JPH01190269A - 超音波モータの保護装置 - Google Patents

超音波モータの保護装置

Info

Publication number
JPH01190269A
JPH01190269A JP63012155A JP1215588A JPH01190269A JP H01190269 A JPH01190269 A JP H01190269A JP 63012155 A JP63012155 A JP 63012155A JP 1215588 A JP1215588 A JP 1215588A JP H01190269 A JPH01190269 A JP H01190269A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
ultrasonic motor
abnormality
detection means
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63012155A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2576450B2 (ja
Inventor
Tadao Takagi
忠雄 高木
Daisuke Satani
大助 佐谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP63012155A priority Critical patent/JP2576450B2/ja
Publication of JPH01190269A publication Critical patent/JPH01190269A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2576450B2 publication Critical patent/JP2576450B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/14Drive circuits; Control arrangements or methods
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は超音波モータの保護装置に関するものである。
(従来の技術) 第12図は、超音波モータの構成の断面図を示す。リン
グ状の弾性体1及び支持部分1a、lb及び圧電体2及
び電極2a〜2Cから成るステータは、電極2a〜2C
への高周波電圧の印加により駆動面1cに進行波を発生
する。リング状のロータ3は、支持部分3a、3bを介
して不図示の付勢手段によりステータの駆動面ICに加
圧接触され、前記進行波により駆動される。
第13図は、第12図の超音波モータの駆動回路図を示
す。発振器4は、前記超音波モータのステータとロータ
とからなる系の共振周波数もしくはその近傍の周波数(
以後この周波数を入力基本周波@ f rと呼ぶ)を出
力する。移相器5は、発振器4から出力された交流電圧
の位相をπ/2ずらして出力するものであって、そのず
らし方向によってロータ3の回転方向を変えることがで
きる。
増幅器6.7は、発振器4、位相器5の出力を増幅して
、ステータの圧電体2の電極2b、2cに各々印加する
。なお、電極2aはグランドに接続されており、また電
極2dには電圧が印加されない。この圧電体2の詳細な
構成は、本件出願人による特開昭60−245482等
により公知なためその説明を省略する。
(発明が解決しようとする問題点) 上述した従来の超音波モータでは、超音波モータに異常
が発生しても、それを検知及び保護する手段がなかった
為に超音波モータの損傷を回避できないという問題点が
あった。
例えば、超音波モータの異常として、以下のものが挙げ
られる。
■ 自動/手動の切り換えの為に、超音波モータのステ
ータとロータとを圧接/離間もしくはステータとロータ
との圧接力の増加/低減を行って、クラッチとして機能
させることが可能である。その際に、手動から自動への
切り換え忘れや付勢手段の故障等により圧接力が規定値
以下の状態において、超音波モータへ電源投入を行って
しまうと、ステータの振幅が増大し、圧電体の破壊(割
れ等)が生じる。
■ ステータとロータとの間(圧接面)にゴミ等が入っ
た場合に、圧接面に傷が付き、電流値の増大や耐久性の
低下、効率の低下等が生じる。
■ ステータやロータの圧接面の歪み、平面度が低下し
た場合に、回転むら、耐久性の低下等が生じる。
(問題点を解決する為の手段) 上記問題点の解決の為に、本発明では、超音波モータの
圧電体の入力電圧が印加されていない部分(第1図の電
極2d)から励振によって生じる電圧をモニターして、
このモニター電圧を評価して異常検知を行い、異常が検
知された時には例えば警告やモータの停止を行って超音
波モータの損傷を回避するようにした。
(作用) 超音波モータに前述のような異常が発生した場合に、モ
ニター電圧にはその原因に応じた徴候が現れる為、これ
を検知することにより、例えば警告やモータ駆動停止等
の保護動作を行うことができる。
(実施例) 第1図は本発明の実施例であり、超音波モータの駆動回
路を示す。第13図の駆動回路の構成と同様な構成につ
いては同符号を付し、説明を省略する。
圧電体の電極2dには、入力基本周波数frの交流電圧
が発生し、これは圧電体2の圧電効果を利用したもので
一般的にその振幅はステータの振幅が大きい程大きくな
る。この電極2dに発生した交流電圧はモニター電圧検
出手段8.9に入力されてモニター電圧に変換される。
このモニター電圧検出手段8.9は、後述するように周
波数帯域の各々異なるモニター電圧を検出するものであ
る。このモニター電圧は、異常検知手段10.1)に入
力されてモータの異常の有無の検知に使用され、異常が
検知された場合には保護手段12,13.14が作動す
る。この異常検知手段10.1)は、後述するように各
々異なる超音波モータの異常を検知するものである。
この保護手段12は、異常発生の警告表示(音警告、表
示警告等)を行うものであり、異常がモータ自体を破壊
することがないような軽微な異常の場合に作動し、異常
時にも使用者の判断によって対処すれば正常に戻すこと
ができるものである。また、保護手段13.14’は、
前述と同様な異常発生の警告表示と、モータの駆動を停
止する為に電源の遮断を行うものであり、異常がモータ
自体を破壊するような場合に作動する。
第2図は、モニター電圧検出手段9(8)、異雷検知手
段1)(10)、保護手段13(12)の具体的構成を
表す回路図である。
このモニター電圧検出手段9 (8)は、バンドパスフ
ィルタ15と整流器16とから構成されている。また異
常検知手段1)(10)は、比較器17から構成されて
いる。また保護手段13(I2)は、発光ダイオード1
8、トランジスタ19とから構成されている。
圧電体2の電極2dから発生した交流電圧は、端子20
からバンドパスフィルタ15に入力され、ここで所望の
周波数帯域が選択される。そして、バンドパスフィルタ
15で濾過された交流電圧は整流器16によって整流さ
れモニター電圧に変換される。
そして、このモニター電圧は、比較器17によって所定
電圧と比較されて、これを上回る場合には異常信号が出
力される。この異常信号の出力によりトランジスタ19
がオンして発光ダイオード18が点灯して異常を警告す
ると共に、端子21を介して保護手段14の電源遮断ス
イッチをオフして超音波モータへの電源の入力を遮断す
る。
次に、バンドパスフィルタ15の周波数帯域の具体例に
ついて説明する。
[1)バンドパスフィルタ15を入力基本周波数frの
近傍範囲内に設定した場合。
第5図に示す如くバンドパスフィルタ15ば、IB(f
)l=oの場合−〇≦f<fr−Δ1B(f) l =
 1の場合−+ f r−Δ≦1≦rr+Δ+Bml=
Oの場合−rr+Δ〈r の条件を満たす感度を存するものである(但し、fは電
極2dから発生する交流電圧の周波数、Δは超音波モー
タ駆動中に基本周波数が振れる範囲を示すズレ量)。す
なわち、バンドパスフィルタ15は、図のハンチング部
分の周波数帯域の交流電圧成分を通過させるものである
第3図は、超音波モータが正常に動作した場合に圧電体
の電極2dから発生する交流電圧の波形を表している(
縦軸Vpは電圧、横軸tは時間)。
これに対して、前述した問題点■のような異常即ちステ
ータとロータとの圧接力が正常な動作に必要な規格値以
下になる異常を生じた場合には、第4図に示されるよう
に、電極2dに発生する交流電圧の振幅が増大してしま
う。
このような異常に対しては、第5図のように設定された
バンドパスフィルタ15を使用すれば、容易に異常の発
生したことを検知できる。このようなバンドパスフィル
タ15は、第1図のモニター電圧検出手段9に設定され
る。そうすると、電極2dより検出される交流電圧は、
このバンドパスフィルタ15及び整流器16によりモニ
ター電圧に変換され、このモニター電圧が異常検知手段
1)の比較器17により第一所定電圧と比較されて、第
一所定電圧を越えれば、異常と判定される。そしてモー
タ自体の破壊の恐れがある異常に対しては保護手段13
と14が作動し、警告表示とモータ電源の遮断による強
制停止とを行う。
(2)バンドパスフィルタ15を入力基本周波数frの
近傍の所定周波数以上に設定した場合。
第8図に示す如くバンドパスフィルタ15は、1 [1
(f) l = Oの場合→0≦f<fr+Δ1B(f
)l=1の場合−fr+Δ≦fの条件を満たす感度を存
するものである。
第6図は、超音波モータが正常に動作した場合に圧電体
の電極2dから発生する交流電圧の波形を表している。
これに対して、前述した問題点■のような異常即ちステ
ータとロータとの圧接面にゴミ等が入る異常を生じた場
合には、第7図に示されるように、電極2dに発生する
交流電圧に高周波成分が加算された波形となる。
このような異常に対しては、第8図のように設定された
バンドパスフィルタ15を使用すれば、高周波成分を検
知できて容易に異常の発生したことを検知できる。この
ようなバンドパスフィルタ15は、第1図のモニター電
圧検出手段8に設定される。そうすると、電極2dより
検出される交流電圧は、このバンドパスフィル□り15
及び整流器16によりモニター電圧に変換され、このモ
ニター電圧すなわち高周波成分が異常検知手段1)の比
較器17により第二所定電圧と比較されて、第二所定電
圧を越えれば、異常と判定される。そして圧接面のゴミ
等による電流値の増大、耐久性、駆動効率の低下等に繋
がる異常に対しては保護手段12が作動し、警告表示を
行う。使用者は、この警告表示を受けることにより、モ
ータの異常を知りそれに対処(例えば、圧接面の掃除等
)すればよい。
(3)バンドパスフィルタ15を入力基本周波数frの
近傍の所定周波数以下に設定した場合。
第1)図に示す如くバンドパスフィルタ15は、IB(
f)l=1の場合→0≦f<f r−Δ1B(f)l=
oの場合→fr−Δ≦fの条件を満たす感度を有するも
のである。
第9図、第10図は、第3図、第4図、第6図。
第7図に比べ、時間軸を圧縮しており、包路線も図示し
ている。
第1)図は、超音波モータが正常に動作した場合に圧電
体の電極2dから発生する交流電圧の波形の包路線を表
している。これに対して、前述した問題点■のような異
常即ちステータとロータとの圧接面の歪み、平面度の低
下による異常が生じた場合には、第10図に示されるよ
うに、ロータの回転周期に対応した包絡線にうねりが発
生する。
このような異常に対しては、第1)図のように設定され
たバンドパスフィルタ15を使用すれば、包路線のうね
りが検知できて容易に異常の発生したことを検知できる
。このようなバンドパスフィルタ15は、前述した(2
)のバンドパスフィルタ15と同様に第1図のモニター
電圧検出手段8に設定される。そうすると、電極2dよ
り検出される交流電圧は、このバンドパスフィルタ15
及び整流器16によりモニター電圧に変換され、このモ
ニター電圧すなわち包路線の低周波成分が異常検知手段
1)の比較器17により第三所定電圧と比較されて、第
三所定電圧を越えれば、異常と判定される。このような
圧接面の歪み、平面度の低下等による耐久性の低下、回
転むら等に繋がる異常に対しては保護手段12が作動し
、警告表示を行う。使用者は、この警告表示を受けるこ
とにより、モータの異常を知りそれに対処すればよい。
以上のように、バンドパスフィルタ15を有するモニタ
ー電圧検出手段8.9及び比較器17を存する異常検知
手段10.1)は、それぞれ異なる超音波モータの異常
状態を検知して、最適な対処を行うように成っている。
また、保護手段の別の実施例としては、超音波モータの
異常が検知された際に超音波モータの2入力交流電圧の
位相差を変化させたり、あるいは一方の入力交流電圧を
遮断してステータに発生していた進行波を定在波に切り
換える保護手段としてもよく、このように異常時に定在
波を発生させれば、手動による超音波モータの操作を可
能とできる。また、別の保護手段としては、超音波モー
タの異常が検知された際に超音波モータの入力交流電圧
の電圧値を低下させてモータを停止させる入力交流電圧
制御手段を設けてもよい。また、別の保護手段としては
、超音波モータの異常が検知された際に発振器4からの
入力基本周波数frの周波数を変化させてモータを停止
させるような周波数変更手段を設けてもよい。
尚、実施例のように、モニター電圧検出手段に限られる
ことなく、モニター電圧検出手段に換えて、例えば、超
音波モータの入力電流を検出することでもモータの異常
を検知できるので、入力電流検出手段を設けてもよい。
また、実施例のように、種々の超音波モータの異常を検
知する手段を並列的に有するものに限られることはなく
、適宜変更可能であり、例えば、超音波モータの利用分
野の違いによりその装置に必要な一つの保護手段のみ設
けるこうよにしてもよい、すなわち、ステータとロータ
との圧接力を常に正規の力で加えて使うような装置の分
野では、圧接力が減少するようなことはないので、警告
表示のみの保護手段を設けるようにすれば良く、一方、
カメラ分野でレンズ鏡筒に適用された超音波モータでは
、モータに異常が発生したからといって警告表示してし
も到底、使用者には修理困難であり、そのような場合に
はモータ駆動の強制停止回路のみを保護手段として設け
れば良い。また、実施例のように、モニター電圧検出手
段のバンドパスフィルタの濾過帯域が限られるものでは
なく、例えば、種々の異常状態に応じて最適な帯域を実
験的に求めて適宜設定すればよい。また、実施例のよう
に、モニター電圧検出手段にバンドパスフィルタを設け
ているが、例えば、モニター電圧のレヘルにより異常を
判定するものではバンドパスフィルタを通すことなく、
判定できるように回路を構成してもよい。
(発明の効果) 以上のように本発明によれば、超音波モータの圧電体の
入力電圧の印加されていない部分から励振によって生じ
る電圧をモニターして、このモニター電圧を評価して異
常検知を行うので、異常が検知された時には例えば警告
やモータの停止を行って超音波モータの損傷を回避する
ことができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第1)図は本発明の実施例であり、第1図は超
音波モータの駆動回路を示すブロック図、第2図は第1
図のブロック閏の一部を具体化した回路図、第3図及び
第6図及び第9図は異常のない場合の電極2dから発生
する電圧波形図、第4図及び第7図及び第10図は異常
の発生した場合の電極2dから発生する電圧波形図、第
5図及び第8図及び第1)図はバンドパスフィルタの通
過領域を表す説明図である。 第12図は、超音波モータの断面図である。 第13図は、従来の超音波モータの駆動回路を示すブロ
ック図である。 ζ主要部分の符号の説明) ■・・・弾性体、2・・・圧電体、3・・・ロータ、4
・・・発振器、5・・・移相器、6.7・・・増幅器、
8.9・・・モニター電圧検出手段、 10.1)・・・異常検知手段、 12.13・・・保護手段(警告表示)、14・・・保
護手段(電源遮断スイッチ)、15・・・バンドパスフ
ィルタ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 超音波モータの圧電体の入力電圧が印加されて
    いない部分から励振によって生じる電圧をモニター電圧
    に変換して検出するモニター電圧検出手段と、 前記モニター電圧が所定範囲外にあることを検知した時
    、異常信号を出力する異常検知手段と、前記異常信号の
    出力に応じて前記超音波モータの保護動作を開始する保
    護手段とを有することを特徴とする超音波モータの保護
    装置。
  2. (2) 前記異常検知手段は、前記モニター電圧が前記
    超音波モータへの入力基本周波数及びその近傍の帯域成
    分であったことを検知して異常信号を出力し、 前記保護手段は、該異常信号の出力に応じて前記超音波
    モータの駆動を停止させることを特徴とする特許請求の
    範囲第(1)項記載の超音波モータの保護装置。
  3. (3) 前記異常検知手段は、前記モニター電圧が前記
    超音波モータへの入力基本周波数の近傍の所定帯域を越
    えたことを検知して異常信号を出力し、前記保護手段は
    、該異常信号の出力に応じて警告表示を行うことを特徴
    とする特許請求の範囲第(1)項記載の超音波モータの
    保護装置。
JP63012155A 1988-01-22 1988-01-22 超音波モータの保護装置 Expired - Lifetime JP2576450B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63012155A JP2576450B2 (ja) 1988-01-22 1988-01-22 超音波モータの保護装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63012155A JP2576450B2 (ja) 1988-01-22 1988-01-22 超音波モータの保護装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01190269A true JPH01190269A (ja) 1989-07-31
JP2576450B2 JP2576450B2 (ja) 1997-01-29

Family

ID=11797571

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63012155A Expired - Lifetime JP2576450B2 (ja) 1988-01-22 1988-01-22 超音波モータの保護装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2576450B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0411508A2 (en) * 1989-08-03 1991-02-06 Asmo Co., Ltd. Method and device for driving a supersonic motor
JPH03218277A (ja) * 1990-01-23 1991-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モータの駆動方法
JPH0479776A (ja) * 1990-07-19 1992-03-13 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータの駆動回路
JP2018186680A (ja) * 2017-04-27 2018-11-22 セイコーエプソン株式会社 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス
US11824469B2 (en) 2020-11-25 2023-11-21 Seiko Epson Corporation Method for sensing abnormality of piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, and robot

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6447281A (en) * 1987-08-12 1989-02-21 Diesel Kiki Co Lock detector for ultrasonic motor actuator

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6447281A (en) * 1987-08-12 1989-02-21 Diesel Kiki Co Lock detector for ultrasonic motor actuator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0411508A2 (en) * 1989-08-03 1991-02-06 Asmo Co., Ltd. Method and device for driving a supersonic motor
JPH03218277A (ja) * 1990-01-23 1991-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モータの駆動方法
JPH0479776A (ja) * 1990-07-19 1992-03-13 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータの駆動回路
JP2018186680A (ja) * 2017-04-27 2018-11-22 セイコーエプソン株式会社 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス
US11824469B2 (en) 2020-11-25 2023-11-21 Seiko Epson Corporation Method for sensing abnormality of piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, and robot

Also Published As

Publication number Publication date
JP2576450B2 (ja) 1997-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018085403A1 (en) Ultrasonic lens cleaning system with impedance monitoring to detect faults or degradation
JP2009085830A (ja) 産業車両における絶縁抵抗低下検出装置
JPH0361144A (ja) 自動車のドライバー拘束システムの制御装置
JPH0349598A (ja) 車両用交流発電機の制御装置
JPH01190269A (ja) 超音波モータの保護装置
KR100342838B1 (ko) Dsrc 차량탑재기
KR100799496B1 (ko) 차량용 센서의 보호장치
CN205895571U (zh) 一种真空泵电子控制器
JPS59153109A (ja) 変化量測定装置の誤動作監視装置
JPH0630597A (ja) モータ駆動装置
JPH09191655A (ja) 高周波インバータのゲート電源監視回路
JP3090819U (ja) 自動探知切換の自動車バッテリー充電装置
JP3089893B2 (ja) Aeセンサの検査装置
KR940020638A (ko) 유도 접속의 보호장치(protective improvements in inductive coupling)
KR20010061835A (ko) 스위칭 구동형 전원공급기의 이상동작 검출회로
JP2008058141A (ja) 防爆構造型静電気測定器
KR970031143A (ko) 이상전원차단회로
KR20210051445A (ko) 안정화된 특수차량용 전압공급장치
WO1995014326A1 (fr) Dispositif de commande d'une machine rotative
JPH1089592A (ja) 巻き込まれ防止装置
JP2567597Y2 (ja) 故障検知回路付き圧電センサ
JPH07290346A (ja) 超音波加工機の異常検出装置
JPH0739063A (ja) 過電流保護装置
JPH07333272A (ja) 監視装置
KR940009537B1 (ko) 송풍기의 회전자 감지회로

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107

Year of fee payment: 12