JPH01128829A - 反射防止膜付着透明板 - Google Patents
反射防止膜付着透明板Info
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- JPH01128829A JPH01128829A JP62289005A JP28900587A JPH01128829A JP H01128829 A JPH01128829 A JP H01128829A JP 62289005 A JP62289005 A JP 62289005A JP 28900587 A JP28900587 A JP 28900587A JP H01128829 A JPH01128829 A JP H01128829A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 25
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用骨！ｆｆ］
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層または金属合金層を
有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層または金属合金層を
有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］
従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
［問題を解決するための手段］
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が２
．００〜２．４０の屈折率で、且つ０． １０×λ０／
４〜０．５５×λＯ／４（λＯは中心波長、以下同じ）
の光学膜厚の第１の高屈折率誘電体層と、１．３７〜１
．５０の屈折率で、且つ０．６×λ０／４〜１．６×λ
Ｏ／４の光学膜厚の第１の低屈折率融電体層と、２゜Ｏ
Ｏ〜２．４０で、且つ０．０４×λＯ／４〜０．５×λ
０／４の光学膜厚の第２の高屈折率誘電体層と、１０〜
ＢＯＡの膜厚のチタン、クロム、ジルコニウム、モリブ
デン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステン
レスのいずれかの金属層または合金層と、１．３７〜１
．５０の屈折率で、且つ０．９×λＯ／４〜１．３×λ
Ｏ／４の光学膜厚の第２の低屈折率融電体層とからなり
、該各層が該透明基板表面から順次形成されている。
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が２
．００〜２．４０の屈折率で、且つ０． １０×λ０／
４〜０．５５×λＯ／４（λＯは中心波長、以下同じ）
の光学膜厚の第１の高屈折率誘電体層と、１．３７〜１
．５０の屈折率で、且つ０．６×λ０／４〜１．６×λ
Ｏ／４の光学膜厚の第１の低屈折率融電体層と、２゜Ｏ
Ｏ〜２．４０で、且つ０．０４×λＯ／４〜０．５×λ
０／４の光学膜厚の第２の高屈折率誘電体層と、１０〜
ＢＯＡの膜厚のチタン、クロム、ジルコニウム、モリブ
デン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステン
レスのいずれかの金属層または合金層と、１．３７〜１
．５０の屈折率で、且つ０．９×λＯ／４〜１．３×λ
Ｏ／４の光学膜厚の第２の低屈折率融電体層とからなり
、該各層が該透明基板表面から順次形成されている。
本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において前記第１及び第２の高屈折率誘電
体層として酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウ
ム、チタン酸プラセオジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛
、酸化錫、酸化インジウム、及び錫をドープした酸化イ
ンジウム（例えば酸化インジウムと酸化スズの重量比９
６：５である■Ｔｏ）のいずれかを用いることができる
。
体層として酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウ
ム、チタン酸プラセオジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛
、酸化錫、酸化インジウム、及び錫をドープした酸化イ
ンジウム（例えば酸化インジウムと酸化スズの重量比９
６：５である■Ｔｏ）のいずれかを用いることができる
。
更にまた、本発明において前記第１及び第２の低屈折率
融電体層としてフッ化マグネシウム、または酸化シリコ
ンのいずれかを用いることができる。
融電体層としてフッ化マグネシウム、または酸化シリコ
ンのいずれかを用いることができる。
［作 用コ
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
［実施例１］
以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第１図において、１は屈折率１．５１のガラス板であっ
て、ガラス板１の表面に反射防止膜７が形成されている
。反射防止膜７はガラス板１側から順次屈折率が２．４
０で、光学膜厚が２８．６５ｎｍ（中心波長λＯ＝５０
４ｎｍ、０．２２７４ｘλＯ／４） ＋７１酸化チタ７
（Ｔｉ０２）層２と、屈折率が１．４６で、光学膜厚が
１５８．６６ｎｍ（１，２４３３×λＯ／４）、の酸化
シリコン（Ｓｉ０２）層３と、屈折率が２．４０で、光
学膜厚が２７．６３ｎｍ（０，２１９３×λ０／４）の
酸化チタン（Ｔ ｉ ０２ ）層４と、膜厚が４２Ａの
ステンレス層４（ステンレスは７２重量％のニッケル、
１６重量％のクロム及び８重量％の鉄の合金）と、屈折
率が１．４６で、光学膜厚が１３３．８９ｎｍ（１，０
８２６×λ０／４）の酸化シリコン（Ｓｉ０２）層６と
からなり、各月はガラス板１面上に順次スパッタリング
法で形成された。
て、ガラス板１の表面に反射防止膜７が形成されている
。反射防止膜７はガラス板１側から順次屈折率が２．４
０で、光学膜厚が２８．６５ｎｍ（中心波長λＯ＝５０
４ｎｍ、０．２２７４ｘλＯ／４） ＋７１酸化チタ７
（Ｔｉ０２）層２と、屈折率が１．４６で、光学膜厚が
１５８．６６ｎｍ（１，２４３３×λＯ／４）、の酸化
シリコン（Ｓｉ０２）層３と、屈折率が２．４０で、光
学膜厚が２７．６３ｎｍ（０，２１９３×λ０／４）の
酸化チタン（Ｔ ｉ ０２ ）層４と、膜厚が４２Ａの
ステンレス層４（ステンレスは７２重量％のニッケル、
１６重量％のクロム及び８重量％の鉄の合金）と、屈折
率が１．４６で、光学膜厚が１３３．８９ｎｍ（１，０
８２６×λ０／４）の酸化シリコン（Ｓｉ０２）層６と
からなり、各月はガラス板１面上に順次スパッタリング
法で形成された。
反射防止！！７を形成したガラス板１のガラス面側をガ
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲ
Ｔのフェースプレートに接着してガラス面側の反射をな
くした。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性
を第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び
視感度透過率を第１表に夫々示した。
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲ
Ｔのフェースプレートに接着してガラス面側の反射をな
くした。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性
を第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び
視感度透過率を第１表に夫々示した。
第１表
［実施例２コ
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変えた。
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変えた。
すなわち、反射防止膜７は屈折率が２．４０で、光学膜
厚が２４．１８ｎｍ（０，１９１９×λ０／４）の酸化
チタン層２と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１９１
．３６ｎｍ（１，５１８７×λ０／４）の弗化マグネシ
ウム（ＭｇＦ２）層３と、屈折率が２．４０で、光学膜
厚が５．２４ （０．０４１６×λ０／４）の酸化チタ
ン層４と、膜厚が３７Ａのニッケル・クロム合金（９０
重量％のニッケルと１０重量％のクロムとの合金）層５
と、屈折率が１．３７で、光学厚みが１２２．４８ （
０，９７２１ｘλＯ／４）の弗化マグネシウム層６とか
らなり、これらの層はガラス板１上に順次真空蒸着法に
より形成された。このようにして得られた反射防止膜付
着ガラス板を実施例１と同様にして光学特性を測定した
ところ第１表に示したとおり視感度反射率が０．０６％
、視感度透過率が６０％であった。
厚が２４．１８ｎｍ（０，１９１９×λ０／４）の酸化
チタン層２と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１９１
．３６ｎｍ（１，５１８７×λ０／４）の弗化マグネシ
ウム（ＭｇＦ２）層３と、屈折率が２．４０で、光学膜
厚が５．２４ （０．０４１６×λ０／４）の酸化チタ
ン層４と、膜厚が３７Ａのニッケル・クロム合金（９０
重量％のニッケルと１０重量％のクロムとの合金）層５
と、屈折率が１．３７で、光学厚みが１２２．４８ （
０，９７２１ｘλＯ／４）の弗化マグネシウム層６とか
らなり、これらの層はガラス板１上に順次真空蒸着法に
より形成された。このようにして得られた反射防止膜付
着ガラス板を実施例１と同様にして光学特性を測定した
ところ第１表に示したとおり視感度反射率が０．０６％
、視感度透過率が６０％であった。
［実施例３コ
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。す
なわち、反射防止膜は屈折率が２゜１５で、光学膜厚が
２７．２８ （０，２１６５ｘλＯ／４）のチタン酸プ
ラセオジム（ＰｒＴｉＯ３）層２と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１５７．１７ （１，２４７４×λＯ／
４）の弗化マグネシウム層３と、屈折率が２．１５で、
光学膜厚が２３．５１ （０，１８８８×λＯ／４）の
チタン酸プラセオジム層４と、膜厚が３５Ａのニッケル
・クロム合金にッケル＝９０重量％、クロム：１０重量
％）層５と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１３４．
ｏｔ （１，０６３８×λ０／４）の弗化マグネシウム
層６とからなり、各層はガラス板１上に順次真空蒸着法
により形成された。
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。す
なわち、反射防止膜は屈折率が２゜１５で、光学膜厚が
２７．２８ （０，２１６５ｘλＯ／４）のチタン酸プ
ラセオジム（ＰｒＴｉＯ３）層２と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１５７．１７ （１，２４７４×λＯ／
４）の弗化マグネシウム層３と、屈折率が２．１５で、
光学膜厚が２３．５１ （０，１８８８×λＯ／４）の
チタン酸プラセオジム層４と、膜厚が３５Ａのニッケル
・クロム合金にッケル＝９０重量％、クロム：１０重量
％）層５と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１３４．
ｏｔ （１，０６３８×λ０／４）の弗化マグネシウム
層６とからなり、各層はガラス板１上に順次真空蒸着法
により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ第１表に示
したとおり視感度反射率が０．０６％、視感度透過率が
８０％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ第１表に示
したとおり視感度反射率が０．０６％、視感度透過率が
８０％であった。
［発明の効果］
以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層または合金層を組入れること
により、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合には
視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくすること
ができる。
膜中に光吸収のある金属層または合金層を組入れること
により、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合には
視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくすること
ができる。
従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり更に光吸収の金属
層または合金層により、ＣＲＴの蛍光面に入射する光が
吸収され、コントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
層または合金層により、ＣＲＴの蛍光面に入射する光が
吸収され、コントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の高屈折率誘電体層、３：第１の
低屈折率融電体層 ４：第２の高屈折率誘電体層 ５：金属層または合金層 ６：第２の低屈折率融電体層、７：反射防止膜第１図
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の高屈折率誘電体層、３：第１の
低屈折率融電体層 ４：第２の高屈折率誘電体層 ５：金属層または合金層 ６：第２の低屈折率融電体層、７：反射防止膜第１図
Claims (3)
- （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の光の反
射を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
て、該反射防止膜が２．００〜２．４０の屈折率で、且
つ０．１０×λ０／４〜０．５５×λ０／４（λ０は中
心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の高屈折率誘電体
層と、１．３７〜１．５０の屈折率で、且つ０．６×λ
０／４〜１．６×λ０／４の光学膜厚の第１の低屈折率
融電体層と、２．００〜２．４０で、且つ０．０４×λ
０／４〜０．５×λ０／４の光学膜厚の第２の高屈折率
誘電体層と、１０〜８０Åの膜厚のチタン、クロム、ジ
ルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム
合金、またはステンレスのいずれかの金属層または合金
層と、１．３７〜１．５０の屈折率で、且つ０．９×λ
０／４〜１．３×λ０／４の光学膜厚の第２の低屈折率
誘電体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次
形成されてなる反射防止膜付着透明板。 - （２）前記第１及び第２の高屈折率誘電体層が酸化チタ
ン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセ
オジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化錫、酸化イン
ジウム、及び錫をドープした酸化インジウムのいずれか
である特許請求の範囲第１項に記載の反射防止膜付着透
明板。 - （３）前記第１及び第２の低屈折率誘電体層がフッ化マ
グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
請求の範囲第１項または第２項に記載の反射防止膜付着
透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289005A JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289005A JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128829A true JPH01128829A (ja) | 1989-05-22 |
| JP2525838B2 JP2525838B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=17737609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62289005A Expired - Lifetime JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2525838B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6116260A (en) * | 1996-08-23 | 2000-09-12 | Nikon Corporation | Liquid material supplying apparatus and liquid material supplying method |
| US6457852B1 (en) | 1997-08-21 | 2002-10-01 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for supplying chemicals |
| JP2002307594A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Nof Corp | 透過色調補正材料および用途 |
| EP1882678A1 (en) | 2006-07-28 | 2008-01-30 | Sony Corporation | Antireflection film, method for heating metal film, and heating apparatus |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP62289005A patent/JP2525838B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US7557041B2 (en) | 1997-08-21 | 2009-07-07 | Fujitsu Microelectronics Limited | Apparatus and method for supplying chemicals |
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| US8693099B2 (en) | 2006-07-28 | 2014-04-08 | Japan Display West Inc. | Antireflection film |
| KR101388570B1 (ko) * | 2006-07-28 | 2014-04-23 | 재팬 디스프레이 웨스트 인코포레이트 | 반사 방지막, 금속막의 가열 방법 및 가열 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2525838B2 (ja) | 1996-08-21 |
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