JPH01154308A

JPH01154308A - 磁気ヘッドのギャップ用絶縁材の製造方法

Info

Publication number: JPH01154308A
Application number: JP62312649A
Authority: JP
Inventors: Kunio Suzuki; 鈴木　国雄; Masayuki Takamura; 昌幸高村; Tadashi Kubono; 忠窪野
Original assignee: Yamaha Corp
Current assignee: Yamaha Corp
Priority date: 1987-12-09
Filing date: 1987-12-09
Publication date: 1989-06-16
Also published as: US4884623A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は磁気ヘッドのギャップ用絶縁材の製造方法に関
し、基板の上に非磁性材料を生長させた後基板を除去し
て薄い磁気へラドギャップ（才を作製することにより、
その板厚の制御が簡単で、精度の高い絶縁材を得ること
を可能にしたものである。

［従来の技術］一般にヘッド素子はギャップのあるリング状のコアと、
これに巻かれたコイルとからなり、ステレオの場合は、
２制のヘッド素子がコアホルダで保持され、シールドケ
ースに収納されている。このギャップの形成は、パーマ
ロイやセンダスト・＼ラドの場合、左右それぞれのコア
の突合せ面を研暦、ラップ仕上げした後、厚さ数ミクロ
ンの非磁性膜（ベリリウム鋼）を左右コアで挟みつける
。

また、フェライトヘッドの場合は、コア形状をした左右
ブロックの間にガラスの薄膜を挟んで数１００度に熱し
、ガラスとフェライトとの化学結合によってギャップを
形成している。

従来の磁気ヘッドのギャップ用絶縁材の製造方法として
は、例えば圧延等の方法が採用されていすなわち、薄い
磁気ヘッド用のキャップ形成材：よ通常の板材と同しく
圧延等によって製造されていたのである。

［発明か解決しようとする問題点］し・かじながら、このような従来の磁気ヘッドのギャッ
プ用絶縁材の製造方法にあっては、板厚の制御が難しい
ため、その板厚の精度かてない、例えば１．５μｍの厚
さの薄い板を作るためにはその十才質コこ限忠が生して
いた、あるいは、極めて薄い箔となるため製造に手間が
かかるという問題点かあった。

そこで、本発明は、薄い板を高精度にしかも簡単に製造
することができろ製造方法を得ることをその目的として
いる。

［問題点を解決するための手段］本発明は、　（１）酸またはアルカリに溶解する金属の
薄板を用意する工程と、　（２）所定パターンに形成し
たマスクを該薄板上に配設ずろ工程と、（３）このマス
クの上方から１板上に非磁性金属を積層ずろ工程と、　
（４）このマスクを薄（７ソから剥離して除去する工程
と、　（５）上記薄板を酸またこよアルカリによって溶
解して除去する工程と、を備えた磁気ヘッドのギャップ
用絶縁材の製造方ｌ去を提１具するものである。

［作用コ本発明に係る８ｉ気ヘツドのギヤツブ用紙’ｆｖｌ’ｒ
Ｋの製造方法にあっては、金属製薄板を基板として使用
する。この薄板としては、例えば銅、ニッケル、アルミ
ニウム等の金属が使用されている。このような金属を使
用するのは、加工がある程度容易であって、また、これ
らの金属は酸またはアルカリによ）て溶解するものだか
らである。

次に、基板表面を洗浄後、所定のパターン、例えば２ミ
リ×４ミリの窓を複数個開口して形成したマスクを、こ
の基板上に密着させて配設する。

この場合、マスクとしてはエマルションマスク、ハート
マスクが用いられ、その厚さは任意とする。

次に、このマスクの上方から薄板上に非磁性金属を積層
する。例えは真空蒸着法、イオン蒸着法、ＣＶＤ法、ス
パッタリング法等の気相生長法により非磁性金属の薄膜
を所定の厚さに積層、形成する。この非磁性金属として
はチタン、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、
及び、それらの合金があり、非磁性体で、かつ、ヘッド
コア材よりも軟らかく、さらに、酸またはアルカリに対
して上記薄板とは異なって溶解しない材料を使用してい
る。そして、この場合、非磁性金属は０．５〜３、−Ｏ
ｌｉ’ｒｎの厚さに積層させるものである。

次に、このマスクを薄板から剥離して除去する。

この結果、マスク上に積層された非磁性金属の薄膜は薄
板からマスクと共に除去されることとなり、基板上には
所定パターンの非磁性金属の薄膜が残ることとなる。

そして、この薄膜を酸またはアルカリによって溶解して
除去する。その結果、所望の厚さに積層した所望の形状
、大きざの非磁性金属からなる１膜が磁気ヘッドのギャ
ップ用絶縁材として得られるものである。

［効果コ以上説明してきたように、本発明によれは、ギャップ用
絶縁材について、板厚の制御が簡単；こなり、高精度の
板厚の絶ｋｌ　仮を得ることができる。

また、磁気ヘッドのギャップ材に適した材質のものを任
意に選ぶことができる。さらに、本発明方法にあっては
、薄い板厚の板を簡単に製作することができる。

［実施例コ以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第ユｊロ虻別第１図（ａ）、　　（ｂ）に示すように、まず、製造用
補助材としての所定厚さの矩形の金属製薄板１を準備す
る。

すなわち、この基板１としては酸あるいはアルカリによ
るエツチングによって溶解可能な材料である銅、アルミ
ニウム、ニッケル等からなる厚さ０．０３〜０．０５粍
の薄板１を準備する。このように金属製としたのはエツ
チング液に溶解するまた、同じく製造用補助材として基
板１と同形のマスク３を作製する。この場合、マスク３
の厚さは後述する絶縁材としての薄膜の膜厚とは無関係
であり、子息の厚さとしている。また、このマスク３は
絶縁材として形成される薄膜の気相成長時の加熱に耐え
ることができるものとし、金属あるいはセラミックによ
って形成しである。さらに、このマスク３には所定のパ
ターンの複数の窓（開口部）５が形成しである。例えば
、２ミリ×４ミリの矩形の志５が多数形成しである。

次に、第２図（ａ）、　　（ｂ）に示すように、基板１
の表面を洗浄した後、このマスク３を該基板１の表面上
に密着して載置する。この結果、基板１の表面はその一
部が格子状のマスク３に覆われ、残りの部分は矩形の窓
５を介して露出している。

次に、第３図（ａ）、　　（ｂ）に示すように、このマ
スク３の上から真空蒸着法により蒸着物質である例えば
チタンを真空状態で加熱してこの基板１上に被着させる
。この場合、その加熱条件などを制御することにより、
非磁性体の薄膜７を所定の厚さ、例えば２．０ミリに積
層させる。

次いて、第４図（ａ）、　　（ｂ）に示すように、マス
ク３を基板１上から剥離して除去する。その結果、マス
ク３と共にその上に被着した絶縁薄膜７の一部が格子状
に剥がれ、上記窓５に対応した大きさの複数の矩形の薄
膜７が基板１上に形成されることになる。

そして、この後、所定の酸またはアルカリを用いてエツ
チングすることにより、基板１を溶解する。この結果、
第５図（ａＬ　　（ｂ）において示すように、所望の厚
さ例えば１．５０μｍの均一な厚さの矩形の薄膜７が一
時に多数形成されることとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の磁気ヘッドのギャップ用絶縁
材の製造方法の第１実施例に係る各工程を示すものであ
り、第１図（ａ）は最初の工程を示す基板の断面図、第１図
（ｂ）は同工程におけるその基板の平面図、第２図（ａ）は次の工程を示すマスク及び基板の断面図
、第２図（ｂ）は同工程におけるそのマスク及び基板の平
面図、第３図（ａ）は次の工程における薄膜を被着した状態の
基板を示すその断面図、第３図（ｂ）は同工程における薄膜を被着した基板の平
面図、第４図（ａ）は次の工程における薄膜を被着した状態の
基板を示すその断面図、第４図（ｂ）は同工程におけるその薄膜を被着した基板
の平面図、第５図（ａ）は最後の工程における１膜の状態を示すそ
の断面図、第５図（ｂ）は同工程におけろ薄膜を示すその平面図で
ある。１・・・・・・・・・・・基板、３・・・・・・・・・・・マスク、７・・・・・・・・・・・薄膜。特許出願人　　　　　　ヤマハ株式会社代理人　　　　
　弁理士　　県外　清−・　　、ど、　１（ａ）第１実施脅りの断面図（ｂ）第１実枦ｊの平面図第１図（ａ）第１実施例の断面図（ｂ）第１実施伸ｊの平面図第２図（ａ）第１実施例の断面図（ｂ）第１丈焦（りの平面図第３図第１実施例の断面図（ｂ）第１実旋脅ｊの平面図第４図ロロロロロに７（ａ）第１実施例の断面図１１実施例の平面図第Ｓ図手続補正書昭和６３年６月１０日　露

Claims

【特許請求の範囲】酸またはアルカリに溶解する金属の薄板を用意する工程
と、所定パターンに形成したマスクを該薄板上に配設する工
程と、このマスクの上方から薄板上に非磁性金属を積層する工
程と、このマスクを薄板から剥離して除去する工程と、上記薄
板を酸またはアルカリによつて溶解して除去する工程と
、を備えたことを特徴とする磁気ヘッドのギャップ用絶
縁材の製造方法。