JPH01146712A - モールドプレス装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は半導体素子搭載リードフレームのモールドプレ
ス装置に関する。

〈従来の技術） 半導体素子搭載リードフレームを樹脂モールドするモー
ルドプレス装置としては、第６図に示すトランスファ型
のモールドプレス装置８が用いられる。このモールドプ
レス装置８は、可動側プラテン８１の隅部にタイバー８
２を立設し、このタイバー８２上に固定側プラテン８３
か設けられる。又可動側プラテン８１上の下型８４と、
固定側プラテン８３上の上型８５とが対応した状態に設
けられる。そして制御台８６を制御して可動側プラテン
８１の下面に設けたシリンダ８７により可動側プラテン
８１を上昇させ、トランスファシリンダ８８により下型
８４と上型８５間にクランプされた半導体素子搭載り−
トフレームに対して樹脂を注入する。下型８４と上型８
５は通常ストローク空間りを持って対向しており、下型
８４はこのストローク空間りにおいて、先ず上昇開始時
には高速で上昇し、上型８５に近づくに従い減速させて
衝撃の少ないクランプ状態を確保する。その為ストロー
ク空間りが小さくなればなる程制御台８６の緩急制御回
路が複雑且つ大掛りとなる。

第７図は上記モールドプレス装置８を用いた樹脂封入工
程を示す平面図である。すなわちモールドプレス装置８
の左右若しくは前後には夫々投入部９１．ローディング
部９２．樹脂供給部９３．アウトローダ部９４が連設さ
れている。投入部９１では半導体素子を搭載したリード
フレームが供給され、ローディング９２を介してモール
ドプレス装置８の金型内に配置し、樹脂供給部９３から
のタブレット樹脂を金型のキャビティ部内に抑圧注入し
て樹脂モールドする。そして樹脂モールドされた上記フ
レームを取出し、アウトローダ部９４でカル分離及びサ
イドバリ取り等が行われる。

一方ｌサイクルの樹脂モールドが終了すると下型８４を
、別個配備した下型に交換し、下型８４の型内に残留し
た樹脂粉等を除去する。その交換工程は第８図（ａ）で
示す様に、先ずｌサイクルの樹脂モールドが終了した下
型８４からヒータや熱電対用等のコネクタを取外し、更
に型保持用の油圧クランプから開放して可動側プラテン
８１上から取外す。そしてリフター８８に載せる。通常
樹脂モールドが終了した直後の下型８４は加熱されてお
り、この加熱温が常温に下るまで取外しすることができ
ない。その為冷却等の待時間を要する。リフター８８に
載せた下型８４を同（ｂ）で示す如く金型置台８９まて
搬送し、金型置台８９上に置く。一方今型置台８９上に
は清浄された別の下型８４が用意されており、同（ｃ）
て示す如くこの下型８４をリフター８８に載せ、モール
ドプレス装置８まで搬入して同（ｄ）で示す如く可動側
プラテン８１上にクランプする。

そしてヒータ、熱電対用コネクタ等を接続して所定の温
度に加熱した後、前記と同様に樹脂モールドを行う。

〈発明が解決しようとする問題点） 上記の如く１つの上型の直下に１つの下型な対応させた
モールドプレス装置においては、下型に半導体素子搭載
リードフレームを配ｆｆ１ｔル為ニ必１、ストローク空
間りを必要とし、このストローク空間りの大きさによっ
ては上述した如く油圧回路が複雑になる等製造コストの
高Ｉ！！原因となる。更に次の樹脂モールド工程の前処
理として下型の清浄工程等を要するので、１サイクルの
樹脂モールト工程に要する時間が増大する。

一方リフターを介して下型を別の下型に交換する場合は
、搬出するに際して下型の温度か下るまての待時間を要
し、且つ又新たな下型をプレヒーティングしておくこと
ができない為、モールドプレス装置に配置した後改めて
加熱することが必要となる。よってこれも又ｌサイクル
の樹脂モールト工程時間を増大させる原因となっている
。更に重量物である下型な作業員が上げ下げして搬出搬
入する為、極めて危険な作業となっている。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は上記問題点に鑑み成されたもので。

モールドプレス装置の可動側プラテンに配置される下型
な、複数個移動自在に配備したもので、そのうち１つを
上型の直下に配置して樹脂モールドを行い、その際他の
下型な上型の直下から移動させて、清浄及びプレヒーテ
ィング等処理を行うものである。上型の直下に１つの下
側を配置し且つ退却させる機構としては、スライドシリ
ンダを介して可動側プラテンのガイドレール上をスライ
ドさせる。又移動台車を介して別個設けた下型セット台
に下型を配置、又は搬出するものである。

く作用〉 すなわち１つの下型にて樹脂モールドを行っている間に
他の下型な清浄し、且つプレヒーティング処理を行うこ
とが出来る。よって１サイクルの樹脂モールドを連続的
に行うことができる。しかも下型を上型の直下に配置し
た状態で処理する必要がなくなり、下型と上型の成すス
トローク空間を十分小さくすることができる。

〈実施例〉 次に本発明のモールドプレス装置の一実施例を詳細に説
明する。第１図は複数個の下型３を配備したモールドプ
レス装置ｌを示すものである。すなわち架台ｌｌ上に可
動側プラテン１２がタイバー１３を介して昇降可能に設
けられ、又タイバー１３の上部には固定側プラテン１４
かトランスファシリンダ１５とともに取付けられている
。固定側プラテン１４の下面には上型２か設けられ、可
動側プラテン１２上の下型３とともに金型所謂キャビテ
ィを形成する。このキャビティ内に半導体素子搭載リー
ドフレームを配置しトランスファシリンダ１５からの封
止用樹脂によって樹脂モールドするものである。

可動側プラテン１２上の下型３は複数個、例えば本実施
例では２個の下型３Ａ、３Ｂが配設されている。これ等
６下型３八、：ＩＢは第２図に示す移動機構のガイドレ
ール１６を介して可動側プラテン１２上を例えば左右に
移動する。すなわちスライドシリンダ４のスライド杆４
１と下型３Ａ、：ＩＢをチャッキングして移動させるも
のである。尚可動プラテン１２の昇降シリンダやトラン
スファシリンダ１５及びスライドシリンダ４は専用台５
にのプログラムにより駆動する。

斯かるモールドプレス装置ｌにより樹脂モールドを行っ
た後上型２の下直に配置されている下側界をスライドシ
リンダ４によって二点鎖線の位置まて退避させる。そし
て清浄済みで且つプレヒーティングされている下型３Ｂ
を上記同様スライドシリンダ４によって上型２の直下に
配置し、可動側プラテン１２を押上げて同様に樹脂モー
ルドする。よって１つの下型３Ａにおいて樹脂モールド
が行われている間に他の下型３Ｂにおいては樹脂粉等の
除去及びプレヒーティングを行うことかてきる。これに
より下型３を上型２の直下に配置した状態で清浄し、且
つリードフレームの配置等を行う必要かなく、上型２と
下型３が成すストローク空間Ｈもストロークに要する最
小限のもので足りる。しかも次の樹脂モールドの為の特
待間不要となり連続的な樹脂モールドが可能となる。

第３図は他の実施例を示すもので、このモールドプレス
装置１は可動側プラテン１２上に下型３を複数個配備す
るのみでなく、別途設けた下型セット台７に予備の下型
を配備しておき、下型の故障時においても迅速な交換を
可能にし、連続的に樹脂モールドを行なわせしめる装置
である。すなわち可動側プラテン１２には前述したと同
様に下型：ｌ八、３Ｂが横移動可能に配備されている。

一方上記モールドプレス装置ｌの操作前面側には軌道５
１が敷設され、この軌道５１上を移動台車６が走行可能
に設けられている。又この移動台車６を挟んてモールド
プレス装置ｌの反対側に下型セット台７が設けられる。

下型セット台７はその上部に一対のガイドレール７１か
ら成るステーション７Ｓか複数設けられている。そして
このステーション７Ｓには予備の下型３Ｃが配備されて
おり、この下型３Ｃはステーション７Ｓのガイドレール
７１を介し、移動台車６のガイドレール６１まて移動さ
せ、斯かる状態で移動台車６を回動プラテン１２の前面
に走行させてガイドレール６１から下型３Ｃを可動プラ
テン１２上に配備する。この予備の下型３Ｃは既に清浄
された状態てあり、且つプレヒーテングが行われている
。

上記装置において下型３八又は３Ｂを下型セット台７ま
て搬出するには、上記とは反対の駆動を行えばよい。尚
各トランスファシリンダや昇降シリンダ、更には移動台
車６の走行等は制御台５の制御プログラムに基づき油圧
回路、電気回路を駆動させる。

次に予備の下型３Ｃを可動側プラテン１２上に配置し、
且つ退却させる機構及びその作動について説明する。

第４図は、下型セット台７と移動台車６の連結状態を示
す平面図であり、第５図は同側面概略図である。すなわ
ち予備の下型３Ｃは下型セット台７の所定ステーション
７Ｓに配備され、且つストッパ７２に固定されている。

予備の下型３Ｃの後面にはフック３１及び前面にはフッ
ク３２が夫々突設されており、下型セット台７のアーム
７３か回動して、フック３２と係合する。アーム７３は
押込み用シリンダ７４と嵌合した回転ナツト７５に固定
されている。

この回転ナツト７５はスプライン７６上を直線運動する
。又アーム７３はシリンダ７７によってスプライン７６
を軸にして回転する。次いでストッパ７２をシリンダ７
８により下降させ、シリンダ７４によってアーム７３を
移動台車６まて移動させる。斯かる状態において保持シ
リンダＣＩか駆動し、下型３ｃをクランプする。一方ア
ーム７３は再び回動し、下型セット台７上に戻る。次い
てアーム７３を再回動させて下型３Ｃのフック３１に係
合させる。保持シリンダＣ１の解除によって下型３Ｃを
移動可能にし、再びアーム７３を移動台車６上に移動さ
せる。この状態において保持シリンダＣ２を駆動し、下
型３Ｃをクランプした後、アーム７３を回動させて元の
位置に戻す。次いて移動台車６上に取付けたアーム６２
をシリンダＣ３により移動させ、■つ又シリンダＣ４に
よって回動させて下型３Ｃのフック３２に係合させる。

そして保持シリンダＣ２の駆動を解除し、移動台車６を
軌道５１上に走行させてモールドプレス装置ｌの操作前
面側に配置する。更に移動台車６のガイドレール６１を
シリンダＣ５によって延出又は回動させ、移動台車６と
可動側プラテン１２間を連結する。次いで移動台車６上
のアーム６２より下型３Ｃを押込み、保持シリンダＣ６
によってクランプした後、アーム６２を回動させる。そ
してシリンダＣ７，Ｃ１１によって移動台車６内に１没
けられたチャック部６４を上昇させ、下型３Ｃのフック
３２に係合させる。又保持シリンダＣ６の駆動を開放し
、押込みシリンダＣ９によってチャック部６４を可動側
プラテン１２上に移動させる。

斯かる状態において図示しない下型クランプが作動し、
シリンダＣ，，Ｃ８によってチャック部６４を下降させ
た後、押込みシリンダＣ９，チャック部６４．ガイドレ
ール６１を夫々元の状態まで駆動させる。

上記の説明は予備の下型３Ｃを可動プラテン上に配置す
る場合であるが、故障した下型３Ａ又は３Ｂを可動プラ
テン１２から退却させて下型セット台７まて搬出する場
合には、前記と逆の駆動手順によって行えばよい。

〈発明の効果〉 以」二の如く本発明のモールドプレス装置は、複数の下
型を配備し、そのうち１つを樹脂モール１〜に供し、そ
の間に他の下型な清浄し、且つプレヒーティングてきる
ので、施工時間を大幅に短縮化させることかてきる。

又上型とその直下の下型が成すストローク空間を少なく
することができ、装置の簡易化も可能である。更に下型
の配置、及び搬出をシリンダ等を介して自動的に行うこ
とがてきる為、半導体装置の完全自動化モールト工程を
実現し得る。しかも作業員に対する安全性も一段と向上
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、木考案に係るモールドプレス装置を示す図、 第２図は、下型の移動機構を示す図、 第３図は、予備の下型の配置、退却状態を示す斜視図、 第４図は、移動台車と下型セット台の連結状態を示す平
面図、 第５図は、同側面図、 第６図は、従来のモールドプレス装置を示す図、 第７Ｉ２Ｉは、従来の樹脂モールト工程を示すフロー図
、 第８図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）は、下型の取換
え工程を示す図である。 ■・・・モールドプレス装置、１１・・・架台。 １２・・・可動側プラテン、１３・・・固定側プラテン
。 ２・・・上型、３（３八、：ｌＢ、：ｌ（：）・・・下
型。 ４・・・スライドシリンダ、　　６・・・移動台車。 ７・・・下型セット台、　　　Ｈ・・・ストローク空間
。 第１図 ７ｌ− （ｄ） ７じ聾のｐメジｉコレｑン２ｒＡダ々９第８図 第７図 １．事件の表示 昭和６２年特許願第３０３２９９号 ２、発明の名称 モールドプレス装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 住所（〒１０５）　　東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号名称（０２９）沖電気工業株式会社 代表者　　　　　　取締役社長　　小　杉　信　光４、
代　　理　　人 住所（〒１０５）　　東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号５、補正の対象 ６、補正の内容 （１）明細書第７頁第１８行目の「専用台５にのプログ
ラムにより」を、「制御台５の制御プログラムにより」
に補正する。 （２）明細書第９頁第１５行目の「回動プラテン！２Ｊ
を、［可動プラテン１２Ｊに補正する。 １人　　と

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）固定側プラテンに上型を、その直下でかつ可動側
   プラテンに下型を、夫々配置して前記上型と下型間で半
   導体素子搭載リードフレームを樹脂モールドするモール
   ドプレス装置において、前記可動側プラテン上には複数
   個の下型を前記上型の直下に対して移動自在に配備した
   モールドプレス装置。
2. （２）前記下型は、前記可動側プラテン上に設けたガイ
   ドレールを介して移動自在に配備されたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のモールドプレス装置。
3. （３）前記下型は、移動台車を介して別個設けた下型セ
   ット台から可動プラテン上に配備されるとともに、可動
   側プラテンから下型セット台まで搬出されることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のモールドプレス装置
   。