JPH01179513A - 水晶振動子のエッチング加工方法 - Google Patents
水晶振動子のエッチング加工方法Info
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- JPH01179513A JPH01179513A JP276688A JP276688A JPH01179513A JP H01179513 A JPH01179513 A JP H01179513A JP 276688 A JP276688 A JP 276688A JP 276688 A JP276688 A JP 276688A JP H01179513 A JPH01179513 A JP H01179513A
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- crystal resonator
- axis
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
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- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 2
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く本発明の目的〉
［産業上の利用分野］
本発明は、回転Ｙ板のエツチング加工において、保護膜
の上下面でのずれを小さくした水晶振動子のエツチング
加工方法に関する。
の上下面でのずれを小さくした水晶振動子のエツチング
加工方法に関する。
［従来の技術］
第２図は、水晶振動子の内、最も利用されているＡＴカ
ット水晶振動子の切り出し図である。ＸＹＺ軸は、初期
の軸方向を示しＹ板をＸ軸の回りに０°回転して得られ
る。Ｚ′軸、Ｙ′軸は新たな軸方向である。第３図は、
このＡＴカット水水晶励動子エツチング加工したときの
断面図である。
ット水晶振動子の切り出し図である。ＸＹＺ軸は、初期
の軸方向を示しＹ板をＸ軸の回りに０°回転して得られ
る。Ｚ′軸、Ｙ′軸は新たな軸方向である。第３図は、
このＡＴカット水水晶励動子エツチング加工したときの
断面図である。
図に示すように板厚ｔの上面と下面にはそれぞれ保護膜
１１を施して不必要な部分にエツチングが進行しないよ
うにしている。そしてエツチング速度は、Ｚ軸方向の育
成速度が速かったのと同じように、Ｚ軸方向が速い。従
って回転Ｙｔ反のＺ軸方向にエツチングが進行し切断角
度θ°との関係から、対向する保護膜１１の上面端部０
１と下面端部ＤＩの間隔をｔ／ｌａｎθだけすらして設
けるとエツチングした傾斜部が直線となるものを得るこ
とが出来る。
１１を施して不必要な部分にエツチングが進行しないよ
うにしている。そしてエツチング速度は、Ｚ軸方向の育
成速度が速かったのと同じように、Ｚ軸方向が速い。従
って回転Ｙｔ反のＺ軸方向にエツチングが進行し切断角
度θ°との関係から、対向する保護膜１１の上面端部０
１と下面端部ＤＩの間隔をｔ／ｌａｎθだけすらして設
けるとエツチングした傾斜部が直線となるものを得るこ
とが出来る。
そして、対向するもう一方の保ｉ膜ｌｌの上面端部Ｕ２
と下面端部Ｄ２は、エツチング加工により抜取る幅寸法
を決めるためのものであって上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ
Ｉよりそれぞれある幅を持たせて配置している。
と下面端部Ｄ２は、エツチング加工により抜取る幅寸法
を決めるためのものであって上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ
Ｉよりそれぞれある幅を持たせて配置している。
なお、従来例としては、特開昭５７−１５７６１６号公
報の図面第９図（ｂ）等が挙げられる。
報の図面第９図（ｂ）等が挙げられる。
［発明が解決しようとする問題点１
この従来のエツチング方法では、エツチング加工した保
護膜の上面端部と下面端部との段差が大きく、エツチン
グ面の傾斜部が長くなって水晶振動子の特性を劣化させ
る要因となっていた。
護膜の上面端部と下面端部との段差が大きく、エツチン
グ面の傾斜部が長くなって水晶振動子の特性を劣化させ
る要因となっていた。
［本発明の目的１
本発明の目的は、上面端部と下面端部との段差を小さく
してエツチング加工を行ない、エツチング面の傾斜部を
短くして特性の劣化を防ぐ水晶振動子を得ることを目的
とする。
してエツチング加工を行ない、エツチング面の傾斜部を
短くして特性の劣化を防ぐ水晶振動子を得ることを目的
とする。
く本発明の構成〉
［問題を解決する手段１
本発明は、Ｙ板をＸ軸の回りに０°回転して得られる回
転Ｙ板の上面と下面に保護膜を施して行なう水晶振動子
のエツチング加工方法において、該回転Ｙ板の板厚をｔ
として該保護膜の上面端部と下面端部を結ぶ延長線をＺ
軸方向とし、該保護膜の該上面端部Ｕ１．！：該下面端
部Ｄ２をｔ／１ａｎＯだけずらして配置した水晶振動子
のエツチング加工方法である。
転Ｙ板の上面と下面に保護膜を施して行なう水晶振動子
のエツチング加工方法において、該回転Ｙ板の板厚をｔ
として該保護膜の上面端部と下面端部を結ぶ延長線をＺ
軸方向とし、該保護膜の該上面端部Ｕ１．！：該下面端
部Ｄ２をｔ／１ａｎＯだけずらして配置した水晶振動子
のエツチング加工方法である。
［作用及び実施例１
第１図は、本発明の実施例を示す水晶振動子の断面図で
ある。水晶振動子は、従来例と同様に切り出されたＡＴ
カット水晶振動子である。板厚をｔ１Ｙ板をＸ軸の回り
に０°回転して得られる回転Ｙ板でＺ゛軸、Ｙ′軸は新
たな軸方向である。図に示すように水晶振動子にはそれ
ぞれ保護膜が上面に２つと下面に２つ設けである。保Ｈ
ｉｌｌはエツチングを進行させたくない部分に施すもの
である。
ある。水晶振動子は、従来例と同様に切り出されたＡＴ
カット水晶振動子である。板厚をｔ１Ｙ板をＸ軸の回り
に０°回転して得られる回転Ｙ板でＺ゛軸、Ｙ′軸は新
たな軸方向である。図に示すように水晶振動子にはそれ
ぞれ保護膜が上面に２つと下面に２つ設けである。保Ｈ
ｉｌｌはエツチングを進行させたくない部分に施すもの
である。
そして、保護膜１１の上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ２を結
ぶ延長線が、はぼＺ軸方向となる側の保護膜の間隔をｔ
／ｌａｎ ｅだけずらして配置したものである。他の１
対の保１Ｍ１１の上面端部Ｕ２と下面端部Ｄ１は、エツ
チング加工するために幅寸法を持たせるために上面端部
Ｕ１、下面端部Ｄ２より適当な距離を持たせである。実
施例では、上面端部ＵｌとＵ２．下面端部ＤＩとＤ２と
の幅寸法を、上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ２七の距離の半
分にしである。
ぶ延長線が、はぼＺ軸方向となる側の保護膜の間隔をｔ
／ｌａｎ ｅだけずらして配置したものである。他の１
対の保１Ｍ１１の上面端部Ｕ２と下面端部Ｄ１は、エツ
チング加工するために幅寸法を持たせるために上面端部
Ｕ１、下面端部Ｄ２より適当な距離を持たせである。実
施例では、上面端部ＵｌとＵ２．下面端部ＤＩとＤ２と
の幅寸法を、上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ２七の距離の半
分にしである。
このようにするとエツチングは、上面と下面の両面から
Ｚ軸方向に向けてそれぞれ進行し、丁度板厚ｔの半分の
ところで貫通する。すなわち、従来のものに比べてエツ
チング面の傾斜部が半分程度の長さによりエツチングす
ることが出来るしのとなり、エツチング時間が短縮され
、また、上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ２の段差を小さくし
たらのであるから、水晶振動子の特性も良好にすること
が出来た。
Ｚ軸方向に向けてそれぞれ進行し、丁度板厚ｔの半分の
ところで貫通する。すなわち、従来のものに比べてエツ
チング面の傾斜部が半分程度の長さによりエツチングす
ることが出来るしのとなり、エツチング時間が短縮され
、また、上面端部Ｕｌと下面端部Ｄ２の段差を小さくし
たらのであるから、水晶振動子の特性も良好にすること
が出来た。
なお、実施例ではＡＴカット水晶振動子の例を示したが
、ＢＴカット等の厚みすへり振動子やＣＴカット、ＤＴ
カット、ＨＴカット、ＳＬカット。
、ＢＴカット等の厚みすへり振動子やＣＴカット、ＤＴ
カット、ＨＴカット、ＳＬカット。
ＧＴカット等の輪郭振動子等であっても良く、いわゆる
回転Ｙ板であれば良い。
回転Ｙ板であれば良い。
また、保護膜としては、金属電極を蒸着したり、絶縁膜
やコーテイング膜により施すことが出来る。
やコーテイング膜により施すことが出来る。
［本発明の効果］
本発明は、回転Ｙ板をエツチング加工する際に、上面端
部と下面端部の延長線がほぼＺ軸となる側の上面端部と
下面端部とをｔ／ｌａｎ Ｏだけずらして保護膜を配置
しエツチングしたものであるから、両面から効率良（エ
ツチングが進行し上面端部と下面端部との段差を小さく
することが出来た。よって、水晶振動子の特性を劣化さ
せないものとなった。また、エツチング時間を従来より
も半分近く短縮することが出来た。
部と下面端部の延長線がほぼＺ軸となる側の上面端部と
下面端部とをｔ／ｌａｎ Ｏだけずらして保護膜を配置
しエツチングしたものであるから、両面から効率良（エ
ツチングが進行し上面端部と下面端部との段差を小さく
することが出来た。よって、水晶振動子の特性を劣化さ
せないものとなった。また、エツチング時間を従来より
も半分近く短縮することが出来た。
第１図は、本発明の回転Ｙ板をエツチング加工した時の
断面図。第２図は、本発明に使用する回転Ｙ板の軸関係
を示す図。第３図は、従来の回転Ｙ板をエツチングした
時の断面図である。 １１・・・・・・保護膜 Ｕｌ・・・・・・上面端部 Ｄ２・・・・・・下面端部 特許出願人 キンセキ株式会社 Ｘ 第２図
断面図。第２図は、本発明に使用する回転Ｙ板の軸関係
を示す図。第３図は、従来の回転Ｙ板をエツチングした
時の断面図である。 １１・・・・・・保護膜 Ｕｌ・・・・・・上面端部 Ｄ２・・・・・・下面端部 特許出願人 キンセキ株式会社 Ｘ 第２図
Claims (2)
- （１）Ｙ板をＸ軸の回りにθ゜回転して得られる回転Ｙ
板の上面と下面に保護膜を施して行なう水晶振動子のエ
ッチング加工方法において、該回転Ｙ板の板厚をｔとし
て該保護膜の上面端部と下面端部を結ぶ延長線をＺ軸方
向とし、該保護膜の該上面端部Ｕ１と該下面端部Ｄ２を
ｔ／ｔａｎθだけずらして配置したことを特徴とする水
晶振動子のエッチング加工方法。 - （２）該回転Ｙ板がＡＴカット水晶振動子であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の水晶振動子のエ
ッチング加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP276688A JPH01179513A (ja) | 1988-01-09 | 1988-01-09 | 水晶振動子のエッチング加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP276688A JPH01179513A (ja) | 1988-01-09 | 1988-01-09 | 水晶振動子のエッチング加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179513A true JPH01179513A (ja) | 1989-07-17 |
| JPH0575288B2 JPH0575288B2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=11538460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP276688A Granted JPH01179513A (ja) | 1988-01-09 | 1988-01-09 | 水晶振動子のエッチング加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01179513A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0459631A2 (en) * | 1990-04-27 | 1991-12-04 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating element and method of making the same |
| JP2005277483A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| JP2008109676A (ja) * | 2007-11-12 | 2008-05-08 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスと音叉型水晶振動片ならびに音叉型水晶振動片の製造方法 |
| JP2014110477A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶片の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57157616A (en) * | 1981-03-25 | 1982-09-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Gt-cut quartz oscillator |
-
1988
- 1988-01-09 JP JP276688A patent/JPH01179513A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57157616A (en) * | 1981-03-25 | 1982-09-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Gt-cut quartz oscillator |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314577A (en) * | 1990-04-26 | 1994-05-24 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| EP0459631A2 (en) * | 1990-04-27 | 1991-12-04 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating element and method of making the same |
| US5304459A (en) * | 1990-04-27 | 1994-04-19 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US5376861A (en) * | 1990-04-27 | 1994-12-27 | Seiko Epson Corporation | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| JP2005277483A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| JP2008109676A (ja) * | 2007-11-12 | 2008-05-08 | Seiko Epson Corp | 水晶デバイスと音叉型水晶振動片ならびに音叉型水晶振動片の製造方法 |
| JP4645991B2 (ja) * | 2007-11-12 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶デバイスと音叉型水晶振動片ならびに音叉型水晶振動片の製造方法 |
| JP2014110477A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶片の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575288B2 (ja) | 1993-10-20 |
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