JPH01180511A - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置Info
- Publication number
- JPH01180511A JPH01180511A JP63005245A JP524588A JPH01180511A JP H01180511 A JPH01180511 A JP H01180511A JP 63005245 A JP63005245 A JP 63005245A JP 524588 A JP524588 A JP 524588A JP H01180511 A JPH01180511 A JP H01180511A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- light
- lens
- image pickup
- executed
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は撮像装置、特に、蛍光表示管や液晶表示デバイ
ス等の平面発光デバイスの表示部の撮像装置に関する。
ス等の平面発光デバイスの表示部の撮像装置に関する。
従来の技術としては、ビジコンまたはCODをつかった
一次元または二次元のTV右カメラある。
一次元または二次元のTV右カメラある。
従来の撮像装置は結像用レンズと、光電変換素子とを含
んで構成される。
んで構成される。
上述した従来の撮像装置は、被読取デバイスの検出分解
能と撮像デバイスの画素数の関係から、−度に撮像でき
る範囲に限りがあった。
能と撮像デバイスの画素数の関係から、−度に撮像でき
る範囲に限りがあった。
例えば、1μm分解能で2048エレメントの一次元C
CDでは、−度に撮像できる被検査物の一方向の長さは
く素子の長さ方向)約2mmとなり、2mm以上の長さ
の被検査物を見るときは、光学系の倍率を下げて検出分
解能を下げるか、複数回の撮像が必要になり、撮像に時
間がかかるという欠点があった。
CDでは、−度に撮像できる被検査物の一方向の長さは
く素子の長さ方向)約2mmとなり、2mm以上の長さ
の被検査物を見るときは、光学系の倍率を下げて検出分
解能を下げるか、複数回の撮像が必要になり、撮像に時
間がかかるという欠点があった。
本発明の撮像装置は、平面発光デバイスからの光を集光
するためのコンデンサレンズと、前記コンデンサレンズ
の光を集光し平行光にするための走査レンズと、前記走
査レンズ光を同一点に集めるためのポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの反射光を通すピンホールと、前記
ピンホールの透過光を光電変換するための光電変換デバ
イスとを含んで構成される。
するためのコンデンサレンズと、前記コンデンサレンズ
の光を集光し平行光にするための走査レンズと、前記走
査レンズ光を同一点に集めるためのポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの反射光を通すピンホールと、前記
ピンホールの透過光を光電変換するための光電変換デバ
イスとを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例を示す模式図、第2図は平面
発光デバイスと読取順序を説明するための模式図である
。
発光デバイスと読取順序を説明するための模式図である
。
平面発光デバイス1が発光した光線はコンデンサレンズ
2(本実施例ではf−θレンズを用いた)で集光される
。集光された光はさらにf−θレンズ3に入る。
2(本実施例ではf−θレンズを用いた)で集光される
。集光された光はさらにf−θレンズ3に入る。
f−θレンズ3の透過光はポリゴンミラー4で反射され
、ピンホール5を通過したものだけが光電変換素子6に
入る。ここで、f−θレンズ3とポリゴンミラー4の作
用によりポリゴンミラー4の回転角に比例した平面発光
デバイス1の位置の明るさを読むことができる。
、ピンホール5を通過したものだけが光電変換素子6に
入る。ここで、f−θレンズ3とポリゴンミラー4の作
用によりポリゴンミラー4の回転角に比例した平面発光
デバイス1の位置の明るさを読むことができる。
さらに、二次平面の撮像を行なう場合は、ポリゴンミラ
ー4の回転により操作方向Xの位置の撮像をし、もう−
軸はテーブル送りYをすることにより二次元の撮像が可
能となる。
ー4の回転により操作方向Xの位置の撮像をし、もう−
軸はテーブル送りYをすることにより二次元の撮像が可
能となる。
本発明の撮像装置は、ポリゴンミラーを用いて一次元撮
像を、ポリゴンミラーとテーブル送りにより二次元撮像
することができ、またポリゴンミラーの回転数、テーブ
ルの送り速度を早くすることにより高速読取りができる
という効果がある。
像を、ポリゴンミラーとテーブル送りにより二次元撮像
することができ、またポリゴンミラーの回転数、テーブ
ルの送り速度を早くすることにより高速読取りができる
という効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す模式図、第2図は平面
発光デバイスと読取順序を説明する模式1・・・平面発
光デバイス、2・・・コンデンサレンズ、3・・・f−
θレンズ、4・・・ポリゴンミラー、5・・・ピンホー
ル、6・・・光電変換素子。 代理人 弁理士 内 原 音
発光デバイスと読取順序を説明する模式1・・・平面発
光デバイス、2・・・コンデンサレンズ、3・・・f−
θレンズ、4・・・ポリゴンミラー、5・・・ピンホー
ル、6・・・光電変換素子。 代理人 弁理士 内 原 音
Claims (1)
- 平面発光デバイスからの光を集光するためのコンデンサ
レンズと、前記コンデンサレンズの光を集光し平行光に
するための走査レンズと、前記走査レンズ光を同一点に
集めるためのポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーの
反射光を通すピンホールと、前記ピンホールの透過光を
光電変換するための光電変換デバイスとを含むことを特
徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63005245A JPH01180511A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63005245A JPH01180511A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01180511A true JPH01180511A (ja) | 1989-07-18 |
Family
ID=11605819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63005245A Pending JPH01180511A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01180511A (ja) |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63005245A patent/JPH01180511A/ja active Pending
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