JPH01159474A - クライオポンプの予冷制御方法 - Google Patents
クライオポンプの予冷制御方法Info
- Publication number
- JPH01159474A JPH01159474A JP31628687A JP31628687A JPH01159474A JP H01159474 A JPH01159474 A JP H01159474A JP 31628687 A JP31628687 A JP 31628687A JP 31628687 A JP31628687 A JP 31628687A JP H01159474 A JPH01159474 A JP H01159474A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- temperature
- pumps
- regulating valves
- cryopumps
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title abstract description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 abstract description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000005514 two-phase flow Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/002—Gas cycle refrigeration machines with parallel working cold producing expansion devices in one circuit
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクライオポンプの予冷制御方法に係り、特に並
列運転する複数のクライオポンプを均一に予冷するのに
好適なりライオポンプの予冷制御方法に関する。
列運転する複数のクライオポンプを均一に予冷するのに
好適なりライオポンプの予冷制御方法に関する。
従来のクライオポンプの予冷制御例を第2図に示す。該
図の如く、複数のクライオポンプla。
図の如く、複数のクライオポンプla。
1bの常温から低温までの予冷時、複数のクライオポン
プla、lbを同速度で効率良く冷却しようとする場合
、低温で、かつ、気液2相流を測定出来る流量計がない
ため、圧力検出器8a、8bの圧力で流量調整弁2a、
2bの制御を行なって繊 いた。7はヘリウム冷凍材である。尚、この種のものに
関連するものとしては、例えば特開昭59−47615
号公報がある。
プla、lbを同速度で効率良く冷却しようとする場合
、低温で、かつ、気液2相流を測定出来る流量計がない
ため、圧力検出器8a、8bの圧力で流量調整弁2a、
2bの制御を行なって繊 いた。7はヘリウム冷凍材である。尚、この種のものに
関連するものとしては、例えば特開昭59−47615
号公報がある。
このため従来の圧力制御では、気液2相流のため、複数
のクライオポンプla、lb間で同速度の冷却が出来な
かった。
のクライオポンプla、lb間で同速度の冷却が出来な
かった。
本発明は上述の点に鑑み成されたもので、その目的とす
るところは、複数のクライオポンプを同速度で効率良く
予冷出来るクライオポンプの予冷制御方法を提供するに
ある。
るところは、複数のクライオポンプを同速度で効率良く
予冷出来るクライオポンプの予冷制御方法を提供するに
ある。
本発明は流量調整弁の開度を予冷時の常温から、低温ま
で変化す温度において、流量調整弁の特性から流量一定
となる関数で制御を行なうことにより所期の目的を達成
するように成したものである。
で変化す温度において、流量調整弁の特性から流量一定
となる関数で制御を行なうことにより所期の目的を達成
するように成したものである。
上記方法によれば、並列運転する複数個のクライオポン
プに均一に冷媒が供給され、同速度で効率良く複数個の
クライオポンプを予冷できる。
プに均一に冷媒が供給され、同速度で効率良く複数個の
クライオポンプを予冷できる。
以下1図面の実施例に基づいて本発明を説明する。尚、
符号は従来と同一のものは同符号を使用する。
符号は従来と同一のものは同符号を使用する。
第1図に本発明の一実施例を示す。該図に示すように、
本実施例では流量調整弁2a、2bを流れる冷媒の温度
を温度検出器3a、3bで測定し、流量調整弁2a、2
bの特性により定まる温度に対して、流量一定となる関
数を関数発生器5a。
本実施例では流量調整弁2a、2bを流れる冷媒の温度
を温度検出器3a、3bで測定し、流量調整弁2a、2
bの特性により定まる温度に対して、流量一定となる関
数を関数発生器5a。
5bで発生する。また、被冷却体であるクライオポンプ
la、lbの温度検出器4a、4bで測定した温度の平
均値を求め、クライオポンプla。
la、lbの温度検出器4a、4bで測定した温度の平
均値を求め、クライオポンプla。
1bとの各々の平均値との温度偏差により関数を補正し
、流量調整弁2a、2bの開度制御を行なう。本実施例
によれば複数のクライオポンプla。
、流量調整弁2a、2bの開度制御を行なう。本実施例
によれば複数のクライオポンプla。
1bは同速度で効率良く予冷出来る効果がある。
他の実施例として、クライオポンプの台数にかかわらず
、また、制御部を計算機で行なっても同等の効果がある
。
、また、制御部を計算機で行なっても同等の効果がある
。
本発明によれば、並列運転する複数個のクライオポンプ
に均一に冷媒を供給出来るので、同速度で効率良く複数
個のクライオポンプを予冷出来る効果がある。
に均一に冷媒を供給出来るので、同速度で効率良く複数
個のクライオポンプを予冷出来る効果がある。
第1図は本発明のクライオポンプの予冷制御方法の一実
施例を示すブロック図、第2図は従来の制御方法を示す
ブロック図である。 la、lb・・・クライオパネル、2a、2b・・・流
量調整弁、3 a 、 3 b 、 4 a 、 4
b−温度検出器、5a、5b・・・関数発生器、6a、
6b・・・演算器。 7・・・ヘリウム冷凍機、8a、8b・・・圧力検出器
。
施例を示すブロック図、第2図は従来の制御方法を示す
ブロック図である。 la、lb・・・クライオパネル、2a、2b・・・流
量調整弁、3 a 、 3 b 、 4 a 、 4
b−温度検出器、5a、5b・・・関数発生器、6a、
6b・・・演算器。 7・・・ヘリウム冷凍機、8a、8b・・・圧力検出器
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、冷凍装置より冷却ガス、または液化ガス、または冷
却ガスと液化ガスの混合物を、複数のクライオポンプに
並列に供給するシステムにおいて、前記クライオポンプ
の入口に設けた流量調整弁開度を、該流量調整弁の特性
により定まる温度に対して流量一定となる関数で制御す
ることを特徴とするクライオポンプの予冷制御方法。 2、前記クライオポンプの温度と複数個のクライオポン
プの温度平均値からの偏差で流量一定となる関数を補正
することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のクラ
イオポンプの予冷制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31628687A JPH07107387B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | クライオポンプの予冷制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31628687A JPH07107387B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | クライオポンプの予冷制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01159474A true JPH01159474A (ja) | 1989-06-22 |
JPH07107387B2 JPH07107387B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=18075415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31628687A Expired - Fee Related JPH07107387B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | クライオポンプの予冷制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07107387B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08150333A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Nippon Denki Factory Eng Kk | 真空装置 |
FR2838813A1 (fr) * | 2001-07-20 | 2003-10-24 | Helix Tech Corp | Procede de distribution d'helium |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP31628687A patent/JPH07107387B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08150333A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Nippon Denki Factory Eng Kk | 真空装置 |
FR2838813A1 (fr) * | 2001-07-20 | 2003-10-24 | Helix Tech Corp | Procede de distribution d'helium |
US7127901B2 (en) | 2001-07-20 | 2006-10-31 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US7788942B2 (en) | 2001-07-20 | 2010-09-07 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US8261562B2 (en) | 2001-07-20 | 2012-09-11 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US8869552B2 (en) | 2001-07-20 | 2014-10-28 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US9334859B2 (en) | 2001-07-20 | 2016-05-10 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US10288052B2 (en) | 2001-07-20 | 2019-05-14 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07107387B2 (ja) | 1995-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7555911B2 (en) | Cryogenic refrigerator | |
US10588246B2 (en) | Systems and associated methods for controllably cooling computer components | |
US20130129528A1 (en) | Compressor-Expander Set Critical Speed Avoidance | |
WO2010051198A2 (en) | Control of multiple zone refrigerant vapor compression systems | |
JP6254943B2 (ja) | 極低温システムの制御装置及び方法 | |
MXPA03008159A (es) | Metodo para controlar un refrigerador de compartimiento de enfriamiento multiple, y refrigerador que utiliza tal metodo. | |
JP2004003792A (ja) | 極低温冷凍機 | |
JPH01159474A (ja) | クライオポンプの予冷制御方法 | |
JP2004085048A (ja) | 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 | |
JP3658911B2 (ja) | ショーケース冷却装置 | |
JPH06174316A (ja) | 冷水供給装置 | |
JPH0315676A (ja) | マルチ式極低温冷凍機 | |
JPH01269875A (ja) | 液化冷凍装置の液化制御方法および装置 | |
JP2873388B2 (ja) | 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法 | |
JPH02279965A (ja) | 冷凍気化機の作動を最大限に活用する方法 | |
JPS61268972A (ja) | ヘリウム液化・冷凍装置の運転制御方法 | |
JP2793074B2 (ja) | タービン式膨張機の運転制御方法及び装置 | |
GB2463033A (en) | Method of operating a cryogenic refrigerator with multiple refrigeration stages | |
KR20220164842A (ko) | 극저온 펌프 시스템 및 극저온 펌프 시스템 제어방법 | |
JPH05322344A (ja) | 冷凍装置におけるタービン式膨張機の運転状態制御方法及び装置 | |
JPH06323663A (ja) | 冷凍装置 | |
JPH0428966A (ja) | 冷凍装置 | |
JPS62106261A (ja) | 冷凍装置 | |
JPH04350431A (ja) | 空調設備における冷水系制御方法 | |
JPH01150756A (ja) | 極低温冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |