JPH01171235A - テープキャリヤの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリヤの検査方法に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化・
薄形化・軽量化実装として又、カメラ・ＯＡ機器など特
殊形状機器への実装の必要性から、ＩＣ実装はテープキ
ャリヤ方式が本格的実用段諧に入ってきた。テープキャ
リヤは、ＩＣチップの電極配列に合わせたリードパター
ンが、スプロケットホールとデバイスホールを持つプラ
スチックフィルム上に形成されたものである。このよう
なテープキャリヤは、連続的にテープ状に形成されてい
て、各デバイスホール部に、ＩＣチップを例えばバンプ
方式でボンディングする。このテープキャリヤのリード
パターンとＩＣチップの各電極パッドを接続したものを
、テープ状のままピッチ送りして、順次各チップの電気
特性を検査する装にか要望されている。又、上記のよう
に、テープキャリヤにＩＣチップを装若し、テープ状の
ままＩＣチップの電気特性の検査をする装置は、特公昭
６２−５７５号公報に開示されている。又上記のような
テープキャリヤ状のままの検査を含む装置として特開昭
５３−２７３６４号公報に開示されている。

（発明が解決しようとする問題点） ここで、テープキャリヤに装着されたＩＣチップは、超
微細加工により製造されているため、ＩＣチップを装着
したテープキャリヤの電極端子とテスタに接続した接触
端子であるプローブ体との接触には、高度な精度が要求
される。

しかしながら、ＩＣチップを装着したテープキャリヤを
ピッチ送りして、連続自動工程で検査を実行していると
、オペレータや装置等から発生する塵等のゴミが、テー
プキャリヤに付着してしまい、このゴミが原因でテープ
キャリヤの電極端子とプローブ体が正確に接触できない
場合がある。

さらに、空気が乾燥していると、テープキャリヤに静電
気が帯電し、この静電気により静電破壊という現象が起
き、装着されているＩＣチップの性能を劣化させるとい
う悪影響があった。又、荷電したゴミがテープキャリヤ
に付着する場合もあり、悪条件が重なるとテープキャリ
ヤに装着されたＩＣチップの故障の原因となっていた。

この発明は上記点に対処してなされたもので、テープキ
ャリヤに装着されたＩＣチップの電気特性の検査を正確
に行なえ信頼性の高い検査結果を得るテープキャリヤの
検査方法を提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は、ＩＣを装着したテープキャリヤの電極端子
にプローブ体を接続して上記ＩＣの電気特性を検査する
に際し、予めテープキャリヤにイオンを含むエアを吹き
つけた状態で検査することを特徴とするテープキャリヤ
の検査方法を得るものである。

（作用効果） ＩＣを装着したテープキャリヤの電極端子にプローブ体
を接続して上記ＩＣの電気特性を検査するに際し、予め
テープキャリヤにイオンを含むエアを吹きつけた状態で
検査することにより、テープキャリヤや装着されたＩＣ
に付着した塵等のゴミを接触検査前に除去できるととも
に、テープキャリヤに吹きつけるエアの中にイオンを含
ませると、ＩＣやテープキャリヤに帯電した静電気を取
り除くことが出来、通常のエアのみでは除去しずらい荷
電ゴミも容易に除去可能とする効果が得られる。

（実施例） 次に本発明方法をＩＣを装着したテープキャリヤをプロ
ーブ装置で検査する方法に適用した一実施例を図面を参
照して説明する。

プローブ装置■における被検査体であるテープキャリヤ
■は、第４図に示すように、プラスチックフィルム例え
ばポリイミドフィルム例えば幅３５画厚さ１２５／ｆｆ
ｉの長手方向の両側縁部（２ａ）に、所定の一定間隔を
設けて複数個同一大きさの長方形状から成る貫通孔例え
ば角形スプロケットホール■が設けられている。さらに
、長手方向の中央帯位置即ち、ＩＣチップ（イ）の実装
位置にも、所定の一定間隔を設けて貫通孔であるデバイ
スホール（図示せず）が設けられている。このデバイス
ホールに対応して実装されるＩＣチップ（イ）の各電極
端子■が上記テープキャリヤ■上に印刷され、この電極
パッド■と上記ＩＣチップ（イ）の端子間を接続する如
く、リードパターン（へ）が形成されている。このよう
なテープキャリヤ■の上記各デバイスホールには、半導
体素子であるＩＣチップ（イ）がインナーリードボンデ
ィング法等により、装着され、この時、ＩＣチップに）
の各電極パッドと上記各対応するリードパターン■が配
線されている６上記のようなＩＣチップに）を装着した
テープキャリヤ■を検査するプローブ装置■の構成を次
に説明する。

このプローブ装置■は、第３図に示すように被検査体で
あるＩＣチップ（イ）を実装したテープキャリヤ■が供
給リール■の回転軸（ハ）に巻装されている。上記供給
リール■に巻装されたテープキャリヤ■は、テープキャ
リヤ送り用スプロケット０及び検査部（１０）を介して
回転軸（１１）を中心に回転自在に設けられた収納リー
ル（１２）に巻かれている。

上記スプロケット０は、図示しない駆動装置であるモー
タに連設しており、このモータを正逆方向に選択的に回
転可能とすることにより、所望の回転方向にスプロケッ
ト（９）は、回転可能とされている。又、スプロケット
（９）は、モータごと中心軸方向にスライド自在に設け
られたスライド体（図示せず）に載置されている。この
ようなスプロケット０には、テープキャリヤ■のスプロ
ケットホール（３）の対応した位置に突起例えばトラク
ター（１３）が設けられている。このトラクター（１３
）は、スプロケットホール■に挿入し、かみ合う状態に
設けられていて、トラクター（１３）の送り方向（１４
）側と上記スプロケットホール（３）の送り方向（１４
）側との形状が位置合わせしながら送ることが可能な形
状である。上記スプロケット（ト）は、例えば検査部（
１０）の前後に２系統設けられている。この検査部（１
０）には、第１図に示すように、テープキャリヤ■の送
り方向（１４）順にまず、テープキャリヤ■上方向に、
ＩＴＶカメラ（１５）が設置されている。このＩＴＶカ
メラ（１５）でパターン認識による画像処理アライメン
トが行なわれる。次に、プローブユニット（１６）が配
設されている。このプローブユニット（１６）は、いわ
ゆるプリント基板と呼ばれている基板にテープキャリヤ
■に形成された電極端子０の配列パターンに対応する如
く多数のプローブ体例えばプローブ針（１７）が配列装
着されている。

各プローブ針（１７）の装着位置からは、夫々絶縁状態
で図示しないテスタに接続する如くプリント配線されて
いる。このようなブローブユニッート（１６）は、図示
しない昇降機構に係合されていて、テープキャリヤ■に
対して上下方向に移動可能とされている。又、プローブ
ユニット（１６）との対向位置であり、テープキャリヤ
■の下方向には、テープキャリヤ■を載置固定するため
の載置台（１８）が設置されている。載置台（１８）の
上面には、バキューム孔（図示せず）が設けられていて
、テープキャリヤ■を真空吸着可能とされている。又、
載置台（１８）は、図示しない昇降機構に係合されてい
て、テープキャリヤ■に対して上下方向に移動可能であ
り、さらに、テープキャリヤ■の送り方向（１４）に対
して直角に水平方向にスライド自在とされている。ここ
で、プローブユニット（１６）で各テープキャリヤ■を
接続検査後には、マーキング装置（１９）により不良品
に印が付加される。この印は、例えば即乾性のインクや
マーキングテープなどを付加するが、パンチングにより
穴を開けても良い。

ここで、上記検査部（１０）でテープキャリヤ■に装着
されたＩＣチップに）の電気特性の検査をする検査部（
ｌＯ）およびその前後には、テープキャリヤ■にエアを
吹きつける機構が配設されている。この機構は、静浄度
の高いクリーンエアを供給するエア供給装置Ｉ（２０）
が設けられている。このエア供給装置（２０）から供給
されたエアに含まれている例えば酸素をイオン化する装
置例えばイオナイザ（２１）がエア供給装置（２０）と
接続されている。このイオナイザ（２１）は、供給され
たエアに図示しない電極間に高電圧を印加して酸素をイ
オン化させるもので、ここでイオン化された酸素を含む
エアは、エアをＩＣチップ（イ）を装着したテープキャ
リヤ■に吹きつけるエアノズル（２２）にチューブ（２
３）を介して供給される。ここで、チューブ（２３）内
には、細密なカートリッジフィルター（２４）を装着し
、イオン化されたエア中の塵等のゴミのろ過動率を高め
ている。又、エアノズル（２２）やチューブ（２３）の
材質は、不純物の発生を防止する意味で例えばフッ素系
樹脂を使用するのが望ましい。さらに、エアノズル（２
２）は、所望する位置に配設することが可能であり、例
えばテープキャリヤ■の搬送路上の２系統あるスプロケ
ット（９）の各付近およびＩＴＶカメラ（１５）とプロ
ーブユニット（１６）の間の合計３箇所に、テープキャ
リヤ■と供給されたエアがほぼ直交する如くエアノズル
（２２）が設けられている。

又、エアノズル（２２）から発射されたエアおよびテー
プキャリヤ■やＩＣチップ（イ）に付着した塵等のゴミ
を排出する機構が設けられている。この機構は、第２図
に示すように各エアノズル（２２）から発射されたエア
とテープキャリヤ■が直交する各位置に、テープキャリ
ヤ■の両側面および下面の位置に排出口（２５）が設け
られている。この排出口（２５）は、バキューム装置（
２６）にチューブ（２７）を介して接続されていて、発
射されたエアおよびゴミを吸入し、このプローブ装置■
の設置されている建屋外に排出可能とされている。

上記のように、エアノズル（２２）から発射されたエア
は、ＩＣチップ（へ）を装着したテープキャリヤ■に吹
きつけられ、付着していたゴミ等と供に徘出口から排出
される。

又、上記ＩＣチップに）が装着接続されたテープキャリ
ヤ■が、供給リール■及び収納リール（１２）に巻かれ
る際、上記ＩＣチップ（イ）及びテープキャリヤ■の保
護の目的で、テープキャリヤ■の間にスペーサ（２８）
が巻かれている。このスペーサ（２８）は、上記テープ
キャリヤ■と同じ幅例えば３５ａｍに設けられており、
このスペーサ（２８）の両端即ち、上記テープキャリヤ
■が有するスプロケットホール■と対応する位置に突起
が表裏交互に設けられている。この突起によりテープキ
ャリヤ■を供給リール■及び収納リール（１２）に巻く
際に、上記ＩＣチップに）に他の物が接触することを防
止する構成になっている。又、スペーサ（２８）は、テ
ープキャリヤ■の移動に従って、テープキャリヤ（２）
を離れて供給リール■から例えば２箇所に設けられたガ
イドローラー（２９）を介して収納リール（１２）に巻
き取られる。この巻き取られた時点でスペーサ（２８）
は、再び検査法テープキャリヤ■と接続して保護をする
構成になっている。

上述したように、ＩＣチップに）を装着したテープキャ
リヤ■をリール・ツウ−・リール方式で搬送し、ＩＣチ
ップ（イ）の電気特性を検査する・装置が構成されてい
る。

次に、上述したプローブ装置■によるテープキャリヤ■
に実装されたＩＣチップ（イ）の検査方法を説明する。

プローブ装置のは、プローブ装置■に内蔵されているＣ
ＰＵに記憶されたプログラムに従って動作する。まず、
テープキャリヤ送り用スプロケット■）及び収納リール
（１２）が連動回転する。このことにより、同速度で検
査部（１０）にテープキャリヤ■を移送する。この検査
部（１０）に移送されたテープキャリヤ■を、ＩＴＶカ
メラ（１５）によりアライメントする。このアライメン
トは、ＩＴＶカメラ（１５）の撮像位置に設置されたテ
ープキャリヤ■を撮像し、この撮像出力と予め記憶され
ている基準データを比較する。いわゆるパターン認識を
行なう、このアライメント後、テープキャリヤ■を所定
量だけ送り方向（１４）にピッチ送りし、テープキャリ
ヤ■に実装されたＩＣチップ（イ）の検査を実行する。

この検査は、送られたテープキャリヤ■の裏面を載置台
（１８）の上面において真空吸着し固定する。

この固定状態で、プローブユニット（１６）の各プロー
ブ体例えばプローブ針（１７）配列と、検査対象ＩＣチ
ップに）を実装したテープキャリヤ■の電極端子■は、
上記アライメントにより位置合わせされている。次に、
プローブユニット（１６）と載置台（１８）を上下方向
に相対的に移動する。例えばプローブユニット（１６）
を所定量下降する。このことにより、各プローブ針（１
７）とテープキャリヤ■の各電極端子０は、接触し、接
続状態となる。この状態で、テスタとプローブ針（１７
）は、導通状態のため、テスタでＩＣチップに）の電気
特性の検査を実行する。この検査後、プローブユニット
（１６）を所定量だけ上昇し、各プローブ針（１７）と
電極端子■を非接触状態とする。さらに、載置台（１８
）によるテープキャリヤ■の真空吸着固定を解除する。

この時、載置台（１８）を下降させて、載置台（１８）
とテープキャリヤ■を非接触状態とした後に、テープキ
ャリヤ（２）を所定量だけ送り方向（１４）にピッチ送
りする。検査を終了したＩＣチップ（イ）は、検査結果
に基づいて、不良と判定された場合、マーキング装！１
１（１９）でマークを付加する。

上記のようにＩＣチップ（イ）を装着したテープキャリ
ヤ■を検査中、プローブ針（１７）と電極端子■の接続
検査を行なう前に、予めＩＣチップ（イ）やテープキャ
リヤ■に付着したゴミや帯電している静電気を取り除く
。まず、エア供給装置（２０）から清浄されたクリーン
なエアを、エア中に含まれている例えば酸素をイオン化
するイオナイザ（２１）に供給する。ここで、このイオ
ナイザ（２１）の図示しない対向電極間に高電圧を印加
し、このことにより、供給されたエアのうち酸素をイオ
ン化する。このイオン化した酸素を含んだエアガスをイ
オナイザ（２１）からエアノズル（２２）までチューブ
（２３）を介して供給する。この間、カートリッジフィ
ルタ（２４）によりエア中に含まれている塵等のゴミは
、はぼ完全に除去される。上記ゴミ等を含まずイオン化
した酸素を含んだエアを、エアノズル（２２）からＩＣ
チップ（イ）を装着したテープキャリヤ■に吹きつける
。この吹きつけたエアにより、付着していたゴミは除去
され、又、帯電していた静電気は、イオン化した酸素に
より電気的に中和されゼロ荷電となり取り除かれる。こ
こで、エアノズル（２２）から吹きつけたエアおよび吹
きつけたエアにより取り除かれた塵等のゴミは、バキュ
ーム装置（２６）により排出口（２５）から建屋外に排
出する。

上述したように、プローブ体とテープキャリヤの電極端
子を接続してＩＣチップの電気特性を検査する際、予め
ＩＣチップおよびテープキャリヤにエアを吹きつけると
、Ｗｉ等のゴミの付着物は取り除かれ、又、エアにイオ
ン化した例えば酸素を含ませると、帯電している静電気
を中和でき、正確な検査が可能となる。

この発明は上記実施例に限定されるものではなく、ＩＣ
チップやテープキャリヤにエアを吹き付ける位置は何れ
の場所でも良く、例えばプローブ体とテープキャリヤの
電極端子の接続位置で吹きつけても良く、又吹きつける
エアは検査中随時吹きつけていても良く、断続的に所定
時間毎に吹きつけても良く、接触検査後のテープキャリ
ヤに吹きつけて静電気防止を行なっても良い、又、ＩＣ
チップやテープキャリヤに帯電している静電気を取り除
く場合、エアに含ませるものはイオン化した酸素に限定
されるものではなく、静電気を除去可能なものなら何れ
でも良い。さらに、酸素をイオン化する場合、イオナイ
ザに限定されるものではなく、針状電極とリング状電極
の間に高電圧パルスを加え、プラスとマイナスの酸素イ
オンを作り出しても良く、コロナ放電やグロー放電を利
用してイオン化した酸素を作り出しても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例におけるプローブ装置の
要部説明図、第２図は第１図のエア吹きつけを説明する
ための構成図、第３図は第１図のプローブ装置の全体図
、第４図は第１図で検査されるＩＣチップを装着したテ
ープキャリヤの図である。 ２・・・テープキャリヤ　　４・・・ＩＣチップ２０・
・・エア供給袋＠２１・・・イオナイザ２２・・・エア
ノズル　　　　２３・・・チューブ２５・・・排出口 特許出願人　東京エレクトロン株式会社第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣを装着したテープキャリヤの電極端子にプロ
   ーブ体を接続して上記ＩＣの電気特性を検査するに際し
   、予めテープキャリヤにイオンを含むエアを吹きつけた
   状態で検査することを特徴とするテープキャリヤの検査
   方法。
2. （２）テープキャリヤに吹きつけるエアは、酸素イオン
   を含むガスであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のテープキャリヤの検査方法。