JPH01169972A - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
光起電力装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH01169972A JPH01169972A JP62328550A JP32855087A JPH01169972A JP H01169972 A JPH01169972 A JP H01169972A JP 62328550 A JP62328550 A JP 62328550A JP 32855087 A JP32855087 A JP 32855087A JP H01169972 A JPH01169972 A JP H01169972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- film layer
- compound semiconductor
- photovoltaic device
- paste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 27
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 claims description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Se].[Se].[In] Chemical group [Cu].[Se].[Se].[In] KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N indium silver Chemical compound [Ag].[In] YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- HVMJUDPAXRRVQO-UHFFFAOYSA-N copper indium Chemical compound [Cu].[In] HVMJUDPAXRRVQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- -1 etc. Chemical compound 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/543—Solar cells from Group II-VI materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光起電力装置、とくに太陽電池の製造性に関す
るものである。
るものである。
太陽電池は、現在石油の代替エネルギーとして積極的な
研究開発が展開されている。その中で原材料費が低く、
大量生産が可能な太陽電池として、化合物半導体太陽電
池が最近脚光をあびており、その中で、特にi −vt
族化合物半導体太陽電池は、シリコン単結晶太陽電池に
比べて原材料コストが低く、低コスト太陽電池として、
アモルファス太陽電池とともに有望視されている。I
−Vl族化合物半導体のなかで、特にCdTeは、It
−Vl族化合物半導体中唯一のP、n両方の電気伝導を
示す半導体で、太陽光の吸収材料として、最適に近い禁
制帯幅1.4415Vをもち直接遷移型である。このた
め吸収端より短波長で吸収係数は急激に増大するため、
太陽光を十分吸収するのに厚さが10μあればよく、低
コスト化をする上で適した特性を有している。
研究開発が展開されている。その中で原材料費が低く、
大量生産が可能な太陽電池として、化合物半導体太陽電
池が最近脚光をあびており、その中で、特にi −vt
族化合物半導体太陽電池は、シリコン単結晶太陽電池に
比べて原材料コストが低く、低コスト太陽電池として、
アモルファス太陽電池とともに有望視されている。I
−Vl族化合物半導体のなかで、特にCdTeは、It
−Vl族化合物半導体中唯一のP、n両方の電気伝導を
示す半導体で、太陽光の吸収材料として、最適に近い禁
制帯幅1.4415Vをもち直接遷移型である。このた
め吸収端より短波長で吸収係数は急激に増大するため、
太陽光を十分吸収するのに厚さが10μあればよく、低
コスト化をする上で適した特性を有している。
従来の技術
化合物半導体を用いた光起電力装置においては、一般的
にn型半導体である化合物層と、P型半導体である化合
物層との接合により、光起電力を生じる構造を有してい
る。現在、化合物半導体太陽電池としては、n型半導体
としてcds 、 p型半導体としてCdTeを用いた
ものや、P型半導体としてCu In Se2 を用い
たものが作成されている。
にn型半導体である化合物層と、P型半導体である化合
物層との接合により、光起電力を生じる構造を有してい
る。現在、化合物半導体太陽電池としては、n型半導体
としてcds 、 p型半導体としてCdTeを用いた
ものや、P型半導体としてCu In Se2 を用い
たものが作成されている。
これらを太陽電池として実用化するためには、P型半導
体、n型半導体から、それぞれ電流を覗り出すための電
極を形成する必要がある。一般的に、半導体上に電極を
形成することは、化合物半導体とオーミックな接触を得
ることが必要であるという点から考えて、現在の技術水
準から見ても高度な技術を要する。現在用いられている
電極材料は、P型半導体上へは、カーボン、白金、金。
体、n型半導体から、それぞれ電流を覗り出すための電
極を形成する必要がある。一般的に、半導体上に電極を
形成することは、化合物半導体とオーミックな接触を得
ることが必要であるという点から考えて、現在の技術水
準から見ても高度な技術を要する。現在用いられている
電極材料は、P型半導体上へは、カーボン、白金、金。
銅等が、又n型半導体上へは、銀、インジウム。
ガリウム等がある。特に、P型半導体上への電極形成は
、カーボンを塗布後、400〜460℃で焼成する方法
や、銅メ・フキをする方法等がとられているが、安価に
、しかも安定した電極性能を有するものは、まだ開発さ
れていない。カーボン材料を用いたものは、一部実用化
されており、第2図にその断面構造を示した。図中1は
ガラス基板、2はCdS層、3はCdTe層、4はカー
ボン電極層、6は銀電極層、6は銀インジウム電極層を
示す。
、カーボンを塗布後、400〜460℃で焼成する方法
や、銅メ・フキをする方法等がとられているが、安価に
、しかも安定した電極性能を有するものは、まだ開発さ
れていない。カーボン材料を用いたものは、一部実用化
されており、第2図にその断面構造を示した。図中1は
ガラス基板、2はCdS層、3はCdTe層、4はカー
ボン電極層、6は銀電極層、6は銀インジウム電極層を
示す。
発明が解決しようとする問題点
カーボン材料を用いる方法は、400〜450℃の高温
域で、しかも酸素濃度をコントロールしながら焼成する
ことが必要であり、またさらにカーボン膜自体の機械的
強度が弱く、シかも面抵抗が高いため、カーボン膜上に
銀ペーストを塗布し、銀電極を形成することが必要であ
るなど材料費用、生産費用、生産安定性の面で問題が多
い。
域で、しかも酸素濃度をコントロールしながら焼成する
ことが必要であり、またさらにカーボン膜自体の機械的
強度が弱く、シかも面抵抗が高いため、カーボン膜上に
銀ペーストを塗布し、銀電極を形成することが必要であ
るなど材料費用、生産費用、生産安定性の面で問題が多
い。
また、カーボン材料は、Cd3層2とオーミック接触が
得られないため、第2図に示す様に、Cd3層2上に形
成する陰電極は、銀インジウム電極等の高価な金属を用
いた電極が必ず必要であった。
得られないため、第2図に示す様に、Cd3層2上に形
成する陰電極は、銀インジウム電極等の高価な金属を用
いた電極が必ず必要であった。
問題点を解決するための手段
本発明は、従来の問題点を解決すべく、化合物半導体表
面に銅を主として含有する樹脂ペーストを塗布し、25
0’C以下の温度で乾燥を行い、化合物半導体太陽電池
の陽電極又は陽陰画電極を形成することにより、低温で
オーミックな接触を得られる電極を提供することを主た
る特徴とする。
面に銅を主として含有する樹脂ペーストを塗布し、25
0’C以下の温度で乾燥を行い、化合物半導体太陽電池
の陽電極又は陽陰画電極を形成することにより、低温で
オーミックな接触を得られる電極を提供することを主た
る特徴とする。
作用
本発明の製造方法によって形成した化合物半導体太陽電
池の電極は、低温で乾燥するだけで形成できるため、き
わめて製造コストが低くなり、材料コストも、金、銀、
インジウム、ガリウム等に比較すると低いため、低価格
の光起電力装置が作成できるようになった。
池の電極は、低温で乾燥するだけで形成できるため、き
わめて製造コストが低くなり、材料コストも、金、銀、
インジウム、ガリウム等に比較すると低いため、低価格
の光起電力装置が作成できるようになった。
実施例
本発明の製造方法による光起電力装置の断面構造を第1
図に示した。図中1はガラス基板、2は063層、3は
ca’re層、7は銅電極層、8は銅インジウム又は銀
インジウム電極層を示す。この中で、2はCaS 以外
にもn型半導体性を示す化合物であればよく、3につい
てもP型半導体性を示す化合物であればよい。特に3に
ついては、CuInSe2 であってもすぐれた光電変
換特性が得られる。
図に示した。図中1はガラス基板、2は063層、3は
ca’re層、7は銅電極層、8は銅インジウム又は銀
インジウム電極層を示す。この中で、2はCaS 以外
にもn型半導体性を示す化合物であればよく、3につい
てもP型半導体性を示す化合物であればよい。特に3に
ついては、CuInSe2 であってもすぐれた光電変
換特性が得られる。
Cd3層2、CdTe層3を形成後、銅ペーストをCl
ITe層3上に塗布し、1oO〜250℃の温度で乾燥
させる。乾燥温度は、銅ペースト中の樹脂又はガラスバ
インダーの耐熱性により、前記の温度範囲内で自由に変
えることが可能である。乾燥処理後、常温まで冷却し、
光電変換特性を測定、評価する。
ITe層3上に塗布し、1oO〜250℃の温度で乾燥
させる。乾燥温度は、銅ペースト中の樹脂又はガラスバ
インダーの耐熱性により、前記の温度範囲内で自由に変
えることが可能である。乾燥処理後、常温まで冷却し、
光電変換特性を測定、評価する。
第1図中の3が、銅インジウムセレナイド(CuIn5
e2)又は銅、インジウム、セレンおよびそれらの元素
を含む化合物よりなる化合物半導体により形成された膜
層であっても、テルル化カドミウムもしくはカドミウム
、テルルを含む化合物より形成された膜層のものとほぼ
同等の光電変換特性を得ることができる。
e2)又は銅、インジウム、セレンおよびそれらの元素
を含む化合物よりなる化合物半導体により形成された膜
層であっても、テルル化カドミウムもしくはカドミウム
、テルルを含む化合物より形成された膜層のものとほぼ
同等の光電変換特性を得ることができる。
銅ペーストの塗布後の乾燥温度は、コントロールが容易
で半導体膜層への熱ダメージの生じない250°C以下
が望ましい。250℃以上の温度での処理が必要な場合
は、耐熱性のあるフッ素系樹脂とガラスバインダーとを
使用すればよい。
で半導体膜層への熱ダメージの生じない250°C以下
が望ましい。250℃以上の温度での処理が必要な場合
は、耐熱性のあるフッ素系樹脂とガラスバインダーとを
使用すればよい。
銅ペーストの乾燥は、遠赤外線ヒータを用いてもよく、
極めて短時間に乾燥できる利点がある。
極めて短時間に乾燥できる利点がある。
また、銅ペーストを用いることにより、銅ペースト中の
銅がP型半導体層、又は両性型半導体層のP性を高め、
裏面電界効果により、従来のカーボン電極と比較して光
電変換特性の開放電圧v0゜が、1セル当り螢光灯20
01ux下では0.45 Vであったものが、o、60
vとなり、約10係の電圧向上効果が得られた。
銅がP型半導体層、又は両性型半導体層のP性を高め、
裏面電界効果により、従来のカーボン電極と比較して光
電変換特性の開放電圧v0゜が、1セル当り螢光灯20
01ux下では0.45 Vであったものが、o、60
vとなり、約10係の電圧向上効果が得られた。
第1図に示す様に、n型半導体CdS 層2上の陰電極
8は、本発明による銅ペースト、又は銅ペーストにイン
ジウムを加えたものを塗布、乾燥させて形成するか、又
は銀ペーストにインジウムを加えたものを塗布、乾燥さ
せて形成させてもよい。
8は、本発明による銅ペースト、又は銅ペーストにイン
ジウムを加えたものを塗布、乾燥させて形成するか、又
は銀ペーストにインジウムを加えたものを塗布、乾燥さ
せて形成させてもよい。
発明の効果
本発明の製造方法による光起電力装置は、つぎの様な数
多くの利点を有している。
多くの利点を有している。
(1)ペースト中の導電物質として銅又は銅化合物を主
として用いるため、銀、白金、金、インジウム、ガリウ
ム等を用い、たものに比べて材料費用が安い。
として用いるため、銀、白金、金、インジウム、ガリウ
ム等を用い、たものに比べて材料費用が安い。
(2)銅を主体としたペーストを塗布、乾燥するだけで
電極を形成することができ、又乾燥温度も250°C以
下の低温度であるだめ、従来のカーボン電極では400
〜450’Cで焼成する必要があったのに比べて、約捧
の低温でこと足り、光起電力装置の製造費用が大幅に安
価となった。
電極を形成することができ、又乾燥温度も250°C以
下の低温度であるだめ、従来のカーボン電極では400
〜450’Cで焼成する必要があったのに比べて、約捧
の低温でこと足り、光起電力装置の製造費用が大幅に安
価となった。
(3)銅ペーストを用いることにより、銅ペースト中の
銅が、P型半導体又は両性型半導体層のP性を高め、裏
面電界効果により、従来のカーボン電極と比較して、光
電変換特性の開放電圧v0゜が、約10チ向上した。
銅が、P型半導体又は両性型半導体層のP性を高め、裏
面電界効果により、従来のカーボン電極と比較して、光
電変換特性の開放電圧v0゜が、約10チ向上した。
第1図は本発明の製造方法による光起電力装置の断面構
造図、第2図は従来の光起電力装置の断面構造図である
。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・CdS 層
、3・・・・・・CdTe層、4・・・・・・カーボン
電極層、6・・・・・・銀電極層、6・・・・・・銀イ
ンジウム電極層、7・・・・・・銅電極層、8・・・・
・・銅インジウム電極層又は銀インジウム電極層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名l−
一方゛ラス基孜 第2図
造図、第2図は従来の光起電力装置の断面構造図である
。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・CdS 層
、3・・・・・・CdTe層、4・・・・・・カーボン
電極層、6・・・・・・銀電極層、6・・・・・・銀イ
ンジウム電極層、7・・・・・・銅電極層、8・・・・
・・銅インジウム電極層又は銀インジウム電極層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名l−
一方゛ラス基孜 第2図
Claims (4)
- (1)P又はNいずれかの導電型の化合物半導体物質か
らなる第1の膜層上に、前記導電型とは反対の導電型を
有する化合物半導体層を第2の膜層として形成させ、第
1の膜層と第2の膜層上にそれぞれ電極を形成するに際
し、陽電極又は陽、陰画電極が、銅又は銅化合物を主と
して含有する樹脂ペーストを塗布し、250℃以下の温
度で乾燥させることによって形成することを特徴とする
光起電力装置の製造方法。 - (2)ペーストの乾燥を、遠赤外線の照射によって行う
特許請求の範囲第1項記載の光起電力装置の製造方法。 - (3)第1の膜層が、硫化カドミウムもしくはイオウ、
カドミウムを含む化合物半導体からなり、第2の膜層が
テルル化カドミウムもしくはカドミウム、テルルを含む
化合物半導体により形成されている特許請求の範囲第1
項記載の光起電力装置の製造方法。 - (4)第2の膜層が、銅インジウムセレナイド又は銅、
インジウム、セレンおよびそれらの元素を含む化合物よ
りなる化合物半導体により形成されている特許請求の範
囲第1項記載の光起電力装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62328550A JPH01169972A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 光起電力装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62328550A JPH01169972A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 光起電力装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01169972A true JPH01169972A (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=18211531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62328550A Pending JPH01169972A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 光起電力装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01169972A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53102930A (en) * | 1977-02-21 | 1978-09-07 | Murata Manufacturing Co | Conducting paint |
JPS5682855A (en) * | 1979-12-11 | 1981-07-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Conductive paint |
JPS61136276A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-24 | シーメンス ソーラー インダストリーズ,エル.ピー. | 薄膜光起電力デバイス |
JPS62203385A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池 |
JPS62270675A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-11-25 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 電子線硬化型導電性ペ−スト |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP62328550A patent/JPH01169972A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53102930A (en) * | 1977-02-21 | 1978-09-07 | Murata Manufacturing Co | Conducting paint |
JPS5682855A (en) * | 1979-12-11 | 1981-07-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Conductive paint |
JPS61136276A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-24 | シーメンス ソーラー インダストリーズ,エル.ピー. | 薄膜光起電力デバイス |
JPS62270675A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-11-25 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 電子線硬化型導電性ペ−スト |
JPS62203385A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4239553A (en) | Thin film photovoltaic cells having increased durability and operating life and method for making same | |
CA1067609A (en) | Barrier type photovoltaic cells with enhanced open-circuit voltage, and process of manufacture | |
JPH08500210A (ja) | 光電池とその製造方法 | |
JPS6327067A (ja) | 接着セルを用いるマルチプルセル2端子光電池デバイス | |
JPH04233772A (ja) | 黄銅鉱太陽電池の製造方法 | |
JPS59175165A (ja) | 薄膜ヘテロ接合光起電力電池及びその製法 | |
JPH08500209A (ja) | 薄膜CdS層を備えた光電池 | |
US9691927B2 (en) | Solar cell apparatus and method of fabricating the same | |
US4612559A (en) | Solar cell of amorphous silicon | |
JPS5832476B2 (ja) | 光電池及びその製造方法 | |
US3568306A (en) | Method of making photovoltaic device by electroplating | |
JP2583933B2 (ja) | 光起電力装置の製造法 | |
JP3606886B2 (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JPH01169972A (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
USRE30412E (en) | CdTe Barrier type photovoltaic cells with enhanced open-circuit voltage, and process of manufacture | |
JP2523734B2 (ja) | 光起電力装置の製造法 | |
JPH06283738A (ja) | 光起電力装置 | |
JPH01169971A (ja) | 光起電力装置の製造法 | |
JPH01168071A (ja) | 光起電力装置の製造法 | |
Khrypunov et al. | Development of back and front contacts for CdTe layer in tandem flexible photoelectric converters on basis of CdTe/CuInSe2 | |
JPH09148597A (ja) | 太陽電池の製造法 | |
JP3077574B2 (ja) | 光電変換素子 | |
Ramrakhiani | Zinc doped polycrystalline CdSe films for solar energy conversion | |
JP3133449B2 (ja) | 太陽電池 | |
JPH0216776A (ja) | 太陽電池の製造方法 |