JPH01119769A - 検査装置用プローブ - Google Patents
検査装置用プローブInfo
- Publication number
- JPH01119769A JPH01119769A JP27858087A JP27858087A JPH01119769A JP H01119769 A JPH01119769 A JP H01119769A JP 27858087 A JP27858087 A JP 27858087A JP 27858087 A JP27858087 A JP 27858087A JP H01119769 A JPH01119769 A JP H01119769A
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- JP
- Japan
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- probe
- inspection device
- integrated circuit
- inspecting apparatus
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Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 abstract 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は検査装置用プローブ、特にウェハー上の集積回
路装置の検査に際して、検査装置と集積回路パターンと
を接続するための探針を有する検査装置用プローブに関
する。
路装置の検査に際して、検査装置と集積回路パターンと
を接続するための探針を有する検査装置用プローブに関
する。
ＩＣの製造工程中における集積回路パターンの検査のた
めに集積回路パターン検査装置が使用される。ＩＣは各
品種ごとにパターンが異なり、検査のため探針で接触す
る場所、数等が異なるため、検査装置とウェハー上のパ
ターンとを接続するために、そのＩＣの品種ごとに接触
する探針の配置、数等の異なるプローブを使用し、プロ
ーブを介して検査装置ヘッドとウェハーの集積回路とが
信号のやりとりを行い集積回路パターンの検査をするが
通常である。従来、この種の検査装置用プローブは第２
図（ａ）、 （ｂ）のように検査装置本体に接続される
ピン５を有するプローブ本体の基板６の中央部に、被測
定ウェハー８に接触させる複数の探針７が傾斜されて設
けられており、ピン５と探針７とはプローブ本体の基板
６の表面又は内部を通じて配線されており、探針７の先
端と被測定ウェハー８とを接触させることにより、ウェ
ハー上の集積回路パターンと検査装置本体とがこの検査
装置用プローブを通じて導通するようになっている。
めに集積回路パターン検査装置が使用される。ＩＣは各
品種ごとにパターンが異なり、検査のため探針で接触す
る場所、数等が異なるため、検査装置とウェハー上のパ
ターンとを接続するために、そのＩＣの品種ごとに接触
する探針の配置、数等の異なるプローブを使用し、プロ
ーブを介して検査装置ヘッドとウェハーの集積回路とが
信号のやりとりを行い集積回路パターンの検査をするが
通常である。従来、この種の検査装置用プローブは第２
図（ａ）、 （ｂ）のように検査装置本体に接続される
ピン５を有するプローブ本体の基板６の中央部に、被測
定ウェハー８に接触させる複数の探針７が傾斜されて設
けられており、ピン５と探針７とはプローブ本体の基板
６の表面又は内部を通じて配線されており、探針７の先
端と被測定ウェハー８とを接触させることにより、ウェ
ハー上の集積回路パターンと検査装置本体とがこの検査
装置用プローブを通じて導通するようになっている。
また、その探針７は弾性変形してウェハー上の集積回路
パターンに接触する。
パターンに接触する。
上述した従来の検査装置用プローブは第４図のように同
時に２パタ一ン以上の集積回路パターンを検査するとき
等、その接触させたい場所などによってはプローブの作
成が不可能になり、また、第５図のように探針が非常に
接近したりする場合には、針圧を強くすると、探針どう
じが接触したりするという欠点がある。
時に２パタ一ン以上の集積回路パターンを検査するとき
等、その接触させたい場所などによってはプローブの作
成が不可能になり、また、第５図のように探針が非常に
接近したりする場合には、針圧を強くすると、探針どう
じが接触したりするという欠点がある。
本発明の目的は前記問題点を解消した検査装置１１用プ
ローブを提供することにある。
ローブを提供することにある。
本発明は集積回路装置に複数の探針を接触させ、該探針
を介して集積回路装置の電気的機能検査用４８号の授受
を行う検査装置用プローブにおいて、絶縁」、（板に複
数の探針を直角に植設したことを特徴とする検査装置用
プローブである。
を介して集積回路装置の電気的機能検査用４８号の授受
を行う検査装置用プローブにおいて、絶縁」、（板に複
数の探針を直角に植設したことを特徴とする検査装置用
プローブである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図（ｂ）、（ｂ）において、検査装置本体に接続さ
れるピン１を有するプローブ本体の絶縁基板２に複数の
探針３を直角に植設し、ピン１と探針３とを」１（仮２
の表面又は内部を通じて配線する。
れるピン１を有するプローブ本体の絶縁基板２に複数の
探針３を直角に植設し、ピン１と探針３とを」１（仮２
の表面又は内部を通じて配線する。
以上の構成による本発明のプローブ１０は第３図に示す
ように基板２の探針３を上向きにして検査装置本体１２
にセットして検査装置ヘッド９と対向させ、プローブ１
０を介して検査装置ヘッド９とウェハー１１の集積回路
との間で信号の授受を行い、集積回路パターンの検査を
行う。
ように基板２の探針３を上向きにして検査装置本体１２
にセットして検査装置ヘッド９と対向させ、プローブ１
０を介して検査装置ヘッド９とウェハー１１の集積回路
との間で信号の授受を行い、集積回路パターンの検査を
行う。
以上説明したように本発明は、検査装置用プローブの探
針を基板にほぼ垂直に取付けることにより、いかなる場
所、以下なる個数の接触箇所であってもそのパターンに
合ったプローブを作成することができる。２パタ一ン以
上の同時検査を行うためのプローブも同様に作成するこ
とができる。
針を基板にほぼ垂直に取付けることにより、いかなる場
所、以下なる個数の接触箇所であってもそのパターンに
合ったプローブを作成することができる。２パタ一ン以
上の同時検査を行うためのプローブも同様に作成するこ
とができる。
また、針圧による探針同士の接触等はおきないなどの効
果がある。
果がある。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す断面図、第１図
（ｂ）は同平面図、第２図（ａ）は従来例を示す断面図
、第２図（ｂ）は同平面図、第３図は検査装置と検査装
置用プローブの関係を示す図、第４図は従来の２パタ一
ン同時測定時の探針を示す図、第５図はパターン中央付
近に探針を配置する場合を示す図である。 ２・・・・絶縁基板 ３・・・探針４．８．１
１・・被測定ウェハー ９・・・検査装置ヘッド１０・
・検査装置用プローブ Ｉ２・・・検査装置本体（ａ） 第１図 第２図 第３図
（ｂ）は同平面図、第２図（ａ）は従来例を示す断面図
、第２図（ｂ）は同平面図、第３図は検査装置と検査装
置用プローブの関係を示す図、第４図は従来の２パタ一
ン同時測定時の探針を示す図、第５図はパターン中央付
近に探針を配置する場合を示す図である。 ２・・・・絶縁基板 ３・・・探針４．８．１
１・・被測定ウェハー ９・・・検査装置ヘッド１０・
・検査装置用プローブ Ｉ２・・・検査装置本体（ａ） 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）集積回路装置に複数の探針を接触させ、該探針を
介して集積回路装置の電気的機能検査用信号の授受を行
う検査装置用プローブにおいて、絶縁基板に複数の探針
を直角に植設したことを特徴とする検査装置用プローブ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27858087A JPH01119769A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 検査装置用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27858087A JPH01119769A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 検査装置用プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01119769A true JPH01119769A (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=17599243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27858087A Pending JPH01119769A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 検査装置用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01119769A (ja) |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP27858087A patent/JPH01119769A/ja active Pending
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