JPH01302326A - 光偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光導波路に表面弾性波を発生させ、この表面
弾性波の回折作用によって導波光を偏向させるようにし
た光偏向装置、特に詳細には同時に２本の光ビームを偏
向して、２画像の並行記録あるいは読取りに利用できる
ようにした光偏向装置に関するものである。

（従来の技術） 従来より例えば特開昭８１−１８３８２６号公報に示さ
れるように、表面中ｒ性波が伝播可能な材料から形成さ
れた光導波路に光を入射させ、この光導波路内を進行す
る導波光と交わる方向に表面弾性波を発生させて該表面
弾性波によって導波光をブラッグ回折させ、そして上記
表面弾性波の周波数を連続的に変化させることにより導
波光の回折角（偏向角）を連続的に変化させるようにし
た光偏向装置が公知となっている。このような光偏向装
置は、例えばガルバノメータミラーやポリゴンミラー等
の機械式光偏向器や、ＥＯＤ　（電気光学光偏向器）や
ＡＯＤ　（音響光学光偏向器）等の光偏向素子を用いる
光偏向器に比べると、小形軽量化が可能で、また機械的
動作部分を持たないので信頼性も高い、といった特長を
有している。

この光偏向装置を用いて例えば光走査記録装置を構成す
るには、記録光としての光ビームを発生する光源と、光
導波路から出射した光ビームの照射を受ける位置に配さ
れた感光材料を、該光ビームに対して、その偏向の方向
と略直角な方向に相対的に移動させる副走査手段を設け
るとともに、光ビームを画像信号に基づいて変調（強度
変調やパルス変調）する変調手段を設ければよい。光ビ
ームを上述のように変調するために従来は、記録光とし
ての光ビームを発する半導体レーザを直接変調したり、
あるいは表面弾性波の強度を変化させて導波光の回折効
率、つまり偏向される光ビームの光量を変えるようにし
ていた。なお周波数が連続的に変化する表面弾性波を発
生させる手段としては一般に、交叉くし形電極対（ＩＤ
Ｔ＋Ｉｎｔｅｒ　　Ｄ　ｊｇｉｔａｌ　　Ｔ　ｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ　）と、この電極対に周波数が連続的に変化
する交番電圧を印加するドライバーとが用いられ、この
場合には、電極対に印加する電圧の値を変えることによ
って表面弾性波強度を変化させることができる。

（発明が解決しようとする課Ｗｎ） ところが上述のような光偏向装置には、偏向角を大きく
とることが困難であるという問題がある。

つまりこの光導波路を用いた光偏向装置においては、光
偏向角は表面弾性波の周波数にほぼ比例するので、大き
な偏向角を得ようとすれば必然的に表面弾性波の周波数
を極めて高い値まで変化させることが必要となる。また
このように表面弾性波の周波数を広い帯域に亘って変化
させるのみならず、ブラッグ条件を満たすために、表面
弾性波の進行方向を連続的に変化（ステアリング）させ
て導波光の表面弾性波への入射角を制御する必要がある
。

上記のような要求に応えるため、例えば前記特開昭６１
−１８３８２６号公報にも示されるように、互いに異な
る帯域で周波数が変化する表面弾性波を発生する複数の
交叉くし形電極対をそれぞれ表面弾性波発生方向が異な
るように配置し、各ＩＤＴをスイッチング作動させるよ
うにした光偏向装置が提案されている。

しかし上記構成の光偏向装置は、各ＩＤＴが発する表面
弾性波のクロスオーバー周波数を中心にして回折効率が
落ち込むので、偏向された光ビームの光量が、偏向角に
応じて変動してしまうという問題が生じる。

また上記の構成にしても、結局偏向角の高い部分を受は
持つＩＤＴは、極めて高い周波数の表面弾性波を発生し
うるように構成されなければならない。以下、この点に
ついて、具体例を挙げて説明する。表面弾性波の進行方
向に対する導波光の入射角をθとすると、表面弾性波と
導波光との音響光学相互作用による導波光の偏向角αは
、α−２θである。そして導波光の波長、実効屈折率を
λ、Ｎｅとし、表面弾性波の波長、周波数、速度をそれ
ぞれΔ、ｆ、ｖとすれば、 ２θ−２ｓｉｎ’（λ／２Ｎｅ・Ａ） ユλ／Ｎｅ　　・Ａ −λ・ｆ／Ｎｅ−■・・・・・・（１）である。したが
って偏向角範囲Δ（２θ）は、△（２θ）−Δｆ・λ／
Ｎｅ　・■ となる。ここで例えばλ−０．７８μｍ５Ｎｅ　＝　２
．２、ｖ　−３５００ＴｒＬ／　Ｓとして偏向角範囲Δ
（２θ）−ｔｏ”を得ようとすれば、表面弾性波の周波
数範囲すなわちＩＤＴに印加する高周波の周波数帯域へ
ｆ　＝　１．７２　ＧＨｚが必要となる。この周波数帯
域を、２次回折光の影響を受けないように１オクターブ
とすれば、中心周波数ｆｏ　＝　２．５７　ＧＨｚ　。

最大周波数ｆｚ　−３，４３ＧＨｚとなる。この最大周
波数ｆ２を得るＩＤＴの周期Ａ−１，０２μ瓦となり、
ＩＤＴ電極指の線幅Ｗ−Ａ／４−０．２５５μｍとなる
。

ＩＤＴを形成する技術として一般的なフォトリソ法、電
子ビーム描画法においては、現在のところ線幅限界がそ
れぞれ０．８μｍ、０．５μｍ程度であり、したがって
上記のように極めて小さい線幅を有するＩＤＴは実現困
難である。またこのように精細なＩＤＴが将来形成でき
たとしても、３．４３ＧＨｚ程度の高周波を生成するド
ライバーは、製造困難でかつ極めて高価なものとなるし
、このように精細なＩＤＴには高電圧を印加することが
難しくなる。さらに、上記のように表面弾性波の周波数
を高めれば、当然その波長が短くなるので該表面弾性波
が光導波路に吸収されやす（なり、回折効率が低下する
ことになる。

一方文献Ｉ　Ｅ　Ｅ　Ｅ　　Ｔ　ｒａｎｓａｃｔｉｏｎ
ｓ　ｏｎ　　Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ　　ａｎｄ　　Ｓｙｓｔ
ｅｍｓ、　ｖｏｌ　、　　ＣＡＳ　−２８，Ｎｏ。

１２、　　ｐ１０７２　［Ｇｕｉｄｅｄ　−Ｗａｖｅ　
　ＡｃｏｕｓｔｏｏｐｔｌｃＢｒａｇｇ　　Ｍｏｄｕｌ
ａｔｏｒｓ　ｆｏｒ　Ｗｉｄｅ−Ｂａｎｄ　Ｉ　ｎｔｅ
ｇｒａｔｅｄ　０ｐｔｉｃ　　Ｃｏａａ＋ｕｎｌｃａｔ
１ｏｎｓ　ａｎｄ　Ｓｉｇｎａｌ　Ｐｒ。

ｃｅｓｓｌｎｇ　］　ｂｙ　　Ｃ，Ｓ、　ＴＳＡ　Ｉに
は、前述のように複数のＩＤＴをスイッチング作動させ
ず、１つのＩＤＴを電極指線幅が連続的に変化しかつ各
電極指が円弧状をなす湾曲指ＩＤＴとして構成し、この
１つのＩＤＴによって表面弾性波の周波数および進行方
向を広範囲に亘って連続的に変化させるようにした光偏
向装置が示されている。このような構成においては、前
述のように光ビームの光量が偏向角に応じて変動してし
まうという問題は解消できるが、表面弾性波の周波数を
極めて高く設定しなければならない点はそのままであり
、それにより前述と全く同様の問題が生じる。

一方例えば医用画像等を再生記録するに際しては、拡大
率や画像処理条件の異なる２つの画像を１つの記録媒体
上に並べて記録したいという要望がある。前述したよう
な光偏向装置は勿論、光ビームを感光材料上に走査させ
て上述のような画像を記録する光走査記録装置において
も用いられうるちのであり、さらには上述のように２画
像を並行記録するために利用することも可能である。つ
まり、この光偏向装置による光ビームの偏向角範囲を２
分割し、分割された各偏向角範囲内において光ビームを
各々別の画像信号に基づいて変調すれば、感光材料上に
２画像が並べて記録されるようになる。

また、上述のような光偏向装置を用いて、２画像を同時
に読み取る光走査読取装置を構成することも可能である
。つまりこの場合は、２画像が記録されている読取原稿
上に光ビームを走査させることにより該原稿から発せら
れた発光光、反射光等を光電的に検出して得られた読取
画像信号を、分割された各偏向角範囲毎にそれぞれ別個
に抽出すれば、各々１つの画像を担持する２組の画像信
号が得られる。

ところが、先に述べた通りこの種の光偏向装置において
は、偏向角範囲を大きくとることが困難であるので、２
画像を並行記録しあるいは読み取る場合、各画像を記録
しあるいは読み取る光ビームの偏向角範囲は、比較的小
さな偏向角範囲を２分割したさらに小さなものになって
しまう。したがってこのような画像記録あるいは読取方
法では、小サイズの画像しか記録あるいは読取りできな
いことになる。

他方、画像記録のために前述のように半導体レーザを直
接変調する場合は、光波長の変動、特にモードホッピン
グによる波長のジャンプが生じやすく、そのために表面
弾性波による導波光の回折効率および回折角度が変動し
て、記録光の光量および走査位置が不安定になりやすい
という問題がある。

また光変調のために表面弾性波の強度を変化させる場合
は、ある変調状態から次の変調状態に完全に移行するの
に、少なくとも、表面弾性波が導波光を横切るのに要す
る時間を必要とするから、変調周波数を高めることが困
難であるという問題がある。このことを以下、具体的に
説明する。導波光のビーム幅をり１表面弾性波の速度を
■とすると、表面弾性波が導波光を横切るのに要する時
間τは、τ−Ｄ／ｖである。上記ビーム幅りは、解像点
数を多くとるために大きく設定されるのが一般的であり
、例えばＤｍｌｍｍとし、またＶ−３５００ｍ／ｓとす
ると、ｒ　−０，２８８ｕ　ｓとなる。変調周波数ｆＭ
は最大でもｆＭ−１／τであるから、上記の場合は最大
でもｆ　Ｍ　＝３．５　ＭＨｚとかなり低くなる。この
ように変調周波数が低ければ、当然高速記録は難しくな
る。

そこで本発明は、２画像の並行記録あるいは読取りのた
めに利用可能で、しかも各画像を記録しあるいは読み取
るための光ビーム偏向角範囲を大きくとることができる
光偏向装置を提供することを目的とするものである。

また本発明は、光変調を行なう場合には前述したような
光量変動および走査位置変動を招かず、また変調速度を
高めることができる光偏向装置を提供することを目的と
するものである。

（課題を解決するための手段） 本発明の第１の光偏向装置は、前述のように表面弾性波
が伝播可能な材料から形成された光導波路内に導波光を
進行させ、この導波光を表面弾性波によって回折、偏向
させるようにした光偏向装置において、 上記光導波路を、電気光学効果を示す材料から形成した
上で、 この光導波路内に入射されて該光導波路を導波する１本
の光ビームを回折させて、第１の導波光および第２の導
波光の２系統に分岐可能で、該光導波路への電界印加状
態を変えることによって上記回折の効率を変えて、第１
の導波光と第２の導波光の光量比を変化させる電気光学
光スイッチと、光導波路内を進行する第１の導波光の光
路に交わる方向に進行して該導波光を回折、偏向させる
第１の表面弾性波を光導波路において発生させる第１の
表面弾性波発生手段と、 上記のように回折された第１の導波光の光路に交わる方
向に進行して該導波光を、上記回折による偏向をさらに
増幅させる方向に回折、偏向させる第２の表面弾性波を
光導波路において発生させる第２の表面弾性波発生手段
とを設け、そしてこれら第１、第２の表面弾性波発生手
段を、第１の表面弾性波によって回折される前、後の導
波光の波数ベクトルをそれぞれに１．に２、第２の表面
弾性波によって回折された導波光の波数ベクトルをに３
、第１、第２の表面弾性波の波数ベクトルをに１　＊　
Ｋ２としたとき、ｋｌ　＋Ｋｌ　−に２ に２＋に２謂に３ なる条件を満たしながらそれぞれ第１、第２の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成し、 さらに、上記第２の導波光の光路に交わる方向に進行し
て該第２の導波光を回折、偏向させる第３の表面弾性波
を光導波路において発生させる第３の表面弾性波発生手
段と、 上記第３の表面弾性波によって回折された第２の導波光
の光路に交わる方向に進行して該第２の導波光を、前記
回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏向さ
せる第４の表面弾性波を前記光導波路において発生させ
る第４の表面弾性波発生手段とを設け、 上記第３および第４の表面弾性波発生手段も、第１およ
び第２の表面弾性波発生手段と同様に、第３の表面弾性
波によって回折される前、後の第２の導波光の波数ベク
トルをそれぞれに４　ｒ　ｋ５、第４の表面弾性波によ
って回折された第２の導波光の波数ベクトルをに６、第
３、第４の表面弾性波の波数ベクトルをに、、に、とし
たとき、ｋ、＋に３　ｍｋ５ に５　　＋に、　　−１ｃ６ なる条件を満たしながらそれぞれ第３、第４の表面弾性
波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
形成した上で、 これら第１．２．３および４の表面弾性波発生手段を、
上記光導波路から出射した第１および第２の導波光が所
定の面上を互いに重ならないで走査するように配置した
ことを特徴とするものである。

また本発明の第２の光偏向装置は、上述の第２の光偏向
装置においてさらに、電気光学光スイッチに接続され、
画像信号に基づいて該スイッチへの印加電圧を制御する
変調回路を設けて、この先スイッチを光変調器としても
機能するように構成したことを特徴とするものである。

上記のような第１．２．３および４の表面弾性波発生手
段は、例えば電極指間隔が段階的に変化しかつ各電極指
の向きが段階的に変化する傾斜指チャーブ交叉くし形電
極対（Ｔ　１ｌｔｅｄ　−Ｆ　１ｎｇｅｒＣｈｉｒｐｅ
ｄ　　Ｉ　ＤＴ）と、この電極対に周波数が連続的に変
化する交番電圧を印加するドライバーとの組合せ等によ
って形成することができる。

（作　　用） 第１の表面弾性波発生手段と第２の表面弾性波発生手段
および第３の表面弾性波発生手段と第４の表面弾性波発
生手段が前述のように配置された本発明の光偏向装置に
よって光ビームを偏向させると、光導波路から出射した
２本の光ビームは所定面上（すなわち被走査面上）のそ
れぞれ別個の箇所を走査するから、各ビームによって別
個の画像を記録し、あるいは読み取ることができる。こ
の際各光ビームは、それぞれ別個の表面弾性波に　　　
　　−よって偏向されるから、各表面弾性波によって実
現される偏向角範囲の全体を、それぞれ１画像を記録し
あるいは読み取るために利用可能となる。

そしてさらに、この光偏向装置においては、第１（第３
）の表面弾性波によって偏向された第１（第２）の導波
光が第２（第４）の表面弾性波によって再度偏向される
から、１画像を記録しあるいは読み取るための偏向角範
囲は、極めて大きくなる。

また上記の装置においては、電気光学光スイッチを制御
することにより、第１および第２の導波光がともに進行
する状態、あるいは実質的にそれらのうちの一方のみが
進行する状態とを随意に作り出せるから、光量が相等し
くされた２本の光ビームを同時に走査させることもでき
るし、あるいは上記の場合のほぼ２倍の光量を有する１
本の光ビームを走査させることも可能となる。

また本発明の第２の装置において、前述のような電気光
学光変調器を用いれば、光量変動および走査位置変動と
いう問題を有する記録光源としての半導体レーザの直接
変調は不要となり、また該電気光学光変調器への電圧印
加状態を変えれば光ビームの変調状態は瞬時に変化する
から、変調速度を高めることができる。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明の第１実施例による光偏向装置５０を示
すものである。この光偏向装置５０は、基板１１上に形
成されたスラブ状光導波路１２と、この光導波路１２上
に形成された光ビーム入射用線状回折格子（Ｌｉｎｅａ
ｒＧｒａｔｌｎｇ　　Ｃｏｕｐｌｅｒ、以下ＬＧＣと称
する）１３と、光ビーム出射用Ｌ　Ｇ　Ｃ１４と、これ
らのＬＧＣ１３，１４の間を進行する導波光の光路に交
わる方向に進行する表面弾性波１５．１６をそれぞれ発
生させる第１、第２の傾斜指チャーブ交叉くし形電極対
（Ｔｆｌｔｅｄ　−Ｆｉｎｇｅｒ　　ＣｈｉｒｐｅｄＩ
　ｎｔｅｒ　　Ｄ　Ｉｇｉｔａｌ　　Ｔ　ｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ　、以下傾斜指チャーブＩＤＴ、あるいは単にＩ
ＤＴと称する）１７．１８と、電気光学光スイッチとし
ての電気光学グレーティング（Ｅ　Ｉｅｃｔｒｏｏｐｔ
ｌｃ　Ｇ　ｒａｔｌｎｇ％以下ＥＯＧと称する）４と、
上記表面弾性波１５．１６を発生させるために傾斜指チ
ャーブＩＤＴ１７．１８に高周波の交番電圧を印加する
高周波アンプ１９と、上記電圧の周波数を連続的に変化
（掃引）させるスィーパ−２０とを有している。また光
導波路１２には、第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７と導
波光光路をはさんで反対側に第３の傾斜指チャーブＩＤ
Ｔ２７が、第２の傾斜指チャーブＩＤＴＩＩＩと導波光
光路をはさんで反対側に第４の傾斜指チャープＩＤＴ２
ｇが設けられている。これら第３のＩＤＴ２７と第４の
ＩＤ７２８は、第１のＩＤＴ１７と第２のＩＤＴ１８に
対して、第１図中で上下対称に形成、配置されており、
前述した高周波アンプ１９およびスィーパ−２０と各々
同じ高周波アンプ１９°およびスィーパ−２０゛　によ
って駆動される。

本実施例においては一例として、基板１１にＬｉＮｂＯ
３ウェハを用い、このウェハの表面にＴｉ拡散膜を設け
ることにより光導波路１２を形成している。なお基板１
１としてその他サファイア、Ｓｉ等からなる結晶性基板
が用いられてもよい。また光導波路１２も上記のＴｉ拡
散に限らず、基板１１上にその他の材料をスパッタ、蒸
着する等して形成することもできる。なお光導波路につ
いては、例えばティー　タミール（Ｔ、　Ｔａａ＋ｉｒ
）編「インチグレイテッド　オブティクス（Ｉ　ｎｔｅ
ｇｒａｔｅｄ　　０ｐｔｉｃｓ　）　Ｊ　　（）ピック
ス　イン　アプライド　フィジックス（Ｔｏｐｉｃｓ　
　Ｉｎ　　ＡｐｐＨｅｄ　　Ｐｈｙｓｉｃｓ）第７巻）
スブリンガー　フエアラーグ（Ｓ　ｐｒｌｎｇｅｒ　−
Ｖｅｒｌａｇ　）刊（１９７５）　　、西原、巻毛、栖
原共著「光集積回路」オーム社刊（１９８５）等の成著
に詳細な記述があり、本発明では光導波路１２としてこ
れら公知の光導波路のいずれをも使用できる。

ただし、この光導波路１２は、上記Ｔｉ拡散膜等、後述
する表面弾性波が伝播可能で、かつ電気光学効果を示す
材料から形成されなければならない。

また光導波路は２層以上の積層構造を有していてもよい
。

傾斜指チャーブＩＤＴ１７．１８．２７および２８とＥ
ＯＧ４は、例えば光導波路１２の表面にポジ型電子線レ
ジストを塗布し、さらにその上にＡｕ導電用薄膜を蒸着
し、電極パターンを電子線描画し、ＡＵ薄膜を剥離後現
像を行ない、次いでＣｒ薄膜、Ａｔ薄膜を蒸着後、有機
溶媒中でリフトオフを行なうことによって形成すること
ができる。なお傾斜指チャーブＩＤＴ１７．１８．２７
および２８は、基板１１や光導波路１２が圧電性を有す
る材料からなる場合には、直接光導波路１２内あるいは
基板１１上に設置しても表面弾性波１５．１６を発生さ
せることができるが、そうでない場合には基板１１ある
いは光導波路１２の一部に例えばＺｎＯ等からなる圧電
性薄膜を蒸着、スパッタ等によって形成し、そこにＩＤ
Ｔ１７．１８．２７および２８を設置すればよい。

偏向される光ビームＬは、例えば半導体レーザ等の光［
２１から、Ｌ　Ｇ　Ｃ１３に向けて射出される。

この光ビームＬ（平行ビーム）は、ＬＧＣ１３によって
光導波路１２内に取り込まれ、該光導波路１２内を導波
モードで進行してＥＯＧ４の部分に入射する。なお光ビ
ームＬが発散ビームである場合は、Ｌ　Ｇ　Ｃ１３の代
わりに集光性回折格子（Ｆ　ｏｃｕｓｔｉｇＧ　ｒａｔ
ｉｎｇ　　Ｃｏｕｐｌｅｒ　：　Ｆ　Ｃ；　Ｃ）を用い
、このＦＣＣによって発散ビームを平行ビーム化して光
導波路１２内に取り込むことができる。

前記ＥＯＧ４は回折格子として作用して、そこに入射し
た導波光を回折し、それにより導波光は第１の導波光り
工　（０次光）と第２の導波光しｌ′（回折光）とに分
岐されうる。またこのＥＯＧ４への電圧印加状態は、ス
イッチ駆動回路３によって３通りに切換え可能となって
おり、それにより上記回折の効率は０％に近い値、１０
０％に近い値、および５０％に変えられる。したがって
それらの各場合には、実質的に導波光し１のみが進行す
る状態、実質的に導波光Ｌ１°のみが進行する状態、そ
して互いに等光量の導波光り、　、Ｌ１″が進行する状
態となる。

導波光Ｌ１が進行する状態とされたとき、ＥＯＧ４から
出射した導波光Ｌ１は次に、第１の傾斜指チャーブＩＤ
Ｔ１７から発せられた第１の表面弾性波１５との音響光
学相互作用により、図示のように回折（Ｂ　ｒａｇｇ回
折）する。こうして回折、偏向した導波光Ｌ２は、第２
の傾斜指チャーブＩＤＴ１８から発せられた第２の表面
弾性波１Ｂとの音響光学相互作用により、上記の偏向を
さらに増幅させる方向に回折する。そして前述のように
、第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７に印加される交番電
圧の周波数が連続的に変化するので、第１の表面弾性波
１５の周波数が連続的に変化する。前述の第（１）式か
ら明らかなように、表面弾性波１５によって回折した導
波光Ｌ２の偏向角は表面弾性波１５の周波数にほぼ比例
するので、上記のように表面弾性波１５の周波数が変化
することにより、導波光Ｌ２は矢印Ａで示すように連続
的に偏向する。この導波光Ｌ２は次に第２の表面弾性波
１Ｂによって偏向されるが、この第２の表面弾性波１Ｂ
も第１の表面弾性波１５と同様に周波数が連続的に変化
するので、第２の表面弾性波１Ｂを通過した後の導°波
光Ｌ３は、矢印Ｂで示すように連続的に大きく偏向する
。この導波光Ｌ３はＬ　Ｇ　Ｃ１４によって光導波路１
２外に出射せしめられる。

一方、第３および第４の傾斜指チャープＩＤＴ２７．２
８には、第１および第２の傾斜指チャーブ！ＤＴ１７．
１８に対するのと同様にして、周波数掃引された交番電
圧が印加される。したがって、導波光Ｌｌｌが進行する
状態においては、ＩＤＴ２７から発せられた第３の表面
弾性波２５を通過した後の導波光Ｌ２°は、矢印Ｃで示
すように連続的に偏向する。こうして回折、偏向した導
波光し２°は、第４の傾斜指チャーブＩＤ７２ｇから発
せられた第４の表面弾性波２６との音響光学相互作用に
より、上記偏向をさらに増幅させる方向に回折する。そ
こで、第４の表面弾性波２Ｂを通過した後の導波光Ｌ３
１　は、矢印りで示すように連続的に大きく偏向する。

導波光りが前述したように互いに等光量の導波光り、　
、Ｌｌｏに分岐されている場合は、上述のようにして偏
向した導波光Ｌ３とＬ３°の双方が、Ｌ　Ｇ　Ｃ１４に
よって光導波路１２外に出射せしめられる。光導波路１
２外に出射した光ビームＬ、　、Ｌ、。

はそれぞれ、被走査面３０上を１次元的に走査（主走査
）する。本実施例の装置において第１．２．３および４
の傾斜指チャープＩＤＴ１７．１８．２７および２８は
、第２図にも詳しく示すように、光導波路１２外に出射
した光ビームＬ、　、Ｌ、°が、被走査面３０上で互い
に重ならないで平行となるように配置されている。した
がって被走査面３０上においては、光ビームＬ、とり、
′とによって別個に主走査ラインが形成される。そこで
被走査面３０を公知の副走査手段（図示せず）によって
上記主走査の方向Ｘと略直角なＹ方向に移動させれば、
この被走査面３０の各々別の領域が、各々光ビームＬ４
、Ｌ４°によって２次元的に走査される。

したがって、この光偏向装置５０を用いて画像読取りを
行なう場合（この場合被走査面３０は２画像が記録され
ている読取原稿である）は、光ビームＬ、　、Ｌ、’　
の走査を受けた被走査面３０の箇所から並行して生じる
発光光、反射光あるいは透過光をそれぞれ別の光電読取
手段によって独自に検出すれば、上記画像をそれぞれ担
持する２組の画像信号が得られる。

また、前述した通りＥＯＧ４の作用により、第１の導波
光し！のみあるいは第２の導波光し１゜のみを進行させ
ることも可能であるから、光ビームＬ４あるいはり、°
のみを被走査面３０上において走査させることもできる
。この場合は走査ビームの光量を、２本の光ビームＬＡ
およびＬ４°を走査させる場合に比べて２倍に高めるこ
とができる。

次に、導波光Ｌ３の偏向角範囲２Δ（２θ）について、
第５図を参照して説明する。この第５図は、第１の傾斜
指チャーブＩＤＴ１７および第２の傾斜指チャーブＩＤ
７１８の詳細な形状と配置状態を示している。図示され
るように第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７および第２の
傾斜指チャーブＩＤＴ１８はそれぞれ、電極指の間隔が
変化率一定で段階的に変化するとともに、各電極指の向
きも変化率一定で段階的に変化するように形成されてい
る。

第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７および第２の傾斜指チ
ャーブＩＤＴ１ｇとも電極指の間隔が狭い方（図中上端
部）が等波光側に位置するように配置され、前述のよう
に印加電圧の周波数が掃引されることにより、それぞれ
この上端部が最大周波数１２ｍｍ　’）　Ｑ　ＨＺ　ｓ
下端部が最小周波数ｆｌ−ＩＧＨｚの表面弾性波１５．
１６を発生するようになっている。そして第１の傾斜指
チャープＩＤＴ１７は、上端部と下端部の電極指が互い
に３°傾いた形状とされ、導波光Ｌ１の進行方向に対し
て上端部の電極指が６＠の角度をなし、下端部の電極指
が３°の角度をなすように配置されている。一方第２の
傾斜指チャーブＩＤＴｌ８は、上端部と下端部の電極指
が互いに９°傾いた形状とされ、導波光Ｌ１の進行方向
に対して、上端部の電極指が１８″の角度をなし、下端
部の電極指が９″の角度をなすように配置されている。

なお、両傾斜指チャーブＩＤＴ１７．１８のアース電極
は互いに一体化されてもよい。また以上述べたような傾
斜指チャーブｌＤＴについては、例えば前述のＣ，Ｓ、
ＴＳＡＩによる文献において詳しい説明がなされている
。

第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７および第２の傾斜指チ
ャーブＩＤＴ１ｇからそれぞれ２ＧＨｚの表面弾性波１
５．１６が発せられたときの光ビームの回折状態は第５
図の■で示す状態となる。つまりこの場合は、２ＧＨｚ
の表面弾性波１５に対して導波光り、が入射角６″で入
射し、この角度はブラッグ条件を満足している。すなわ
ち導波光Ｌ１１回折後の導波光Ｌ２の波数ベクトルをそ
れぞれ■ｌ、Ｉｋｌ、表面弾性波１５の波数ベクトルを
ｌＫ１　とすると、第６図（１）に示すように Ｉｋｌ　＋ＩＫ１−１に２ となっている。つまり回折された導波光Ｌ２の進行方向
は、ベクトル■２の向きとなる（偏向角α−２θ−１２
＠）。またこのとき、２ＧＨｚの表面弾性波１６は第２
の傾斜指チャーブＩＤＴ１８の第５図中上端部の電極指
（第１の傾斜指チャープＩＤＴ１７の上端部と１２″の
角度をなす）によって励振され該電極指と直角な向きに
進行するから、この表面弾性波１Ｂに対する導波光Ｌ２
の入射角も６″となり、そして表面弾性波１６は表面弾
性波１５と同波長であるから、ブラッグ条件を満足する
。すなわち表面弾性波１６による回折後の導波光Ｌ３の
波数ベクトルを■３、表面弾性波１６の波数ベクトルを
ｌＫ２とすると、第６図（１）に示すようにに２＋１Ｋ
２−１に３ となっている。

上記の状態から表面弾性波１５．１６の周波数がＩＧＨ
ｚまで次第に下げられる。表面弾性波１５．１８の各波
数ベクトルＩＫ１、ｌＫ２の大きさ１ＩＫ１１．１ＩＫ
２１は、その波長を八とすると２π／Δであるから、結
局表面弾性波１５．１８の周波数に比例する。したがっ
て、表面弾性波１５．１６の周波数がＩＧＨｚのとき、
表面弾性波１５．１８の波数ベクトル”’ｔ　、ＩＫ２
の大きさは、周波数が２ＧＨｚのときの１７２となる。

またこの場合の表面弾性波１５、表面弾性波１６の進行
方向つまり波数ベクトルＩＫｌ。

ＩＫ２の向きは、ＩＧＨｚの表面弾性波１５．１８を励
振する第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１７、第２の傾斜指
チャーブＩＤＴ１８の電極指部分が前述のように２ＧＨ
ｚの表面弾性波１５．１６を励振する電極指部分に対し
てそれぞれ３’　、９”傾いているから、２ＧＨｚの表
面弾性波１５．１６の波数ベクトルＩＫｌ。

ＩＫ２の向きから各々３°、９″変化する。また、第６
図（１）においてａ　＝　ｂであるから結局、表面弾性
波１５．１６の周波数がＩＧＨｚ場合の波数ベクトルＩ
Ｋｓ　、ＩＫ２は、第６図（′２Ｊに示すものとなる。

以上説明した通り、表面弾性波１５．１［ｉの周波数が
ＩＧＨｚである場合も、前述の の関係が成立している。

そして波数ベクトル■、の大きさ１■ｌ＋は、導波光Ｌ
ｌの波長をλとするとｎ・２π／λ（ｎは屈折率）で、
この波長は導波光Ｌ２、Ｌ３についても同じであるから
、結局常に Ｉｋｔ　　１−ＩＬｋｚ　　１＝ＩＩｋｓ　　ｌであり
、−刃表面弾性波１５の波数ベクトルＩＫＩの大きさｌ
ｌＫ！＋はその波長をＡとすると２π／Ａで、この波長
は常に表面弾性波１６の波長と等しいから １１に４　１　＝　１ｌＫ２　１ である。また波数ベクトルＩＫ１、ＩＫ２の向きは、先
に説明したように表面弾性波１５．１Ｂの周波数が２Ｇ
ＨｚからＩＧＨｚに変化する際に、それぞれ固有の一定
変化率で変化する。したがって、表面弾性波１５．　ｉ
ａの周波数が上記のように２ＧＨｚからＩＧＨｚに変化
する間、常に前述の（′２Ｊ式の関係が成り立ち、導波
光し１と表面弾性波１５とのブラッグ条件、導波光Ｌ２
と表面弾性波１Ｂとのブラッグ条件が常に満たされる。

以上の説明から明らかなように、表面弾性波１５．１６
の周波数が２ＧＨｚ、ＩＧＨｚのとき、２回回折した導
波光Ｌ３の進行方向はそれぞれ第６図（１）のベクトル
Ｉｋ３、第６図（２１のベクトルｎｃ３の向き（第５図
に■、■゛で示す向き）であり、その差は２Δ（２θ）
−２４−１２−１２°である。つまり本装置においては
、光導波路内において分岐された一方の光ビームについ
て、１２’の広偏向角範囲が得られる。ちなみに、周波
数がＩＧＨｚから２ＧＨｚまで変化する（２次回折光の
影響を受けないように周波数帯域を１オクターブとする
）１つの表面弾性波のみで光ビーム偏向を行なう場合に
は、偏向角範囲は６＠となる。

前述の通り本例では、第１および第２の傾斜指チャーブ
ＩＤＴ１７．１８に対して、第３および第４の傾斜指チ
ャープＩＤＴ２７．２８は互いに同じ構成とされ（配置
は左右対称）、それぞれへの電圧印加も互いに同様にな
されるので、第３の表面弾性波２５によって回折される
前の第２の導波光しｌ。

の波数ベクトルを１に４、第３の表面弾性波２５によっ
て回折された後の第２の導波光Ｌ２°の波数ベクトルを
■５、第４の表面弾性波２６によって回折された第２の
導波光Ｌ３°の波数ベクトルをＩｋ６、第３、第４の表
面弾性波２５．２６の波数ベクトルをＩＫ３．ＩＫ、と
すると、 ｎｃａ　＋ＩＫ３　ｍ１ｋ５ １に５　＋ＩＫ４−１に６ なる関係が常に満たされ、導波光Ｌ３°の偏向角範囲２
Δ（２θ）°は、導波光Ｌ３の偏向角範囲２Δ（２θ）
と等しく１２＠　となる。

以上説明したように本装置５０においては、各個の画像
を記録しあるいは読み取るための光ビーム２本を、それ
ぞれ２つの表面弾性波によって偏向させるようにしてい
るので、個々の画像については、１本の光ビームで１画
像を記録しあるいは読み取る場合と同じだけの偏向角範
囲が確保され、この偏向角範囲自体も極めて大きなもの
となる。

ここで、２本の光ビームを走査させる場合、光ビーム（
導波光）Ｌｌ　、Ｌｌｏがもし互いに別の光源から発せ
られたものであれば、各光源の光量バラツキ、光量変動
、さらには経時変化の差等により両光ビームＬＩＳＬ１
’の光量が異なり、そのため、例・えばこの光偏向装置
５０によって画像を記録する場合は走査ラインの右側画
像と左側画像との間で濃度段差が生じ、また画像読取り
を行なう場合は右側画像と左側画像とで読取画像信号が
変動してしまうが、本装置における２本の光ビームＬＩ
　ＳＬｌ　’　は共通の光源２１から発せられたもので
あるから、ＥＯＧ４によって光ビームＬが互いに等光量
で光ビームＬ１、Ｌｌ’　に分岐されるようにしておけ
ば、上述の問題は生じない。

なお光ビームＬは、必ずしも互いに等光量で２本に分岐
されなくてもよい。すなわち分岐された光ビーム（導波
光）　ＬｌとＬ１″との間に光量差が有る場合は、光量
大の方の導波光を減衰させる手段を光導波路１２に設け
たり、あるいは傾斜指チャーブＩＤＴ１７と２７　（１
ｇと２８）に印加する交番電圧のレベルを上記光量差に
応じて互いに変えて、表面弾性波による回折の効率が第
１の導波光と第２の導波光とで異なるようにする等して
、最終的に光ビームＬ４とり、ｌ　の光量を等しくする
ことができる（中間調画像記録のため該光ビームＬ。

とＬｍ’　を画像信号に基づいてアナログ的に変調する
場合は、同一の画像信号に対して光量が等しくなるとい
うことである）。前述したように２個の光源を用いる場
合でも、上記と同様にして両光源の光量バラツキを補正
することはできるが、両光源の光量変動や経時変化の差
に起因する光ビームＩ−ＡとＬ４゛の光量差を解消する
ことはできない。それに対して本発明装置においては、
前記減衰手段を設ける等の場合でも、上記の問題は生じ
ない。

なお、光導波路１２から出射した光ビームＬ４、Ｌ４’
　の偏向角範囲Δδ、Δδ゛は、上述の光導波路内の偏
向角範囲２Δ（２θ）、２Δ（２θ）゛よりもさらに広
くなる。これは光導波路１２のｍ折率が空気の屈折率よ
りも大きいためである。

以上説明した実施例においては、第２図に示すように、
被走査面３０上で光ビームＬ、　、Ｌ、°の走査始端Ｌ
ｓＳＬｓ’　　どうしが相近接するようにしているが、
ＩＤＴ１７．１８およびＩＤＴ２７．２８の配置状態や
、それらに印加させる交番電圧の周波数の掃引の仕方次
第で、第３図に示すように光ビームＬ、　、Ｌ４’　の
走査終端どうしを互いに近接させたり、あるいは第４図
に示すように、光ビームＬ４、Ｌ、’　の一方の走査始
端と他方の走査終端とを相近接させることも可能である
。

なお表面弾性波１５．１６の周波数をＩＧＨｚよりもさ
らに低くすれば、導波光Ｌ３は第６図（２）に■゛で示
した位置よりもさらに大きく偏向する。しかしこの位置
には、上記周波数が２ＧＨｚのとき僅かであるが１回回
折の導波光Ｌ２が出射するので、本実施例におけるよう
に第６図（２）の■〜■°の範囲を光ビーム偏向範囲と
して利用するのが好ましい。

以下、上記の光偏向装置５０においてなしうる構成の変
更について説明する。なお以下の説明は、第１および第
２の傾斜指チャーブＩＤＴ１７．１８側を例に挙げて行
なうが、同様の変更は当然ながら第３および第４の傾斜
指チャーブＩＤＴ２７．２８側においても適用可能であ
る。まず、以上の説明では、表面弾性波１５．１６の周
波数を２ＧＨｚからＩＧＨｚに連続的に変化させるよう
にしているが、この反対にＩＧＨｚから２ＧＨｚまで変
化させるようにしてもよい。この場合は光ビームＬ４の
偏向の方向が逆になるだけである。また上記周波数を２
→１→２−ＩＧＨ２となるように変化させれば、光ビー
ムＬ４が往復で偏向するようになり、光ビームの往復走
査が可能となる。

また以上説明の実施例では、周波数２ＧＨｚの表面弾性
波１５に対する導波光り、の入射角（つまり第１の傾斜
指チャープＩＤＴ１７の２ＧＨｚを励振する電極指と導
波光Ｌ１の進行方向がなす角度）を６″とし、第１の傾
斜指チャーブＩＤＴ１７のＩＧＨｚを励振する電極指が
上記導波光り、の進行方向となす角を３°、−力筒２の
傾斜指チャープＩＤＴ１８の２ＧＨｚ、ＩＧＨｚを励振
する電極指が上記の進行方向となす角をそれぞれ１ｇ’
　、　９’としているが、一般に表面弾性波１５、ｔＣ
の最小、最大周波数を’１　、ｆ２　　（ｆ２　””２
ｆ１　）とする場合には、上記の例において６°、３°
、１８°、９°と設定された各角度を各々θ、θ／２．
３θ、３θ／２とすれば、いかなる場合も常に前述のブ
ラッグ条件を満足させることが可能となる。このことは
、第６図（１）、（２を参照すれば自明であろう。

なお傾斜指チャーブＩＤＴ１？、１８の形状を上記θで
規定される形状とする場合においても、表面弾性波１５
．１６の最小、最大周波数ｆｌ、ｒ２をｒ２−２ｆ’ｌ
　となるように設定することは必ずしも必要ではなく、
例えば最大周波数ｒ２を２ｆｌなる値よりもやや小さめ
に設定しても構わない。しかし上記のような形状に傾斜
指チャーブＩＤＴ１７．１８を形成する以上はこのＩＤ
Ｔ形状を最大限活かして、最小周波数ｒ１のとき発生す
る２次回折光が偏向角範囲に入り込まないで最大偏向角
範囲が得られるようになるｒｌからｒ　２−２ｒｓの間
で表面弾性波周波数を変化させるのが好ましい。

さらに本発明においては、表面弾性波１５．１６の最小
、最大周波数ｆｌ　、ｆ２をｆ２−２ｆ、となるように
設定し、また表面弾性波１５．１Ｂの周波数を常に互い
が等しくなるように変化させることは必ずしも必要では
なく、表面弾性波１５．１６の周波数および進行方向を
個別に変化させても、第１、第２の傾斜指チャーブＩＤ
Ｔ１７．１８の形状および配置状態によって前述の（２
）式の関係を満たすことが可能である。

しかし、上記実施例におけるように、表面弾性波１５．
１６の周波数を同じように変化させれば、２つの傾斜指
チャーブＩＤＴを共通のドライバーで駆動可能となり、
高価なドライバーが１つで済むので好都合である。

また光導波路１２を前述のＴＩ拡散ＬｉＮｂＯ３に代え
てＺｎＯからなる光導波路にした場合には、−例として
表面弾性波１５．１Ｂの最大、最小周波数を１．０Ｇ　
Ｈｚ　、　　０．５Ｇ　Ｈｚすると、２Δ（２θ）−８
°程度の偏向角範囲が得られる。

さらに、光ビームを光導波路１２内に入射させ、またそ
こから外部に出射させるためには、前述のＦＧＣ１３，
１４の他、カプラープリズム等を用いてもよいし、ある
いは光導波路１２の端面から直接光ビームを入射、出射
させるようにしてもよい。また発散ビームである光ビー
ムＬを平行ビーム化したり、光導波路１２から出射する
光ビームＬ４を集束させるためには、導波路レンズや通
常の外部レンズを用いることができる。

なお以上説明した構成の変更は、以下に説明する実施例
においてもなされうるちのである。

次に第７図を参照して、本発明の第２実施例について説
明する。なおこの第７図において、前記第１図中の要素
と同等の要素には同番号を付し、それらにういての説明
は特に必要の無い限り省略する。この光偏向装置６０は
、第１図の装置と比べると、ＥＯＧ４およびスイッチ駆
動回路３の代わりに、ＥＯＧ５と、その駆動回路６と、
変調回路７とが設けられている点が異なっている。ＥＯ
Ｇ５には、ＥＯＧ駆動回路６から電圧Ｖが印加される。

この電圧■の値は、画像信号Ｓを受ける変調回路７によ
り、該信号Ｓに応じて変化するように（つまり導波光を
強度変調する場合は連続的に変化するように、０Ｎ−Ｏ
ＦＦ変調する場合は２値のうちの一方を選択的にとるよ
うに）制御される。

ＥＯＧ５は回折格子として作用するものであり、該ＥＯ
Ｇ５により導波光りが回折し、回折光Ｌ１と０次光Ｌ１
とが得られる。そしてこのＩＤＴ５によって光導波路１
２に電界が印加されると、電気光学効果により光導波路
１２の屈折率が変化し、上記回折の効率が変化する。こ
の回折効率は、上記電界の大きさ、すなわちＥＯＧ５に
印加される電圧■の値に応じて変化するので、結局上記
回折光Ｌ１１　あるいは０次光Ｌ１は画像信号Ｓに応じ
て変調される。

なお、本実施例におけるＥＯＧ５は、電極指線幅が３．
７５μｍ１電極指周期が１５μｍ１電極指の有効長が１
．３　ｍｍ、電極指対数が１００対のものであり、最大
回折効率η−９３％、変調周波数ｆＭ−２５ＭＨｚを実
現できた。このようなＥＯＧ５は、公知のフォトリソ法
等によって形成可能である。

光偏向装置６０外に出射した光ビームＬ１あるいはＬ４
°は、感光材料４０上を矢印Ｘ方向に走査（主走査）す
る。それとともに感光材料４０が、移送手段（図示せず
）により上記主走査の方向と略直角な方向に移送されて
副走査がなされるので、感光材料４０は光ビームＬ、あ
るいはＬ４°により２次元的に走査される。前述したよ
うにこの光ビームＬ、あるいはＬ４°は画像信号Ｓに基
づいて１５１れているので、感光材料４０上にはこの画
像信号Ｓが担う画像が記録される。この場合、光ビーム
Ｌ、のみで画像を記録したいときは、画像信号Ｓ（、：
、ＩＡづく所望光量が第１の導波光Ｌ１に与えられるよ
うにＥＯＧ５の駆動を制御すればよいし、反対に先ビー
ムＬ、°のみで画像を記録したいときは、画像信号Ｓに
基づく所望光量が第２の導波光し１′に与えられるよう
にＥＯＧ５の駆動を制御すればよい。

なお１主走査う・ｒ部分の画像信号Ｓと光ビームＬ、あ
るいはＬ４′の主走査との同期をとるためには、この画
像信号Ｓに含まれるブランキング信号をトリガ信号とし
て用いて、ＩＤＴ１７．１８あるいはＩＤＴ２７．２８
への電圧印加タイミングを制御すればよい。またこのブ
ランキング信号により前記感光材料移送手段の駆動タイ
ミングを制御することにより、上記主走査とＭ走査との
同期をとることができる。

この第２実施例の光偏向装置６０も第１実施例の装置５
０と同様、ＩＤＴ５を光スィッチと１７で作動させて、
被走査面３０上に光ビームＬ４のみあるいは光ビームＬ
番゛のみを走査させたり、双方の光ビームＬＡ　、Ｌ４
　’　を走査させたりすることができる。しかし本実施
例の装置においては、２本の光ビームＬ、　、Ｌ、°に
よって同時に画像を記録することはできないから、光ビ
ームＬ４で画像を記録する場合は第３、第４のＩＤＴ２
７．２８を駆動停止させ、光ビームＬ４°で画像を記録
する場合は第１、第２のＩＤＴｌ７、Ｉ８を駆動停止さ
せる。

なお本発明装置においては、以上説明した傾斜指チト−
ブＩＤＴ１７．１８．２７．２８に代えて、電極指間隔
が段階的に変化しかつ各電極指が円弧状をなすいわゆる
湾曲指ＩＤＴを使用することもできる。第８図はこの湾
曲指ＩＤＴの配置例を示している。この例においては第
１の湾曲指ＩＤＴ１１７も、第２の湾曲指ＩＤＴｌ１８
も図中右端の電極指部分が最大周波数ｆ２の表面弾性波
１５．１６を発生し、左端の電極指部分が最小周波数ｆ
１の表面弾性波Ｉ５．１６（図中破線で示す）を発生す
るように構成されている。この場合もＴ２−２「ｌとす
るのであれば、最大周波数ｒｚの第１の表面弾性波１５
に対する導波光Ｌｌの入射角をθとして、第１の湾曲指
ＩＤＴ１１７の左端の電極指部分が上記導波光Ｌｌの進
行方向に対してθ／２の角度をなし、一方第２の湾曲指
ＩＤＴＩＬ８の右端、左端の電極指部分が上記導波光り
、の進行方向に対してそれぞれ３θ、３θ／２の角度を
なすように両ＩＤＴ１１７．１１８を作成、配置すれば
よい。また第３および第４の湾曲指Ｉ　ＤＴ１２７　、
＋２８は、上記ＩＤＴｌ１７　、ｆｔａと同様に形成す
ればよい。

また本発明においては、光導波路に一方の導波光当り３
つ以上の表面弾性波を伝播させ、これらの表面弾性波に
よって１つの導波光を３回以上回折、偏向させるように
してもよい。この装置においても、隣り合う２つの表面
弾性波により以上述べた通りの作用効果が得られる訳で
あるから、このような光偏向装置も本発明の装置に含ま
れるものとする。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の光偏向装置においては
、それぞれ表面弾性波によって２回回折した２本の光ビ
ームが被走査面上を別個に走査するように構成したこと
により、１本の光ビームの偏向角範囲を２分割して２画
像を記録あるいは読み取る場合に比べて、１画像当たり
の偏向角範囲を著しく拡大することが可能となる。した
がって本発明装置によれば、大サイズの画像の記録ある
いは読取りが可能となり、また上記のようにして極めて
広い偏向角範囲が得られるから、光偏向装置から被走査
面までの距離を短くして、光走査記録装置や読取装置の
小型化を達成することができる。

そして本発明装置においては、個々の表面弾性波の周波
数を著しく高く設定しなくても上述のように広偏向角範
囲が得られるようになっているから、表面弾性波発生手
段どしてＩＤＴを用いる場合にはその線幅を極端に小さ
く設定する必要がなく、このＩＤＴを現在確立されてい
る技術によって容易に製造可能となる。また上記の通り
であるから、ＩＤＴに印加する交番電圧の周波数も著し
く高く設定する必要がなくなり、したがってＩＤＴのド
ライバーが容易かつ安価に形成可能となる。

さらに本発明装置においては、所定面上で並行して走査
させる２本の光ビームを、共通の光導波路内において導
波させて偏向するようにしているので、２本の光ビーム
の走査位置調整が、高精度かつ容易に行なわれうる。

さらに本発明の光偏向装置においては、１本の光ビーム
を２系統に分岐してそれぞれを偏向させるようにしてい
るので、被走査面上を走査する２本の光ビームの光量を
常に等しくすることができる。したがってこの光偏向装
置を２画像記録装置あるいは２画像読取装置に適用する
場合に、右側画像と左側画像との間で記録画像の濃度が
変わったり、あるいは読取画像信号レベルが変動するこ
とを防止できる。

また請求項２に記載の装置においては、光導波路内を導
波する光ビームを電気光学光変調器によって変調するよ
うにしているので、記録光源としての半導体レーザを直
接変調することに起因する記録光の波長変動を防止でき
、よってこの波長変動による記録光の光量変動および走
査位置変動を防止して、高画質、高精細の画像を記録可
能となる。また上述の電気光学光変調器を用いれば、表
面弾性波の強度を制御することによって光変調を行なう
場合に比べて変調速度を著しく高めることができるので
、本装置によれば高速記録が可能となる。

また本発明の光偏向装置においては、電気光学光スイッ
チの作用によって光ビームの走査位置を切り換えること
ができ、それに加えて、比較的低光量の光ビームで長い
走査範囲を得る状態と、高強度の光ビームで比較的短い
走査範囲を得る状態とを随意に切り換えることもできる
ので、本装置によれば、極めて多機能の光走査記録装置
や読取装置を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の光偏向装置を示す概略図
、 第２．３および４図は、本発明装置における２本の光ビ
ームの偏向方向の例を示す説明図、第５図は上記光偏向
装置の一部を拡大して示す平面図、 第６図は本発明装置における光ビーム偏向の仕組みを説
明する説明図、 第７図は本発明の第２実施例の光偏向装置を示す概略平
面図、 第８図は本発明において用いられる表面弾性波発生手段
の他の例を示す平面図である。 ３・・・スイッチ駆動回路　　４．５・・・ＥＯＧ６・
・・ＥＯＧ駆動回路　　　７・・・変調回路１１・・・
基板 Ｉ２・・−光導波路 １３・・・光ビーム入射用ＬＧＣ １４・・・光ビーム出射用ＬＧＣ １５・・・第１の表面弾性波　　１６・・・第２の表面
弾性波１７・・・第１の傾斜指チャーブＩＤＴ１８・・
・第２の傾斜指チャーブＩＤＴ１９．１９°・・・高周
波アンプ ２０．２０°・・・スィーパ−２１・・・光源２５・・
・第３の表面弾性波　　２Ｇ・・・第４の表面弾性波２
７・・・第３の傾斜指チャーブＩＤＴ２８・・・第４の
傾斜指チャーブＩＤＴ３０・・・被走査面　　　　　　
４０・・・感光材料５０、ＢＯ・・・光偏向装置 １１７・・・第１の湾曲指ＩＤＴ １１８・・・第２の湾曲指ＩＤＴ １２７・・・第３の湾曲指ＩＤＴ １２８・・・第４の湾曲指ＩＤＴ Ｌ、・・・第１の表面弾性波に入射する前の導波光Ｌ２
・・・第１の表面弾性波を通過した導波光Ｌ３・・・第
２の表面弾性波を通過した導波光し五″・・・第３の表
面弾性波に入射する前の導波光Ｌ２°・・・第３の表面
弾性波を通過した導波光し３″・・・第４の表面弾性波
を通過した導波光Ｌｓ　ＳＬｓ　’　・・・光ビームの
走査始端＋に！・・・導波光Ｌ１の波数ベクトル■２・
・・導波光Ｌ２の波数ベクトル Ｉｋ３・・・導波光Ｌ３の波数ベクトルＩＫｌ・・・第
１の表面弾性波の波数ベクトルＩＫ２・・・第２の表面
弾性波の波数ベクトル第　２図 第３図 第４図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面弾性波が伝播可能でかつ電気光学効果を示す
   材料から形成された光導波路と、この光導波路内に入射
   されて該光導波路を導波する１本の光ビームを回折させ
   て、第１の導波光および第２の導波光の２系統に分岐可
   能で、該光導波路への電界印加状態を変えることによっ
   て上記回折の効率を変えて、第１の導波光と第２の導波
   光の光量比を変化させる電気光学光スイッチと、この光
   導波路内を進行する第１の導波光の光路に交わる方向に
   進行して該導波光を回折、偏向させる第１の表面弾性波
   を前記光導波路において発生させる第１の表面弾性波発
   生手段と、 前記第１の表面弾性波によって回折された前記第１の導
   波光の光路に交わる方向に進行して該第１の導波光を、
   前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
   向させる第２の表面弾性波を前記光導波路において発生
   させる第２の表面弾性波発生手段と、 前記光導波路内を進行する第２の導波光の光路に交わる
   方向に進行して該導波光を回折、偏向させる第３の表面
   弾性波を前記光導波路において発生させる第３の表面弾
   性波発生手段と、 前記第３の表面弾性波によって回折された前記第２の導
   波光の光路に交わる方向に進行して該第２の導波光を、
   前記回折による偏向をさらに増幅させる方向に回折、偏
   向させる第４の表面弾性波を前記光導波路において発生
   させる第４の表面弾性波発生手段とを有し、前記第１お
   よび第２の表面弾性波発生手段が、前記第１の表面弾性
   波によって回折される前、後の第１の導波光の波数ベク
   トルをそれぞれ■＿１、■＿２、第２の表面弾性波によ
   って回折された第１の導波光の波数ベクトルを■＿３、
   第１、第２の表面弾性波の波数ベクトルを■＿１、■＿
   ２としたとき、■＿１＋■＿１＝■＿２ ■＿２＋■＿２＝■＿３ なる条件を満たしながらそれぞれ第１、第２の表面弾性
   波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
   形成され、 前記第３および第４の表面弾性波発生手段が、前記第３
   の表面弾性波によって回折される前、後の第２の導波光
   の波数ベクトルをそれぞれ■＿４、■＿５、第４の表面
   弾性波によって回折された第２の導波光の波数ベクトル
   を■＿６、第３、第４の表面弾性波の波数ベクトルを■
   ＿３、■＿４としたとき、■＿４＋■＿３＝■＿５ ■＿５＋■＿４＝■＿６ なる条件を満たしながらそれぞれ第３、第４の表面弾性
   波の周波数および進行方向を連続的に変化させるように
   形成され、 これら第１、２、３および４の表面弾性波発生手段が、
   前記光導波路から出射した第１および第２の導波光が所
   定の面上を互いに重ならないで走査するように配置され
   ていることを特徴とする光偏向装置。
2. （２）前記電気光学光スイッチに、画像信号に基づいて
   該スイッチへの印加電圧を制御する変調回路が接続され
   て、該光スイッチが光変調器としても機能することを特
   徴とする請求項１記載の光偏向装置。