JPH01132748A - クラッド容器 - Google Patents
クラッド容器Info
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- JPH01132748A JPH01132748A JP29019287A JP29019287A JPH01132748A JP H01132748 A JPH01132748 A JP H01132748A JP 29019287 A JP29019287 A JP 29019287A JP 29019287 A JP29019287 A JP 29019287A JP H01132748 A JPH01132748 A JP H01132748A
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- Japan
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Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高温で使用するクラッド容器に関するもので
ある。
ある。
（従来技術とその問題点）
従来、Ｍｏ又はＭｏ合金にＲｈ又はＲｈ合金を被覆した
クラッド容器は高温ガラスや金属酸化物を含む鉱石溶解
用るつぼや真空蒸着用のトレー、ポートなどに広く用い
られていた。これは耐酸化性に優れているが、高温で使
用するので使用時間と共にＲｈ又はＲｈ合金膜の結晶粒
が粗大化し、粒界からの他の元素による浸入汚染や膜の
機械的強度の低下でクラッド容器の寿命が短いという欠
点があった。
クラッド容器は高温ガラスや金属酸化物を含む鉱石溶解
用るつぼや真空蒸着用のトレー、ポートなどに広く用い
られていた。これは耐酸化性に優れているが、高温で使
用するので使用時間と共にＲｈ又はＲｈ合金膜の結晶粒
が粗大化し、粒界からの他の元素による浸入汚染や膜の
機械的強度の低下でクラッド容器の寿命が短いという欠
点があった。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、長寿命の
容器を提供することを目的とする。
容器を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、ＭＯ又はＭｏ合金に、酸化物を分散させたＲ
ｈ又はＲｈ合金が被覆されていることを特徴とするクラ
ッド容器である。
ｈ又はＲｈ合金が被覆されていることを特徴とするクラ
ッド容器である。
本発明において、酸化物を分散させたＲｈ又はＲｈ合金
を用いるのは、Ｒｈの融点が１９６０℃と高く、しかも
高温における結晶粒の粗大化が起こりにくいからである
。しかし、酸化物を分散させたＲｈやＲｈ合金を板にす
るなどの加工が困難なため被覆することとした。被覆は
スパッタリングにて行うのが良い。これはイオンブレー
ティングや真空蒸着や湿式めっきでは、Ｒｈ又はＲｈ合
金に酸化物を分散させるのが困難な為である。
を用いるのは、Ｒｈの融点が１９６０℃と高く、しかも
高温における結晶粒の粗大化が起こりにくいからである
。しかし、酸化物を分散させたＲｈやＲｈ合金を板にす
るなどの加工が困難なため被覆することとした。被覆は
スパッタリングにて行うのが良い。これはイオンブレー
ティングや真空蒸着や湿式めっきでは、Ｒｈ又はＲｈ合
金に酸化物を分散させるのが困難な為である。
このように酸化物を分散させたＲｈ又はＲｈ合金を被覆
したるつぼは耐酸化性に優れ、しかも被膜中には酸化物
が分散していて高温での結晶粒の成長が抑えられている
ことがら景寿命のものとなる。
したるつぼは耐酸化性に優れ、しかも被膜中には酸化物
が分散していて高温での結晶粒の成長が抑えられている
ことがら景寿命のものとなる。
なお、酸化物を分散したＲｈ合金としては、Ｒｈ−ｐｔ
−酸化物、Ｒｈ−１ｒ−酸化物などがある。
−酸化物、Ｒｈ−１ｒ−酸化物などがある。
また酸化物としてはＡ ｌ ｚ Ｏ３、ＺｒＯ，、Ｙｚ
Ｏ＊などがあり、その酸化物の分散量としては、０．０
２体積％未満では高温での結晶粒の成長を抑制する効果
が薄く、１０体積％を超えると酸化物がクラッド容器内
で溶かすガラス等と反応するので、酸化物の量としては
、０．０２〜１０体積％が好ましい。さらに被膜の厚さ
としては、０．１μｍ未満ではＭ。
Ｏ＊などがあり、その酸化物の分散量としては、０．０
２体積％未満では高温での結晶粒の成長を抑制する効果
が薄く、１０体積％を超えると酸化物がクラッド容器内
で溶かすガラス等と反応するので、酸化物の量としては
、０．０２〜１０体積％が好ましい。さらに被膜の厚さ
としては、０．１μｍ未満ではＭ。
又はＭｏ合金の酸化を防止する効果が薄く、１００μｍ
を超えると効果（長寿命化）に対する被覆時間の割合が
高くなるので、被膜の厚さとしては０．１〜１００μｍ
の範囲が好ましい。
を超えると効果（長寿命化）に対する被覆時間の割合が
高くなるので、被膜の厚さとしては０．１〜１００μｍ
の範囲が好ましい。
以下、実施例と従来例について説明する。
（実施例１）
ＲｈとＹ、０３の２つのターゲットを同時に用いて、肉
厚５ｍ、高さ１００ｍ、内径８０鶴の断面コの字形Ｍｏ
製るつぼの内壁に次の条件でＲｈ ＹｚＯｓ２．５体
積％を厚さ５μｍまで２元同時スパンタリングした。
厚５ｍ、高さ１００ｍ、内径８０鶴の断面コの字形Ｍｏ
製るつぼの内壁に次の条件でＲｈ ＹｚＯｓ２．５体
積％を厚さ５μｍまで２元同時スパンタリングした。
Ａ「ガス １．０ｘｌＯ−３Ｔ ｏ ｒ ｒＲｈ
ＤＣ２ＫＷ、スパッタ速度 １０００人／ｍ１ｎＹｚ
Ｏｓ ＲＦ Ｉ Ｋ Ｗ、スパッタ速度 ２５人／
ｍｉｎ高周波電源 １３．５６Ｍ Ｈｚ ＭＯ製るつぼ 自公転 これを実施品ｌとする。
ＤＣ２ＫＷ、スパッタ速度 １０００人／ｍ１ｎＹｚ
Ｏｓ ＲＦ Ｉ Ｋ Ｗ、スパッタ速度 ２５人／
ｍｉｎ高周波電源 １３．５６Ｍ Ｈｚ ＭＯ製るつぼ 自公転 これを実施品ｌとする。
（実施例２）
Ｒｈ−ＺｒＯ□０．１体積％のターゲットを用いて、実
施例１と同一形状のＭｏ製るつぼの内外壁に次の条件で
Ｒｈ Ｚｒ０ｚ０．１体積％を厚さ１０μｍマグネト
ロンスパッタリングした。
施例１と同一形状のＭｏ製るつぼの内外壁に次の条件で
Ｒｈ Ｚｒ０ｚ０．１体積％を厚さ１０μｍマグネト
ロンスパッタリングした。
Ａｒガス １．ＯＸ １０−”Ｔ ｏ ｒ ｒＩ
ｒ−ＺｒＯ＊ ＲＦ Ｉ ＫＷ、スパッタ速度２００
０人／ ｍ ｉ ｎ高周波電源 １３．５６Ｍ Ｈｚ ＭＯ製るつぼ 自転 これを実施品２とする。
ｒ−ＺｒＯ＊ ＲＦ Ｉ ＫＷ、スパッタ速度２００
０人／ ｍ ｉ ｎ高周波電源 １３．５６Ｍ Ｈｚ ＭＯ製るつぼ 自転 これを実施品２とする。
（従来例）
実施例１で用いたＭｏ製るつぼの内外壁にＲｈを１０μ
ｍスパッタリングしたものを従来品とした。
ｍスパッタリングしたものを従来品とした。
次に、上記実施品１．２と従来品にアルカリ亜鉛硼珪酸
ガラスを５００ｇ入れＡｒ雰囲気、温度約１２００℃Ｘ
６０分間で使用した。これを１０回くり返したところ、
従来品は５μｍその容器の表面から削られたのに対し、
実施品ｌは２８ｍ１実施品２は１μｍ削られたにとどま
った。
ガラスを５００ｇ入れＡｒ雰囲気、温度約１２００℃Ｘ
６０分間で使用した。これを１０回くり返したところ、
従来品は５μｍその容器の表面から削られたのに対し、
実施品ｌは２８ｍ１実施品２は１μｍ削られたにとどま
った。
次に、従来品、実施品２の容器の底部を大気中で直接ヒ
ーター加熱して温度約１０００℃で２０時間保持したと
ころ、従来品は１０時間では減量しなかったが、Ｒｈ被
膜の結晶粒の粗大化が著しく限界状態となり、２０時間
ではＲｈ被膜が破壊され８ｇ重量したのに対し、実施品
２は被膜の結晶粒の成長は認められず、ｆＩｉ量もしな
かった。
ーター加熱して温度約１０００℃で２０時間保持したと
ころ、従来品は１０時間では減量しなかったが、Ｒｈ被
膜の結晶粒の粗大化が著しく限界状態となり、２０時間
ではＲｈ被膜が破壊され８ｇ重量したのに対し、実施品
２は被膜の結晶粒の成長は認められず、ｆＩｉ量もしな
かった。
これらのことから本発明のクラッドるつぼは従来品に比
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく寿命が長く
、また耐消耗性にも優れていることがわかる。
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく寿命が長く
、また耐消耗性にも優れていることがわかる。
尚、上記実施例ではＭｏに酸化物を分散したＲｈを直接
被覆したが、必要に応じＭｏとＲｈの拡散を防止するた
めの拡散防止層を介在するようにしてもよいものである
。
被覆したが、必要に応じＭｏとＲｈの拡散を防止するた
めの拡散防止層を介在するようにしてもよいものである
。
（発明の効果）
以上詳述したように本発明によれば、耐消耗性の優れた
長寿命のクラフト容器を提供することができる。しかも
、Ｍｏ製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命のも
のかえられる。
長寿命のクラフト容器を提供することができる。しかも
、Ｍｏ製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命のも
のかえられる。
出願人 田中貴金属工業株式会社
Claims (1)
- Ｍｏ又はＭｏ合金に、酸化物を分散させたＲｈ又はＲｈ
合金が被覆されていることを特徴とするクラッド容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290192A JP2565935B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290192A JP2565935B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132748A true JPH01132748A (ja) | 1989-05-25 |
| JP2565935B2 JP2565935B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=17752942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62290192A Expired - Lifetime JP2565935B2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | クラッド容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2565935B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515550A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Smoke sensor |
| JPS60200981A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラツド容器 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP62290192A patent/JP2565935B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515550A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Matsushita Electric Works Ltd | Smoke sensor |
| JPS60200981A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラツド容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2565935B2 (ja) | 1996-12-18 |
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