JPH01132749A - クラッド容器 - Google Patents
クラッド容器Info
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- JPH01132749A JPH01132749A JP29019387A JP29019387A JPH01132749A JP H01132749 A JPH01132749 A JP H01132749A JP 29019387 A JP29019387 A JP 29019387A JP 29019387 A JP29019387 A JP 29019387A JP H01132749 A JPH01132749 A JP H01132749A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、高温で使用するクラフト容器に関するもので
ある。
ある。
(従来技術とその問題点)
従来、Mo又はMo合金にpt又はPt合金を被覆した
クラッド容器は高温ガラスや金属酸化物を含む鉱石溶解
用るつぼや真空蒸着用のトレー、ボートなどに広く用い
られていた。これは耐酸化性に優れているが、高温で使
用するので使用時間と共にpt又はpt合金膜の結晶粒
が粗大化し、粒界からの他の元素による浸入汚染や膜の
機械的強度の低下でクラッド容器の寿命が短いという欠
点があった。
クラッド容器は高温ガラスや金属酸化物を含む鉱石溶解
用るつぼや真空蒸着用のトレー、ボートなどに広く用い
られていた。これは耐酸化性に優れているが、高温で使
用するので使用時間と共にpt又はpt合金膜の結晶粒
が粗大化し、粒界からの他の元素による浸入汚染や膜の
機械的強度の低下でクラッド容器の寿命が短いという欠
点があった。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、長寿命の
容器を提供することを目的とする。
容器を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、Mo又はMo合金に、酸化物を分散させたp
t又はPt合金が被覆されていることを特徴とするクラ
ッド容器である。
t又はPt合金が被覆されていることを特徴とするクラ
ッド容器である。
本発明において、酸化物を分散させたPt又はPt合金
用いるのは、ptの融点が1769℃と高く、しかも高
温における結晶粒の粗大化が起こりにくいからである。
用いるのは、ptの融点が1769℃と高く、しかも高
温における結晶粒の粗大化が起こりにくいからである。
しかし、酸化物を分散させたPtやPt合金板にするな
どの加工が困難なため被覆することとした。被覆はスパ
ッタリングにて行うのが良い。これはイオンブレーティ
ングや真空蒸着や7!式めっきでは、pt又はPt合金
酸化物を分散させるのが困難な為である。
どの加工が困難なため被覆することとした。被覆はスパ
ッタリングにて行うのが良い。これはイオンブレーティ
ングや真空蒸着や7!式めっきでは、pt又はPt合金
酸化物を分散させるのが困難な為である。
このように酸化物を分散させたPt又はP【合金を被覆
したるつぼは耐酸化性に優れ、しかも被膜中には酸化物
が分散していて高温での結晶粒の成長が抑えられている
ことから長寿命のものとなる。
したるつぼは耐酸化性に優れ、しかも被膜中には酸化物
が分散していて高温での結晶粒の成長が抑えられている
ことから長寿命のものとなる。
なお、酸化物を分散したPt合金しては、pt−Ir−
酸化物、Pt−Rh−酸化物などがある。
酸化物、Pt−Rh−酸化物などがある。
また酸化物としてはA l z O*、Z r Oz、
Y t O3などがあり、その酸化物の分散量としては
、0.02体積%未満では高温での結晶粒の成長を抑制
する効果が薄く、10体積%を超えると酸化物がクラッ
ド容器内で溶かすガラス等と反応するので、酸化物の量
としては、0.02〜10体積%が好ましい。さらに被
膜の厚さとしては、0.1μm未満ではM。
Y t O3などがあり、その酸化物の分散量としては
、0.02体積%未満では高温での結晶粒の成長を抑制
する効果が薄く、10体積%を超えると酸化物がクラッ
ド容器内で溶かすガラス等と反応するので、酸化物の量
としては、0.02〜10体積%が好ましい。さらに被
膜の厚さとしては、0.1μm未満ではM。
又はMO合金の酸化を防止する効果が薄く、100μm
を超えると効果(長寿命化)に対する被覆時間の割合が
高くなるので、被膜の厚さとしては0.1〜100μm
の範囲が好ましい。
を超えると効果(長寿命化)に対する被覆時間の割合が
高くなるので、被膜の厚さとしては0.1〜100μm
の範囲が好ましい。
以下、実施例と従来例について説明する。
(実施例1)
ptとY z O2の2つのターゲットを同時に用いて
、肉厚5龍、高さ100mm、内径80龍の断面コの字
形MO製るつぼの内壁に次の条件でPt YZO32
,5体積%を厚さ5μmまで2元同時スパンタリングし
た。
、肉厚5龍、高さ100mm、内径80龍の断面コの字
形MO製るつぼの内壁に次の条件でPt YZO32
,5体積%を厚さ5μmまで2元同時スパンタリングし
た。
Arガス i、ox 1o−”r o r rPt
DC2KW、スパッタ速度 1000人/ m i
nY2O3RF IKW、スパッタ速度 25人/
min高周波電源 13.56M Hz Mo製るつぼ 自公転 これを実施品1とする。
DC2KW、スパッタ速度 1000人/ m i
nY2O3RF IKW、スパッタ速度 25人/
min高周波電源 13.56M Hz Mo製るつぼ 自公転 これを実施品1とする。
(実施例2)
Pt−ZrO□0.1体積%のターゲットを用いて、実
施例1と同一形状のMO製るつぼの内外壁に次の条件で
Pt−Zr0□0.1体積%を厚さ10μmマグネトロ
ンスパンタリングした。
施例1と同一形状のMO製るつぼの内外壁に次の条件で
Pt−Zr0□0.1体積%を厚さ10μmマグネトロ
ンスパンタリングした。
Arガス 1.OX 10−′JT o r r
Ir−ZrOz RF I K W、スパッタ速度2
000人/min高周波電源 13.56M Hz Mo製るつぼ 自転 これを実施品2とする。
Ir−ZrOz RF I K W、スパッタ速度2
000人/min高周波電源 13.56M Hz Mo製るつぼ 自転 これを実施品2とする。
(従来例)
実施例1で用いたMO製るつぼの内外壁にptを10μ
mスパッタリングしたものを従来品とした。
mスパッタリングしたものを従来品とした。
次に、上記実施品1.2と従来品にアルカリ亜鉛硼珪酸
ガラスを500g入れAr雰囲気、温度約り200℃×
60分間で使用した。これを10回くり返したところ、
従来品は3μmその容器の表面から削られたのに対し、
実施品1は1μm、実施品2は0.5μm削られたにと
どまった。
ガラスを500g入れAr雰囲気、温度約り200℃×
60分間で使用した。これを10回くり返したところ、
従来品は3μmその容器の表面から削られたのに対し、
実施品1は1μm、実施品2は0.5μm削られたにと
どまった。
次に、従来品、実施品2の容器の底部を大気中で直接ヒ
ーター加熱して温度約1000℃で20時間保持したと
ころ、従来品は10時間では減量しなかったが、pt被
被膜結晶粒の粗大化が著しく限界状態となり、20時間
ではpt被被膜破壊され8g減量したのに対し、実施品
2は被膜の結晶粒の成長は認められず、減量もしなかっ
た。
ーター加熱して温度約1000℃で20時間保持したと
ころ、従来品は10時間では減量しなかったが、pt被
被膜結晶粒の粗大化が著しく限界状態となり、20時間
ではpt被被膜破壊され8g減量したのに対し、実施品
2は被膜の結晶粒の成長は認められず、減量もしなかっ
た。
これらのことから本発明のクラッドるつぼは従来品に比
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく寿命が長(
、また耐消耗性にも優れていることがわかる。
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく寿命が長(
、また耐消耗性にも優れていることがわかる。
尚、上記実施例ではMOに酸化物を分散したptを直接
被覆したが、必要に応じMoとptの拡散を防止するた
めの拡散防止層を介在するようにしてもよいものである
。
被覆したが、必要に応じMoとptの拡散を防止するた
めの拡散防止層を介在するようにしてもよいものである
。
(発明の効果)
以上詳述したように本発明によれば、耐消it性の優れ
た長寿命のクラッド容器を提供することができる。しか
も、Mo製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命の
ものかえられる。
た長寿命のクラッド容器を提供することができる。しか
も、Mo製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命の
ものかえられる。
出願人 田中貴金属工業株式会社
Claims (1)
- Mo又はMo合金に、酸化物を分散させたPt又はPt
合金が被覆されていることを特徴とするクラッド容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62290193A JP2565936B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62290193A JP2565936B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01132749A true JPH01132749A (ja) | 1989-05-25 |
JP2565936B2 JP2565936B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=17752956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62290193A Expired - Lifetime JP2565936B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2565936B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008243744A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Univ Of Tokyo | 金属薄膜、金属薄膜の形成方法、及びその金属薄膜を用いた固体酸化物形燃料電池、水素ポンプ、メンブレンリアクター、水素精製装置及び固体酸化物形水蒸気電解装置。 |
JP2014214364A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社豊田中央研究所 | 高耐熱貴金属−酸化物薄膜材料 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5515550A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Smoke sensor |
JPS60200980A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラツド容器 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP62290193A patent/JP2565936B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5515550A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Smoke sensor |
JPS60200980A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラツド容器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008243744A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Univ Of Tokyo | 金属薄膜、金属薄膜の形成方法、及びその金属薄膜を用いた固体酸化物形燃料電池、水素ポンプ、メンブレンリアクター、水素精製装置及び固体酸化物形水蒸気電解装置。 |
JP2014214364A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社豊田中央研究所 | 高耐熱貴金属−酸化物薄膜材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2565936B2 (ja) | 1996-12-18 |
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