JPH01178936A - 光偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光導波路に表面弾性波を発生させ、この表面
弾性波の回折作用によって導波光を偏向させるようにし
た光偏向装置、特に詳細には同時に２本の光ビームを偏
向して、２画像の並行記録あるいは読取りに利用できる
ようにした光偏向装置に関するものである。　　　゛ （従来の技術） 従来より例えば特開昭６１−１８３６２６号公報に示さ
れるように、表面弾性波が伝播可能な材料から形成され
た光導波路に光を入射させ、この光導波路内を進行する
導波光と交わる方向に表面弾性波を発生させて該表面弾
性波によって導波光をブラッグ回折させ、そして上記表
面弾性波の周波数を連続的に変化させることにより導波
光の回折角（偏向角）を連続的に変化させるようにした
光偏向装置が公知となっている。このような光偏向装置
は、例えばガルバノメータミラーやポリゴンミラー等の
機械式光偏向器や、ＥＯＤ　（電気光学光偏向器）やＡ
ＯＤ　（音響光学光偏向器）等の光偏向素子を用いる光
偏向器に比べると、小形軽量化が可能で、また機械的動
作部分を持たないので信頼性も高い、といった特長を有
している。

（発明が解決しようとする問題点） ところが上述のような光偏向装置には、偏向角を大きく
とることが困難であるという問題がある。

つまりこの光導波路を用いた光偏向装置においては、光
偏向角は表面弾性波の周波数にほぼ比例するので、大き
な偏向角を得ようとすれば必然的に表面弾性波の周波数
を極めて高い値まで変化させることが必要となる。また
このように表面弾性波の周波数を広い帯域に亘って変化
させるのみならず、ブラッグ条件を満たすために、表面
弾性波の進行方向を連続的に変化（ステアリング）させ
て導波光の表面弾性波への入射角を制御する必要がある
。

上記のような要求に応えるため、例えば前記特開昭６１
−１８３６２６号公報にも示されるように、互いに異な
る帯域で周波数が変化する表面弾性波を発生する複数の
交叉くし形電極対（ＩＤＴ：ＩｎｔｅｒＤ　ｉｇｊｔａ
ｌ　　Ｔ　ｒａｎｓｄｕｃｃｒ　）をそれぞれ表面弾性
波発生方向が異なるように配置し、各ＩＤＴをスイッチ
ング作動させるようにした光偏向装置が提案されている
。

しかし上記構成の光偏向装置は、各ＩＤＴが発する表面
弾性波のクロスオーバー周波数を中心にして回折効率が
落ち込むので、偏向された光ビームの光量が、偏向角に
応じて変動してしまうという問題が生じる。

また上記の構成にしても、結局偏向角の高い部分を受は
持つＩＤＴは、極めて高い周波数の表面弾性波を発生し
うるように構成されなければならない。以下、この点に
ついて、具体例を挙げて説明する。表面弾性波の進行方
向に対゛する導波光の入射角をθとすると、表面弾性波
と導波光との音響光学相互作用による導波光の偏向角δ
は、δ−２θである。そして導波光の波長、実効屈折率
をλ、Ｎｅとし、表面弾性波の波長、周波数、速度をそ
れぞれΔ、ｆ、ｖとすれば、 ２θ−２ｓｉｎ’（λ／２Ｎｅ　−Ａ）ユλ／Ｎｅ　−
Ａ −λ・　ｆ／Ｎｅ　　・■・・・・・・（１）である。

したがって偏向角範囲△（２θ）は、△（２θ）−△ｆ
・λ／Ｎｅ−■ となる。ここで例えばλ−０，７８μ７１１．　Ｎｅ　
−２，２、Ｖ　＝　３５０ＨＬ／　ｓとして偏向角範囲
△（２θ）＝１０°を得ようとすれば、表面弾性波の周
波数範囲すなわちＩＤＴに印加する高周波の周波数帯域
△ｆ　−１，７２ＧＨｚが必要となる。この周波数帯域
を、２次回折光の影響を受けないように１オクターブと
すれば、中心周波数ｆｏ　＝　２．５７　ＧＨｚ　。

最大周波数ｆ２−３．４３　ＧＨｚとなる。この最大周
波数ｆ２を得るＩＤＴの周期Ａ−１，０２ｕＴＬとなり
、ＩＤＴ電極指の線幅Ｗ−Ａ／４−０．２５５μ尻とな
る。

ＩＤＴを形成する技術として一般的なフォトリソ法、電
子ビーム描画法においては、現在のところ線幅限界がそ
れぞれ０．８μ７７’Ｌ、　　０．５μｍ程度であり、
したがって上記のように極めて小さい線幅を有するＩＤ
Ｔは実現困難である。またこのように精細なＩＤＴが将
来形成できたとしても、３．４３　ＧＨｚ程度の高周波
を生成するドライバーは、製造困難でかつ極めて高価な
ものとなるし、このように精細なＩＤＴには高電圧を印
加することが難しくなる。さらに、上記のように表面弾
性波の周波数を高めれば、当然その波長が短くなるので
該表面弾性波が光導波路に吸収されやすくなり、回折効
率が低下することになる。

一方文献Ｉ　Ｅ　Ｅ　Ｅ　　Ｔ　ｒａｎｓａｃｔｌｏｎ
ｓ　ｏｎ　　Ｃ１ｒｃｕＩｔｓ　　ａｎｄ　　Ｓｙｓｔ
ｅｍｓ、　ｖｏｌ、　　ＣＡＳ　−２６，Ｎｏ。

１２、　　ｐ１０７２　［Ｇｕｌｄｅｄ　−Ｗａｖｅ　
　ＡｃｏｕｓｔｏｏｐｔｉｃＢｒａｇｇ　　Ｍｏｄｕｌ
ａｔｏｒｓ　ｆｏｒ　Ｗｉｄｅ−Ｂａｎｄ　Ｉ　ｎｔｅ
ｇｒａＬｅｄ　０ｐｔｉｃ　　Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉ
ｏｎｓ　ａｎｄ　Ｓｉｇｎａｌ　Ｐｒ。

ｃｅｓｓｉｎｇコｂｙ　　ｃ、ｓ、ＴＳＡＩには、前述
のように複数のＩＤＴをスイッチング作動させず、１つ
のＩＤＴを電極指線幅が連続的に変化しがっ各電極指が
円弧状をなす湾曲指チャープＩＤＴとして構成し、この
１つのＩＤＴによって表面弾性波の周波数および進行方
向を広範囲に亘って連続的に変化させるようにした光偏
向装置が示されている。このような構成においては、前
述のように光ビームの光量が偏向角に応じて変動してし
まうという問題は解消できるが、表面弾性波の周波数を
極めて高く設定しなければならない点はそのままであり
、それにより前述と全く同様の問題が生じる。

一方例えば医用画像等を再生記録するに際しては、拡大
率や画像処理条件の異なる２つの画像を１つの記録媒体
上に並べて記録したいという要望かある。前述したよう
な光偏向装置は勿論、先ビームを感光材料上に走査させ
て上述のような画像を記録する光走査記録装置において
も用いられうるちのであり、さらには上述のように２画
像を並行記録するために利用することも可能である。つ
まり、この光偏向装置による光ビームの偏向角範囲を２
分割し、分割された各偏向角範囲内において光ビームを
各々別の画像信号に基づいて変調すれば、感光材料上に
２画像が並べて記録されるようになる。

また、上述のような光偏向装置を用いて、２画像を同時
に読み取る光走査読取装置を構成することも可能である
。つまりこの場合は、２画像が記録されている読取原稿
上に光ビームを走査させることにより該原稿から発せら
れた発光光、反射光等を光電的に検出して得られた読取
画像信号を、分割された各偏向角範囲毎にそれぞれ別個
に抽出すれば、各々１つの画像を担持する２組の画像信
号が得られる。

ところが、先に述べた通りこの種の光偏向装置において
は、偏向角範囲を大きくとることが困難であるので、２
画像を並行記録しあるいは読み取る場合、各画像を記録
しあるいは読み取る光ビームの偏向角範囲は、比較的小
さな偏向角範囲を２分割したさらに小さなものになって
しまう。したがってこのような画像記録あるいは読取方
法では、小サイズの画像しか記録あるいは読取りできな
いことになる。

そこで本発明は、２画像の並行記録あるいは読取りのた
めに利用可能で、しかも各画像を記録しあるいは読み取
るための光ビーム偏向角範囲を大きくとることができる
光偏向装置を提供することを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明の第１の光偏向装置は、前述のように表面弾性波
が伝播可能な材料から形成された光導波路内に導波光を
進行させ、この導波光を表面弾性波によって回折、偏向
させるようにした光偏向装置において、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
の光ビームを、第１の導波光および第２の導波光の２系
統に分岐する光ビーム分岐手段と、光導波路内を導波す
る第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該導波光
を回折、偏向させる第１の表面弾性波を光導波路におい
て発生させる第１の表面弾性波発生手段と、 同様に光導波路内を導波する第２の導波光の光路に交わ
る方向に進行して該導波光を回折、偏向させる第２の表
面弾性波を光導波路において発生させる第２の表面弾性
波発生手段とを設け、これら第１および第２の表面弾性
波発生手段を、光導波路から出射した第１および第２の
導波光が所定の面上を互いに重ならないで走査するよう
に配置したことを特徴とするものである。

また本発明の第２の光偏向装置は、上記第１および第２
の表面弾性波発生手段と光ビーム分岐手段とに加えて、 前記第１の表面弾性波によって回折された前記第１の導
波光の光路に交わる方向に進行して該第１の導波光を、
前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
向させる第３の表面弾性波を前記光導波路において発生
させる第３の表面弾性波発生手段と、 前記第２の表面弾性波によって回折された前記第２の導
波光の光路に交わる方向に進行して該第２の導波光を、
前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
向させる第４の表面弾性波を前記光導波路において発生
させる第４の表面弾性波発生手段とを設け、 上記第１および第３の表面弾性波発生手段を、第１の表
面弾性波によって回折される前、後の第１の導波光の波
数ベクトルをそれぞれｌｋｌ、ｌｋ２、第３の表面弾性
波によって回折された第１の導波光の波数ベクトルを［
ｋ３、第１、第３の表面弾性波の波数ベクトルを［Ｋｌ
、［Ｋｌとしたとき、｜ｋｌ　＋ＩＫ１−に２ １ｋ　２　＋　ＩＫ　ｚ　−１ｋ　３ なる条件を満たしながらそれぞれ第１、第３の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成し、 また第２および第４の表面弾性波発生手段も、第２の表
面弾性波によって回折される前、後の第２の導波光の波
数ベクトルをそれぞれＩｆ＜４．ｌｋ５、第４の表面弾
性波によって回折された第２の導波光の波数ベクトルを
１に６、第２、第４の表面弾性波の波数ベクトルをＩＫ
３　、　ＩＫ４としたとき、ｌｋ　４　＋　［Ｋ　３−
１１ｃ　５ １ｋ、＋ＩＫ、　−１ｋ６ なる条件を満たしながらそれぞれ第２、第４の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成した上で、 これら第１．　２．　３および４の表面弾性波発生手段
を、上記光導波路から出射した第１および第２の導波光
が所定の面上を互いに重ならないで走査するように配置
したことを特徴とするものである。

上記のような第１．　２．　３および４の表面弾性波発
生手段は、例えば電極指間隔が段階的に変化しかつ各電
極指の向きが段階的に変化する傾斜指チャープ交叉くし
形電極対（Ｔ　ｌ１ｔｅｄ　−Ｆ　ｉｎｇｅｒＣｈｉｒ
ｐｅｄ　　ＩＤＴ）と、この電極対ニ周波数が連続的に
変化する交番電圧を印加するドライバーとの絹合せ等に
よって形成することができる。

また光ビームを２系統に分岐させる光ビーム分岐手段と
しては、光導波路に形成した回折格子や、ハーフミラ−
等が利用できる。

（作　　用） 第１の表面弾性波発生手段と第２の表面弾性波発生手段
とが前述のように配置された本発明の第１の光偏向装置
によって光ビームを偏向させると、光導波路から出射し
た２本の光ビームは所定面上（すなわち被走査面上）の
それぞれ別個の箇所を走査するから、各ビームによって
別個の画像を記録し、あるいは読み取ることができる。

この際各光ビームは、それぞれ別個の表面弾性波によっ
て偏向されるから、各表面弾性波によって実現される偏
向角範囲の全体を、それぞれ１画像を記録しあるいは読
み取るために利用可能となる。

上述のことは、本発明の第２の光偏向装置においても同
様である。そしてさらに、この第２の光偏向装置におい
ては、第１（第２）の表面弾性波によって偏向された第
１（第２）の導波光が第３（第４）の表面弾性波によっ
て再度偏向されているから、１画像を記録しあるいは読
み取るための偏向角範囲は、第１の光偏向装置よりもさ
らに拡大される。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明の第１の光偏向装置の一実施例を示すも
のである。この光偏向装置１０は、基板１１上に形成さ
れた光導波路１２と、この光導波路１２上に形成された
光ビーム入射用線状回折格子（Ｌｉｎｅａｒ　Ｇｒａｔ
ｉｎｇ　　Ｃｏｕｐｌｅｒ、以下ＬＧＣと称する）■３
と、光ビーム出射用Ｌ　Ｇ　ＣＬ４と、これらのＬＧＣ
１３，１４の間を進行する導波光Ｌ１、Ｌ１′の光路に
交わる方向に進行する表面弾性波１５．１６をそれぞれ
発生させる第１、第２の傾斜指チャープ交叉くし形電極
対（Ｔｕｔｅｄ　−Ｆｉｎｇｅｒ　　ＣｈｉｒｐｅｄＩ
　ｎｔｅｒ　　Ｄ　１ｇ１ｔａｌ　　Ｔ　ｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ　、以下傾斜指チャープＩＤＴと称する）１７．
１８と、光導波路１２に形成された光ビーム分岐手段と
しての回折格子５と、表面弾性波１５．１Ｂを発生させ
るために上記傾斜指チャープＩＤＴ１７．１８にそれぞ
れ高周波の交番電圧を印加する高周波アンプ１９．１９
’　と、上記電圧の周波数を連続的に変化（掃引）させ
るスィーパ−２０，２０゛　　とを有している。

本実施例においては一例として、基板１１にＬＩＮｂＯ
３ウェハを用い、このウェハの表面にＴｉ拡散膜を設け
ることにより光導波路１２を形成している。なお基板１
１としてその他サファイア、Ｓｉ等からなる結晶性基板
が用いられてもよい。また光導波路１２も上記のＴｉ拡
散に限らず、基板ｌｌ上にその他の材料をスパッタ、蒸
着する等して形成することもできる。なお光導波路につ
いては、例えばティー　タミール（Ｔ、　Ｔａｍ１ｒ）
編「インチグレイテッド　オブティクス（Ｉ　ｎｔｅｇ
ｒａｔｅｄ　　０ｐｔｉｃｓ　）　Ｊ　　（）ピックス
　イン　アプライド　フィジックス（Ｔｏｐｉｃｓ　　
ｉｎ　　Ａｐｐｌｉｅｄ　　Ｐｈｙｓｉｃｓ）第７巻）
スブリンガー　フエアラーグ（Ｓ　ｐｒｌｎｇｅｒ　−
Ｖｃｒｌａｇ　）刊（１９７５）　　、菌属、春名、栖
原共著「光集積回路」オーム社刊（１９８５）等の成著
に詳細な記述があり、本発明では光導波路１２としてこ
れら公知の光導波路のいずれをも使用できる。

ただし、この光導波路１２は、上記Ｔｉ拡散膜等、後述
する表面弾性波が伝播可能な材料から形成されなければ
ならない。また光導波路は２層以上の積層構造を有して
いてもよい。

傾斜指チャープＩＤＴ１７．１８は、例えば光導波路１
２の表面にポジ型電子線レジストを塗布し、さらにその
上にＡｕ導電用薄膜を蒸着し、電極パターンを電子線描
画し、Ａｕ薄膜を剥離後現像を行ない、次いでＣｒ薄膜
、Ａｔ薄膜を蒸着後、有機溶媒中でリフトオフを行なう
ことによって形成することができる。なお傾斜指チャー
プＩＤＴ１７．１８は、基板１１や光導波路１２が圧電
性を有する材料からなる場合には、直接光導波路■２内
あるいは基板１１上に設置しても表面弾性波１５．１６
を発生させることができるが、そうでない場合には基板
１１あるいは光導波路１２の一部に例えばＺｎＯ等から
なる圧電性薄膜を蒸着、スパッタ等によって形成し、そ
こにＩＤＴ１７．１８を設置すればよい。

偏向される光ビームＬは、例えば半導体レーザ等の光源
２１から、ＬＧＣ１３に向けて射出される。

この光ビームＬ（平行ビーム）は、ＬＧＣ１３によって
光導波路１２内に取り込まれ、該光導波路１２内を導波
モードで進行し、回折格子５によって０次光と１次光に
分岐される。この０次光は第１の導波光Ｌ１として、ま
た１次光は第２の導波光し１゜とじて該光導波路１２内
を導波する。なお光ビームＬが発散ビームである場合は
、Ｌ　Ｇ　Ｃ１３の代わりに集光性回折格子（Ｆｏｃｕ
ｓｔｉｇ　　Ｇｒａｔｌｎｇ　　Ｃｏｕｐｌｅｒ：ＦＧ
Ｃ）を用い、このＦＣＣによって発散ビームを平行ビー
ム化して光導波路１２内に取り込むことができる。

光導波路１２内を導波する第１の導波光Ｌｌは、第１の
傾斜指チャープＩＤＴ１７から発せられた第１の表面弾
性波Ｉ５との音響光学相互作用により、図示のように回
折（Ｂ　ｒａｇｇ回折）する。そして前述のように、第
１の傾斜指チャープＩＤＴ１７に印加される交番電圧の
周波数が連続的に変化するので、第１の表面弾性波１５
の周波数が連続的に変化する。前述の第（１）式から明
らかなように、表面弾性波１５によって回折した導波光
Ｌ２の偏向角は表面弾性波１５の周波数にほぼ比例する
ので、上記のように表面弾性波１５の周波数が変化する
ことにより、導波光Ｌ２は矢印Ａで示すように連続的に
偏向する。この導波光Ｌ２はＬＧＣ１４によって光導波
路１２外に出射せしめられる。こうして光導波路１２外
に出射した光ビームＬ４は、被走査面３０上を１次元的
に走査する。

光導波路１２内を導波する第２の導波光し工°　も、第
２の傾斜指チャープＩＤＴＬ８から発せられた第２の表
面弾性波１６との音響光学相互作用により、図示のよう
に回折（Ｂ　ｒａｇｇ回折）する。そして、第２の傾斜
指チャープＩＤＴ１８に印加される交番電圧の周波数が
、第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７におけるのと同様に
掃引されるので、回折した導波光Ｌ２”は矢印Ｂで示す
ように連続的に偏向する。この導波光Ｌ２°　もＬ　Ｇ
　Ｃ１４によって光導波路１２外に出射せしめられる。

こうして光導波路１２外に出射した光ビームＬ４°は、
被走査面３０上を１次元的に走査する。

第１、第２の傾斜指チャープＩＤＴ１７．１８は、光導
波路１２外に出射した光ビームＬＡ　、Ｌ４′が、第２
図にも示すように、被走査面３０上で互いに重ならない
で平行となるように配置されている。したがって被走査
面３０上においては、光ビームＬ４とＬ４′とによって
別個に主走査ラインが形成される。そこで被走査面３０
を公知の副走査手段（図示せず）によって上記主走査の
方向と略直角な方向（矢印Ｙ方向）に移動させれば、こ
の被走査面３０の各々別の領域が、光ビームＬ、　、Ｌ
、°によって２次元的に走査される。

したがって、この光偏向装置１０を用いて画像記録を行
なう場合（この場合被走査面３０は感光材料である）は
、例えば第１、第２の傾斜指チャープＩＤＴ１７．１８
に印加する交番電圧のレベルをそれぞれ別個の画像信号
に基づいて変調して、各表面弾性波１５．１６による導
波光Ｌ１、Ｌｌ　’　の回折効率を変化させれば、被走
査面３０上に、これらの画像信号がそれぞれ担持する画
像が並行して記録される。一方この光偏向装置１０を用
いて画像読取りを行なう場合（この場合被走査面３０は
２画像が記録されている読取原稿である）は、光ビーム
Ｌ４、Ｌ４′の走査を受けた被走査面３０の箇所から並
行して生じる発光光、反射光あるいは透過光をそれぞれ
別の光電読取手段によって独自に検出すれば、上記画像
をそれぞれ担持する２組の画１象信号が得られる。

この光偏向装置１０においては、各個の画像を記録しあ
るいは読み取るための光ビーム２本を、それぞれ第１、
第２の表面弾性波１５．１６によって偏向させるように
しているので、個々の画像については、１本の光ビーム
で１画像を記録しあるいは読み取る場合と同じだけの偏
向角範囲が確保される。

また２本の光ビーム（導波光）Ｌｌ、Ｌｌｏがもし互い
に別の光源から発せられたものであれば、各光源の光量
バラツキ、光量変動、さらには経時変化の差等により両
光ビームＬ□、Ｌｌ゛の光量が異なり、そのため、例え
ばこの光偏向装置１０によって画像を記録する場合は右
側画像と左側画像の濃度が異なってしまい、また画像読
取りを行なう場合は右側画像と左側画像とで読取画像信
号の増幅度を変える必要がある、等の不都合が生じるが
、本装置における２本の光ビームＬ□、Ｌｌ゛は共通の
光源２１から発せられたものであるから、回折格子５に
よって光ビームＬが互いに等光量で光ビームＬ１、Ｌｌ
　’　に分岐されるようにしておけば、上述の問題は生
じない。また回折格子５は、必ずしも光ビームＬを互い
に等光量て２本に分岐するように形成しなくてもよい。

すなわち分岐された光ビーム（導波光）ＬｌとＬｌ”　
との間に光量差が有る場合は、光量大の方の導波光を減
衰させる手段を光導波路１２に設けたり、あるいは傾斜
指チャープＩＤＴ１７と１８に印加する交番電圧のレベ
ルを上記光量差に応じて互いに変えて、表面弾性波１５
と１６による導波光の回折効率に差を与える等して、最
終的に光ビームＬ４とＬ４１　の光量を等しくすること
ができる（中間調画像記録のため該光ビームＬ４とＬ　
、　Ｉ　を画像信号に基づいてアナログ的に変調する場
合は、同一の画像信号に対して光量が等しくなるという
ことである）。前述したように２個の光源を用いる場合
でも、上記と同様にして両光源の光量バラツキを補正す
ることはできるが、両光源の光量変動や経時変化の差に
起因する光ビームＬ、とり、ｌ　の光量差を解消するこ
とはできない。それに対して本発明装置においては、前
記減衰手段を設ける等の場合でも、上記の問題は生じな
い。

以上説明した実施例においては、第２図に示すように、
被走査面３０上で光ビームＬＡ　、ｔ、４′　の走査始
端Ｌｓ、Ｌｓ’　どうしが近接するようにしているが、
ＩＤＴ１７．１８の配置およびそれらに印加させる交番
電圧周波数の掃引の仕方次第で、第３図に示すように光
ビームＬｔ　、Ｌ４　’　の走査終端どうしを近接させ
たり、あるいは第４図に示すように光ビームＬＡ、ＬＡ
ｏの一方の走査始端と他方の走査終端とを近接させるこ
とも可能である。

次に第５図を参照して、本発明の第２の光偏向装置の実
施例について説明する。なおこの第５図において、前記
第１図中の要素と同等の要素には同番号を付し、それら
についての説明は特に必要の無い限り省略する。この光
偏向装置５ｏにおいては、第１の傾斜指チャープＩＤＴ
Ｌ７に隣接して第３の傾斜指チャープＩＤＴ２７が、ま
た第２の傾斜指チャープＩＤＴ１８に隣接して第４の傾
斜指チャープＩＤＴ２ｇが設けられている。

前述したように第１の表面弾性波１５によって回折、偏
向した導波光Ｌ２は、第３の傾斜指チャープＩＤＴ２７
から発せられた第３の表面弾性波２５との音響光学相互
作用により、上記偏向をさらに増幅させる方向に回折す
る。第３の傾斜指チャープＩＤＴ２７に印加される交番
電圧の周波数は、第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７にお
けるのと同様に掃引され、したがって第３の表面弾性波
２５も第１の表面弾性波１５と同様に周波数が連続的に
変化するので、第３の表面弾性波２５を通過した後の導
波光Ｌ３は、矢印Ｃで示すように連続的に偏向する。

一方策２の表面弾性波１６によって回折、偏向した導波
光し２゛は、第４の傾斜指チャープＩＤＴ２８から発せ
られた第４の表面弾性波２６との音響光学相互作用によ
り、上記偏向をさらに増幅させる方向に回折する。第４
の傾斜指チャープＩＤＴ２８に印加される交番電圧の周
波数は、第２の傾斜指チャープＩＤＴ１８におけるのと
同様に掃引され、したがって第４の表面弾性波２６も第
２の表面弾性波１６と同様に周波数が連続的に変化する
ので、第４の表面弾性波２６を通過した後の導波光Ｌ３
°は、矢印りで示すように連続的に偏向する。こうして
偏向した導波光Ｌ３およびＬ３°　は、Ｌ　Ｇ　Ｃ１４
によって光導波路１２外に出射せしめられる。光導波路
１２外に出射した光ビームＬ４、Ｌ４°　は、被走査面
３０上を１次元的に走査する。

本装置において第１．２．３および４の傾斜指チャープ
ＩＤＴ１７．１８．２７および２８は、光導波路１２外
に出射した光ビームＬＡ、ＬＡｏが、被走査面３０上で
互いに重ならないで平行となるように配置されている。

したがって被走査面３０上においては、光ビームＬ４と
Ｌ４°とによって別個に主走査ラインが形成される。し
たがってこの光偏向装置５０を用いる場合も、先に説明
した光偏向装置１０を用いる場合と同様にして、２画像
を並行して記録し、あるいは読み取ることが可能となる
。

本装置においても、２本の光ビームＬ１とＬｌ゛は共通
の光？７ｊ１．２１から出射されて分岐されたものであ
るから、前述した本発明の第１の光偏向装置１゜におけ
るのと同様に、光ビームＬ４とＬ４°の光量を常に等し
くすることができる。

次に、光導波路■２から出射する光ビームＬ４、Ｌ　、
　ｌ　の偏向角範囲（すなわち導波光Ｌ３、Ｌ３’の偏
向角範囲）△δ、△δ′について、第６図を参照して説
明する。なお本例では、第１および第３の傾斜指チャー
プＩＤＴ１７．２７に対して、第２および第４の傾斜指
チャープＩ　ＤＴＬ８．２８は互いに同じ構成とされ（
配置は左右対称）、それぞれへの電圧印加も互いに同様
になされるので、以下の説明は光ビームＬ４の偏向角範
囲△δにつ、いて行なう。第６図は、第１の傾斜指チャ
ープＩＤＴ１７および第３の傾斜指チャープＩＤＴ２７
の詳細な形状と配置状態を示している。図示されるよう
に第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７および第３の傾斜指
チャープＩＤＴ２７はそれぞれ、電極指の間隔が変化率
一定で段階的に変化するとともに、各電極指の向きも変
化率一定で段階的に変化するように形成されている。第
１の傾斜指チャープＩＤＴ１７および第３の傾斜指チャ
ープＩＤＴ２７とも電極指の間隔が狭い方が（図中上端
部）が導波光側に位置するように配置され、前述のよう
に印加電圧の周波数が掃引されることにより、それぞれ
この上端部が最大周波数ｆ　ｚ　−２Ｇ　ＨＺ　％そし
て下端部が最小周波数ｆｌ−ＩＧＨｚの表面弾性波１５
．２５を発生するようになっている。そして第１の傾斜
指チャープＩＤＴ１７は、上端部と下端部の電極指が互
いに３°傾いた形状とされ、導波光Ｌｌの進行方向に対
して上端部の電極指が６°の角度をなし、下端部の電極
指が３°の角度をなすように配置されている。一方策３
の傾斜指チャープＩＤＴ２７は、上端部と下端部の電極
指が互いに９°傾いた形状とされ、導波光り、の進行方
向に対して上端部の電極指が１８″の角度をなし、下端
部の電極指が９″の角度をなすように配置されている。

なお、両傾斜指チャープＩＤＴ１７．２７のアース電極
は互いに一体化されてもよい。また以上述べたような傾
斜指チャープＩＤＴについては、例えば前述のＣ，Ｓ、
ＴＳＡＩによる文献において詳しい説明がなされている
。

第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７、第３の傾斜指チャー
プＩＤＴ２７からそれぞれ２ＧＨｚの表面弾性波１５．
２５が発せられたときの光ビームの回折状態は第６図の
■で示す状態となる。つまりこの場合は２ＧＨｚの表面
弾性波１５に対して導波光Ｌ１が入射角６°で入射し、
この角度はブラッグ条件を満足している。すなわち導波
光Ｌｌ、回折後の導波光Ｌ２の波数ベクトルをそれぞれ
ｌｋｌ、｜ｋ２、表面弾性波１５の波数ベクトルを［Ｋ
ｌとすると、第７図（１）に示すように １ｋｌ　＋ｌＫ１−に２ となっている。つまり回折された導波光Ｌ２の進行方向
は、ベクトル［ｋ２の向きとなる（偏向角δ−２０＝１
２°）。またこのとき、２ＧＨｚの表面弾性波２５は第
３の傾斜指チャープＩＤＴ２７の第６図中上端部の電極
指（第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７の上端部と１２°
の角度をなす）によって励振され該電極指と直角な向き
に進行するから、この表面弾性波２５に対する導波光Ｌ
２の入射角も６゜となり、そして表面弾性波２５は表面
弾性波１５と同波長であるから、ブラッグ条件を満足す
る。すなわち表面弾性波２５による回折後の導波光Ｌ３
の波数ベクトルを１に３、表面弾性波２５の波数ベクト
ルをｌＫｚとすると、第７図（１）に示すようにｌｋｚ
＋［Ｋ２−に３ となっている。

上記の状態から表面弾性波１５．２５の周波数が１ＧＨ
ｚまで次第に下げられる。表面弾性波１５．２５の各波
数ベクトル［Ｋ１、［Ｋ２の大きさＩＩＫＩＩ、１ＩＫ
ｚｌは、その波長を八とすると２π／Ａであるから、結
局表面弾性波１５．２５の周波数に比例する。したがっ
て、表面弾性波１５．２５の周波数がＩＧＨｚのとき、
表面弾性波１５．２５の波数ベクトル［Ｋｔ、ｌＫｚの
大きさは、周波数が２ＧＨｚのときの１／２となる。ま
たこの場合の表面弾性波１５、表面弾性波２５の進行方
向つまり波数ベクトルＩＫ、、ｌＫｚの向きは、ＩＧＨ
ｚの表面弾性波１５．２５を励振する第１の傾斜指チャ
ープＩＤＴ１７、第３の傾斜指チャープＩＤＴ２７の電
極指部分が前述のように２ＧＨｚの表面弾性波１５．２
５を励振する電極指部分に対してそれぞれ３°、９°傾
いているから、２ＧＨ２の表面弾性波１５．２５の波数
ベクトルＩＫｌ。

ＩＫｌの向きから各々３″、９°変化する。また、第７
図（１）においてａシｂであるから結局、表面弾性波１
５．２５の周波数がＩＧＨｚ場合の波数ベクトルＩＫ１
、ＩＫｌは、第７図（２）に示すものとなる。

以上説明した通り、表面弾性波１５．２５の周波数がＩ
ＧＨｚである場合も、前述の ｜ｋｉ　＋［Ｋ、　＝ｕｃ２ ［ｋ　２　＋　［Ｋ　２−　［ｋ　３ の関係が成立している。

そして波数ベクトルｌｋ、の大きさｌ１ｋｘｌは、導波
光Ｌ１の波長をλとするとｎ・２π／λ（ｎは屈折率）
で、この波長は導波光し２、Ｌ３についても同じである
から、結局常に ＩＩＪ　　ｌ　−１１ｋｚ　　ｌ　−１１に３　１てあ
り、−刃表面弾性波１５の波数ベクトルＩＫ、はその波
長を八とすると２π／Δで、この波長は常に表面弾性波
２５の波長と等しいから ｌ　ＩＫｌ　　ｌ　−１［Ｋｚ　　ｌ である。また波数ベクトルｌＫ１、ｌＫ２の向きは、先
に説明したように表面弾性波１５．２５の周波数が２Ｇ
ＨｚからＩＧＨｚに変化する際に、それぞれ固有の一定
変化率で変化する。したがって、表面弾性波１５．２５
の周波数が上記のように２ＧＨｚから１ＧＨｚに変化す
る間、常に前述の ＋ｋｌ＋［Ｋ１−１に２ に２＋ＩＫ、、ｍ１ｋ３ の関係が成り立ち、導波光Ｌ１と表面弾性波１５とのブ
ラッグ条件、導波光Ｌ２と表面弾性波２５とのブラッグ
条件が常に満たされる。

以上の説明から明らかなように、表面弾性波１５．２５
の周波数が２ＧＨｚ、ＩＧＨｚのとき、２回回折した導
波光Ｌ３の進行方向はそれぞれ第７図（１）のベクトル
１に３、第７図（２）のベクトル｜ｋ３の向き（第６図
に■、■゛で示す向き）であり、その差は２４−１２−
１２°である。つまり本装置においては、△δ−１２°
の広偏向角範囲が得られる。ちなみに、周波数がＩＧＨ
ｚから２ＧＨ２まで変化する（２次回折光の影響を受け
ないように周波数帯域を１オクターブとする）１つの表
面弾性波のみで光ビーム偏向を行なう場合には、偏向角
範囲は上記値の１／２の６°となる。

前述の通り本例では、第１および第３の傾斜指チャープ
ＩＤＴ１７．２７に対して、第２および第４の傾斜指チ
ャープＩＤＴ１８．２８は互いに同じ構成とされ（配置
は左右対称）、それぞれへの電圧印加も互いに同様にな
されるので、第２の表面弾性波１６によって回折される
前の第２の導波光しｌ。

の波数ベクトルをに、、第２の表面弾性波１６によって
回折された後の第２の導波光Ｌ２°の波数ベクトルを１
に５、第４の表面弾性波２６によって回折された第２の
導波光Ｌ３°の波数ベクトルを｜ｋ６、第２、第４の表
面弾性波ｔｅ、　２Ｇの波数ベクトルをＩＫ３　、　ｌ
Ｋｍ　とすると、 ＋に、＋［Ｋ３−ｋ。

ｋ５＋ｌＫルーに６ なる関係が常に満たされ、導波光し３′の偏向角範囲へ
δ′は、導波光Ｌ３の偏向角範囲△δと等しく１２°と
なる。

以上述べた通りこの光偏向装置５０においては、光ビー
ムＬ、　、Ｌ、°の各偏向角範囲Δδ、△δ′は、前述
した第１の光偏向装置１０におけるように光ビームＬＳ
Ｌ’　をそれぞれ１つの表面弾性波１５．１６によって
偏向させる場合に比べて、本質的に２倍まで拡大されう
る。したがってこの光偏向装置５０を用いれば、光偏向
装置１０を用いる場合よりもさらに広いビーム走査幅を
確保でき、より大サイズの画像の記録あるいは読取りが
可能となる。

なお表面弾性波１５．２５の周波数をＩＧＨｚよりもさ
らに低くすれば、導波光Ｌ３は第７図（２）に■゛で示
した位置よりもさらに大きく偏向する。しかしこの位置
には、上記周波数が２ＧＨｚのとき僅かであるが１回回
折の導波光Ｌ２が出射するので、本実施例におけるよう
に第７図（２）の■〜■′の範囲を光ビーム偏向範囲と
して利用するのが好ましい。

次に、以上述べた光偏向装置５０においてなされうる構
成の変更について説明する。なお以下の説明は、第１お
よび第３の傾斜指チャープＩＤＴ１７．２７側を例に挙
げて行なうが、同様の変更は当然ながら第２および第４
の傾斜指チャープＩＤＴ１８、２８側においてもなされ
うるちのである。まず以上の実施例では、表面弾性波１
５．２５の周波数を２ＧＨｚからＩＧＨｚに連続的に変
化させるようにしているが、この反対にＩＧＨｚから２
ＧＨｚまで変化させるようにしてもよい。この場合は光
ビームＬ４の偏向の方向が逆になるだけである。また上
記周波数を２→１→２→ＩＧＨｚとなるように変化させ
れば、光ビームＬ４が往復で偏向するようになり、光ビ
ームの往復走査が可能となる。

また以上説明の実施例では、周波数２ＧＨｚの表面弾性
波１５に対する導波光Ｌ！の入射角（つまり第１の傾斜
指チャープＩＤＴ１７の２ＧＨｚを励振する電極指と導
波光Ｌ１の進行方向がなす角度）を６°とし、第１の傾
斜指チャープＩＤＴ１７のＩＧＨｚを励振する電極指が
上記導波光し！の進行方向となす角を３″、一方第３の
傾斜指チャープＩＤＴ２７の２ＧＨｚ、ＩＧＨｚを励振
する電極指が上記進行方向となす角をそれぞれ１８°、
９ｅとしているが、一般に表面弾性波１５．２５の最小
、最大周波数をｆｌ　、ｆｌ　（ｆｌ−２ｆ、）とする
場合には、上記の例において６°、３″、１８°、９°
と設定された各角度を各々θ、θ／２．３θ、３θ／２
とすれば、いかなる場合も常に前述のブラッグ条件を満
足させることが可能となる。このことは、第７図（１）
、（２）を参照すれば自明であろう。

なお傾斜指チャープＩＤＴ１７．２７の形状を上記のθ
で規定される形状とする場合においても、表面弾性波１
５．２５の最小、最大周波数ｒ、　、ｆ’２をｒ２−２
１’ｌ　となるように設定することは必ずしも必要では
なく、例えば最大周波数ｒ２を２ｒ１なる値よりもやや
小さめに設定しても構わない。

しかし上記のような形状に傾斜指チャープＩＤＴ１７．
２７を形成する以上はこのＩＤＴ形状を最大限活かして
、最小周波数ｒ１のとき発生する２次回折光が偏向角範
囲に入り込まないで最大偏向角範囲が得られるようにな
るｒｘからｒ２−２１’ｌの間で表面弾性波周波数を変
化させるのが好ましい。

さらに本発明においては、表面弾性波１５．２５の最小
、最大周波数ｆｌ、ｆｚをｆｌ−２ｆ、となるように設
定し、また表面弾性波１５．２５の周波数を常に互いが
等しくなるように変化させることは必ずしも必要ではな
く、表面弾性波１５．２５の周波数および進行方向を個
別に変化させても、第１、第３の傾斜指チャープＩＤＴ
１７．２７の形状および配置状態によって前述の に□＋ｆＫ、　−［ｋ２ １ｋ　２　＋　ＩＫ　２−１ｋ　３ の関係を満たすことが可能である。

しかし、上記実施例におけるように、表面弾性波１５．
２５の周波数を同じように変化させれば、２つの傾斜指
チャープＩＤＴを共通のドライバーで駆動可能となり、
高価なドライバが１つで済むので好都合である。

また本発明装置においては、以上説明した傾斜指チャー
プＩＤＴ１７．１８．２７．２８に代えて、電極指間隔
が段階的に変化しかつ各電極指が円弧状をなすいわゆる
湾曲指チャープＩＤＴを使用することもできる。第８図
はこの湾曲指チャープＩＤＴの配置例を示している。こ
の例においては第１の湾曲指チャープＩＤＴｌ１７も、
第３の湾曲指チャープＩＤＴｌ２７も図中右端の電極指
部分が最大周波数ｒ２の表面弾性波１５．２５を発生し
、左端の電極指部分が最小周波数１１の表面弾性波１５
．２５（図中破線で示す）を発生するように構成されて
いる。この場合もｒ２−２ｒ、とするのであれば、最大
周波数ｆ２の第１の表面弾性波１５に対する導波光り、
の入射角をθとして、第１の湾曲指チャープＩＤＴ１１
７の左端の電極指部分が上記導波光Ｌｌの進行方向に対
してθ／２の角度をなし、−方第３の湾曲指チャープＩ
ＤＴ１２７の右端、左端の電極指部分が上記導波光Ｌ１
の進行方向に対してそれぞれ３θ、３θ／２の角度をな
すように両Ｉ　ＤＴ１１７．１２７を作成、配置すれば
よい。また、第２、第４の湾曲指チャープＩ　ＤＴｌｌ
Ｂ　、１２８は、上記Ｉ　ＤＴ１１７．１２７と同様に
形成すればよい。

さらに、光ビームを光導波路１２内に入射させ、またそ
こから外部に出射させるためには、前述のＬＧＣ１３，
１４の他、カプラープリズム等を用いてもよいし、ある
いは光導波路１２の端面から直接光ビームを入射、出射
させるようにしてもよい。また光ビームＬ、Ｌ’　が発
散ビームである場合にそれを平行ビーム化したり、光導
波路１２から出射する先ビームを集束させるためには、
導波路レンズや通常の外部レンズを用いることもできる
。

また光導波路１２を前述のＴＩ拡散し１ＮｂＯ３に代え
てＺｎＯからなる光導波路にした場合には、−例として
表面弾性波１５．２５の最大、最小周波数を１．０Ｇ　
Ｈｚ　、　　０．５Ｇ　Ｈｚすると、△δ−８°程度の
偏向角範囲が得られる。

また本発明の第２の光偏向装置においては、１本の導波
光を偏向するために光導波路に３つ以上の表面弾性波を
伝播させ、これらの表面弾性波によって１本の導波光を
３回以上回折、偏向させるようにしてもよい。この装置
においても、隣り合う２つの表面弾性波により以上述べ
た通りの作用効果が得られる訳であるから、このような
装置も本発明の第２の光偏向装置に含まれるものとする
。

さらに１本の光ビームを２系統の導波光に分岐させる光
ビーム分岐手段としては、先に述べた回折格子５の他、
光導波路１２において導波光と交わる向きに配設された
細いハーフミラ−等を用いることもできる。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の光偏向装置においては
、表面弾性波によって偏向した２本の光ビームが被走査
面上を別個に走査するように構成したことにより、さら
に本発明の第２の光偏向装置にあっては上記のことに加
えてさらに、表面弾性波によって一度偏向させた光ビー
ムをさらに別の表面弾性波によって偏向させるように構
成したことにより、１本の光ビームの偏向角範囲を２分
割して２画像を記録あるいは読み取る場合に比べて、１
画像光たりの偏向角範囲を第１の光偏向装置においては
本質的に２倍、第２の光偏向装置においては４倍に拡大
することが可能となる。したがって本発明装置によれば
、大サイズの画像の記録あるいは読取りが可能となり、
また上記のようにして極めて広い偏向角範囲が得られる
から、光偏向装置から被走査面までの距離を短くして、
光走査記録装置や読取装置の小型化を達成することがで
きる。

そして本発明装置においては、個々の表面弾性波の周波
数を著しく高く設定しなくても上述のように広偏向角範
囲が得られるようになっているから、表面弾性波発生手
段としてＩＤＴを用いる場合にはその線幅を極端に小さ
く設定する必要がな　　。

く、このＩＤＴを現在確立されている技術によって容易
に製造可能となる。また上記の通りであるから、ＩＤＴ
に印加する交番電圧の周波数も著しく高く設定する必要
がなくなり、したがってＩＤＴのドライバーが容易かつ
安価に形成可能となる。

さらに本発明装置においては、所定面上で並行して走査
させる２本の光ビームを、共通の光導波路内において導
波させて偏向するようにしているので、２本の光ビーム
の走査位置調整が、高精度かつ容易に行なわれうる。

さらに本発明の光偏向装置においては、１本の光ビーム
を２系統に分岐してそれぞれを偏向させるようにしてい
るので、走査面上で合成される２本の光ビームの光量を
常に等しくすることがてきる。したがってこの光偏向装
置を２画像記録装置あるいは２画像読取装置に適用する
場合に、右側画像と左側画像との間で記録画像の濃度が
変わったり、あるいは読取画像信号レベルが変動するこ
とを防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の光偏向装置の一実施例を示す概
略斜視図、 第２．３および４図は、本発明装置における２本の光ビ
ームの偏向方向の例を示す説明図、第５図は本発明の第
２の光偏向装置の一実施例を示す概略平面図、 第６図は第５図の光偏向装置の一部を拡大して示す平面
図、 第７図は本発明の第２の光偏向装置における光ビーム偏
向の仕組みを説明する説明図、第８図は本発明において
用いられる表面弾性波発生手段の他の例を示す平面図で
ある。 ５・・・光ビーム分岐用回折格子 １０．５０・・・光偏向装置　　　　　１１・・・基　
　板１２・・・光導波路 １３・・・光ビーム入射用ＬＧＣ １４・・・光ビーム出射用ＬＧＣ １５・・・第１の表面弾性波　　１６・・・第２の表面
弾性波１７・・・第１の傾斜指チャープＩＤＴ１８曾・
・第２の傾斜指チャープＩＤＴ１９．１９′　・・・高
周波アンプ ２０．２０°・・・スィーパ−２１，２１′・・・光　
　源２５・・・第３の表面弾性波　　２６・・・第４の
表面弾性波２７・・・第３の傾斜指チャープＩＤＴ２８
・・・第４の傾斜指チャープＩＤＴ３０・・・被走査面 １１７・・・第１の湾曲指チャープＩＤＴ１１８・・・
第２の湾曲指チャープ１．Ｄ　Ｔ１２７・・・第３の湾
曲指チャープＩＤＴ１２８・・・第４の湾曲指チャープ
ＩＤＴＬ工・・・第１の表面弾性波に入射する前の導波
光Ｌ２・・・第１の表面弾性波を通過した導波光Ｌ３・
・・第３の表面弾性波を通過した導波光Ｌｌｌ　・・・
第２の表面弾性波に入射する前の導波光Ｌ２゛・・・第
２の表面弾性波を通過した導波光し３′・・・第４の表
面弾性波を通過した導波光Ｌｓ　ＳＬｓ　’　・・・光
ビームの走査始端｜ｋ１・・・導波光Ｌ１の波数ベクト
ル＋に２・・・導波光Ｌ２の波数ベクトル１に３・・・
導波光Ｌ３の波数ベクトル１に、・・・第１の表面弾性
波の波数ベクトルＩＫ２・・・第３の表面弾性波の波数
ベクトル第１図 第２図 第３図 スｎ 第４図 第６図 第７図 第８　［’ｇ１ １、　事件の表示 昭和６２年　特　許　願　　　第３３５．５０４　　＠
２、　発明の名称 光偏向装置 ３、　補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 任　所　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　　（
５２０）富士写真フィルム株式会社４、代理人 住　所　東京都港区六本木５−２−１　　　　　　はう
らいやピル７階自発補正 ｂ　補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」、「発明の詳細な説明」お
よび＼　旭 ７、補正の内容 （１）「特許請求の範囲」を別紙の通り訂正する。 （２）明細書第１０頁第１７行（２か所）および第３３
頁第１１行「δ」を「α」と訂正する。 （３）同第１２頁第１８行、第４１頁第１７行、同頁第
１８行、同頁最終行、同頁最終行〜第４２頁第１行、第
４２頁第７〜８行、同頁第１Ｏ行、同頁第１４行、第４
７頁第１３行、同頁第１４行、同頁第１５行および同頁
第１６行 「チャープ」を削除する。 （４）同第２３頁第２行 「Ｆ　ｏｃｕｓｔ　Ｉｇ　Ｊを「Ｆ　ｏｃｕｓｌｎｇ　
Ｊと訂正する〇（５）同第３１頁第１〜３行 「光導波路・・・・・・Δδ°」を 「導波光Ｌ３の偏向角範囲２Δ（２θ）および導波光Ｌ
３゜の偏向角範囲２Δ（２θ）゛」と訂正する。 （６）同頁第９行 「光ビーム・・・・・・Δδ」を 「導波光Ｌ３の偏向角範囲２Δ（２θ）」と訂正する。 （７）同頁第１９行 「狭い方が」を「狭い方」と訂正する。 （８）同第３５頁第１５行 「ベクトルＩＫ！」の次に「の大きさ」を加入する。 （９）同第３６頁第１５行 「２４」の前に「２Δ（２θ）−」を加入する。 （１０）同頁第１５〜１６行 ［おいては、Δδ−」を「あっては、光導波路内におい
て」と訂正する。 （１１）同第３７頁第１７行（２か所）および第４３頁
第８行「Δδ」を「２Δ（２θ）」と訂正する。 （１２）同第３７頁第１８行と第１９行との間に以下の
文を加入する。 「　光導波路■２から出射した光ビームＬａ　、Ｌ４　
’　の各偏向角範囲Δδ、Δδ゛は、上述の光導波路内
の偏向角範囲２Δ（２θ）、２Δ（２θ）゛　よりもそ
れぞれさらに広くなる。 これは、光導波路１２の屈折率が空気の屈折率よりも大
きいためである。」 （１３）同第３８頁第３行 「本質的に」の次に「はぼ」を加入する。 （１４）同第４１頁第１２行 「ドライバ」を「ドライバー」と訂正する。 （１５）同第４７頁第８行 「、２１°」を削除する。 （１６）第５図および第６図を添付の通り訂正する。 特許請求の範囲 （１）表面弾性波が伝播可能な材料から形成された光導
波路と、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
の光ビームを、第１の導波光および第２の導波光の２系
統に分岐する光ビーム分岐手段と、前記光導波路内を進
行する第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該導
波光を回折、偏向させる第１の表面弾性波を前記光導波
路において発生させる第１の表面弾性波発生手段と、前
記光導波路内を進行する第２の導波光の光路に交わる方
向に進行して該導波光を回折、偏向させる第２の表面弾
性波を前記光導波路において発生させる第２の表面弾性
波発生手段とを有し、これら第１および第２の表面弾性
波発生手段が、前記光導波路から出射した第１および第
２の導波光が所定の面上を互いに重ならないで走査する
ように配置されていることを特徴とする光偏向装置。 （２）前記第１、第２の表面弾性波発生手段がそれぞれ
、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指の向きが段
階的に変化する傾斜指チャープ交叉くし形電極対と、該
電極対に周波数が連続的に変化する交番電圧を印加する
ドライバーとからなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の光偏向装置。 （３）前記第１、第２の表面弾性波発生手段がそれぞれ
、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指が円弧状を
なす湾曲指交叉くし形電極対と、該電極対に周波数が連
続的に変化する交＠電圧を印加するドライバーとからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光偏向
装置。 （４）表面弾性波が伝播可能な材料から形成された光導
波路と、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
の光ビームを、第１の導波光および第２の導波光の２系
統に分岐する光ビーム分岐手段と、前記光導波路内を進
行する第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該導
波光を回折、偏向させる第１の表面弾性波を前記光導波
路において発生させる第１の表面弾性波発生手段と、前
記光導波路内を進行する第２の導波光の光路に交わる方
向に進行して該導波光を回折、偏向させる第２の表面弾
性波を前記光導波路において発生させる第２の表面弾性
波発生手段と、前記第１の表面弾性波によって回折され
た前記第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該第
１の導波光を、前記回折による偏向をさらに増幅させる
方向に回折、偏向させる第３の表面弾性波を前記光導波
路において発生させる第３の表面弾性波発生手段と、 前記第２の表面弾性波によって回折された前記第２の導
波光の光路に交わる方向に進行して該第２の導波光を、
前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
向させる第４の表面弾性波を前記光導波路において発生
させる第４の表面弾性波発生手段とを有し、 前記第１および第３の表面弾性波発生手段が、前記第１
の表面弾性波によって回折される前、後の第１の導波光
の波数ベクトルをそれぞれ１ｋｌ。 １に２、第３の表面弾性波によって回折された第１の導
波光の波数ベクトルを１に３、第１、第３の表面弾性波
の波数ベクトルをＩＫｌ、ＩＫ２としたとき、ｌｋ　１
＋　ＩＫ　１−１ｋ　２ １ｋ　Ｚ　＋　ＩＫ　２−１ｋ　３ なる条件を満たしながらそれぞれ第１、第３の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成され、 前記第２および第４の表面弾性波発生手段が、前記第２
の表面弾性波によって回折される前、後の第２の導波光
の波数ベクトルをそれぞれ１に４゜１に５、第４の表面
弾性波によって回折された第２の導波光の波数ベクトル
を１に６、第２、第４の表面弾性波の波数ベクトルをＩ
Ｋ３．ＩＫ、としたとき、ｌｋ、　＋ｌＫ３　ｍ１ｋ５ １ｋ　５　＋　ＩＫ　＆　−１ｋ　ｓ なる条件を満たしながらそれぞれ第２、第４の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成され、 これら第１．　２．　３および４の表面弾性波発生手段
が、前記光導波路から出射した第１および第２の導波光
が所定の面上を互いに重ならないで走査するように配置
されていることを特徴とする光偏向装置。 （５）前記第１．　２．　３および４の表面弾性波発生
手段がそれぞれ、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電
極指の向きが段階的に変化する傾斜指チャープ交叉くし
形電極対と、該電極対に周波数が連続的に変化する交番
電圧を印加するドライバーとからなることを特徴とする
特許請求の範囲第４項記載の光偏向装置。 （６）前記第１．　２．　３および４の表面弾性波発生
手段がそれぞれ、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電
極指が円弧状をなす湾曲指交叉くし形電極対と、該電極
対に周波数が連続的に変化する交番電圧を印加するドラ
イバーとからなることを特徴とする特許請求の範囲第４
項記載の光偏向装置。 （７）第ｍと第（ｍ＋２）の表面弾性波発生手段［ｍ−
１および／または２］がともに、周波数ｒｌ〜ｆ’ｚ（
ｆ’ｚ＝２ｆ’１）の間で互いに同じ値をとりながら周
波数が変化する表面弾性波を発生するように構成され、 周波数ｆ２の第ｍの表面弾性波に入射する第ｍの導波光
Ｌ１の入射角をθとすると、第ｍの表面弾性波発生手段
を構成する前記交叉くし形電極対が、周波数ｆ！の表面
弾性波を発生する部分の電極指が前記導波光Ｌ１の進行
方向に対してθ／２の角度をなし、 第（ｍ＋２）の表面弾性波発生手段を構成する前記交叉
くし形電極対が、周波数ｆ２．ｆ１の表面弾性波を発生
する部分の電極指がそれぞれ前記導波光Ｌ１の進行方向
に対して３θ、３θ／２の角度をなすように形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第５項または第６
項記載の光偏向装置。 （８）前記第ｍと第（ｍ　＋　２　）の表面弾性波発生
手段を構成する各交叉くし形電極対が、共通のドライバ
ーによって駆動されることを特徴とする特許請求の範囲
第７項記載の光偏向装置。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面弾性波が伝播可能な材料から形成された光導
   波路と、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
   の光ビームを、第１の導波光および第２の導波光の２系
   統に分岐する光ビーム分岐手段と、前記光導波路内を進
   行する第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該導
   波光を回折、偏向させる第１の表面弾性波を前記光導波
   路において発生させる第１の表面弾性波発生手段と、 前記光導波路内を進行する第２の導波光の光路に交わる
   方向に進行して該導波光を回折、偏向させる第２の表面
   弾性波を前記光導波路において発生させる第２の表面弾
   性波発生手段とを有し、これら第１および第２の表面弾
   性波発生手段が、前記光導波路から出射した第１および
   第２の導波光が所定の面上を互いに重ならないで走査す
   るように配置されていることを特徴とする光偏向装置。
2. （２）前記第１、第２の表面弾性波発生手段がそれぞれ
   、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指の向きが段
   階的に変化する傾斜指チャープ交叉くし形電極対と、該
   電極対に周波数が連続的に変化する交番電圧を印加する
   ドライバーとからなることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の光偏向装置。
3. （３）前記第１、第２の表面弾性波発生手段がそれぞれ
   、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指が円弧状を
   なす湾曲指チャープ交叉くし形電極対と、該電極対に周
   波数が連続的に変化する交番電圧を印加するドライバー
   とからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の光偏向装置。
4. （４）表面弾性波が伝播可能な材料から形成された光導
   波路と、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
   の光ビームを、第１の導波光および第２の導波光の２系
   統に分岐する光ビーム分岐手段と、前記光導波路内を進
   行する第１の導波光の光路に交わる方向に進行して該導
   波光を回折、偏向させる第１の表面弾性波を前記光導波
   路において発生させる第１の表面弾性波発生手段と、 前記光導波路内を進行する第２の導波光の光路に交わる
   方向に進行して該導波光を回折、偏向させる第２の表面
   弾性波を前記光導波路において発生させる第２の表面弾
   性波発生手段と、 前記第１の表面弾性波によって回折された前記第１の導
   波光の光路に交わる方向に進行して該第１の導波光を、
   前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
   向させる第３の表面弾性波を前記光導波路において発生
   させる第３の表面弾性波発生手段と、 前記第２の表面弾性波によって回折された前記第２の導
   波光の光路に交わる方向に進行して該第２の導波光を、
   前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
   向させる第４の表面弾性波を前記光導波路において発生
   させる第４の表面弾性波発生手段とを有し、前記第１お
   よび第３の表面弾性波発生手段が、前記第１の表面弾性
   波によって回折される前、後の第１の導波光の波数ベク
   トルをそれぞれ｜ｋ＿１、｜ｋ＿２、第３の表面弾性波
   によって回折された第１の導波光の波数ベクトルを｜ｋ
   ＿３、第１、第３の表面弾性波の波数ベクトルを｜Ｋ＿
   １、｜Ｋ＿２としたとき、｜ｋ＿１＋｜Ｋ＿１＝｜ｋ＿
   ２ ｜ｋ＿２＋｜Ｋ＿２＝｜ｋ＿３ なる条件を満たしながらそれぞれ第１、第３の表面弾性
   波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
   形成され、 前記第２および第４の表面弾性波発生手段が、前記第２
   の表面弾性波によって回折される前、後の第２の導波光
   の波数ベクトルをそれぞれ｜ｋ＿４、｜ｋ＿５、第４の
   表面弾性波によって回折された第２の導波光の波数ベク
   トルを｜ｋ＿６、第２、第４の表面弾性波の波数ベクト
   ルを｜Ｋ＿３、｜Ｋ＿４としたとき、｜ｋ＿４＋｜Ｋ＿
   ３＝｜ｋ＿５ ｜ｋ＿５＋｜Ｋ＿４＝｜ｋ＿６ なる条件を満たしながらそれぞれ第２、第４の表面弾性
   波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
   形成され、 これら第１、２、３および４の表面弾性波発生手段が、
   前記光導波路から出射した第１および第２の導波光が所
   定の面上を互いに重ならないで走査するように配置され
   ていることを特徴とする光偏向装置。
5. （５）前記第１、２、３および４の表面弾性波発生手段
   がそれぞれ、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指
   の向きが段階的に変化する傾斜指チャープ交叉くし形電
   極対と、該電極対に周波数が連続的に変化する交番電圧
   を印加するドライバーとからなることを特徴とする特許
   請求の範囲第４項記載の光偏向装置。
6. （６）前記第１、２、３および４の表面弾性波発生手段
   がそれぞれ、電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指
   が円弧状をなす湾曲指チャープ交叉くし形電極対と、該
   電極対に周波数が連続的に変化する交番電圧を印加する
   ドライバーとからなることを特徴とする特許請求の範囲
   第４項記載の光偏向装置。
7. （７）第ｍと第（ｍ＋２）の表面弾性波発生手段［ｍ＝
   １および／または２］がともに、周波数ｆ＿１〜ｆ＿２
   （ｆ＿２≒２ｆ＿１）の間で互いに同じ値をとりながら
   周波数が変化する表面弾性波を発生するように構成され
   、 周波数ｆ＿２の第ｍの表面弾性波に入射する第ｍの導波
   光Ｌ＿１の入射角をθとすると、第ｍの表面弾性波発生
   手段を構成する前記チャープ交叉くし形電極対が、周波
   数ｆ＿１の表面弾性波を発生する部分の電極指が前記導
   波光Ｌ＿１の進行方向に対してθ／２の角度をなし、 第（ｍ＋２）の表面弾性波発生手段を構成する前記チャ
   ープ交叉くし形電極対が、周波数ｆ＿２、ｆ＿１の表面
   弾性波を発生する部分の電極指がそれぞれ前記導波光Ｌ
   ＿１の進行方向に対して３θ、３θ／２の角度をなすよ
   うに形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   ５項または第６項記載の光偏向装置。
8. （８）前記第ｍと第（ｍ＋２）の表面弾性波発生手段を
   構成する各チャープ交叉くし形電極対が、共通のドライ
   バーによって駆動されることを特徴とする特許請求の範
   囲第７項記載の光偏向装置。