JPH011237A - 異物粒子除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子部品の製造工程において、電子部品のキャ
ビティ中に混入している異物粒子を除去する装置に関す
る。

〔従来の技術〕

電子部品のキャビティ中に異物粒子が混入している場合
、その粒子は電子部品自体にさまざまな悪影響を与える
恐れがある。例えば、ＩＣ，トランジスタ等では回路の
短絡などの事故を引き起こす原因となる。

従来、キャビティ中の異物粒子は、電子部品に振動或い
は衝撃を与え、エアーブロー又は真空吸引を行って除去
していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の除去方法では電子部品の内部構造によっ
て粒子が動かなくなる場合があり、静電気により粒子が
キャビティ内壁に付着し、これを除去しきれないという
欠点がある。

本発明の目的は前記問題点を解決する異物粒子除去装置
を提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の除去装置に対して、振動と同時に衝撃を
与えて本発明は電子部品のキャビティ中の異物粒子を遊
離させ、かつ静電気に対してはキャビティ中にイオン化
エアーを吹き込み、浮遊した粒子をエアーごと吸引し、
排出するという相違点を有する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は供試品取付治具と、加速度センサーを備え該治
具に振動を加える振動発生機と、衝撃を与える衝撃印加
機と、供試品の静電除去を行うイオン化エアー送風機と
、異物粒子を該イオン化エアー送風機からのエアーに取
り込んで該エアーごと吸引、排出する排気ダクトとを有
することを特徴とする異物粒子除去装置である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図である。第
１図において、本発明の異物粒子除去装置は、電子部品
１を取付ける供試品取付治具２と、加速度センサー３を
備え該治具２に振動を与える振動発生機４と、振動と同
時に電子部品１に衝撃を与える衝撃印加機５と、電子部
品１の静電気除去を行うイオン化エアー送風機７と、異
物粒子をそのエアーごと吸引、排気する排気ダクト８を
有している。また６はエアーフィルター、９はチャージ
アンプ、１０はオシロスコープ、１１は増幅器、１２は
ファンクションジェネレータである。

実施例において、電子部品１を開口部を下にして供試品
取付治具２に固定し、加速度センサー３を備えた振動発
生機４により振動を与えて電子部品のキャビティ中の異
物粒子を遊離させ、同時に衝撃印加機５により衝撃を与
える。

遊離した異物粒子は静電気によりキャビティ内壁に付着
するか、エアーフィルター６を介してイオン化エアー送
風機７によりイオン化エアーを吹き込み、浮遊した異物
粒子をそのエアーごと排気ダクト８により吸引、排気す
る。尚、加速度センサー３には振動を測定するためのチ
ャージアンプ９とオシロスコープ１０が接続されており
、振動発生機４には振動発生源としての増幅器■１とフ
ァンクションジェネレータ１２が接続されている。

（実施例２） 第２図は本発明の第２の実施例を示す構成図である。

前述の実施例の電子部品１にトランスデユーサ１３を取
付けたものである。振動発生機４及び衝撃印加機５によ
り加振されたときに電子部品のキャビティ中に自由な異
物粒子が存在すれば、キャビティ内壁と粒子との衝突に
よって高周波の衝突音響ノイズを生じる。本実施例はこ
の音響ノイズをトランスデユーサ１３で検出し、雑音検
出器１４によりノイズを検出する。

この実施例では異物粒子を除去しながら、キャビティ中
の粒子の存在のチエツクができるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、振動と同時に衝撃を加え
ることにより電子部品のキャビティ中の異物粒子を遊離
し、かつイオン化エアーを吹き込むことにより静電気の
影響を受けないため、粒子の除去を確実に行うことがで
きる効果がある６

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２＠は
本発明の第２の実施例を示す構成図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）供試品取付治具と、加速度センサーを備え該治具
   に振動を加える振動発生機と、衝撃を与える衝撃印加機
   と、供試品の静電除去を行うイオン化エアー送風機と、
   異物粒子を該イオン化エアー送風機からのエアーに取り
   込んで該エアーごと吸引、排出する排気ダクトとを有す
   ることを特徴とする異物粒子除去装置。