JP3089857U - 撮像検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本考案は、大寸法の被検査体の場合において
も、その撮像領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度に実
行することが可能な撮像検査装置を提供することを目的
とする。 【解決手段】本考案の撮像検査装置は、平板状の被検査
体１０に臨ませて配置され、該被検査体１０の検査領域
１０ａからの光束の２倍の変倍を行うレンズ４と、前記
レンズ４の後方において該レンズ４の径に略相当する寸
法となるように傾斜配置されたＣＣＤラインセンサ５
と、前記レンズ４とＣＣＤラインセンサ５との間に配置
され、レンズ４からの光束を曲折して前記ＣＣＤライン
センサ５に入射するプリズム６とを有する撮像部２を、
前記ＣＣＤラインセンサ５のライン方向に複数個数列設
したものである。

Description

【考案の詳細な説明】 【考案の属する技術分野】

本考案は、撮像検査装置に関し、詳しくは、液晶（ＬＣＤ）板、プリント基板 等の平板状の被検査体の精密検査に用いられる撮像検査装置に関するものである 。

【従来の技術】

従来、液晶板、プリント基板等の被検査体の精密検査に用いられる撮像検査装 置として、図５に示すものが知られている。 図５に示す撮像検査装置２２は、液晶板のような平板状の被検査体２０の上方 に、複数台（５台、１０台等）の撮像部２３を列設して、各撮像部２３により被 検査体２０の各撮像領域２１を撮像し、各撮像領域２１の画像を取得して検査を 行うものである。 この撮像検査装置２２の撮像部２３は、レンズ２４と、多数のＣＣＤ素子を直 線状に列設したＣＣＤラインセンサ２５とを組み合わせて構成され、レンズ２４ により撮像領域２１からの光束を２倍に変倍してＣＣＤラインセンサ２５に入射 するように構成している。 ＣＣＤラインセンサ２５は、例えば７μｍ／ピクセルの大きさのＣＣＤ素子を ７５００個列設したものであり、その全長は略５５ｍｍ程度、また、前記被検査 体２０の撮像領域２１は、３．５μｍの分解能を得るため３．５μｍ×７５００ 個＝２６．５（ｍｍ／台）に設定される。 この結果、この撮像検査装置２２の場合、大寸法の被検査体２０を一度に検査 できるという利点は有するものの、各撮像部２３を被検査体２０の各撮像領域２ １の上方に配置した場合、図５に示すように、隣り合う撮像部２３による撮像可 能な領域（撮像領域２１）の間に、撮像不能領域２６ができてしまい、これによ り、被検査体２０の全領域を撮像することができなくなるという不都合が生じる 。 図６は、従来の他例を示すものであり、図６に示す撮像検査装置３２は、上述 した撮像検査装置２２の各撮像部２３を互いに近付け、図５に示すような撮像不 能領域２６が生じないように構成したものである。 しかし、この構成では、隣り合う撮像部２３による撮像領域２１の一部がダブ って撮像される干渉状態が生じて被検査体２０に対する精密検査ができなくなる という問題がある。 図７は、従来の一台構成の撮像検査装置３２の撮像動作の平面状を示す説明図 であり、この場合には、撮像検査装置３２の撮像部２３による撮像領域２１が既 述したように２６．５ｍｍと小さいため、図７に点線で示すように、撮像部２３ をクランク状に往復走査しなければならず、大寸法の被検査体２０を検査する場 合、多くの撮像時間を要するという問題がある。

【考案が解決しようとする課題】

上述したように従来においては、撮像不能領域が生じたり、撮像領域の撮像に ダブリが生じたり、多くの撮像時間を要したりという各種の不都合があり、迅速 、且つ、高精度に被検査体の撮像検査を行うことが困難であった。 本考案は、上記事情に鑑みてなされたものであり、大寸法の被検査体の場合に おいても、その撮像領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度に実行することが可能 な撮像検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、請求項１記載の考案に係る撮像検査装置は、平板 状の被検査体に臨ませて配置され、該被検査体の検査領域からの光束の変倍を行 う変倍素子と、前記変倍素子の後方において前記変倍素子の径に略相当する寸法 となるように傾斜配置されたライン型撮像素子と、前記変倍素子とライン型撮像 素子との間に配置され、変倍素子からの光束を曲折して前記ライン型撮像素子に 入射する光束曲折素子と、を有する撮像部を、前記ライン型撮像素子のライン方 向に複数個数列設したことを特徴とするものである。 請求項１記載の考案によれば、ライン型撮像素子を変倍素子の径に略相当する 寸法となるように傾斜配置するとともに、変倍素子とライン型撮像素子との間に 光束曲折素子を配置して、変倍素子からの光束を光束曲折素子で曲折してライン 型撮像素子に入射する構成の撮像部を、ライン型撮像素子のライン方向に複数個 数列設したものであるから、隣り合う撮像部を互いに密接状態で列設でき、各撮 像部により撮像する被検査体の検査領域間に隙間（撮像不能領域）が生じること なく、且つ、撮像する検査領域にダブリが生じることもなく、これにより、大寸 法の被検査体の場合においても、その検査領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度 に実行することが可能となる。 請求項２記載の考案に係る撮像検査装置は、平板状の被検査体に臨ませて配置 され、該被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレンズと、前記レン ズの後方において該レンズの径に略相当する寸法となるように傾斜配置されたＣ ＣＤラインセンサと、前記レンズとＣＣＤラインセンサとの間に配置され、レン ズからの光束を曲折して前記ＣＣＤラインセンサに入射するプリズムと、を有す る撮像部を、前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことを特 徴とするものである。 請求項３記載の考案に係る撮像検査装置は、平板状の被検査体に臨ませて配置 され、該被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレンズと、前記レン ズの後方において該レンズの径に略相当する寸法となるように傾斜配置されたＣ ＣＤラインセンサと、前記レンズとＣＣＤラインセンサとの間に配置され、レン ズからの光束を曲折して前記ＣＣＤラインセンサに入射するミラーと、を有する 撮像部を、前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことを特徴 とするものである。 請求項２、３記載の考案によれば、ＣＣＤラインセンサをレンズの径に略相当 する寸法となるように傾斜配置するとともに、レンズとＣＣＤラインセンサとの 間にミラー或いはプリズムを配置して、レンズからの光束をミラー或いはプリズ ムで曲折してＣＣＤラインセンサに入射する構成の撮像部を、ＣＣＤラインセン サのライン方向に複数個数列設したものであるから、請求項１記載の考案と同様 、隣り合う撮像部を互いに密接状態で列設でき、各撮像部が撮像する被検査体の 検査領域間に隙間が生じることなく、且つ、撮像する検査領域にダブリが生じる こともなく、これにより、大寸法の被検査体の場合においても、その検査領域の 撮像検査を迅速、且つ、高精度に実行することが可能となる。

【考案の実施の形態】

以下に本考案の実施の形態について詳細に説明する。 図１は本考案の実施の形態の撮像検査装置を示すものであり、この撮像検査装 置１は、例えば液晶板のような平板状の被検査体１０の上方に臨ませて列設配置 したライン型撮像素子であるＣＣＤラインセンサ５（図２参照）を用いた複数個 （２個、１０個、５０個等）の撮像部２と、この複数個の撮像部２に並設された 照明部８とを有している。 前記各撮像部２は、図２に示すように、被検査体１０の検査領域１０ａからの 光束の２倍の変倍を行う変倍素子であるレンズ４と、このレンズ４の後方（上方 ）において該レンズ４の直径に略相当する寸法となるように傾斜配置されたＣＣ Ｄラインセンサ５と、前記レンズ４とＣＣＤラインセンサ５との間に配置されて レンズ４からの光束を曲折して前記ＣＣＤラインセンサ５に入射する光束曲折素 子であるプリズム６と、これらレンズ４、ＣＣＤラインセンサ５及びプリズム６ を固定保持するケーシング７とを有している。 前記ＣＣＤラインセンサ５は、例えば７μｍ／ピクセルの大きさのＣＣＤ素子 を７５００個列設したものであり、本実施の形態の場合、前記被検査体１０の検 査領域１０ａの寸法は、３．５μｍの分解能を得るため、３．５μｍ×７５００ 個＝２６．５（ｍｍ／台）に設定される。 また、前記レンズ４は、前記検査領域１０ａからの光束の２倍の変倍を行って 前記プリズム６を介してＣＣＤラインセンサ５に入射するようになっている。 次に、本実施の形態の撮像検査装置１の作用を説明する。 この撮像検査装置１によれば、ＣＣＤラインセンサ５をレンズ４の径に略相当 する寸法となるように傾斜配置するとともに、レンズ４とＣＣＤラインセンサ５ との間にプリズム６を配置して、レンズ４からの光束をプリズム６で曲折してＣ ＣＤラインセンサ５に入射する構成の撮像部２を、ＣＣＤラインセンサ５のライ ン方向に複数個数列設したものであるから、図２に示すように、隣り合う各撮像 部２を互いに密接状態で列設でき、この結果、各撮像部２が撮像する被検査体１ ０の検査領域１０ａ間に前述した従来例のような隙間が生じることなく、且つ、 撮像する検査領域１０ａにダブリが生じることもなく、これにより、大寸法 の 被検査体１０の場合においても、その各検査領域１０ａの撮像検査を一回の撮像 走査により迅速、且つ、高精度に実行することが可能となる。 また、複数個の撮像部２に並設された照明部８の構成も、上述した撮像部２の 構成により簡略化できる。 次に、本考案の実施の形態の撮像部の変形例を図３、図４を参照して説明する 。 この変形例の撮像部２Ａは、図３、図４に示すように、被検査体１０の検査領 域１０ａからの光束の２倍の変倍を行う変倍素子であるレンズ４と、このレンズ ４の後方（上方）に配置されたＣＣＤラインセンサ５ａと、前記レンズ４とＣＣ Ｄラインセンサ５ａとの間に傾斜配置され、レンズ４からの光束を曲折、即ち、 反射して前記ＣＣＤラインセンサ５ａに入射する光束曲折素子であるミラー９と 、これらレンズ４、ＣＣＤラインセンサ５ａ及びミラー９を固定保持するケーシ ング７とを有している。 前記ＣＣＤラインセンサ５ａは、７μｍ／ピクセルの大きさのＣＣＤ素子を用 いて既述した実施の形態の場合と略同様に構成している。 また、前記レンズ４は、前記検査領域１０ａからの光束の２倍の変倍を行って 前記ミラー９を介してＣＣＤラインセンサ５ａに入射するようになっている。 次に、本変形例の作用を説明する。 本変形例によれば、前記レンズ４と前記ＣＣＤラインセンサ５ａとの間に、ミ ラー９を傾斜配置して、レンズ４からの光束をミラー９で反射してＣＣＤライン センサ５ａに入射する構成の撮像部２Ａを、ＣＣＤラインセンサ５ａのライン方 向に複数個数列設したものであるから、図３に示すように、隣り合う各撮像部２ Ａを互いに密接状態で列設でき、この結果、各撮像部２Ａが撮像する被検査体１ ０の検査領域１０ａ間に従来例のような隙間が生じることなく、且つ、撮像する 検査領域１０ａにダブリが生じることもなく、これにより、大寸法の被検査体１ ０の場合においても、その各検査領域１０ａの撮像検査を一回の撮像走査により 迅速、且つ、高精度に実行することが可能となる。また、複数個の撮像部２Ａに 並設される照明部８の構成も、上述した撮像部２Ａの構成により簡略化できる。

【考案の効果】

以上詳述した本考案は以下の各効果を奏する。 請求項１記載の考案によれば、ライン型撮像素子を変倍素子の径に略相当する 寸法となるように傾斜配置し、変倍素子、光束曲折素子を用いた構成の撮像部を 、ライン型撮像素子のライン方向に複数個数列設したことによって、隣り合う撮 像部を互いに密接状態で列設でき、各撮像部により撮像する被検査体の検査領域 間に隙間（撮像不能領域）が生じることなく、且つ、撮像する検査領域にダブリ が生じることもなく、これにより、大寸法の被検査体の場合においても、その検 査領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度に実行することが可能な撮像検査装置を 提供することができる。 また、請求項２記載の考案によれば、レンズの径に略相当する寸法となるよう に傾斜配置シタＣＣＤラインセンサと、レンズ及びプリスムとを用いた構成の撮 像部を、ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことによって、前 記請求項１記載の考案と同様な効果を奏する撮像検査装置を提供することができ る。 更に、請求項３記載の考案によれば、レンズの径に略相当する寸法となるよう に傾斜配置したＣＣＤラインセンサと、レンズ及びミラーとを用いた構成の撮像 部を、ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことによって、前記 請求項１記載の考案と同様な効果を奏する撮像検査装置を提供することができる 。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施の形態の撮像検査装置の概略平面
図である。

【図２】本考案の実施の形態の撮像検査装置における撮
像部の概略断面図である。

【図３】本考案の実施の形態の変形例における一個の撮
像部の概略側面図である。

【図４】図４のＸ−Ｘ線断面から見た変形例の撮像部を
多数列設した状態を示す概略図である。

【図５】従来の撮像検査装置の概略正面図である。

【図６】従来の撮像検査装置の他例の概略正面図であ
る。

【図７】従来の撮像検査装置の更に別の例の撮像動作を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ 撮像検査装置 ２ 撮像部 ２Ａ 撮像部 ３ ＣＣＤラインセンサ ４ レンズ ５ ＣＣＤラインセンサ ５ａ ＣＣＤラインセンサ ６ プリズム ７ ケーシング ８ 照明部 ９ ミラー １０ 被検査体 １０ａ 検査領域

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】平板状の被検査体に臨ませて配置され、該
   被検査体の検査領域からの光束の変倍を行う変倍素子
   と、 前記変倍素子の後方において前記変倍素子の径に略相当
   する寸法となるように傾斜配置されたライン型撮像素子
   と、 前記変倍素子とライン型撮像素子との間に配置され、変
   倍素子からの光束を曲折して前記ライン型撮像素子に入
   射する光束曲折素子と、 を有する撮像部を、 前記ライン型撮像素子のライン方向に複数個数列設した
   ことを特徴とする撮像検査装置。
2. 【請求項２】平板状の被検査体に臨ませて配置され、該
   被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレン
   ズと、 前記レンズの後方において該レンズの径に略相当する寸
   法となるように傾斜配置されたＣＣＤラインセンサと、 前記レンズとＣＣＤラインセンサとの間に配置され、レ
   ンズからの光束を曲折して前記ＣＣＤラインセンサに入
   射するプリズムと、 を有する撮像部を、 前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設し
   たことを特徴とする撮像検査装置。
3. 【請求項３】平板状の被検査体に臨ませて配置され、該
   被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレン
   ズと、 前記レンズの後方において該レンズの径に略相当する寸
   法となるように傾斜配置されたＣＣＤラインセンサと、 前記レンズとＣＣＤラインセンサとの間に配置され、レ
   ンズからの光束を曲折して前記ＣＣＤラインセンサに入
   射するミラーと、 を有する撮像部を、 前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設し
   たことを特徴とする撮像検査装置。