d'enregistrement magnetooptique
WO1995029483A1 (fr) * 1994-04-23 1995-11-02 Sony Corporation Support d'enregistrement et tete d'enregistrement magneto-optiques
JPH08124220A (ja) * 1994-08-29 1996-05-17 Nec Corp 光ディスク媒体および光ディスク記録・再生方法

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