JPS63184045A - 欠陥検出センサ - Google Patents
欠陥検出センサInfo
- Publication number
- JPS63184045A JPS63184045A JP1652287A JP1652287A JPS63184045A JP S63184045 A JPS63184045 A JP S63184045A JP 1652287 A JP1652287 A JP 1652287A JP 1652287 A JP1652287 A JP 1652287A JP S63184045 A JPS63184045 A JP S63184045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- laser
- glass
- scanning
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 2
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は欠陥検出センナ、特に、ガラス等、光を透過す
る被検食物の欠陥検出センサに関する。
る被検食物の欠陥検出センサに関する。
〔従来の技術」
従来の欠陥検出センサとしては、例えば１次元または２
次元のＣＣＤ−！Ｉたはビジコンの撮像デバイスを用い
たカメラがある。このカメラは結像用のレンズと光電変
換用の撮像デバイスとを含んで構成される。
次元のＣＣＤ−！Ｉたはビジコンの撮像デバイスを用い
たカメラがある。このカメラは結像用のレンズと光電変
換用の撮像デバイスとを含んで構成される。
（発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の欠陥検出センサは被検食物の検出分解能
と撮像デバイスの画素数の関係から、一度で撮像できる
範囲に限りがあった。？１１えば１μｍ分解能で２０４
８エレメントの一次元ＣＣＤデバイスでは、一度に撮像
できる被検食物の一刀向の長さは約２翼冨となり、２ｔ
ｍ以上の長さの被検査物を見るときには光学系の倍率を
下げて検出分解能を、下けるか、複数回の撮像をするこ
とが必要でめった。また被検食物がガラスのように元を
透過する物に対しては、光学系の焦点をガラスに合わせ
にくいという欠点があった。
と撮像デバイスの画素数の関係から、一度で撮像できる
範囲に限りがあった。？１１えば１μｍ分解能で２０４
８エレメントの一次元ＣＣＤデバイスでは、一度に撮像
できる被検食物の一刀向の長さは約２翼冨となり、２ｔ
ｍ以上の長さの被検査物を見るときには光学系の倍率を
下げて検出分解能を、下けるか、複数回の撮像をするこ
とが必要でめった。また被検食物がガラスのように元を
透過する物に対しては、光学系の焦点をガラスに合わせ
にくいという欠点があった。
本発明の欠陥検出センサは、レーザ光源と、Ｙ軸に走査
する第１のスキャナとＹ軸に走査する第２のスキャナと
、第２のスキャナのレーザ反射ミラー位置を焦点位置と
する走査レンズと、前記走査レンズの透過光を集光する
集光レンズと、前記集光レンズの焦点位置に配した遮光
板と、遮光板からの透過光を光電変換するための光電変
換器とを含んで構成される。
する第１のスキャナとＹ軸に走査する第２のスキャナと
、第２のスキャナのレーザ反射ミラー位置を焦点位置と
する走査レンズと、前記走査レンズの透過光を集光する
集光レンズと、前記集光レンズの焦点位置に配した遮光
板と、遮光板からの透過光を光電変換するための光電変
換器とを含んで構成される。
′〔実施例」
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図（ａ）
、 （ｂ）は被検食対象の外観とレーザ走査範囲を示す
上面図および側面図、第３図ｆａｎ、 （ｂ）は遮光板
の構成を示す上面図および側面図である。
、 （ｂ）は被検食対象の外観とレーザ走査範囲を示す
上面図および側面図、第３図ｆａｎ、 （ｂ）は遮光板
の構成を示す上面図および側面図である。
レーザ発蚤器１からの光はビーム・エクスパンダ２に入
り、ビーム径が拡大される。この光はＸＹ２Ｍスキャン
するための２つのガルバノミラ−を使ったスキャナに入
る。Ｙ軸かＸスキャンミラー３、Ｙ軸かＸスキャンミラ
ー４でスキャンする。
り、ビーム径が拡大される。この光はＸＹ２Ｍスキャン
するための２つのガルバノミラ−を使ったスキャナに入
る。Ｙ軸かＸスキャンミラー３、Ｙ軸かＸスキャンミラ
ー４でスキャンする。
ＸＹのスキャンミラー３．４でスキャンされた光ｉＬ走
ｆレンズ５に入る。ビーム・エクスパンダ２で拡大され
たビーム径りと走査レンズ５で絞れるビーム径ｄの間係
は（１）式で表わされる。
ｆレンズ５に入る。ビーム・エクスパンダ２で拡大され
たビーム径りと走査レンズ５で絞れるビーム径ｄの間係
は（１）式で表わされる。
ｆ−λ
ｄ ＝ −（１）
π ・ Ｄ
ここでｆは走査レンズ５の焦点距離、λはレーザの波長
を示す。
を示す。
（１）式から走査レンズ５へのビーム径りが大きければ
、走査レンズ５で絞れるビーム径ｄは小さくなることが
わかる６ビーム径ｄは被ＳＥｆ’？Ｉ６のより小さい欠
陥まで検出するため、小ざい刀が望フしい。被検査物６
は金属カバー１２とガラス１１から成る。この被検量物
６のガラス１１を前記走査レンズ５でスキャンした光を
透過すせる。
、走査レンズ５で絞れるビーム径ｄは小さくなることが
わかる６ビーム径ｄは被ＳＥｆ’？Ｉ６のより小さい欠
陥まで検出するため、小ざい刀が望フしい。被検査物６
は金属カバー１２とガラス１１から成る。この被検量物
６のガラス１１を前記走査レンズ５でスキャンした光を
透過すせる。
走査レンズ５で秋られた光は被検食物６のガラス１１上
で焦点を結び、最も細く絞られる。レーザ光は、このガ
ラス１１を？１遇し、集光レンズ８によって集光レンズ
８の焦点位置に集光される。
で焦点を結び、最も細く絞られる。レーザ光は、このガ
ラス１１を？１遇し、集光レンズ８によって集光レンズ
８の焦点位置に集光される。
その焦点位置には遮光板９が位置し、遮光板９には、ガ
ラス１１を透過した直接光が集光レンズ８で集光される
位置に、レーザ反射膜１４が蒸着しである。ここで、集
光、走ｆｇれたレーザ光はガラス１１にキズやクラック
、汚れ等の欠陥があると、レーザ光は散乱され、来光レ
ンズ８の光軸に ２対して平行以外の傾きをもった成分
が発生し、鯉尤を９のレーザ反射膜１４の位置以外に集
光されるようになる。この散乱光は、遮光板９を通過し
、７オトマルから成る光電′に換素子１０１Ｃ入る。光
電変換素子１０は入射光の強弱を電気信号に変換する。
ラス１１を透過した直接光が集光レンズ８で集光される
位置に、レーザ反射膜１４が蒸着しである。ここで、集
光、走ｆｇれたレーザ光はガラス１１にキズやクラック
、汚れ等の欠陥があると、レーザ光は散乱され、来光レ
ンズ８の光軸に ２対して平行以外の傾きをもった成分
が発生し、鯉尤を９のレーザ反射膜１４の位置以外に集
光されるようになる。この散乱光は、遮光板９を通過し
、７オトマルから成る光電′に換素子１０１Ｃ入る。光
電変換素子１０は入射光の強弱を電気信号に変換する。
被検量物６のガラス１１の検査範囲と検出分解能を決め
るレーザ走査範囲１３とレーザ位置分解能はＸスキャン
ミラー３とＸスキャンミラー４の偏向角によってレーザ
走査範囲１３が、Ｘスキャンミラー３とＸスキャンミラ
ー４の回転位置精度と定食レンズの集光スポット径でレ
ーザ位置分解能が決まる。
るレーザ走査範囲１３とレーザ位置分解能はＸスキャン
ミラー３とＸスキャンミラー４の偏向角によってレーザ
走査範囲１３が、Ｘスキャンミラー３とＸスキャンミラ
ー４の回転位置精度と定食レンズの集光スポット径でレ
ーザ位置分解能が決まる。
〔発明の幼果」
本発明の欠陥検出センサは、レーザ光源、走置光学系お
よび集光光学系を設けることによシ、広い検査範囲を高
い分解能で欠陥の検出できるという幼果がある。
よび集光光学系を設けることによシ、広い検査範囲を高
い分解能で欠陥の検出できるという幼果がある。
第１区は本身４明の一実施例を示す斜視図、第２図（ａ
）、 ｔｂ）は仮検査対象物の上面図および側面図、第
３図＋ａ）、 （ｂｌは３厘″／を板の上面図および側
面図であるＯ １・・・・・・Ｌ／−ｆ光源、２・・団・ビームエクス
パンタ、３・・・・・・Ｘスキャンミラー、４・・・・
・−Ｙスキャン・ミラー、５・・・・・・走査レンズ、
６・・・・・・仮＠食物、７・・・・・・ホルダー、８
・・・・・・集光レンズ、９・・印・遮光恢、１０・・
・・・・光電変換素子、１１・・・・・ガラス、１２・
・・・・・金繊カバー、１３・・・・・・レーザ走査範
囲、１４・・・第２ 図 牛３図
）、 ｔｂ）は仮検査対象物の上面図および側面図、第
３図＋ａ）、 （ｂｌは３厘″／を板の上面図および側
面図であるＯ １・・・・・・Ｌ／−ｆ光源、２・・団・ビームエクス
パンタ、３・・・・・・Ｘスキャンミラー、４・・・・
・−Ｙスキャン・ミラー、５・・・・・・走査レンズ、
６・・・・・・仮＠食物、７・・・・・・ホルダー、８
・・・・・・集光レンズ、９・・印・遮光恢、１０・・
・・・・光電変換素子、１１・・・・・ガラス、１２・
・・・・・金繊カバー、１３・・・・・・レーザ走査範
囲、１４・・・第２ 図 牛３図
Claims (1)
- レーザ光源と、Ｘ軸に走査する第１のスキャナとＹ軸に
走査する第２のスキャナと、第２のスキャナのレーザ反
射ミラー位置を焦点位置とする走査レンズと、前記走査
レンズの透過光を集光する集光レンズと、前記集光レン
ズの焦点位置に配した遮光板と、遮光板からの透過光を
光電変換するための光電変換器とを含むことを特徴とす
る欠陥検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1652287A JPS63184045A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 欠陥検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1652287A JPS63184045A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 欠陥検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63184045A true JPS63184045A (ja) | 1988-07-29 |
Family
ID=11918605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1652287A Pending JPS63184045A (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 欠陥検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63184045A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02102439A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Nissan Motor Co Ltd | 板表面の付着物等評価装置 |
| JPH0466943A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 半透明板の欠陥検査装置 |
| EP0532768A1 (en) * | 1991-04-02 | 1993-03-24 | Fanuc Ltd. | System for monitoring arc sensor protecting window |
| JP2009229245A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Hitachi Ltd | 反射屈折型対物レンズを用いた欠陥検査装置 |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP1652287A patent/JPS63184045A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02102439A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Nissan Motor Co Ltd | 板表面の付着物等評価装置 |
| JPH0466943A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 半透明板の欠陥検査装置 |
| EP0532768A1 (en) * | 1991-04-02 | 1993-03-24 | Fanuc Ltd. | System for monitoring arc sensor protecting window |
| JP2009229245A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Hitachi Ltd | 反射屈折型対物レンズを用いた欠陥検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6236454B1 (en) | Multiple beam scanner for an inspection system | |
| US6122046A (en) | Dual resolution combined laser spot scanning and area imaging inspection | |
| US7869023B2 (en) | System for detecting anomalies and/or features of a surface | |
| KR100898963B1 (ko) | 라인 광 스팟으로 2차원 이미지화를 수행하는 검사 시스템 | |
| JPH0435026B2 (ja) | ||
| JPH0618785A (ja) | 共焦点型レーザ走査透過顕微鏡 | |
| WO2005085936A1 (en) | An optical system for producing differently focused images | |
| JP2510786B2 (ja) | 物体の形状検出方法及びその装置 | |
| US5978095A (en) | Confocal microscopic equipment | |
| JPS6339841B2 (ja) | ||
| JPS63184045A (ja) | 欠陥検出センサ | |
| WO2021024319A1 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
| JPS6180215A (ja) | 走査型顕微鏡撮像装置 | |
| US7760928B2 (en) | Focus error correction system and method | |
| JP2571859B2 (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| JP2633718B2 (ja) | 形状認識装置 | |
| JP2007310202A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| JP2000509825A (ja) | 光走査デバイス | |
| JPH0694633A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| US6750436B2 (en) | Focus error detection apparatus and method having dual focus error detection path | |
| JPH0333714A (ja) | スキャナ | |
| JP2002148521A (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH095045A (ja) | 光検出器 | |
| JPH1183755A (ja) | 傷検査装置 | |
| RU2040026C1 (ru) | Оптическое сканирующее устройство |