KR100651862B1 - 초해상 광기록매체 - Google Patents

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KR100651862B1
KR100651862B1 KR1020050113012A KR20050113012A KR100651862B1 KR 100651862 B1 KR100651862 B1 KR 100651862B1 KR 1020050113012 A KR1020050113012 A KR 1020050113012A KR 20050113012 A KR20050113012 A KR 20050113012A KR 100651862 B1 KR100651862 B1 KR 100651862B1
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optical recording
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dielectric layer
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KR1020050113012A
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곽금철
장기엽
이창호
김진홍
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로, CD/DVD/BD 등의 롬(ROM)을 포함하는 광기록매체에 있어서, 상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지는 다수개의 제1트랙과, 상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지고, 상기 제1트랙과 다른 기하학적 표면을 가지며, 상기 제1트랙과 번갈아 형성되는 다수개의 제2트랙과, 상기 제1트랙 또는 제2트랙에 형성되는 기록마크을 포함하여 구성되어, 피트의 크기가 회절한계 이하인 초해상 광기록매체에서 매체의 표면에 기하학적 변화를 가함으로써, 매체의 회전과 피트를 추적하여 기록 신호를 트래킹하는 트래킹 서보를 용이하게 수행할 수 있게 하는 것이다.
매체, 트래킹, 롬, 피트, 초해상.

Description

초해상 광기록매체{High definition optical media}
도 1은 종래의 광디스크의 구조를 나타내는 확대도
도 2는 본 발명의 광기록매체의 제 1실시예를 나타내는 확대도
도 3은 본 발명의 광기록매체의 제 2실시예를 나타내는 확대도
도 4는 본 발명의 광기록매체의 제 3실시예를 나타내는 AFM 사진
도 5는 본 발명의 광기록매체의 제 4실시예를 나타내는 AFM 사진
도 6은 본 발명의 광기록매체의 구성을 나타내는 단면도
도 7과 도 8은 본 발명의 광기록매체를 이용한 트래킹 에러신호를 나타내는 신호도
도 9와 도 10은 종래의 광기록매체를 이용한 트래킹 에러신호를 나타내는 신호도
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>
100 : 광기록매체 110 : 기판
120 : 기록층 121 : 제1유전체층
122 : 재생층 123 : 제2유전체층
124 : 광투과층 125 : 반사층
130 : 제1트랙(제1표면) 140 : 제2트랙(제2표면)
150 : 기록마크
본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로 특히, 광기록매체에 기하학적 변형을 주는 방법을 통하여 광디스크의 회전과 피트를 따라가서 신호를 트래킹하는 트래킹 서보를 용이하게 할 수 있도록 하는 광디스크 구조에 관한 것이다.
현재 개발되어 사용되는 광디스크의 저장용량은, 적색 레이저를 사용한 DVD급 (4.7GB)과 최근 시장에 진입한 청색 레이저를 사용한 BD(Blue-lay Disk)급(25GB) 정도가 가능하다.
하지만 최근 도래하고 있는 고선명 디지털 비디오(High Density Digital Video)의 신호 흐름을 정보로서 저장하기 위해서는 20GB 이상의 용량과 25Mbps이상의 데이터 전송 속도로 기록할 수 있는 정보저장매체가 필요하다.
또한 2005년 이후에는 100GB/CD-size 이상, 2010년 이후에는 Terabyte(TB)/CD-size급 용량의 정보기록이 가능한 기술을 요구하게 될 것이다.
이와 같은 다양한 멀티미디어 환경에서 다기능 정보 저장기술의 여러 형태가 개발되어 오고 있다.
그 중에서도 광기록기술은 탈착 가능하면서도 대용량 정보저장이 가능하고, 멀티미디어 환경에서 필수적인 랜덤 액세스(random access) 및 데이터의 신뢰성을 지니고 있고, 비용이 저렴하기 때문에 여러 정보 저장방식 중 가장 각광 받고 있 다.
이와 같은 광기록 매체의 용량(밀도)의 증가는 기록 피트(pit)의 크기를 줄임으로써 가능하다.
기록 피트의 크기는 레이저 파장에 비례하고 대물렌즈의 개구수(Numerical Aperture: NA)에 반비례하므로(d ∝ λ/NA, 여기서 d는 레이저 빔 크기, λ는 파장, NA는 렌즈의 개구수), 이를 위해서는 입사 레이저의 파장을 줄이거나 대물렌즈의 개구수를 증가시켜 왔다.
따라서 단파장 레이저를 이용한 기록과 재생이 되는 기록매체는 고밀도 저장매체로 가는 첫걸음이 된다.
그러나 단파장 레이저(청색 레이저(405nm)) 및 고 개구수(NA=0.85) 사용으로 인한 고밀도화는 거의 이론적인 한계에 도달하였으며, 그 이상의 저장 용량을 구현하기 위해서는 새로운 방안을 필요로 한다.
따라서 기존 CD와 DVD 재생기기들과 호환이 되면서도 초기 CD 저장 용량인 650MB보다 수백배 높은 고밀도 정보저장이 가능한 광 메모리의 한 방안으로 초해상(super-resolution) 현상을 이용한 광디스크 연구개발이 진행되고 있다.
상기 초해상을 이용한 광디스크 기술은 종래의 레이저 광 픽업 시스템을 사용하면서 기록 마크 크기를 획기적으로 줄여 저장밀도를 증가시킬 수 있는 기술이다.
종래에 광디스크(CD/DVD/BD) 픽업에서 사용하던 트래킹(Tracking) 방법은 크게 PP, DPP, DPD 법이 이용되어 왔는데, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 롬(ROM)의 경우 랜드/그루브(Land/Groove) 형상이 없고 평면(1)에 일정한 길이의 피트(2)가 기록되어 있어서 이 피트(2)를 판독하면서 트래킹 서보(tracking servo)를 작동하면서 신호를 읽었다(DPD 법).
상기 트래킹 서보는 광디스크를 읽기 위한 회전과 피트를 따라가서 신호를 트래킹하는 방법으로서, 서보 시스템은 규칙을 가진 피트(2)열을 지닌 광디스크와, 이를 해독하는 광픽업, 그 피트열의 펄스를 만드는 회로가 회전의 검출장치로 작동하고 있다.
그러나 초해상 디스크 기술에서 이용하는 피트 크기가 회절한계(WL/4NA; WL, wavelength of laser) 이하로 급격히 줄어들면서, 회전과 피트를 따라가서 신호를 트래킹하는 트래킹 서보를 수행하는 것이 매우 난이한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 초해상 재생층이 포함된 광기록매체에서 회절한계 이하의 기록 피트를 재생할 수 있도록 할 수 있는 광기록매체를 제공하고자 한다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, CD/DVD/BD 등의 롬(ROM)을 포함하는 광기록매체에 있어서, 상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지는 다수개의 제1트랙과, 상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지고, 상기 제1트랙과 다른 기하학적 표면을 가지며, 상기 제1트랙과 번갈아 형성되는 다수개의 제2트랙과, 상기 제1트랙 또는 제2트랙에 형성되는 기록마크 을 포함하여 구성함으로써 달성된다.
상기 기록마크는 제1트랙에 형성될 수도 있고, 제2트랙에 형성될 수도 있으며, 원형 또는 다각형 등의 다양한 형상으로 형성이 가능하다.
상기 다른 기하학적 표면은 높이를 다르게 한 표면인 것이 바람직하며, 랜드(land)와 그루브(groove) 형태의 높이가 다른 표면을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기하학적 표면은 서로 곡면으로 이어지는 높이가 다른 표면으로 형성할 수도 있으며, 경우에 따라서는 산과 계곡 형상으로 높이가 다르게 형성되는 표면일 수도 있다.
상기 기록층은 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 구성되며, 상기 기판과 제1유전체층 사이에는 반사율이 높은 금속으로 형성되는 반사층이 형성될 수도 있다.
상기 재생층은 GeSbTe 또는 AgInSbTe로 형성하는 것이 바람직하며, 경우에 따라서는 Si, Ge, ZnO 중 어느 하나 또는 그 이상의 반도체 물질로 형성될 수도 있다.
상기 제1유전체층 또는 제2유전체층은, 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티타늄, 아연, 탄탈룸 중 어느 하나의 산화물, 유화물, 질화물, 또는 그 혼합물로 이루어지며, 바람직하게는 ZnS와 SiO2의 혼합물로 이루어지도록 한다.
또한, 상기 ZnS와 SiO2의 몰비는 80:20인 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 관점으로서, 본 발명의 초해상 광기록매체는, 원형의 광기록 매체의 기판상에 반사층과, 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되는 기록층과, 상기 광기록매체의 트랙마다 서로 다른 표면을 갖도록 상기 기록층에 기하학적 변형을 가한 기록면과, 상기 서로 다른 표면의 일측 표면에 형성되는 기록마크를 포함하여 구성되는 것을 기술상의 특징으로 한다.
상기 반사층은, Al, Au, Ag, 및 Cu 중 어느 하나 또는 그 이상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 관점으로서, 본 발명은, 광기록매체에 있어서, 광기록매체의 기판상에 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되는 다수개의 제1표면과, 광기록매체의 기판상에 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되며, 상기 제1표면과 다른 높이를 가지며, 상기 제1트랙과 번갈아 형성되는 다수개의 제2표면과, 상기 제1표면 또는 제2표면에 형성되는 기록마크를 포함하여 구성되는 것을 기술상의 특징으로 한다.
상기 기록마크는 파장이 380 내지 450nm의 레이저 빔을 이용하여 판독이 가능한 초해상 디스크에 적용이 가능한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2와 도 3에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 광기록매체(100)는 트래킹 서보의 방법으로서 PP 법이나 DPP 또는 DPD 법을 사용하기 위하여, 랜드/그루브(Land/Groove) 형태의 제1트랙(130) 및 제2트랙(140)을 형성하고, 상기 제1트랙(130) 또는 제2트랙(140)에 기록마크(150)를 형성한다.
도 2에서는 랜드 형태의 제1트랙(130)에 기록마크(150)를 형성한 실시예를 나타내고 있고, 도 3에서는 그루브 형태의 제2트랙(140)에 기록마크(150)를 형성한 실시예를 나타내고 있다.
상기 기록마크(150)는 원형을 이룰수도 있고, 다각형이나 타원형 등의 다양한 형상으로 형성이 가능하다.
또한, 본 발명의 기하학적 변형을 이루는 트랙(130, 140)은 도 4 및 도 5에서 도시하는 바와 같이, 서로 곡면으로 이루어지는 높이가 다른 면을 형성하여, 높은면을 이루는 제1트랙(130)과 낮은면을 이루는 제2트랙(140)을 형성할 수도 있다. 상기 도 4 및 도 5는 실제로 구현된 본 발명의 광기록매체의 AFM 사진을 나타내고 있다.
상기 도 2 및 도 3의 경우와 마찬가지로, 기록마크(150)는 제1트랙(130) 또는 제2트랙(140) 중 어느 한 트랙에 형성한다.
도 6은 본 발명의 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 나타내고 있으며, 기판(110) 위에 제1유전체층(121), 재생층(122), 제2유전체층(123) 및 광투과층(124)이 차례로 형성된 구조를 나타낸다.
상기 기판(110)은 원반상의 기판을 사용한 실시예를 나타내며, 이 기판(110)의 재료로서는 유리, 세라믹, 수지 등 여러 가지가 가능하지만 가벼우면서 사출성이 우수하고 레이저 입사 때 복굴절(Birefringence)이 작은 특성을 이용하여 신호대 잡음비(CNR; Carrier-to Noise Ratio) 증가를 위해 PC(Polycarbonate)를 사용한다.
상기 기판(110)의 제작은 스탬퍼를 이용한 사출 성형법을 이용하는 것이 바람직하지만, 포토 폴리머법 등 기타 다른 방법도 가능하다.
상기 기판(110) 위에는 반사층(125)이 형성될 수도 있는데, 이 반사층(125)은 광투과층(124)으로부터 입사되는 레이저 빔을 반사하고 다시 한 번 광투과층(124)으로 출사시키는 역할을 한다.
상기 반사층(125)의 재료로는 마그네슘, 알루미늄, 티탄, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 게르마늄, 은, 백금 등을 이용할 수 있다.
이 중 높은 반사율을 가지는 것으로 알루미늄, 금, 은, 동, 또는 이런 합금 등의 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서 광기록매체(100)에 반사층(125)을 형성하는 것이 필수적이지는 않지만 반사도를 확보하면 광기록 후에 다중 간섭 효과에 의하여 높은 재생 신호(C/N비)를 얻기 용이해진다.
상기 반사층(125)의 두께로는 5 ~ 300nm로 설정하는 것이 바람직하고, 20 ~ 200nm에 설정하는 것이 보다 바람직하다. 이는 반사층(125)의 두께가 5nm 미만일 때는 상기 반사층(125)에 의한 상기효과를 충분히 얻을 수 없는 반면, 반사층(125)의 두께가 300nm 이상일 때는 반사층(125)의 표면성이 낮아질 뿐만 아니라 성막 시간이 길어지고 생산성이 저하되기 때문이다.
상기 제1유전체층(121)과 제2유전체층(123)은 이들 사이에 설치되는 재생층(122)을 물리적 및 화학적으로 보호하는 역할을 하고 기록 정보의 열화를 효과적으로 방지하는 역할을 한다.
상기 유전체층(121, 123)을 형성하는 재료는 사용되는 레이저 빔의 파장 영역에 있어서 투명한 유전체라면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 산화물, 유화물, 질화물 또는 이러한 조합을 주성분으로 하고 이용할 수 있다.
그러나 기판(110) 등의 열변형 방지 및 재생층(122)의 보호 특성의 관점으로 볼 때, 상기 유전채층(121, 123)은 Al2O3, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO2, SiO, SiO2, Si3N4, SiC, La2O3, TaO, TiO2 등 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티타늄, 아연, 탄탈룸 등의 산화물, 유화물, 질화물 등 또는 그러한 혼합물을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 ZnS와 SiO2의 혼합물을 이용하는 것이 보다 바람직하다.
이 경우 ZnS와 SiO2의 몰비는 80:20 정도에 설정하는 것이 특히 바람직하다. 이때, 상기 제1유전체층(121)과 제2유전체층(123)은 서로 동일재료로 구성되어도 되고, 다른 재료로 구성되어져도 된다.
또한 상기 유전체층(121, 123)의 두께는 특별히 한정되지 않지만 3 ~ 200nm로 형성하는 것이 바람직하다.
이는 두께가 3nm 미만일 때는 상기한 효과가 얻어지기 어려워질 수 있고 두께가 200nm를 넘는다면 성막시간이 길어지고 생산성이 저하되는 우려가 있는 동시에 유전체층이 가지는 응력에 의하여 크랙(crack)이 발생할 가능성이 있기 때문이다.
재생에 관여하는 상기 재생층(122)은 초해상 재생을 가능하게 하는 GeSbTe 또는 AgInSbTe 또는 반도체 물질(Si, Ge, ZnO) 등이 될 수 있다. 상기 재생층(122) 은 가역적인 굴절율 변화가 수반되는 층이다.
상기 재생층(122)는 한 층 또는 그 이상의 층을 형성할 수도 있고, 각 층의 두께는 특별히 한정되지는 않지만 재생 신호의 노이즈 레벨을 충분히 억제하고 충분한 기록 감도를 확보하고 또한 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 하기 위해서는 1 ~ 30nm 인 것이 바람직하다.
상기 재생층(122)는 초해상 현상을 가능하게 하는 물질로 이루어져 있고 사용되는 물질로는 비선형 광학 물질이나 온도 분포에 따라 광학 특성이 변하는 Thermochromic 물질 또는 Photochromic 또는 상변화물질 등을 사용한다.
상기 광투과층(124)은 레이저 빔의 입사면을 구성하는 것과 동시에 레이저 빔의 광로가 되는 층이고 그 두께로서는 100㎛ ~ 0.6mm 정도를 사용한다.
상기 광투과층(124)의 재료로서는 사용되는 레이저 빔의 파장영역에서 광투과율이 충분히 높은 재료로 있는 한 특별히 한정되지 않지만 아크릴계 또는 에폭시계의 자외선 경화성 수지를 이용하는 것이 바람직하다. 또는 광투과성 수지로 제작된 광투과성 시트와 각종 접착제 또는 점착제를 이용할 수도 있다.
상기 기록층(120)의 형성방법으로서는 이러한 구성원소를 포함하는 화학종을 이용한 상 성장법, 예를 들면 스퍼터링 방법이나 진공 증착법을 이용할 수 있으며 이 중에서 스퍼터링법을 이용하는 것이 바람직하다.
본 실시 형태에 관련되는 광기록매체(100)는 파장이 380 ~ 450nm, 바람직하게는 약 405nm인 레이저 빔(laser beam)을 광투과층(124)의 표면인 광 입사면으로부터 기록층(120)에 조사하는 것에 의해 데이터(data)의 재생이 가능하다.
본 발명의 광재생매체(100)에 대한 데이터의 재생에 있어서는 개구수가 0.7 이상, 바람직하게는 0.85 정도의 대물 렌즈가 사용되고 이에 따라 기록층(120) 위에 조사되는 레이저 빔의 빔 스폿은 약 0.4㎛ 정도가 된다.
일정 파워를 가지는 레이저가 조사된 부분은 고온 부분과 상대적으로 저온부분으로 분리가 되고 입사 빔과의 관계에 의해 회절한계 보다 작은 개구부(Aperture)를 형성하게 되며 이에 따른 반사율 차이에 의해서 광 재생을 할 수 있다.
또한, 상기 기록층(120)은 사이에 분리층(도시되지 않음)을 두고 복수개의 층으로 이루어질 수도 있다. 이때 두번째 기록층의 재생층은 Ag 성분을 포함하도록 한다.
도 7 내지 도 10은 일반적인 초해상 광기록매체와 본 발명의 실시예로 제작된 광기록매체에 있어서 기록 파워에 대한 재생 신호의 트래킹 에러(Tracking Error) 신호를 나타낸 사진이다.
도 7과 도 8은 각각 본 발명의 실시예의 광기록매체의 신호를 도시하는 것으로서, 도 7은 단일 재생층(122)을 가지는 광기록매체이고, 도 8은 3층 재생층(122)을 가지는 광기록매체의 경우를 나타낸다.
또한, 도 9와 도 10은 각각 종래의 단일 재생층과 3층 재생층을 가지는 광기록매체의 경우를 나타낸다.
본 발명의 실시예에 사용된 재생 층으로 GeSbTe 계열의 상변화물질을 사용하였다. 이때 기록은 75nm의 단일 기록마크(pit)로 기록되었고, 재생광의 레이저 파 장이 405nm, NA는 0.85, 선속도는 3.0m/sec, 재생광의 파워는 0.35mW의 조건으로 측정이 실시되었다.
도시하는 바와 같이, 본 발명의 트래킹 에러 신호(Tracking Error Signal)의 진폭은 각각 3.32V(도 7), 2.01V(도 8)인 것을 알 수있다. 이 결과에서 보는 바와 같이 본 발명의 실시예의 경우에 트래킹 에러 신호의 진폭이 도 9 및 도 10에서 나타내는 종래의 경우(1.68V: 도 9, 0.73V: 10)보다 2배 이상 큰 것을 알 수 있다.
이 경우에 있어서 이 광학계에서의 재생한계는 119nm이지만 초해상 현상을 나타내는 구조를 이용하여 약 40dB정도의 높은 신호대 잡음비를 얻을 수 있었다.
상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 다양한 형태의 변형이 가능하고, 이러한 기술적 사상의 여러 실시 형태는 모두 본 발명의 보호범위에 속함은 당연하다.
이상과 같은 본 발명은 피트의 크기가 회절한계 이하인 초해상 광기록매체에서 매체의 표면에 기하학적 변화를 가함으로써, 매체의 회전과 피트를 추적하여 기록 신호를 트래킹하는 트래킹 서보를 용이하게 수행할 수 있게 하는 효과가 있는 것이다.

Claims (21)

  1. 광기록매체에 있어서,
    상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지는 다수개의 제1트랙과;
    상기 광기록매체의 기판상에 형성되는 기록층을 가지고, 상기 제1트랙과 다른 기하학적 표면을 가지며, 상기 제1트랙과 번갈아 형성되는 다수개의 제2트랙을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제1트랙 또는 제2트랙에는 기록마크가 형성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 기록마크는 원형 또는 다각형 형상인 것을 특징으로 하는 광기록매체
  4. 제 1항에 있어서, 상기 다른 기하학적 표면은, 높이가 다른 표면인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 다른 기하학적 표면은, 랜드(land)와 그루브(groove) 형상인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 다른 기하학적 표면은, 서로 곡면으로 이어지는 높이가 다른 표면인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 다른 기하학적 표면은, 산과 계곡 형상인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 기록층은 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 재생층은 GeSbTe 또는 AgInSbTe로 형성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 재생층은 Si, Ge, ZnO 중 어느 하나 또는 그 이상의 반도체 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 기록층에는 기판과 제1유전체층 사이에 반사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 제1유전체층 또는 제2유전체층은, 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티타늄, 아연, 탄탈룸 중 어느 하나의 산화물, 유화물, 질화물, 또는 그 혼 합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 제1유전체층 또는 제2유전체층은, ZnS와 SiO2의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 ZnS와 SiO2의 몰비는 80:20인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  15. 초해상 광기록매체에 있어서,
    원형의 광기록매체의 기판상에 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되는 기록층과;
    상기 광기록매체의 트랙마다 서로 다른 표면을 갖도록 상기 기록층에 기하학적 변형을 가한 기록면과;
    상기 서로 다른 표면의 일측 표면에 형성되는 기록마크를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  16. 제 14항에 있어서, 상기 기판과 제1유전체층 사이에는 Al, Au, Ag, 및 Cu 중 어느 하나 또는 그 이상으로 이루어지는 반사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
  17. 광기록매체에 있어서,
    광기록매체의 기판상에 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되는 다수개의 제1표면과;
    광기록매체의 기판상에 제1유전체층과, 재생층과, 제2유전체층, 및 광투과층을 포함하여 형성되며, 상기 제1표면과 다른 높이를 가지며, 상기 제1트랙과 번갈아 형성되는 다수개의 제2표면과;
    상기 제1표면 또는 제2표면에 형성되는 기록마크를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 광기록매체는 원형 형상이고, 상기 제1표면과 제2표면은 상기 원형 형상의 원주방향을 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  19. 제 17항에 있어서, 상기 제1표면과 제2표면은, 각각 랜드(land)와 그루브(groove) 형상인 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  20. 제 17항에 있어서, 상기 제1표면과 제2표면은, 서로 곡면으로 이어지는 것을 특징으로 하는 광기록매체.
  21. 제 17항에 있어서, 상기 기록마크는 파장이 380 내지 450nm의 레이저 빔을 이용하여 판독이 가능한 것을 특징으로 하는 광기록매체.
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US5084860A (en) 1985-06-19 1992-01-28 Hitachi Ltd. Apparatus for optical disc memory with correction pattern and master disc cutting apparatus
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