JPH01189010A - 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド - Google Patents
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH01189010A JPH01189010A JP1342388A JP1342388A JPH01189010A JP H01189010 A JPH01189010 A JP H01189010A JP 1342388 A JP1342388 A JP 1342388A JP 1342388 A JP1342388 A JP 1342388A JP H01189010 A JPH01189010 A JP H01189010A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気ディスク装置等に用いられる垂直磁化方式の薄膜磁
気ヘッドの構造に関し、 主磁極を配設する磁性基板の構成を改良して、該主磁極
先端部分への外部からの漏洩磁界の集中を防止すること
を目的とし、 基板上に層間絶縁層により被包された薄膜コイルを介し
て記録再生用の主磁極を、その先端面が媒体対向面に露
出するように設けてなるヘッド構成において、前記基板
は磁性材料からなり、かつ主磁極を形成する基板面の少
なくとも主磁極先端部の配設領域に非磁性絶縁材を埋設
した構成とする。
気ヘッドの構造に関し、 主磁極を配設する磁性基板の構成を改良して、該主磁極
先端部分への外部からの漏洩磁界の集中を防止すること
を目的とし、 基板上に層間絶縁層により被包された薄膜コイルを介し
て記録再生用の主磁極を、その先端面が媒体対向面に露
出するように設けてなるヘッド構成において、前記基板
は磁性材料からなり、かつ主磁極を形成する基板面の少
なくとも主磁極先端部の配設領域に非磁性絶縁材を埋設
した構成とする。
本発明は磁気ディスク装置等に用いられる垂直磁化方式
の薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
の薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
垂直磁化方式では、高透磁率の軟磁性裏打ち層上に垂直
異方性をもつ磁化記録層が形成された二層構造の垂直磁
気記録媒体と単磁極型の薄膜磁気ヘッドとを組合わせ、
該媒体面に垂直な方向にその媒体を磁化することによっ
て高密度磁気記録を実現している。
異方性をもつ磁化記録層が形成された二層構造の垂直磁
気記録媒体と単磁極型の薄膜磁気ヘッドとを組合わせ、
該媒体面に垂直な方向にその媒体を磁化することによっ
て高密度磁気記録を実現している。
上記した単磁極型の薄膜磁気ヘッドは外部からの漏洩磁
界を受は易く、その受けた漏洩磁界により主磁極が異常
励磁されて、既に記録された磁化情報を部分的に減磁、
または消去されるといった問題がある。このため、その
ような外部漏洩磁界の影客を防止して安定な再生出力が
得られる垂直磁気記録用の単磁極型薄膜磁気ヘッドが必
要とされている。
界を受は易く、その受けた漏洩磁界により主磁極が異常
励磁されて、既に記録された磁化情報を部分的に減磁、
または消去されるといった問題がある。このため、その
ような外部漏洩磁界の影客を防止して安定な再生出力が
得られる垂直磁気記録用の単磁極型薄膜磁気ヘッドが必
要とされている。
従来の垂直磁気記録用の単磁極型薄膜磁気ヘッドは第６
図の要部断面図及び第７図の媒体側から見た主磁極先端
近傍の要部平面図に示すように、スライダとなるＮｉ−
Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトからなる磁性材料
の一部を削除し、その部分にガラス等の非磁性絶縁材１
２が埋め込まれた磁性基板１１上に、熱硬化性絶縁樹脂
材等からなる層間絶縁層１３で挟まれた渦巻状、或いは
螺旋状の薄膜コイル１４が配設され、その上面にＮｉ−
Ｆｅ合金等からなる主磁極１５がその先端１５ａを媒体
対向面１７に露出するように設けられている。そしてそ
の主磁極１５上にＡ２□０．などの保護膜１６が被覆さ
れた構成からなっている。
図の要部断面図及び第７図の媒体側から見た主磁極先端
近傍の要部平面図に示すように、スライダとなるＮｉ−
Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトからなる磁性材料
の一部を削除し、その部分にガラス等の非磁性絶縁材１
２が埋め込まれた磁性基板１１上に、熱硬化性絶縁樹脂
材等からなる層間絶縁層１３で挟まれた渦巻状、或いは
螺旋状の薄膜コイル１４が配設され、その上面にＮｉ−
Ｆｅ合金等からなる主磁極１５がその先端１５ａを媒体
対向面１７に露出するように設けられている。そしてそ
の主磁極１５上にＡ２□０．などの保護膜１６が被覆さ
れた構成からなっている。
しかして、かかる単磁極型薄膜磁気ヘッドは、ディスク
基板２２上にＮｉ−Ｆｅ合金等からなる高透磁率の軟磁
性裏打ち層２３を介してＣｏ−Ｃｒ合金などからなる磁
化記録層２４を設けた垂直磁気記録媒体２１と組み合わ
せ、該媒体２１の軟磁性裏打ち層２３を前記磁気ヘッド
の主磁極１５と磁性基板１１との間の磁路に利用して、
記録再生の磁束の閉磁路の一部とすることにより、該媒
体２１の磁化記録ＪＷ２４に対して高密度な垂直磁気記
録・再生を可能にしている。
基板２２上にＮｉ−Ｆｅ合金等からなる高透磁率の軟磁
性裏打ち層２３を介してＣｏ−Ｃｒ合金などからなる磁
化記録層２４を設けた垂直磁気記録媒体２１と組み合わ
せ、該媒体２１の軟磁性裏打ち層２３を前記磁気ヘッド
の主磁極１５と磁性基板１１との間の磁路に利用して、
記録再生の磁束の閉磁路の一部とすることにより、該媒
体２１の磁化記録ＪＷ２４に対して高密度な垂直磁気記
録・再生を可能にしている。
ところで上記したような垂直磁気記録用の単磁極型薄膜
磁気ヘッドにあっては、単磁極型であるがためと、それ
と組み合わせて用いる前述した二層膜構造の゛垂直磁気
記録媒体２１における軟磁性裏打ち層２３の存在等に起
因して、磁気ディスク装置内の他の磁気的な機構部から
の漏洩磁界の影響を受は易いということが周知である。
磁気ヘッドにあっては、単磁極型であるがためと、それ
と組み合わせて用いる前述した二層膜構造の゛垂直磁気
記録媒体２１における軟磁性裏打ち層２３の存在等に起
因して、磁気ディスク装置内の他の磁気的な機構部から
の漏洩磁界の影響を受は易いということが周知である。
この現象は主磁極１５の近傍にシールド材である磁性基
板１１が存在するにもかかわらず、それによるシールド
効果が充分に発揮されず、これが記録・再生上、問題と
なっている。
板１１が存在するにもかかわらず、それによるシールド
効果が充分に発揮されず、これが記録・再生上、問題と
なっている。
即ち、このような外部からの漏洩磁界の影響は、例えば
ディスク媒体駆動用のスピンドルモーターや磁気ヘッド
駆動用のボイスコイルモーター等からの漏洩磁界がある
と、僅かであっても前記垂直磁気記録媒体２１における
軟磁性裏打ち層２３に集中して吸収され易く、該軟磁性
裏打ち層２３に集中的に吸収された漏れ磁界は、その媒
体２１面に近接して対向する前記磁気ヘッドの主磁極１
５の先端部に集束流入するため、咳主磁極１５が媒体磁
化の影響を及ぼすほどに励磁されて、逆に強い磁界を発
生する傾向がある。その結果、前記媒体２１の磁化が減
磁等により劣化して記録再生特性が著しく低下する。ま
た最悪な場合には既に磁気記録された情報を部分的に消
去してしまう等の欠点があった。
ディスク媒体駆動用のスピンドルモーターや磁気ヘッド
駆動用のボイスコイルモーター等からの漏洩磁界がある
と、僅かであっても前記垂直磁気記録媒体２１における
軟磁性裏打ち層２３に集中して吸収され易く、該軟磁性
裏打ち層２３に集中的に吸収された漏れ磁界は、その媒
体２１面に近接して対向する前記磁気ヘッドの主磁極１
５の先端部に集束流入するため、咳主磁極１５が媒体磁
化の影響を及ぼすほどに励磁されて、逆に強い磁界を発
生する傾向がある。その結果、前記媒体２１の磁化が減
磁等により劣化して記録再生特性が著しく低下する。ま
た最悪な場合には既に磁気記録された情報を部分的に消
去してしまう等の欠点があった。
本発明は上記した従来の欠点に鑑み、主磁極を配設する
磁性基板の構成を改良して、該主磁極先端部分への外部
からの漏洩磁界の集中を防止した新規な垂直磁気記録用
の単磁極型薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
ものである。
磁性基板の構成を改良して、該主磁極先端部分への外部
からの漏洩磁界の集中を防止した新規な垂直磁気記録用
の単磁極型薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
ものである。
本発明は上記した目的を達成するため、基板上に層間絶
縁層により被包された薄膜コイルを介して記録再生用の
主磁極を、その先端面が媒体対向面に露出するように設
けてなるヘッド構成において、前記基板は磁性材料から
なり、か゛つ主磁極を形成する基板面の少なくとも主磁
極先端部の配設領域に非磁性絶縁材を埋設した構成とす
る。
縁層により被包された薄膜コイルを介して記録再生用の
主磁極を、その先端面が媒体対向面に露出するように設
けてなるヘッド構成において、前記基板は磁性材料から
なり、か゛つ主磁極を形成する基板面の少なくとも主磁
極先端部の配設領域に非磁性絶縁材を埋設した構成とす
る。
本発明の垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドでは、主磁極
の先端部が非磁性絶縁材を介してシールド材である磁゛
性基板で取り囲まれた構成とされているため、外部から
の漏洩磁界が主磁極先端部以外の、所謂主磁極先端部分
を取り囲む磁性基板部分へ分散されて、従来の如き主磁
極先端部分への磁界集束現象が著しく低減される。この
結果、既に記録がなされた磁化情報の減磁、或いは消去
等が防止され、安定な再生出力特性が得られる。
の先端部が非磁性絶縁材を介してシールド材である磁゛
性基板で取り囲まれた構成とされているため、外部から
の漏洩磁界が主磁極先端部以外の、所謂主磁極先端部分
を取り囲む磁性基板部分へ分散されて、従来の如き主磁
極先端部分への磁界集束現象が著しく低減される。この
結果、既に記録がなされた磁化情報の減磁、或いは消去
等が防止され、安定な再生出力特性が得られる。
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図乃至第３図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁
気ヘッドの一実施例を示す図であり、第１図は主磁極と
非磁性絶縁材を埋設した磁性基板との関係を示す要部平
面図、第２図は第１図に示すＡ−Ａ”切断線に沿った断
面図、第３図は媒体側から見た主磁極先端近傍面を示す
要部平面図である。
気ヘッドの一実施例を示す図であり、第１図は主磁極と
非磁性絶縁材を埋設した磁性基板との関係を示す要部平
面図、第２図は第１図に示すＡ−Ａ”切断線に沿った断
面図、第３図は媒体側から見た主磁極先端近傍面を示す
要部平面図である。
なお、これらの各図において第６図及び第７図と同等部
分には同一符号を付している。
分には同一符号を付している。
これらの図で示す実施例が従来の第６図及び第７図によ
る従来例と異なる点は、スライダとなるＮｉ−Ｚｎ＋
Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトからなる磁性基板３１上の
主磁極１５配設予定領域内の、少なくとも主磁極先端部
１５ａの配設予定領域に、該主磁極先端部１５ａの幅よ
りも広い所定幅Ｗ’ＢＭ域を所定の深さＤに溝状に削除
しくこの溝状部３２は本実施例では溝状形成を容易化す
るために該主磁極先端部１５ａの長さよりも長く設けて
いる）、この溝状部３２内にガラス等の非磁性絶縁材３
３を埋設し、かかる非磁性絶縁材３３が埋設された磁性
基板３１上に、該埋設領域の中心に主磁極先端部１５ａ
の中心が図示の如く一致するよう従来と同様に熱硬化性
絶縁樹脂材等からなる層間絶縁層１３により被包された
薄膜コイル１４を介して、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる記
録再生用の主磁極１５を設けた構成としたことである。
る従来例と異なる点は、スライダとなるＮｉ−Ｚｎ＋
Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトからなる磁性基板３１上の
主磁極１５配設予定領域内の、少なくとも主磁極先端部
１５ａの配設予定領域に、該主磁極先端部１５ａの幅よ
りも広い所定幅Ｗ’ＢＭ域を所定の深さＤに溝状に削除
しくこの溝状部３２は本実施例では溝状形成を容易化す
るために該主磁極先端部１５ａの長さよりも長く設けて
いる）、この溝状部３２内にガラス等の非磁性絶縁材３
３を埋設し、かかる非磁性絶縁材３３が埋設された磁性
基板３１上に、該埋設領域の中心に主磁極先端部１５ａ
の中心が図示の如く一致するよう従来と同様に熱硬化性
絶縁樹脂材等からなる層間絶縁層１３により被包された
薄膜コイル１４を介して、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる記
録再生用の主磁極１５を設けた構成としたことである。
なお、３４は該主磁極１５が磁性基板３１と直接接して
いる磁束結合部である。
いる磁束結合部である。
このような構成の磁気ヘッドでは、主磁極１５の先端部
１５ａが第３図の媒体側から見た主磁極先端近傍面に示
すように埋設された非磁性絶縁材３２を介してシールド
材となる磁性基板３１により取り囲まれた構成とされて
いるため、媒体側からの外部漏洩磁界が主磁極先端部１
５ａのみならず、該主磁極先端部１５ａを取り囲む磁性
基板３１部分へも分散され、従来のような主磁極先端部
１５ａのみへの磁界集束が著しく低減される。従って、
対向する垂直磁気記録媒体における、既に記録がなされ
た磁化情報が減磁、或いは消去されるといったことが防
止される。
１５ａが第３図の媒体側から見た主磁極先端近傍面に示
すように埋設された非磁性絶縁材３２を介してシールド
材となる磁性基板３１により取り囲まれた構成とされて
いるため、媒体側からの外部漏洩磁界が主磁極先端部１
５ａのみならず、該主磁極先端部１５ａを取り囲む磁性
基板３１部分へも分散され、従来のような主磁極先端部
１５ａのみへの磁界集束が著しく低減される。従って、
対向する垂直磁気記録媒体における、既に記録がなされ
た磁化情報が減磁、或いは消去されるといったことが防
止される。
なお、上記した実施例構造の磁気ヘッドを効率良く形成
する方法としては、第４図の平面図に示すようにスライ
ダとなるＮｉ−Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトか
らなる磁性基板３１上の各主磁極先端部１５ａの配設予
定領域に、該主磁極先端部１５ａの幅よりも広い所定幅
Ｗと所定の深さＤの共通の長溝４１を複数本形成するか
、或いは第５図の平面図に示すように前記磁性基板３１
上の各主磁極先端部１５ａの配設予定領域に、該主磁極
先端部１５ａの幅よりも広い所定幅Ｗと所定の深さＤの
長円形状穴５１をそれぞれ形成し、これらの各長溝４１
内、或いは各長２ 円形状穴５１内にガラス等
の非磁性絶縁材３２を埋め込んで該磁性基板３１の表面
を平滑面に研磨仕上げを行う。
する方法としては、第４図の平面図に示すようにスライ
ダとなるＮｉ−Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライトか
らなる磁性基板３１上の各主磁極先端部１５ａの配設予
定領域に、該主磁極先端部１５ａの幅よりも広い所定幅
Ｗと所定の深さＤの共通の長溝４１を複数本形成するか
、或いは第５図の平面図に示すように前記磁性基板３１
上の各主磁極先端部１５ａの配設予定領域に、該主磁極
先端部１５ａの幅よりも広い所定幅Ｗと所定の深さＤの
長円形状穴５１をそれぞれ形成し、これらの各長溝４１
内、或いは各長２ 円形状穴５１内にガラス等
の非磁性絶縁材３２を埋め込んで該磁性基板３１の表面
を平滑面に研磨仕上げを行う。
その後、かかる各磁性基板３１上の各埋設領域に、それ
ぞれその中心に主磁極先端部１５ａの中心が一致するよ
う従来と同様に熱硬化性絶縁樹脂材等からなる層間絶縁
層により被包された薄膜コイルを介して（図示省略）、
Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる記録再生用の主磁極１５を形
成すると共に、該主磁極１５上にＡｊ！ｚｏｓ＊どの保
護膜（図示省略）を被覆し、更にこれら各ヘッド構成基
板を鎖線で示すように各磁気ヘッド単位に切り離して磁
気へラドスライダ形状に加工して完成させることにより
容易に得ることができる。
ぞれその中心に主磁極先端部１５ａの中心が一致するよ
う従来と同様に熱硬化性絶縁樹脂材等からなる層間絶縁
層により被包された薄膜コイルを介して（図示省略）、
Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる記録再生用の主磁極１５を形
成すると共に、該主磁極１５上にＡｊ！ｚｏｓ＊どの保
護膜（図示省略）を被覆し、更にこれら各ヘッド構成基
板を鎖線で示すように各磁気ヘッド単位に切り離して磁
気へラドスライダ形状に加工して完成させることにより
容易に得ることができる。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直磁気
記録用薄膜磁気ヘッドによれば、従来のヘッド構造に比
べて主磁極に対する外部漏洩磁界のシールド効果が高め
られるため、外部漏洩磁界の影響を著しく低減すること
ができ、安定な再生出力特性を有する垂直磁気記録用薄
膜磁気ヘッドを実現することが可能となる等、実用上価
れた効果を奏する。
記録用薄膜磁気ヘッドによれば、従来のヘッド構造に比
べて主磁極に対する外部漏洩磁界のシールド効果が高め
られるため、外部漏洩磁界の影響を著しく低減すること
ができ、安定な再生出力特性を有する垂直磁気記録用薄
膜磁気ヘッドを実現することが可能となる等、実用上価
れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの
一実施例、特に主磁極と非磁 性絶縁材を埋設した磁性基板との関係 を示す要部平面図、 第２図は第１図に示すＡ−Ａ’切断線に沿った断面図、 第３図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの
媒体側から見た主磁極先端近 傍面を示す要部平面図、 第４図及び第５図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁
気ヘッドの形成方法を説明す るための平面図、 第６図は従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの一例を
示す要部断面図、 第７図は従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの媒体側
から見た主磁極先端近傍面を 示す要部平面図である。 第１図乃至第５図において、 １３は層間絶縁層、１４は薄膜コイル、１５は主磁極、
１５ａは主磁極先端部、１６は保護膜、１７は媒体対向
面、２１は垂直磁気記録媒体、２２はディスク基板、２
３は軟磁性裏打ち層、２４は磁化記録層、３１は磁性基
板、３２は溝状部、３３は非磁性絶縁材、４１は共通長
溝、５１は長円形状穴をそれぞれ示す。 第２１ 第３図 、杢ｉａ斤４本１れへＪ４’ｆｉｊｉ方ｊ乏−１月１１
党ｅ月Ｔト平イカａ第４図 ４−ダ己既呼褐に定汽〜井−助ｊゑ角畠例警鑓９Ｈすμ
面の第５図
一実施例、特に主磁極と非磁 性絶縁材を埋設した磁性基板との関係 を示す要部平面図、 第２図は第１図に示すＡ−Ａ’切断線に沿った断面図、 第３図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの
媒体側から見た主磁極先端近 傍面を示す要部平面図、 第４図及び第５図は本発明に係る垂直磁気記録用薄膜磁
気ヘッドの形成方法を説明す るための平面図、 第６図は従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの一例を
示す要部断面図、 第７図は従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの媒体側
から見た主磁極先端近傍面を 示す要部平面図である。 第１図乃至第５図において、 １３は層間絶縁層、１４は薄膜コイル、１５は主磁極、
１５ａは主磁極先端部、１６は保護膜、１７は媒体対向
面、２１は垂直磁気記録媒体、２２はディスク基板、２
３は軟磁性裏打ち層、２４は磁化記録層、３１は磁性基
板、３２は溝状部、３３は非磁性絶縁材、４１は共通長
溝、５１は長円形状穴をそれぞれ示す。 第２１ 第３図 、杢ｉａ斤４本１れへＪ４’ｆｉｊｉ方ｊ乏−１月１１
党ｅ月Ｔト平イカａ第４図 ４−ダ己既呼褐に定汽〜井−助ｊゑ角畠例警鑓９Ｈすμ
面の第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板（３１）上に層間絶縁層（１３）により被包された
薄膜コイル（１４）を介して記録再生用の主磁極（１５
）を、その先端面が媒体対向面に露出するように設けて
なるヘッド構成において 上記基板（３１）は磁性材料からなり、かつ主磁極（１
５）を形成する基板面の少なくとも主磁極先端部（１５
ａ）の配設領域に非磁性絶縁材（３３）を埋設してなる
ことを特徴とする垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342388A JPH01189010A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342388A JPH01189010A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189010A true JPH01189010A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11832722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1342388A Pending JPH01189010A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01189010A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0444903A2 (en) * | 1990-02-28 | 1991-09-04 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Thin-film perpendicular magnetic recording and reproducing head |
| JPH03252909A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-12 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド用溝構造磁性基板 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1342388A patent/JPH01189010A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0444903A2 (en) * | 1990-02-28 | 1991-09-04 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Thin-film perpendicular magnetic recording and reproducing head |
| JPH03252909A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-12 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド用溝構造磁性基板 |
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