JPH01186642A - 吸着機能を有するダイストレイテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ダイスとツカ−において、ピックアンプされ
たダイか配列されるトレイをセットするダイストレイテ
ーブルに関するものである。

（従来の技術） 従来、ダイスピッカーは粘着フィルム上に貼られたダイ
をパターン認識により、不良マーク欠けを認識し、良品
のみを角錐コレットにてピックアンプし、ダイストレイ
にセントする装置である。

以下、その構成を図を用いて説明する。

第６図は従来のダイストレイをセットするＸＹ子テーブ
ル斜視図、第７図は従来のダイストレイを示す斜視図で
ある。

第６図において、先端に角錐コレット１を有するピック
アップアーム２はウェハセットリング３とダイストレイ
４間を往復揺動する。その動作と同期して、Ｘ軸駆動装
置５及びＹ軸駆動装置６を具備するＸ−Ｙテーブル７が
ダイストレイのピッチ毎に移動する。ここで、ダイスト
レイ４は第７図に′示すように多数の正規に配列される
凹所４ａが形成されており、この凹所４ａにダイか受容
される。

ウェハセットリング３からピックアップアーム２により
ダイスが吸着され、ダイストレイ４にダイをセットする
際、第８図に示すように、角錐コレット１の吸着オフと
同時にエアーブローすることにより、ダイの持ち帰りを
防止している。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記した従来の装置ではダイをトレイに
セントする際、特に小径、細長のダイにおいては、エア
ーブローにより、第８図に示すように、ダイ８が傾いた
り、重なってしまう現象が生じ、正規にセントされない
ことがあり、その際に欠け、傷が生じることがあった。

また、エアーブローにより、セットするため、吸着した
シリコンの小片９がブローの際に飛散し、ダイ８の表面
に付着するといった問題があった。

本発明は、以上述べたダイがトレイに正規にセントされ
ず、欠は傷が生じたり、シリコンの小片がダイ表面に付
着するといった問題点を除去し、信鯨性の高いダイのセ
ットを行い得る吸着機能を有するダイストレイテーブル
を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、ダイスピンカ
ーのピンクアップアームからのダイを受けて該ダイを配
列するダイストレイテーブルにおいて、ダイを受容する
凹所と、その凹所に連なる穴を有するトレイと、該穴に
対応する穴が形成されたトレイテーブルと、先端に吸着
パッドを有する吸着アームと、ピックアップアームの下
降と同期して、前記吸着アームを前記トレイテーブルの
下方より上昇させ、該トレイにダイをセットする際に前
記吸着アームによりダイを吸引するようにしたものであ
る。

（作用） 本発明によれば、ダイスピッカーにおいて、丸形又喀角
形の凹所が形成されるダイストレイを使用し、トレイテ
ーブルに丸穴を明け、テーブル下方部よりピックアップ
アームの下降に同期させて、上昇する吸着アームを設置
して、該トレイにダイをセントする際に前記吸着アーム
によりダイを吸引する。従って、ダイをトレイに正規の
状態でセットすることができると共に、その近傍の吸気
による清掃を行う行うことができる。

また、従来のように、セットする際エアーブローが不必
要となり、コレット内のシリコンの小片が飛散してダイ
に付着することがなくなる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す吸着機能を有するダイス
トレイテーブルの斜視図、第２図は本発明のダイストレ
イ及びＸ−Ｙテーブルの斜視図、第３図は本発明のダイ
ストレイの斜視図である。

第３図において、１０はダイストレイであり、正規に配
列される凹所１０ａには丸孔１０ｂがそれぞれ形成され
る。第１図及び第２図において、１３はトレイを位置決
めするトレイテーブルであり、このテーブルはＸ軸駆動
装置１１及び７輪駆動装置１２を具備しているＸＹ子テ
ーブルらなっている。このトレイテーブル１３にはトレ
イ１０と同ピンチの丸穴１３ａが開いている。なお、こ
こでは、ＸＹ子テーブル上面がトレイテーブル１３と一
体になっているように示されているが、トレイのピッチ
を変更する場合に、最小の部品でもって変更することが
できるように、構成する゛ことができる（第９図及び第
１０図参照）。

２はピックアップアームであり、ウェハセットリング３
上のダイを角錐コレット１により吸着し、トレイ１０に
セットする。セントの際、ピックアップアーム２は揺動
し下降するが、その下降と同期させて、吸着アーム１４
を上昇させる。その吸着アーム１４の先端にはゴム製の
吸着パッド１５が付いている。

第４図は本発明におけるダイのウェハセットリングから
ダイストレイへの移載（ピックアンドプレース）のタイ
ムチャート、第５図は本発明のダイのダイストレイへの
セット時の断面図である。

以下、ダイのウェハセットリングからダイストレイへの
移載の手順を第４図を用いて説明する。

第４図に示すように、ピックアップアーム２が下降する
と、コレットバキュームはオンとなり、ダイを吸着し、
ダイを保持して、ピックアップアーム２は上昇する。続
いて、ピックアップアーム２は揺動して、ダイストレイ
１０へ向かって下降し、ダイをダイストレイｌＯへ載置
する。この時、下方には、吸着アーム１４が上昇し、待
機しており、吸着バキュームをオンにしてダイを吸引す
る。この時は、コレットバキュームはオフにする。そし
て、次のダイをコレット１が吸着する間に吸着アーム１
４が下降し、トレイテーブル１３が次の位置まで移動す
る。

ダイのダイストレイ１０ヘセント状態を詳細にみると、
第５図に示すように、コレット１が図の位置まで下降し
てくる間に、下方部から吸着アーム１４が上昇し、ゴム
製の吸着パッド１５を介してダイ８の吸引を行うと同時
に、コレットｌのバキュームをオフさせる。

次に、第９図は本発明の第２の実施例を示すダイストレ
イテーブルの斜視図であり、この実施例においては、ダ
イストレイテーブルはＸＹ子テーブル上面板を取り外し
自在に構成する。つまり、第９図における吸気穴２０ａ
を有するダイストレイテーブルの上面板２０はその基部
を取り付はネジ２１によって着脱自在にすることができ
る。

また、第１０図は本発明の第３の実施例を示すダイスト
レイテーブルの斜視図であり、この実施例においては、
ダイストレイテーブルはＸＹ子テーブル上面板３０に段
３０ａを有する開口３１を設け、その間口３１に吸気穴
３２ａを有するダイストレイテーブル板３２を着脱自在
にし、吸気穴のピッチの変更に対して、容易に対処する
ことができるように構成する。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ダイを
トレイにセントする際にトレイテーブルに形成された穴
を用いて下方から吸引するようにしたので小径、細長の
ダイであっても正規にトレイにセントすることができ、
セットの際にダイに傷。

欠けが生じることを防ぐことができる。

また、ダイのセントのための吸引時に近傍にあるシリコ
ンの小片或いはゴミや塵は吸引して、清掃を行うことが
できるため、良好な雰囲気を得ることができる。勿論、
ダイのセントの際エアーブローが不必要となり、コレッ
ト内のシリコンの小片がダイ表面に付着することを防ぐ
ことができることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す吸着機能を有するダイス
トレイテーブルの斜視図、第２図は本発明のダイストレ
イ及びダイストレイテーブルの斜視図、第３図は本発明
のダイストレイの斜視図、第４図は本発明のダイのダイ
ストレイへの移載工程のタイムチャート、第５図は本発
明のダイのダイストレイへのセット時の断面図、第６図
は従来のダイストレイテーブルの斜視図、第７図は従来
のダイストレイの斜視図、第８図は従来のダイのダイス
トレイへのセント時の断面図、第９図は本発明の第２の
実施例を示すダイストレイテーブルの斜視図、第１０図
は本発明の第３の実施例を示すダイストレイテーブルの
斜視図である。 である。 ■・・・角錐コレット、２・・・ピックアップアーム、
３・・・ウェハセットリング、８・・・ダイ、１０川ダ
イストレイ、１１・・・Ｘ軸駆動装置、１２・・・Ｙ軸
駆動装置、１３・・・トレイテーブル、１４・・・吸着
アーム、１５・・・吸着パッド、２０．３０・・・ダイ
ストレイテーブルの上面板、２１・・・取り付はネジ、
３１・・・開口、３２・・・ダイストレイテーブル板。 特許出願人　沖電気工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　ダイスピッカーのピックアップアームからのダイを受
   けて該ダイを配列するダイストレイテーブルにおいて、 （ａ）ダイを受容する凹所と、その凹所に連なる穴を有
   するトレイと、 （ｂ）該穴に対応する穴が形成されたトレイテーブルと
   、 （ｃ）先端に吸着パッドを有する吸着アームと、（ｄ）
   ピックアップアームの下降と同期して、前記吸着アーム
   を前記トレイテーブルの下方より上昇させ、該トレイに
   ダイをセットする際に前記吸着アームによりダイを吸引
   するようにしたことを特徴とする吸着機能を有するダイ
   ストレイテーブル。