JPH01180501A - 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 - Google Patents
金属膜を有する反射防止膜付着透明板Info
- Publication number
- JPH01180501A JPH01180501A JP63004409A JP440988A JPH01180501A JP H01180501 A JPH01180501 A JP H01180501A JP 63004409 A JP63004409 A JP 63004409A JP 440988 A JP440988 A JP 440988A JP H01180501 A JPH01180501 A JP H01180501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- dielectric layer
- transparent plate
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 25
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 5
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分５Ｆコ
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］
従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誂電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
透明板として、透明基板の一方の面に誂電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
［課題を解決するための手段］
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が２
．００〜２．４０の屈折率で、０．０７×λｏ／４〜１
．２０×λｏ／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）の
光学膜厚である高屈折率誘電体層と、１．３７〜１．５
０の屈折率で、１．４０×λｏ／４〜１．７０×λｏ／
４の光学膜厚である第１の低屈折率誘電体層と、３０八
〜６０人のチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン
、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステンレス
のいずれかの金ｖ４層または合金層と、１．３７〜１．
５０の屈折率で、０．８×λｏ／４〜１．０×λｏ／４
の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層とからなり、各層
が該透明基板表面から順次形成されている。
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が２
．００〜２．４０の屈折率で、０．０７×λｏ／４〜１
．２０×λｏ／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）の
光学膜厚である高屈折率誘電体層と、１．３７〜１．５
０の屈折率で、１．４０×λｏ／４〜１．７０×λｏ／
４の光学膜厚である第１の低屈折率誘電体層と、３０八
〜６０人のチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン
、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステンレス
のいずれかの金ｖ４層または合金層と、１．３７〜１．
５０の屈折率で、０．８×λｏ／４〜１．０×λｏ／４
の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層とからなり、各層
が該透明基板表面から順次形成されている。
本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において、前記高屈折率誘電体層として、
酸化チタン（Ｔｉ０２）、酸化タンタル（Ｔａ２ ｏｓ
） 、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、チタン酸プラ
セオジム（Ｐ ｒ Ｔ Ｉ Ｏ３） 、酸化ハフニウム
（Ｈｆ０２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化スズ（Ｓｎ０
２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及び錫をドープ
した酸化インジウム（例えば、酸化インジウムと酸化ス
ズの重量比が９５：５であるＩＴｏ）のいずれかを用い
ることができる。
酸化チタン（Ｔｉ０２）、酸化タンタル（Ｔａ２ ｏｓ
） 、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、チタン酸プラ
セオジム（Ｐ ｒ Ｔ Ｉ Ｏ３） 、酸化ハフニウム
（Ｈｆ０２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化スズ（Ｓｎ０
２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及び錫をドープ
した酸化インジウム（例えば、酸化インジウムと酸化ス
ズの重量比が９５：５であるＩＴｏ）のいずれかを用い
ることができる。
更にまた、本発明において前記第１及び第２の低屈折率
誘電体層としてフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、また
は酸化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いることが
できる。
誘電体層としてフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、また
は酸化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いることが
できる。
［作 用］
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
［実施例１］
以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第１図において、１は屈折率が１．５１のガラス板であ
って、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止膜６はガラス板１側から順次屈折率が２．
４０で、光学膜厚が０． １８２５×λｏ／４（但しλ
Ｏ＝５０４ｎｍｘ以下同じ）の酸化チタン層２と、屈折
率が１．３７で、光学膜厚が１．５８２９×λｏ／４の
フッ化マグネシウム層３と、膜厚が３５Ａのステンレス
層４（ステンレスは７２重量％のニッケル、１６重量％
のクロム及び８重量％の鉄の合金である）と、屈折率が
１．３７で、光学膜厚が０．９３３１×λｏ／４のフッ
化マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板１面上
に順次真空蒸着法で形成された。
って、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止膜６はガラス板１側から順次屈折率が２．
４０で、光学膜厚が０． １８２５×λｏ／４（但しλ
Ｏ＝５０４ｎｍｘ以下同じ）の酸化チタン層２と、屈折
率が１．３７で、光学膜厚が１．５８２９×λｏ／４の
フッ化マグネシウム層３と、膜厚が３５Ａのステンレス
層４（ステンレスは７２重量％のニッケル、１６重量％
のクロム及び８重量％の鉄の合金である）と、屈折率が
１．３７で、光学膜厚が０．９３３１×λｏ／４のフッ
化マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板１面上
に順次真空蒸着法で形成された。
反射防止膜６を形成したガラス板１のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
第１表
［実施例２コ
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止Ｍ６の多層膜を以下の如く変えた。
であって、反射防止Ｍ６の多層膜を以下の如く変えた。
すなわち、反射防止膜６は屈折率が２．１５で、光学膜
厚が０．２３８５×λｏ／４のチタン酸プラセオジム層
２と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１．５５８２×
λｏ／４のフッ化マグネシウム層３と、膜厚が３８Ａの
ニッケル・クロム合金（９０重量％のニッケルと１０重
１ｉ％のクロムとの合金）層４と、屈折率が１．３７で
、光学膜厚が０．９３３６×λｏ／４のフッ化マグネシ
ウム！３５とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。
厚が０．２３８５×λｏ／４のチタン酸プラセオジム層
２と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１．５５８２×
λｏ／４のフッ化マグネシウム層３と、膜厚が３８Ａの
ニッケル・クロム合金（９０重量％のニッケルと１０重
１ｉ％のクロムとの合金）層４と、屈折率が１．３７で
、光学膜厚が０．９３３６×λｏ／４のフッ化マグネシ
ウム！３５とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にし、て光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり視感度反射率が０゜０６％、視感度透過
率が５８％であった。
例１と同様にし、て光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり視感度反射率が０゜０６％、視感度透過
率が５８％であった。
［実施例３コ
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜は屈折率が２．４０で、光学膜厚
が０．２３５７×λｏ／４の酸化チタン層２と、屈折率
が１．４６で、光学膜厚が１．６１０５×λｏ／４の酸
化シリコン層３と、膜厚が４３Ａのステンレス層４（７
２重量％のニッケルと１６玉ｍ％のクロムと８重量％の
鉄との合金）と、屈折率が１．４６で、光学膜厚が０．
９２６０×λｏ／４の酸化シリコンとからなり、各層は
ガラス板１上に順次スパッタ法により形成された。
が０．２３５７×λｏ／４の酸化チタン層２と、屈折率
が１．４６で、光学膜厚が１．６１０５×λｏ／４の酸
化シリコン層３と、膜厚が４３Ａのステンレス層４（７
２重量％のニッケルと１６玉ｍ％のクロムと８重量％の
鉄との合金）と、屈折率が１．４６で、光学膜厚が０．
９２６０×λｏ／４の酸化シリコンとからなり、各層は
ガラス板１上に順次スパッタ法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜０８％、視感度透過
率が５４％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜０８％、視感度透過
率が５４％であった。
［発明の効果コ
以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層または合金属によりＣＲＴの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
属層または合金属によりＣＲＴの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：高屈折率誘電体層、 ３：第１の低屈折率誘電体層 ４：金属層または合金層 ５：第２の低屈折率誘電体層 ６：反射防止模 第１図 第２図 第３図 波長（ｎｍ）
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：高屈折率誘電体層、 ３：第１の低屈折率誘電体層 ４：金属層または合金層 ５：第２の低屈折率誘電体層 ６：反射防止模 第１図 第２図 第３図 波長（ｎｍ）
Claims (3)
- （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の光の反
射を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
て、該反射防止膜が２．００〜２．４０の屈折率で、０
．０７×λｏ／４〜１．２０×λｏ／４（但しλｏは中
心波長、以下同じ）の光学膜厚である高屈折率誘電体層
と、１．３７〜１．５０の屈折率で、１．４０×λｏ／
４〜１．７０×λｏ／４の光学膜厚である第１の低屈折
率誘電体層と、３０Å〜６０Åのチタン、クロム、ジル
コニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合
金、またはステンレスのいずれかの金属層または合金層
と、１．３７〜１．５０の屈折率で、０．８×λｏ／４
〜１．０×λｏ／４の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体
層とからなり、各層が該透明基板表面から順次形成され
てなる金属膜を有する反射防止膜付着透明板。 - （２）前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化タンタ
ル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジム、酸化ハ
フニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、及び
錫をドープした酸化インジウムのいずれかである特許請
求の範囲第１項に記載の金属膜を有する反射防止膜付着
透明板。 - （３）前記第１及び第２の低屈折率誘電体層がフッ化マ
グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
請求の範囲第１項または第２項に記載の反射防止膜付着
透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004409A JP2565525B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004409A JP2565525B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180501A true JPH01180501A (ja) | 1989-07-18 |
| JP2565525B2 JP2565525B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=11583518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004409A Expired - Lifetime JP2565525B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2565525B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09186949A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 映像装置 |
| WO2000002066A1 (fr) * | 1998-07-01 | 2000-01-13 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Produit en verre a film antireflet electroconducteur et tube cathodique utilisant un tel produit |
| JP2007224700A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-09-06 | Sekisui Chem Co Ltd | レールの防音装置 |
| CN108828697A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-11-16 | 厦门美澜光电科技有限公司 | 一种埃米抗氧化抗反射耐腐蚀镜片及其制备方法 |
| JP2019128478A (ja) * | 2018-01-25 | 2019-08-01 | 株式会社乾レンズ | 眼鏡用レンズ及び眼鏡 |
| CN111316136A (zh) * | 2017-11-07 | 2020-06-19 | 迪睿合电子材料有限公司 | 层叠体、防反射结构体及照相机模块搭载装置 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63004409A patent/JP2565525B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09186949A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 映像装置 |
| WO2000002066A1 (fr) * | 1998-07-01 | 2000-01-13 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Produit en verre a film antireflet electroconducteur et tube cathodique utilisant un tel produit |
| ES2212863A1 (es) * | 1998-07-01 | 2004-08-01 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Articulos de vidrio con recubrimiento conductor de antirreflexion y tubo de rayos catodicos que los utiliza. |
| JP2007224700A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-09-06 | Sekisui Chem Co Ltd | レールの防音装置 |
| CN111316136A (zh) * | 2017-11-07 | 2020-06-19 | 迪睿合电子材料有限公司 | 层叠体、防反射结构体及照相机模块搭载装置 |
| JP2019128478A (ja) * | 2018-01-25 | 2019-08-01 | 株式会社乾レンズ | 眼鏡用レンズ及び眼鏡 |
| CN108828697A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-11-16 | 厦门美澜光电科技有限公司 | 一种埃米抗氧化抗反射耐腐蚀镜片及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2565525B2 (ja) | 1996-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5728456A (en) | Methods and apparatus for providing an absorbing, broad band, low brightness, antireflection coating | |
| CA2204011C (en) | Antireflection coating for a temperature sensitive substrate | |
| US5667880A (en) | Electroconductive antireflection film | |
| JPH06510382A (ja) | 導電性光減衰型反射防止被膜 | |
| US6586101B2 (en) | Anti-reflection coating with transparent surface conductive layer | |
| KR20010012218A (ko) | 다층 흡수 반사방지 코팅 | |
| JP2001209038A (ja) | 液晶表示素子用基板 | |
| US6532112B2 (en) | Anti-reflection conducting coating | |
| KR20000047951A (ko) | 반사 방지막 및 표시 장치 | |
| JPH01180501A (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| JP2003094548A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2590133B2 (ja) | 導電性反射防止膜を有する透明板 | |
| JP2525838B2 (ja) | 反射防止膜付着透明板 | |
| US20080226887A1 (en) | Low resistivity light attenuation anti-reflection coating with a transparent surface conductive layer | |
| JPH01168855A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JP2531734B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP4834939B2 (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2590136B2 (ja) | 導電性反射防止膜の付着透明板 | |
| JP2531722B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JPH06263483A (ja) | 導電性反射防止膜および導電性反射防止ガラス | |
| JP2565538B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| US11428853B2 (en) | Touch device and manufacturing method thereof, intelligent mirror | |
| JPH01168854A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JP2531725B2 (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| US7662464B2 (en) | Anti-reflection coating with low resistivity function and transparent conductive coating as outermost layer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090323 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090323 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120323 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130323 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140323 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140323 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140323 Year of fee payment: 13 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |