JPH01112765A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH01112765A JPH01112765A JP62270728A JP27072887A JPH01112765A JP H01112765 A JPH01112765 A JP H01112765A JP 62270728 A JP62270728 A JP 62270728A JP 27072887 A JP27072887 A JP 27072887A JP H01112765 A JPH01112765 A JP H01112765A
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- Japan
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- circuit
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- well
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- earth
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 235000014121 butter Nutrition 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Dram (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はシリコンウニへ上に形成されたCMOSアナロ
グ回路、またはデジタル・アナログ混在回路、またはデ
ジタル回路におけるレイアウトに関する。
グ回路、またはデジタル・アナログ混在回路、またはデ
ジタル回路におけるレイアウトに関する。
従来、CMOSアナログ回路、デジタルアナログ混在回
路、デジタル回路においてアナログ回路間のクロストー
ク、デジタル回路とアナログ回路間のクロストーク、デ
ジタル回路間のクロストークを抑えるため、両者間を極
力殖す、あるいは電源電位かアース電位の金属配線バク
−7でノイズ源の周囲を囲む、というような対策を行な
ってきた。第2図(a)が、従来使用されているバター
7例で、201が1つのまとまった機能を有する回路、
202が他の回路である。両者の距離d。
路、デジタル回路においてアナログ回路間のクロストー
ク、デジタル回路とアナログ回路間のクロストーク、デ
ジタル回路間のクロストークを抑えるため、両者間を極
力殖す、あるいは電源電位かアース電位の金属配線バク
−7でノイズ源の周囲を囲む、というような対策を行な
ってきた。第2図(a)が、従来使用されているバター
7例で、201が1つのまとまった機能を有する回路、
202が他の回路である。両者の距離d。
を大きめにとるとか、金属配線パターン203で囲むと
いう様な方法の一例である。第2図(b)は(a)の断
面図である。
いう様な方法の一例である。第2図(b)は(a)の断
面図である。
しかし従来の方法では、回路間の物理的距離を大きくと
ることにより全体のチップサイズが太き(なったり、金
属配線パターンで囲むだけではを効にノイズ、クロスト
ークが遮断できないという欠点があった。本発明はアナ
ログ回路間、デジタル、アナログ回路間のノイズ、クロ
ストークを有効に遮断する手段を提供することである。
ることにより全体のチップサイズが太き(なったり、金
属配線パターンで囲むだけではを効にノイズ、クロスト
ークが遮断できないという欠点があった。本発明はアナ
ログ回路間、デジタル、アナログ回路間のノイズ、クロ
ストークを有効に遮断する手段を提供することである。
本発明はノイズ、クロストークを有効に遮断するために
、まとまったーっの機能を有するノイズ源、クロストー
ク源の周囲を、ウェハがN−基板の場合P−ウェルで囲
み、ウェハがP−基板の場合N−ウェルで囲む。更にこ
れらのP−ウェル、N−ウェルの電位を金属配線で電源
またはアースと同一電位とすることにより、基板を介し
てのノイズ・クロストークを遮断するものである。
、まとまったーっの機能を有するノイズ源、クロストー
ク源の周囲を、ウェハがN−基板の場合P−ウェルで囲
み、ウェハがP−基板の場合N−ウェルで囲む。更にこ
れらのP−ウェル、N−ウェルの電位を金属配線で電源
またはアースと同一電位とすることにより、基板を介し
てのノイズ・クロストークを遮断するものである。
第1図に従って説明する。第1図(a)が本発明のバタ
ー7図、第1図(b)が第1図(a)の断面図である。
ー7図、第1図(b)が第1図(a)の断面図である。
101が1つのまとまった機能を存す6 CM OS回
路で、105が他(7)CMOS回路である。回路10
1がノイズ源である場合、従来の金属配線パターンでも
ある程度のノイズ遮断が可能である。しかし基板、第1
図(b)の119は完全導体ではないのでこの基板を通
してノイズが伝達される。このノイズは特に基板の表面
に近い方がより多く伝達するため、ある程度の深さを持
ったP−ウェル103,114.117で回路101を
囲いその電位をアースまたは電源と同一とすることによ
り、非常に有効にノイズを遮断することができる。P−
ウェル103.114.117は、絶縁酸化11211
3.116にコンタクトホール104をあけ、その上に
アルミニウムを蒸着することによって、P−ウェルは非
常に低インピーダンスとなる。このアルミニウムの片端
をアース、または電源電位に接続する。
路で、105が他(7)CMOS回路である。回路10
1がノイズ源である場合、従来の金属配線パターンでも
ある程度のノイズ遮断が可能である。しかし基板、第1
図(b)の119は完全導体ではないのでこの基板を通
してノイズが伝達される。このノイズは特に基板の表面
に近い方がより多く伝達するため、ある程度の深さを持
ったP−ウェル103,114.117で回路101を
囲いその電位をアースまたは電源と同一とすることによ
り、非常に有効にノイズを遮断することができる。P−
ウェル103.114.117は、絶縁酸化11211
3.116にコンタクトホール104をあけ、その上に
アルミニウムを蒸着することによって、P−ウェルは非
常に低インピーダンスとなる。このアルミニウムの片端
をアース、または電源電位に接続する。
本発明では回路105がノイズ源、回路101がノイズ
で誤動作する回路を101とした場合でも同様のレイア
ウトをすればよい。また本発明の別の実施例として第3
図に示す様に両方の回路をP−ウェルで囲み、金属配線
でアースまたは電限電位と同一としてもよい。第3図に
おいて301が1つの機能を育する回路、305が別の
機能を有する回路、302がP−ウェル、303が金属
配I!、304がP−ウェルと金属配線を接続するコン
タクトホールである。
で誤動作する回路を101とした場合でも同様のレイア
ウトをすればよい。また本発明の別の実施例として第3
図に示す様に両方の回路をP−ウェルで囲み、金属配線
でアースまたは電限電位と同一としてもよい。第3図に
おいて301が1つの機能を育する回路、305が別の
機能を有する回路、302がP−ウェル、303が金属
配I!、304がP−ウェルと金属配線を接続するコン
タクトホールである。
ここでまとまった1つの機能とは、 演算増幅器、演算
増幅器を使用した増幅器、フィルター、サンプルホール
ド回路、バフフ7回路、コア ハレークA/D変換器、
D/A変換器RAMlROMなどのアナログ回路NAN
D、NOR,INVERTER,とこれらの素子を使っ
たカウンタ、レジスフ、ラッチ、デコーダーとまたこれ
らを全てまとめた大ブロックとしてのデジタル回路また
は能動素子領域全体などを示す。
増幅器を使用した増幅器、フィルター、サンプルホール
ド回路、バフフ7回路、コア ハレークA/D変換器、
D/A変換器RAMlROMなどのアナログ回路NAN
D、NOR,INVERTER,とこれらの素子を使っ
たカウンタ、レジスフ、ラッチ、デコーダーとまたこれ
らを全てまとめた大ブロックとしてのデジタル回路また
は能動素子領域全体などを示す。
またデジタル回路のみの集積回路への応用例としては互
いに非同期の機能ブロックか1つの集積回路上に集積さ
れる場合、超低消費重力が要求される場合等が考えられ
る。
いに非同期の機能ブロックか1つの集積回路上に集積さ
れる場合、超低消費重力が要求される場合等が考えられ
る。
以上述べてきたのはN−基板上に作ったP−ウェルであ
るが、P−基板上に作ったN−ウェルでも、上記同様で
ある。
るが、P−基板上に作ったN−ウェルでも、上記同様で
ある。
本発明を適用することにより、ノイズの多い回路におい
て、基板を通してのノイズ、クロスト−りを遮断するこ
とが可能となった。これにより誤動作防止となり、外部
から端子を通して流入してくるノイズに対しても、効果
を仔しCMOS集積回路として品質の向上につながった
。またP−ウェル(N−ウェル)の幅が広い程、コンタ
クトの数が多い程、金属配線抵抗が低い程ノイズ遮断効
果はより大きくなる。
て、基板を通してのノイズ、クロスト−りを遮断するこ
とが可能となった。これにより誤動作防止となり、外部
から端子を通して流入してくるノイズに対しても、効果
を仔しCMOS集積回路として品質の向上につながった
。またP−ウェル(N−ウェル)の幅が広い程、コンタ
クトの数が多い程、金属配線抵抗が低い程ノイズ遮断効
果はより大きくなる。
m1図(a)は本発明によるレイアウト図。
第1図(b)は本発明による断面図。
第2図(a)は従来例のレイアウト図。
第2図(b)は従来例の断面図。
第3図は本発明による別のレイアウト図。
以 上
出願人 セイコーエプソン株式会社
第2図(CL)
第2図(b)
Claims (1)
- N^−(またはP^−)基板上に、形成された相補型
金属−酸化物半導体(以下CMOS)回路において、ま
とまった一つの機能を有する回路の周囲を、幅を持った
P^−ウェル(またはN^−ウェル)で囲み、前記P^
−ウェル(またはN^−ウェル)の電位を電源またはア
ースと同一電位としたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62270728A JPH01112765A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62270728A JPH01112765A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01112765A true JPH01112765A (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=17490129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62270728A Pending JPH01112765A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01112765A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5459349A (en) * | 1993-05-13 | 1995-10-17 | Nec Corporation | Semiconductor device with reduced noise propagation between circuit blocks |
US6396123B1 (en) | 1999-10-15 | 2002-05-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device provided with on-chip decoupling condenser utilizing CMP dummy patterns |
JP2009020528A (ja) * | 2008-08-27 | 2009-01-29 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2016179574A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
JP2016179571A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6285460A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP62270728A patent/JPH01112765A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6285460A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5459349A (en) * | 1993-05-13 | 1995-10-17 | Nec Corporation | Semiconductor device with reduced noise propagation between circuit blocks |
US6396123B1 (en) | 1999-10-15 | 2002-05-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device provided with on-chip decoupling condenser utilizing CMP dummy patterns |
JP2009020528A (ja) * | 2008-08-27 | 2009-01-29 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2016179574A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
JP2016179571A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
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