JPH01139819A - セラミックス繊維およびその製造法 - Google Patents
セラミックス繊維およびその製造法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はセラミックス繊維およびその製造法に関し、さ
らに詳しくは、引張強度、引張弾性率などの機械的特性
、電気抵抗や誘電率等の電気的特性に優れた５ｉ−Ｃ−
Ｎ−０の４成分系からなるセラミックス繊維およびその
製造法に関する。
らに詳しくは、引張強度、引張弾性率などの機械的特性
、電気抵抗や誘電率等の電気的特性に優れた５ｉ−Ｃ−
Ｎ−０の４成分系からなるセラミックス繊維およびその
製造法に関する。
［従来の技術］
従来から、ポリカルボシランを原料とする無機繊維には
、ＳｉＣ繊維（特許第１２１７４６４号、特許第１２１
７４８５号ほか）および５ｉＯＮ繊維（特開昭８１−１
２９１５号）がある。
、ＳｉＣ繊維（特許第１２１７４６４号、特許第１２１
７４８５号ほか）および５ｉＯＮ繊維（特開昭８１−１
２９１５号）がある。
これらの繊維はその特性の優秀性のために繊維強化金属
や繊維強化プラスチックなどの強化用繊維として、また
電気絶縁性材料、耐熱性材料などとして利用されている
。
や繊維強化プラスチックなどの強化用繊維として、また
電気絶縁性材料、耐熱性材料などとして利用されている
。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このＳｉＣ繊維は優れた機械的特性を持
つものの、電気的には比抵抗が１０３〜１０５Ω・口で
あり、ＳｉＣ繊維／樹脂複合材の比誘電率および誘電損
失が比較的大きく、電波透過性が劣るため、レドームな
どの用途には適さない。
つものの、電気的には比抵抗が１０３〜１０５Ω・口で
あり、ＳｉＣ繊維／樹脂複合材の比誘電率および誘電損
失が比較的大きく、電波透過性が劣るため、レドームな
どの用途には適さない。
一方、５ｉＯＮ繊維は比抵抗が１０１０Ω・（至）を超
える高い電気絶縁性能を持ち、ＳｉＣ繊維に比して樹脂
複合材の比誘電率、誘電損失が低く、電波透過性能も優
れているが、機械的特性がＳｉＣ繊維より劣るという問
題点を有している。
える高い電気絶縁性能を持ち、ＳｉＣ繊維に比して樹脂
複合材の比誘電率、誘電損失が低く、電波透過性能も優
れているが、機械的特性がＳｉＣ繊維より劣るという問
題点を有している。
本発明は、上述した問題点を解決し、電気的および機械
的特性に優れたセラミックス繊維およびその製造法を提
供することを目的とする。
的特性に優れたセラミックス繊維およびその製造法を提
供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明者等は上記問題点を解決するために種々研究した
結果、ポリカルボシラン不融化系をアンモニアガス雰囲
気中で熱処理して窒化させ、さらに不活性ガス中または
１〜３０容積％の塩化水素と残部が不活性ガスからなる
雰囲気中で熱処理してセラミックス繊維とすることによ
り、上記問題点を解決する本発明を完成するに至った。
結果、ポリカルボシラン不融化系をアンモニアガス雰囲
気中で熱処理して窒化させ、さらに不活性ガス中または
１〜３０容積％の塩化水素と残部が不活性ガスからなる
雰囲気中で熱処理してセラミックス繊維とすることによ
り、上記問題点を解決する本発明を完成するに至った。
すなわち本発明のセラミック繊維は、５ｉＳＣｓＮおよ
びＯの４成分系からなることを特徴とするものである。
びＯの４成分系からなることを特徴とするものである。
本発明のセラミックス繊維の各元素の含有量は、Ｓｉが
４０〜６０重量％、Ｃが０．２〜３０重量％、Ｎが５〜
３０重量％、０が５〜２０重量％であることが最も望ま
しく、この範囲で比抵抗１０’〜１０１ＯΩ・国、引張
強度３００〜４５０Ｋｇ／ｊ１ｍ１２、引張弾性率２０
〜４０ｔｏｎ／ｓ２でかつ、エポキシ樹脂複合材（繊維
体積率５５％）の比誘電率３．０〜４．０、同複合材の
誘電損失０．０２以下という良好な電気的、機械的特性
を示す。
４０〜６０重量％、Ｃが０．２〜３０重量％、Ｎが５〜
３０重量％、０が５〜２０重量％であることが最も望ま
しく、この範囲で比抵抗１０’〜１０１ＯΩ・国、引張
強度３００〜４５０Ｋｇ／ｊ１ｍ１２、引張弾性率２０
〜４０ｔｏｎ／ｓ２でかつ、エポキシ樹脂複合材（繊維
体積率５５％）の比誘電率３．０〜４．０、同複合材の
誘電損失０．０２以下という良好な電気的、機械的特性
を示す。
次に、本発明のセラミックス繊維の好ましい製造法を図
面に基づいて詳しく説明する。
面に基づいて詳しく説明する。
第１図は本発明のセラミックス繊維の製造法の一例を示
すフローシートであり、同図において、１はアンモニア
ガスボンベ、２１はアルゴンガス、窒素ガスなどの不活
性ガスボンベ、２２は塩化水素ガスボンベ、３．４１．
４２は流量計、８．５１．５２はバルブ、７はガス混合
器、８ 、９１．９２は圧力調整器、１０は流量調整器
、１１は焼成炉、１２は真空ポンプ、１３はマノメータ
、１４はガス洗浄瓶、１５は反応管をそれぞれ示す。
すフローシートであり、同図において、１はアンモニア
ガスボンベ、２１はアルゴンガス、窒素ガスなどの不活
性ガスボンベ、２２は塩化水素ガスボンベ、３．４１．
４２は流量計、８．５１．５２はバルブ、７はガス混合
器、８ 、９１．９２は圧力調整器、１０は流量調整器
、１１は焼成炉、１２は真空ポンプ、１３はマノメータ
、１４はガス洗浄瓶、１５は反応管をそれぞれ示す。
本発明の製造法においては、まずポリカルボシラン連続
紡糸体の不融化処理を行なう。この不融化処理は、紡糸
繊維を空気、酸素などの酸化性ガスで酸化して、後述す
る第２焼成工「での繊維の融解を防止するために行なう
。この不融化処理条件としては、たとえば第１図の焼成
炉１１で反応管１５を空気、酸素等の酸化性雰囲気とし
て５０〜４００℃の温度で数分〜１０時間処理する。
紡糸体の不融化処理を行なう。この不融化処理は、紡糸
繊維を空気、酸素などの酸化性ガスで酸化して、後述す
る第２焼成工「での繊維の融解を防止するために行なう
。この不融化処理条件としては、たとえば第１図の焼成
炉１１で反応管１５を空気、酸素等の酸化性雰囲気とし
て５０〜４００℃の温度で数分〜１０時間処理する。
このようにしてポリカルボシラン連続紡糸体を不融化処
理して得られた不融化糸を、アンモニアガス雰囲気中で
１００〜８００℃、０．５〜６時間熱処理して反応させ
る（第１焼成工程）。この第１焼成工程では、真空ポン
プ１２によりマノメータ１３を見ながら装置系内を所定
の真空度まで排気した後、アンモニアガスボンベ１、バ
ルブ６、流量計３、流量調整器１０により装置系内をア
ンモニアガス雰囲気とする。アンモニアガス流量は、流
量調整器１０により一定の流量に調整する。アンモニア
ガスの流量としては、１０〜５０ｈｄ！ ／■１ｎが好
ましい。
理して得られた不融化糸を、アンモニアガス雰囲気中で
１００〜８００℃、０．５〜６時間熱処理して反応させ
る（第１焼成工程）。この第１焼成工程では、真空ポン
プ１２によりマノメータ１３を見ながら装置系内を所定
の真空度まで排気した後、アンモニアガスボンベ１、バ
ルブ６、流量計３、流量調整器１０により装置系内をア
ンモニアガス雰囲気とする。アンモニアガス流量は、流
量調整器１０により一定の流量に調整する。アンモニア
ガスの流量としては、１０〜５０ｈｄ！ ／■１ｎが好
ましい。
このように装置系内をアンモニアガス雰囲気とした後、
焼成炉１１により １００〜８００℃の温度で熱処理す
る。１００℃未満の温度で熱処理したものは、セラミッ
ク繊維中の窒素含有量が十分なものが得られない。また
、６００℃を超えた温度で熱処理したものは、後の第２
次焼成後に得られたセラミックス繊維の引張強度などの
機械的特性が低下して好ましくない。
焼成炉１１により １００〜８００℃の温度で熱処理す
る。１００℃未満の温度で熱処理したものは、セラミッ
ク繊維中の窒素含有量が十分なものが得られない。また
、６００℃を超えた温度で熱処理したものは、後の第２
次焼成後に得られたセラミックス繊維の引張強度などの
機械的特性が低下して好ましくない。
次に、このようにアンモニアガス中で熱処理した繊維を
、さらに窒素またはアルゴンガス等の不活性ガス中で１
６００℃までの温度で、０６５〜６時間熱処理すること
により、５ｉ−Ｃ−Ｎ−０より成る非晶質のセラミック
ス連続繊維とする（第２焼成工程）。この第２焼成工程
では、第１焼成工程と同様に真空ポンプ１２によりマノ
メータ１３を見ながら装置系内を所定の真空度まで排気
した後、窒素ガスまたはアルゴンガスボンベ２１、バル
ブ５１、流量計４１、流量調整器１０により装置系内を
不活性ガス雰囲気とする。不活性ガスの流量は、流量調
整器１０により一定の流量に調整し、２００〜２５００
威／ｍ１ｎの流量とすることが好ましい。
、さらに窒素またはアルゴンガス等の不活性ガス中で１
６００℃までの温度で、０６５〜６時間熱処理すること
により、５ｉ−Ｃ−Ｎ−０より成る非晶質のセラミック
ス連続繊維とする（第２焼成工程）。この第２焼成工程
では、第１焼成工程と同様に真空ポンプ１２によりマノ
メータ１３を見ながら装置系内を所定の真空度まで排気
した後、窒素ガスまたはアルゴンガスボンベ２１、バル
ブ５１、流量計４１、流量調整器１０により装置系内を
不活性ガス雰囲気とする。不活性ガスの流量は、流量調
整器１０により一定の流量に調整し、２００〜２５００
威／ｍ１ｎの流量とすることが好ましい。
このように反応装置系内を窒素ガス雰囲気とした後、焼
成炉１１により１８００℃までの温度で熱処理する。１
８００℃を超えた温度で熱処理した場合には、５ｔ−Ｎ
と５ｉ−Ｃの粒子が成長しすぎ粗大化するため強度低下
をきたし好ましくない。
成炉１１により１８００℃までの温度で熱処理する。１
８００℃を超えた温度で熱処理した場合には、５ｔ−Ｎ
と５ｉ−Ｃの粒子が成長しすぎ粗大化するため強度低下
をきたし好ましくない。
さらにまた、前記不活性ガスに代え、塩化水素ガスボン
ベ２２、バルブ５２、流動計４２を介し、ガス混合器７
で、不活性ガス中に塩化水素を混入し１〜３０容積％の
塩化水素と残部が不活性ガスからなる混合ガスをＬＱ〜
５００ｄ／ｍの流量で流し、１８００℃温度まで熱処理
を行ってもよい。この場合、混合ガス中の塩化水素の量
を調整することにより、セラミック繊維中のＣの含有量
の平均値およびバラツキをコントロールでき、均質なセ
ラミック繊維を得ることができる。混合ガス中の塩化水
素の含有量が１容積％未満では効果が生ぜず、また３０
容積％をこえると繊維中のＮまたはＣ成分が還元されて
強度が落ちるのでそれぞれ好ましくない。
ベ２２、バルブ５２、流動計４２を介し、ガス混合器７
で、不活性ガス中に塩化水素を混入し１〜３０容積％の
塩化水素と残部が不活性ガスからなる混合ガスをＬＱ〜
５００ｄ／ｍの流量で流し、１８００℃温度まで熱処理
を行ってもよい。この場合、混合ガス中の塩化水素の量
を調整することにより、セラミック繊維中のＣの含有量
の平均値およびバラツキをコントロールでき、均質なセ
ラミック繊維を得ることができる。混合ガス中の塩化水
素の含有量が１容積％未満では効果が生ぜず、また３０
容積％をこえると繊維中のＮまたはＣ成分が還元されて
強度が落ちるのでそれぞれ好ましくない。
本発明においては、このようにポリカルボシラン不融化
糸を１００〜６００℃でアンモニアと反応させた後、不
活性ガス中または１〜３０容積％の塩化水素と残部が不
活性ガスとからなる雰囲気中で１８００℃まで熱処理し
、Ｓｔ、Ｃ，ＮＳＯを所定量含有したセラミック繊維が
得られる。このセラミック繊維は、従来から知られてい
る既存のＳＩＣ繊維および５ｉＯＮ繊維に比べて、電気
的、機械的特性に優れたものとなる。
糸を１００〜６００℃でアンモニアと反応させた後、不
活性ガス中または１〜３０容積％の塩化水素と残部が不
活性ガスとからなる雰囲気中で１８００℃まで熱処理し
、Ｓｔ、Ｃ，ＮＳＯを所定量含有したセラミック繊維が
得られる。このセラミック繊維は、従来から知られてい
る既存のＳＩＣ繊維および５ｉＯＮ繊維に比べて、電気
的、機械的特性に優れたものとなる。
［実施例］
以下、実施例および比較例に基づき本発明を具体的に説
明する。
明する。
実施例１
ポリカルボシラン（平均分子全豹２０００、融点２２０
〜２３０℃）を溶融紡糸し、１８０℃、１時間空気中で
不融化処理し、ポリカルボシラン不融化糸を得た。この
不融化糸をアンモニアガス中（流量２００ｄ ／ ｍｆ
ｎ）で１００． ４００． ８００℃の各温度で１時間
熱処理し、熱処理温度の異なる試料を得た。
〜２３０℃）を溶融紡糸し、１８０℃、１時間空気中で
不融化処理し、ポリカルボシラン不融化糸を得た。この
不融化糸をアンモニアガス中（流量２００ｄ ／ ｍｆ
ｎ）で１００． ４００． ８００℃の各温度で１時間
熱処理し、熱処理温度の異なる試料を得た。
これらの各試料について、窒素ガス流量２０００ｍｅ
／１ｎで１２００℃、 １時間熱処理して３種のセラミ
ック繊維を得た。
／１ｎで１２００℃、 １時間熱処理して３種のセラミ
ック繊維を得た。
比較例１
実施例１で使用したと同一のポリカルボシラン不融化糸
を実施ＰＪ １と同一条件でアンモニアガス中で６５０
℃、８００℃、１０００℃の各温度で１時間熱処理し、
さらに実施例１と同一の窒素ガス雰囲気中で１２００℃
、１時間熱処理して３種の熱処理温度の異なるセラミッ
ク繊維を得た。
を実施ＰＪ １と同一条件でアンモニアガス中で６５０
℃、８００℃、１０００℃の各温度で１時間熱処理し、
さらに実施例１と同一の窒素ガス雰囲気中で１２００℃
、１時間熱処理して３種の熱処理温度の異なるセラミッ
ク繊維を得た。
これらの１次焼成温度の異なる各セラミック繊維につい
て、元素分析をした結果を第２図に示した。また同様に
、引張強度および引張弾性率の測定結果を第３図に、比
抵抗の測定結果を第４図に示した。
て、元素分析をした結果を第２図に示した。また同様に
、引張強度および引張弾性率の測定結果を第３図に、比
抵抗の測定結果を第４図に示した。
これらの結果から明らかなように、第２図に示すアンモ
ニアガス中で６００℃を超えて熱処理したものでは、結
合窒素量が飽和しており、同様に８００℃以上では殆ん
ど結合炭素量がなくなることを示している。また、第３
図から明らかなように、１次焼成を６００℃を超えて焼
成したものでは引張強度および引張弾性率ともに低下す
ることを示している。
ニアガス中で６００℃を超えて熱処理したものでは、結
合窒素量が飽和しており、同様に８００℃以上では殆ん
ど結合炭素量がなくなることを示している。また、第３
図から明らかなように、１次焼成を６００℃を超えて焼
成したものでは引張強度および引張弾性率ともに低下す
ることを示している。
実施例２
実施例１で得られたセラミック繊維とアルミニウムを高
圧鋳造法で複合化し、繊維強化金属（ＦＲＭ）を作製し
た。
圧鋳造法で複合化し、繊維強化金属（ＦＲＭ）を作製し
た。
得られたＦＲＭは、繊維体積含有率４０％でボイドもな
く、繊維とマトリックスとの接着も良好であった。この
ＦＲＭの常温での引張強度は９０〜１００Ｋｇ／＃Ｗ２
、引張弾性率は１１〜１２ ｔｏｎ／ ｓ ２であった
。
く、繊維とマトリックスとの接着も良好であった。この
ＦＲＭの常温での引張強度は９０〜１００Ｋｇ／＃Ｗ２
、引張弾性率は１１〜１２ ｔｏｎ／ ｓ ２であった
。
また、このセラミック繊維をエポキシ樹脂で複合化し、
繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）を作製した。
繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）を作製した。
得られたＦＲＰの比誘電率を１ＩＩＩＪ定したところ、
繊維体積含有率５５％で３〜４の範囲であった。
繊維体積含有率５５％で３〜４の範囲であった。
実施例３
実施例１と同様のポリカルボシランを溶融紡糸し、１８
０℃、１時間空気中で不融化処理してポリカルボシラン
不融化糸を得た。これをアンモニアガス中（流ｊｉ ２
００ＩＩ１１／ｌ１ｉｎ） ４５０℃で２時間熱処理し
、さらに塩化水素５容積％を含み残部が窒素のガス中（
流ｆｆｉ ２０００Ｉｄ／ ５ｉｎ）で１２００℃、１
時間熱処理したところ、セラミック繊維を得た。
０℃、１時間空気中で不融化処理してポリカルボシラン
不融化糸を得た。これをアンモニアガス中（流ｊｉ ２
００ＩＩ１１／ｌ１ｉｎ） ４５０℃で２時間熱処理し
、さらに塩化水素５容積％を含み残部が窒素のガス中（
流ｆｆｉ ２０００Ｉｄ／ ５ｉｎ）で１２００℃、１
時間熱処理したところ、セラミック繊維を得た。
得られたセラミック繊維の引張強度、引張弾性率を１ｌ
ｌｌｊ定したところ、各々 ３００に’ｊ／ ＩＭＩ
２．２０ ｔｏｎ／馴２であった。また、このセラミッ
ク繊維の組成を元素分析したところ、Ｓｉが５３．２％
、Ｃが８．４％、Ｎが２６．２％、Ｏが１２．２％であ
った。
ｌｌｊ定したところ、各々 ３００に’ｊ／ ＩＭＩ
２．２０ ｔｏｎ／馴２であった。また、このセラミッ
ク繊維の組成を元素分析したところ、Ｓｉが５３．２％
、Ｃが８．４％、Ｎが２６．２％、Ｏが１２．２％であ
った。
また、このセラミックス繊維の比抵抗を測定したところ
、８Ｘ１０６Ω・αであった。さらに、エポキシ樹脂と
の複合材（繊維体積含有率５５％）を作製して比誘電率
、誘電損失を測定したところ各々 ３．５．０．０２で
あった。
、８Ｘ１０６Ω・αであった。さらに、エポキシ樹脂と
の複合材（繊維体積含有率５５％）を作製して比誘電率
、誘電損失を測定したところ各々 ３．５．０．０２で
あった。
実施例４
実施例１と同様のポリカルボシラン不融化糸を雰囲気炉
でアンモニアガス中６００℃で１．５時間熱処理し、さ
らに塩化水素２０容積％を含む残部が窒素のガス中１２
００℃、２時間熱処理したところ、セラミック繊維を得
た。得られたセラミック繊維の引張強度、引張弾性率を
ＤＩ定したところ、各々２５０８９／ｍ２．１８ ｔｏ
ｎ／ｍ２であった。得られたセラミック繊維の組成を元
素分析したところ、Ｓｔが５６．７％、Ｃが０．２％、
Ｎが２５．９％、０が１７．２％であった。Ｘ線回折の
結果、このセラミック繊維は非晶質であった。このセラ
ミック繊維の比抵抗を測定したところ、８Ｘ１０’Ω・
１であった。
でアンモニアガス中６００℃で１．５時間熱処理し、さ
らに塩化水素２０容積％を含む残部が窒素のガス中１２
００℃、２時間熱処理したところ、セラミック繊維を得
た。得られたセラミック繊維の引張強度、引張弾性率を
ＤＩ定したところ、各々２５０８９／ｍ２．１８ ｔｏ
ｎ／ｍ２であった。得られたセラミック繊維の組成を元
素分析したところ、Ｓｔが５６．７％、Ｃが０．２％、
Ｎが２５．９％、０が１７．２％であった。Ｘ線回折の
結果、このセラミック繊維は非晶質であった。このセラ
ミック繊維の比抵抗を測定したところ、８Ｘ１０’Ω・
１であった。
比較例２
市販のＳｉＣ繊維の引張強度、引張弾性率を測定したと
ころ、各々 ３００Ｋｇ／＃ｌｌ１２．２０ｔｏｎ／＃
ｉＩＩ＋２であった。
ころ、各々 ３００Ｋｇ／＃ｌｌ１２．２０ｔｏｎ／＃
ｉＩＩ＋２であった。
また、このセラミックス繊維の比抵抗を測定したところ
、７．８ Ｘ１０３ Ω・ｃｍであった。さらに、エポ
キシ樹脂との複合材（繊維体積含有率５５％）を作製し
て比誘電率、誘電損失を測定したところ各々 ５．２．
０．２であった。
、７．８ Ｘ１０３ Ω・ｃｍであった。さらに、エポ
キシ樹脂との複合材（繊維体積含有率５５％）を作製し
て比誘電率、誘電損失を測定したところ各々 ５．２．
０．２であった。
比較例３
実施例１と同様のポリカルボシラン不融化糸を雰囲気炉
でアンモニアガス中で昇温速度１００℃／ｈｒで昇温し
で、最高温度８００℃まで熱処理した後、アルゴンガス
雰囲気で１００℃／ｈｒで昇温しで、最高温度１２００
℃で１時間保持して焼成した結果、セラミック繊維が得
られた。得られたセラミック繊維の組成を元素分析した
ところ、Ｓｔが５７．２％、Ｃが０％、Ｎが２９．５％
、０が１３．３％の’５ｉＯＮ繊維が得られた。このセ
ラミック繊維の引張強度は１９０Ｋｇ／１０！Ｉ２、引
張弾性率は１４ ｔｏｎ／ａｍ２であった。
でアンモニアガス中で昇温速度１００℃／ｈｒで昇温し
で、最高温度８００℃まで熱処理した後、アルゴンガス
雰囲気で１００℃／ｈｒで昇温しで、最高温度１２００
℃で１時間保持して焼成した結果、セラミック繊維が得
られた。得られたセラミック繊維の組成を元素分析した
ところ、Ｓｔが５７．２％、Ｃが０％、Ｎが２９．５％
、０が１３．３％の’５ｉＯＮ繊維が得られた。このセ
ラミック繊維の引張強度は１９０Ｋｇ／１０！Ｉ２、引
張弾性率は１４ ｔｏｎ／ａｍ２であった。
また、このセラミックス繊維の比抵抗を測定したところ
、８．８ ＸＩＯ”Ω・ｃｍであった。さらに、エポキ
シ樹脂との複合材（繊維体積含有率５５％）を作製して
比誘電率、誘電損失を測定したところ各々 ３．８．０
．０２であった。
、８．８ ＸＩＯ”Ω・ｃｍであった。さらに、エポキ
シ樹脂との複合材（繊維体積含有率５５％）を作製して
比誘電率、誘電損失を測定したところ各々 ３．８．０
．０２であった。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明のセラミック繊維は、機械
的特性はＳｉＣ繊維と同等に優れ、かつ電気抵抗が高く
、比誘電率が５ｉＯＮ繊維と同様に低いため、優れた電
波透過性能を持ち、高強度レドーム構造体用強化繊維と
して最適である。また、本発明の製造方法によれば、効
率的に再現性よく特性に優れたＳｔ、Ｃ，ＮおよびＯの
４成分系よりなるセラミック繊維が得られる。
的特性はＳｉＣ繊維と同等に優れ、かつ電気抵抗が高く
、比誘電率が５ｉＯＮ繊維と同様に低いため、優れた電
波透過性能を持ち、高強度レドーム構造体用強化繊維と
して最適である。また、本発明の製造方法によれば、効
率的に再現性よく特性に優れたＳｔ、Ｃ，ＮおよびＯの
４成分系よりなるセラミック繊維が得られる。
第１図は本発明のセラミックス繊維の製造法の一例を示
すフローシート、 第２図は、実施例１における各成分含有率とアンモニア
ガス中での熱処理温度の関係を示すグラフ、 第３図は、実施例１における引張強度、引張弾性率とア
ンモニアガス中での熱処理温度の関係を示すグラフ、 第４図は、実施例１における比抵抗とアンモニアガス中
での熱処理温度の関係を示すグラフである。 １：アンモニアガスボンベ、 ２１：不活性ガスボンベ、 ３，４１．４２：流量計、
２２：塩化水素ガスボンベ、 ６．５１，５２ ：バルブ、 ７：ガス混合器、
８．９１．９２ ：圧力調整器、 １ｏ：流ｉ調整器、
１に焼成炉、 １２：真空ポンプ、１３：
マノメータ、 １４：ガス洗浄瓶、１５；反応管
。 １ン七：ｌ−７すマパの◆ヘタＬア！１度（６Ｃ）第２
図 フンＬ二了中７・め予、処理温Ａ（”ｃ）第３図 第４図
すフローシート、 第２図は、実施例１における各成分含有率とアンモニア
ガス中での熱処理温度の関係を示すグラフ、 第３図は、実施例１における引張強度、引張弾性率とア
ンモニアガス中での熱処理温度の関係を示すグラフ、 第４図は、実施例１における比抵抗とアンモニアガス中
での熱処理温度の関係を示すグラフである。 １：アンモニアガスボンベ、 ２１：不活性ガスボンベ、 ３，４１．４２：流量計、
２２：塩化水素ガスボンベ、 ６．５１，５２ ：バルブ、 ７：ガス混合器、
８．９１．９２ ：圧力調整器、 １ｏ：流ｉ調整器、
１に焼成炉、 １２：真空ポンプ、１３：
マノメータ、 １４：ガス洗浄瓶、１５；反応管
。 １ン七：ｌ−７すマパの◆ヘタＬア！１度（６Ｃ）第２
図 フンＬ二了中７・め予、処理温Ａ（”ｃ）第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｓｉ、Ｃ、ＮおよびＯの４成分系からなり、比抵抗
が１０＾６〜１０＾１＾０Ω・ｃｍであることを特徴と
するセラミックス繊維。 ２、ポリカルボシラン不融化糸を１００〜６００℃でア
ンモニアと反応させた後、不活性ガス中で１６００℃ま
での温度で熱処理することを特徴とするセラミックス繊
維の製造法。 ３、前記不活性ガス中に、１〜３０容量％の塩化水素を
含有する、特許請求の範囲第２項に記載のセラミックス
繊維の製造法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62297780A JPH01139819A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | セラミックス繊維およびその製造法 |
| EP88910131A EP0543008B1 (en) | 1987-11-27 | 1988-11-25 | Ceramic fibers and process for their production |
| US07/391,567 US5021370A (en) | 1987-11-27 | 1988-11-25 | Ceramic fibers and a process for producing the same |
| PCT/JP1988/001197 WO1989004884A1 (en) | 1987-11-27 | 1988-11-25 | Ceramic fibers and process for their production |
| DE3855587T DE3855587T2 (de) | 1987-11-27 | 1988-11-25 | Keramische fasern und verfahren zur herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62297780A JPH01139819A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | セラミックス繊維およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139819A true JPH01139819A (ja) | 1989-06-01 |
Family
ID=17851082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62297780A Pending JPH01139819A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | セラミックス繊維およびその製造法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5021370A (ja) |
| EP (1) | EP0543008B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01139819A (ja) |
| DE (1) | DE3855587T2 (ja) |
| WO (1) | WO1989004884A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5166104A (en) * | 1986-02-12 | 1992-11-24 | Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha | Polysiloxazanes, silicon oxynitride fibers and processes for producing same |
| JPH0718056B2 (ja) * | 1990-04-27 | 1995-03-01 | 株式会社コロイドリサーチ | 酸窒化物セラミックスファイバーの製造方法 |
| US5856253A (en) * | 1994-01-28 | 1999-01-05 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of reinforcing molded body of ceramic and reinforced mold body of ceramic |
| EP0744390B1 (en) * | 1995-05-22 | 1999-04-07 | Nippon Carbon Co., Ltd. | Process for producing silicon carbide fibers |
| KR102043733B1 (ko) * | 2012-05-10 | 2019-11-12 | 히타치가세이가부시끼가이샤 | 다층 배선 기판 |
| CN111138667B (zh) * | 2020-01-16 | 2021-07-27 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种聚碳硅烷的液相流动合成装置及其合成方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61232270A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-16 | ダウ コーニング コーポレイシヨン | 炭素割合の減少したセラミツク材料の製造方法 |
| JPH01183522A (ja) * | 1987-08-19 | 1989-07-21 | Sekiyu Sangyo Katsuseika Center | セラミックス繊維の製造法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2218960A1 (de) * | 1972-04-19 | 1973-11-08 | Bayer Ag | Formkoerper aus mogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer erstellung |
| JPS6112915A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-21 | Tokushu Muki Zairyo Kenkyusho | 実質的にＳｉ，Ｎ及びＯからなる連続無機繊維とその製造法 |
| JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| US4869854A (en) * | 1986-10-31 | 1989-09-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom |
| US4743662A (en) * | 1986-11-03 | 1988-05-10 | Dow Corning Corporation | Infusible preceramic polymers via plasma treatment |
| JP2608061B2 (ja) * | 1987-03-20 | 1997-05-07 | 日本原子力研究所 | 高純度高強度窒化ケイ素連続無機繊維及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62297780A patent/JPH01139819A/ja active Pending
-
1988
- 1988-11-25 EP EP88910131A patent/EP0543008B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-25 US US07/391,567 patent/US5021370A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-25 WO PCT/JP1988/001197 patent/WO1989004884A1/ja active IP Right Grant
- 1988-11-25 DE DE3855587T patent/DE3855587T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61232270A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-16 | ダウ コーニング コーポレイシヨン | 炭素割合の減少したセラミツク材料の製造方法 |
| JPH01183522A (ja) * | 1987-08-19 | 1989-07-21 | Sekiyu Sangyo Katsuseika Center | セラミックス繊維の製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5021370A (en) | 1991-06-04 |
| EP0543008B1 (en) | 1996-09-25 |
| EP0543008A4 (en) | 1993-07-21 |
| WO1989004884A1 (en) | 1989-06-01 |
| EP0543008A1 (en) | 1993-05-26 |
| DE3855587T2 (de) | 1997-02-20 |
| DE3855587D1 (de) | 1996-10-31 |
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