JPH01180511A - 撮像装置 - Google Patents

撮像装置

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Publication number
JPH01180511A
JPH01180511A JP63005245A JP524588A JPH01180511A JP H01180511 A JPH01180511 A JP H01180511A JP 63005245 A JP63005245 A JP 63005245A JP 524588 A JP524588 A JP 524588A JP H01180511 A JPH01180511 A JP H01180511A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
light
lens
image pickup
executed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63005245A
Other languages
English (en)
Inventor
Kikuji Miyazaki
宮崎 喜久次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH01180511A publication Critical patent/JPH01180511A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は撮像装置、特に、蛍光表示管や液晶表示デバイ
ス等の平面発光デバイスの表示部の撮像装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の技術としては、ビジコンまたはCODをつかった
一次元または二次元のTV右カメラある。
従来の撮像装置は結像用レンズと、光電変換素子とを含
んで構成される。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の撮像装置は、被読取デバイスの検出分解
能と撮像デバイスの画素数の関係から、−度に撮像でき
る範囲に限りがあった。
例えば、1μm分解能で2048エレメントの一次元C
CDでは、−度に撮像できる被検査物の一方向の長さは
く素子の長さ方向)約2mmとなり、2mm以上の長さ
の被検査物を見るときは、光学系の倍率を下げて検出分
解能を下げるか、複数回の撮像が必要になり、撮像に時
間がかかるという欠点があった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の撮像装置は、平面発光デバイスからの光を集光
するためのコンデンサレンズと、前記コンデンサレンズ
の光を集光し平行光にするための走査レンズと、前記走
査レンズ光を同一点に集めるためのポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの反射光を通すピンホールと、前記
ピンホールの透過光を光電変換するための光電変換デバ
イスとを含んで構成される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の一実施例を示す模式図、第2図は平面
発光デバイスと読取順序を説明するための模式図である
平面発光デバイス1が発光した光線はコンデンサレンズ
2(本実施例ではf−θレンズを用いた)で集光される
。集光された光はさらにf−θレンズ3に入る。
f−θレンズ3の透過光はポリゴンミラー4で反射され
、ピンホール5を通過したものだけが光電変換素子6に
入る。ここで、f−θレンズ3とポリゴンミラー4の作
用によりポリゴンミラー4の回転角に比例した平面発光
デバイス1の位置の明るさを読むことができる。
さらに、二次平面の撮像を行なう場合は、ポリゴンミラ
ー4の回転により操作方向Xの位置の撮像をし、もう−
軸はテーブル送りYをすることにより二次元の撮像が可
能となる。
〔発明の効果〕
本発明の撮像装置は、ポリゴンミラーを用いて一次元撮
像を、ポリゴンミラーとテーブル送りにより二次元撮像
することができ、またポリゴンミラーの回転数、テーブ
ルの送り速度を早くすることにより高速読取りができる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す模式図、第2図は平面
発光デバイスと読取順序を説明する模式1・・・平面発
光デバイス、2・・・コンデンサレンズ、3・・・f−
θレンズ、4・・・ポリゴンミラー、5・・・ピンホー
ル、6・・・光電変換素子。 代理人 弁理士  内 原  音

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 平面発光デバイスからの光を集光するためのコンデンサ
    レンズと、前記コンデンサレンズの光を集光し平行光に
    するための走査レンズと、前記走査レンズ光を同一点に
    集めるためのポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーの
    反射光を通すピンホールと、前記ピンホールの透過光を
    光電変換するための光電変換デバイスとを含むことを特
    徴とする撮像装置。
JP63005245A 1988-01-12 1988-01-12 撮像装置 Pending JPH01180511A (ja)

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JP63005245A JPH01180511A (ja) 1988-01-12 1988-01-12 撮像装置

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JPH01180511A true JPH01180511A (ja) 1989-07-18

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ID=11605819

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