JPH01109209A - 位置検出用磁気センサ - Google Patents
位置検出用磁気センサInfo
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- JPH01109209A JPH01109209A JP62267531A JP26753187A JPH01109209A JP H01109209 A JPH01109209 A JP H01109209A JP 62267531 A JP62267531 A JP 62267531A JP 26753187 A JP26753187 A JP 26753187A JP H01109209 A JPH01109209 A JP H01109209A
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- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 3
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- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical group N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、作用する磁界の強さに応じて電気抵抗が変化
する磁気抵抗素子を用いた位置検出用磁気センサに関す
る。
する磁気抵抗素子を用いた位置検出用磁気センサに関す
る。
従来の技術及び発明が解決しようとする問題点従来、磁
気抵抗素子は、温度特性を改善し、磁界感度を高めるた
めに、２個の素子を感応方向が直交するように配置して
直列接続し、または、４個の素子を隣り合う素子の感応
方向が互いに直交するように配置してブリッジ接続する
ことにより磁気センサとして使用されていたが、このよ
うな２素子または、４素子のセンサは、対称軸を持たな
いため、必ずしも、永久磁石の正面に対応する位置が最
高感度位置とはならず、磁界を形成する永久磁石との距
離及び磁界の強さによって最高感度位置が変化して検出
誤差を生ずる欠点があり、このため、磁気抵抗素子は回
転角センサを主な使用目的としており、例えば、エアー
シリンダのピストン位置検出センサ等のような位置検出
用としての使用には適さなかった。
気抵抗素子は、温度特性を改善し、磁界感度を高めるた
めに、２個の素子を感応方向が直交するように配置して
直列接続し、または、４個の素子を隣り合う素子の感応
方向が互いに直交するように配置してブリッジ接続する
ことにより磁気センサとして使用されていたが、このよ
うな２素子または、４素子のセンサは、対称軸を持たな
いため、必ずしも、永久磁石の正面に対応する位置が最
高感度位置とはならず、磁界を形成する永久磁石との距
離及び磁界の強さによって最高感度位置が変化して検出
誤差を生ずる欠点があり、このため、磁気抵抗素子は回
転角センサを主な使用目的としており、例えば、エアー
シリンダのピストン位置検出センサ等のような位置検出
用としての使用には適さなかった。
発明の目的
本発明は、磁気抵抗素子を用いて高精度の位置検出を行
うことができるセンサを提供することを目的とする。
うことができるセンサを提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は、上記目的を達成するための手段として、−個
の主素子とその主素子の両側に配置した２個の副素子の
、合計３個の磁気抵抗素子を直列接続してなり、その３
個の素子を、主素子の中心を通ってその感応方向と平行
な、または、直交する軸を対称軸とする線対称形に配置
した構成とした。
の主素子とその主素子の両側に配置した２個の副素子の
、合計３個の磁気抵抗素子を直列接続してなり、その３
個の素子を、主素子の中心を通ってその感応方向と平行
な、または、直交する軸を対称軸とする線対称形に配置
した構成とした。
発明の作用及び効果
本発明の磁気センサは、上記構成になるから、その対称
軸が永久磁石の移動方向と直交するように配置すれば、
永久磁石との距離及び磁界の強さと無関係に、永久磁石
の中心が磁気センサの対称軸に一致する位置が常に最高
感度位置となって一定であり、しかも、両側の２個の副
素子により温度補償がなされて温度変化による検出誤差
が防止されるから、高精度の位置検出を行うことができ
る効果がある。
軸が永久磁石の移動方向と直交するように配置すれば、
永久磁石との距離及び磁界の強さと無関係に、永久磁石
の中心が磁気センサの対称軸に一致する位置が常に最高
感度位置となって一定であり、しかも、両側の２個の副
素子により温度補償がなされて温度変化による検出誤差
が防止されるから、高精度の位置検出を行うことができ
る効果がある。
実施例
以下、本発明のセンサをエアーシリンダのピストン位置
検出用として使用した一実施例を添付図面に基づいて説
明する。
検出用として使用した一実施例を添付図面に基づいて説
明する。
第１図において、ナルミニラム、非磁性ステンレス鋼等
の非磁性材料からなるシリンダチューブｌ内に、緊密に
、かつ、摺動自由に嵌入されたピストン２の外周に形成
された溝に、ピストン２の摺動方向を両極とするリング
形の永久磁石３が嵌着されており、シリンダチューブｌ
の外周には、ピストン位置検出装置４が図示しない取付
具により固定されている。この検出装置４は、非磁性材
料からなるケース５内に本発明の磁気センサ７と制御回
路！！が支持板６に取り付けられて収容され、この制御
回路１１に接続されたリード線１２がケース５の外側に
引き出されており、ケース５の上面には制御回路１１に
組み込まれた発光ダイオード１３の発光部が突出してい
る。
の非磁性材料からなるシリンダチューブｌ内に、緊密に
、かつ、摺動自由に嵌入されたピストン２の外周に形成
された溝に、ピストン２の摺動方向を両極とするリング
形の永久磁石３が嵌着されており、シリンダチューブｌ
の外周には、ピストン位置検出装置４が図示しない取付
具により固定されている。この検出装置４は、非磁性材
料からなるケース５内に本発明の磁気センサ７と制御回
路！！が支持板６に取り付けられて収容され、この制御
回路１１に接続されたリード線１２がケース５の外側に
引き出されており、ケース５の上面には制御回路１１に
組み込まれた発光ダイオード１３の発光部が突出してい
る。
磁気センサ７は、第１図の部分拡大図に示すように、基
板８上に形成された１個の主素子９と２個の副素子１Ｏ
１ｌＯの３個の磁気抵抗素子からなり、主素子９は、基
板８の中央において左右方向につづら折して左右方向が
感応方向であり、副素子１Ｏ１ｌＯは主素子９の両側に
おいて上下方向につづら折していて、上下方向が感応方
向であり、これら３個の素子９、ｌ０１１０は一連に直
列接続され主素子９の感応方向（Ｘ−Ｘ線方向）と直交
する中心線Ｙ−Ｙを軸として左右対称のパターンを構成
しており、外側の端子能、ｄに一定電圧が印加され、内
側の端子す、ｃが出力端子となっており、この磁気セン
サ７は、基板８がシリンダチューブｌの中心軸を含む平
面内にあり、かつ、主素子９の感応方向（Ｘ−Ｘ線方向
）がピストン２の摺動方向と平行をなすようにケース５
内の支持板６に固定されている。 − 制御回路１１は、第２図に示すように、磁気センサ７の
出力端子す、ｃがコンパレータ１６の反転入力端子と非
反転入力端子に、夫々、接続されており、コンパレータ
１６のスレッショルドレベルは抵ａ Ｒ＋、Ｒｔ、Ｒｓ
の値によって任意にされ、コンパレータ１６の出力が正
電位のときは、トランジスタ１４にベース電流が流れて
コレクタ・エミッタ間が導通し、リレー等の負荷１５に
電流が流れて作動するとともに発光ダイオード１３が発
光し、コンパレータ１６の出力が負電位の時はトランジ
スタ１４がのコレクタ・エミッタ間が遮断されて負荷１
５の作動が停止し、発光ダイオード１３も消えるように
なっている。
板８上に形成された１個の主素子９と２個の副素子１Ｏ
１ｌＯの３個の磁気抵抗素子からなり、主素子９は、基
板８の中央において左右方向につづら折して左右方向が
感応方向であり、副素子１Ｏ１ｌＯは主素子９の両側に
おいて上下方向につづら折していて、上下方向が感応方
向であり、これら３個の素子９、ｌ０１１０は一連に直
列接続され主素子９の感応方向（Ｘ−Ｘ線方向）と直交
する中心線Ｙ−Ｙを軸として左右対称のパターンを構成
しており、外側の端子能、ｄに一定電圧が印加され、内
側の端子す、ｃが出力端子となっており、この磁気セン
サ７は、基板８がシリンダチューブｌの中心軸を含む平
面内にあり、かつ、主素子９の感応方向（Ｘ−Ｘ線方向
）がピストン２の摺動方向と平行をなすようにケース５
内の支持板６に固定されている。 − 制御回路１１は、第２図に示すように、磁気センサ７の
出力端子す、ｃがコンパレータ１６の反転入力端子と非
反転入力端子に、夫々、接続されており、コンパレータ
１６のスレッショルドレベルは抵ａ Ｒ＋、Ｒｔ、Ｒｓ
の値によって任意にされ、コンパレータ１６の出力が正
電位のときは、トランジスタ１４にベース電流が流れて
コレクタ・エミッタ間が導通し、リレー等の負荷１５に
電流が流れて作動するとともに発光ダイオード１３が発
光し、コンパレータ１６の出力が負電位の時はトランジ
スタ１４がのコレクタ・エミッタ間が遮断されて負荷１
５の作動が停止し、発光ダイオード１３も消えるように
なっている。
次に、本実施例の作動を説明すると、磁気センサ７は既
述の構造になり、ｘ−Ｘ線方向の磁束に対しては中央の
主素子９のみが感応し、その密度に略比例して電気抵抗
が増大し、左右の副素子１Ｏ１１０は感応せず温度補償
の機能を果たすだけである。したがって、ピストン２が
検出装置４に接近するのに従って、主素子９に作用する
ｘ−Ｘ線方向の磁束密度が高くなるから、電気抵抗が増
大して出力端子す、ｃ間の電圧が次第に上昇し、任意に
設定したスレッショルドレベルの上限を超すと、コンパ
レータ１６の出力信号が正となってピストン２の検出信
号が発せられ、磁気センサ７の直下に永久磁石３が対応
したときに出力電圧が最大となり、ピストン２が次第に
遠ざかるに従って主素子９に作用するｘ−Ｘ線方向の磁
束密度が低くなるから、電気抵抗が減少して出力電圧が
低下し、スレッショルドレベルの下限より小さくなると
出力信号が負となって検出信号が発せられなくなるので
あり、磁気センサ７の磁気抵抗素子９、１０、ＩＯのパ
ターンが中心線Ｙ−Ｙを中心として左右対称になってい
るから、永久磁石３の磁力が弱くなったり、シリンダチ
ューブｌの厚さが異なるエアーシリンダに使用した場合
のように、磁気センサ７に作用する磁界の′強さが変化
しても、出力端子す、ｃ間に最大の電圧が生ずるのは、
常に、永久磁石３の中心が磁気センサ７の中心線Ｙ−Ｙ
に一致する位置であり、したがって、その位置を中心と
して任意に設定した左右両側の等距離の範囲内に永久磁
石３が対応するときにのみ検出信号を正確に出力するよ
うにすることができる。
述の構造になり、ｘ−Ｘ線方向の磁束に対しては中央の
主素子９のみが感応し、その密度に略比例して電気抵抗
が増大し、左右の副素子１Ｏ１１０は感応せず温度補償
の機能を果たすだけである。したがって、ピストン２が
検出装置４に接近するのに従って、主素子９に作用する
ｘ−Ｘ線方向の磁束密度が高くなるから、電気抵抗が増
大して出力端子す、ｃ間の電圧が次第に上昇し、任意に
設定したスレッショルドレベルの上限を超すと、コンパ
レータ１６の出力信号が正となってピストン２の検出信
号が発せられ、磁気センサ７の直下に永久磁石３が対応
したときに出力電圧が最大となり、ピストン２が次第に
遠ざかるに従って主素子９に作用するｘ−Ｘ線方向の磁
束密度が低くなるから、電気抵抗が減少して出力電圧が
低下し、スレッショルドレベルの下限より小さくなると
出力信号が負となって検出信号が発せられなくなるので
あり、磁気センサ７の磁気抵抗素子９、１０、ＩＯのパ
ターンが中心線Ｙ−Ｙを中心として左右対称になってい
るから、永久磁石３の磁力が弱くなったり、シリンダチ
ューブｌの厚さが異なるエアーシリンダに使用した場合
のように、磁気センサ７に作用する磁界の′強さが変化
しても、出力端子す、ｃ間に最大の電圧が生ずるのは、
常に、永久磁石３の中心が磁気センサ７の中心線Ｙ−Ｙ
に一致する位置であり、したがって、その位置を中心と
して任意に設定した左右両側の等距離の範囲内に永久磁
石３が対応するときにのみ検出信号を正確に出力するよ
うにすることができる。
ここで、磁石センサ７の主素子９と副素子ＩＯの無磁界
における抵抗値の比を２：ｌとすると最も感度が良い。
における抵抗値の比を２：ｌとすると最も感度が良い。
次に磁石センサ７の変形例について説明すると、第３図
に示す第１変形例７２は、主素子９ａ及び副素子１０ａ
を主素子９＋Ｌの感応方向に細長くしたものであって、
第８図に示すように、出力端子す、ｃ間の出力電圧が主
素子９ａの感応方向において頂部がなだらかな山形にな
るため、中心線Ｙを中心としてその両側の広い幅にわた
って永久磁石３が対応するときに検出信号を発するよう
にすることができ、また、第４図に示す第２変形例７ｂ
は、中央の主素子９ｂが山形をなし、左右の副業子１０
ｂ、１０ｂがこれを整合するパターンになっており、こ
の場合は出力端子す、ｂ間の出力電圧が、第９図に示す
ように、主素子９ｂの感応方向において頂部の尖った急
峻な山形になるため、中心線Ｙ−Ｙを中心として極く狭
い範囲に永久磁石３が対応するときにのみ検出信号を発
するようにすることができて、極めて高精度の位置検出
を行うことができ、また、スレッショルドレベルを二段
階に設定して、ピストンの接近を中心線Ｙ−Ｙに極く近
い範囲とその［囲の両側の一定範囲の二段階に分けて検
出するようにすることもできる。
に示す第１変形例７２は、主素子９ａ及び副素子１０ａ
を主素子９＋Ｌの感応方向に細長くしたものであって、
第８図に示すように、出力端子す、ｃ間の出力電圧が主
素子９ａの感応方向において頂部がなだらかな山形にな
るため、中心線Ｙを中心としてその両側の広い幅にわた
って永久磁石３が対応するときに検出信号を発するよう
にすることができ、また、第４図に示す第２変形例７ｂ
は、中央の主素子９ｂが山形をなし、左右の副業子１０
ｂ、１０ｂがこれを整合するパターンになっており、こ
の場合は出力端子す、ｂ間の出力電圧が、第９図に示す
ように、主素子９ｂの感応方向において頂部の尖った急
峻な山形になるため、中心線Ｙ−Ｙを中心として極く狭
い範囲に永久磁石３が対応するときにのみ検出信号を発
するようにすることができて、極めて高精度の位置検出
を行うことができ、また、スレッショルドレベルを二段
階に設定して、ピストンの接近を中心線Ｙ−Ｙに極く近
い範囲とその［囲の両側の一定範囲の二段階に分けて検
出するようにすることもできる。
また、第５図に示す第３変形例７ｃのよに、両側の副素
子１０ｃ、１０ｃを中央の主素子９ｃに対して斜めに配
置しても良いが、いずれの場合でも、中心線Ｙ、−Ｙを
対称軸として左右対称のパターンにする必要がある。
子１０ｃ、１０ｃを中央の主素子９ｃに対して斜めに配
置しても良いが、いずれの場合でも、中心線Ｙ、−Ｙを
対称軸として左右対称のパターンにする必要がある。
次に、本発明の磁気センサを用いた他の検出装置４ａの
使用例を第６図に基づいて説明すると、ベルトコンベヤ
２０上に載置されて一方向へ搬送されるパレット２１の
側面に永久磁石２２を固着しておき、ベルトコンベヤ２
０の側方に固設した取付台２３に本発明の検出装置４ａ
が、本発明の磁気センサ７ｄを内蔵した先端部をベルト
コンベヤ２０側に向けて固定され、パレット２１の永久
磁気２２が位置検出袋ｆｉ４ａの正面に対応したときに
検出信号を出力してベルトコンベヤ２０を停止させるこ
とにより、パレット２１上への部品の積み込みや、部品
の組み付け、または、加工等の作業を行うようになって
おり、この場合に、各パレット２１毎に永久磁石２２の
磁界の強さが異なっていても、本発明の磁気センサ７ｄ
を用いれば、常に、永久磁石２２が位置検出装置４ａ内
の磁気センサの正面に対応する位置にパレットを停止さ
せることができ、正確な作業を行うことができる。
使用例を第６図に基づいて説明すると、ベルトコンベヤ
２０上に載置されて一方向へ搬送されるパレット２１の
側面に永久磁石２２を固着しておき、ベルトコンベヤ２
０の側方に固設した取付台２３に本発明の検出装置４ａ
が、本発明の磁気センサ７ｄを内蔵した先端部をベルト
コンベヤ２０側に向けて固定され、パレット２１の永久
磁気２２が位置検出袋ｆｉ４ａの正面に対応したときに
検出信号を出力してベルトコンベヤ２０を停止させるこ
とにより、パレット２１上への部品の積み込みや、部品
の組み付け、または、加工等の作業を行うようになって
おり、この場合に、各パレット２１毎に永久磁石２２の
磁界の強さが異なっていても、本発明の磁気センサ７ｄ
を用いれば、常に、永久磁石２２が位置検出装置４ａ内
の磁気センサの正面に対応する位置にパレットを停止さ
せることができ、正確な作業を行うことができる。
なお、本例においては、パレット２１の永久磁石２２の
磁極がベルトコンベヤ２ｏの搬送方向と直交するように
設置されているため、磁気センサ７ｄは中央の主素子９
ｄの感応方向が永久磁石２２の磁極の方向に一致するよ
うになっており、両側の副業子１０ｄ、ｌＯｄの感応方
向は主素子９ｄの感応方向と直交し、主素子９ｄの中心
を通る感応方向と平行な中心線Ｙ−Ｙを対称軸とする線
対称形をなすように配置されている。この場合に、磁気
センサ７ｄを、第７図に示す変形例７ｅのように、主素
子９ｅの両側に副素子１０ｅ、１０ｅを斜めに配置して
も良い。
磁極がベルトコンベヤ２ｏの搬送方向と直交するように
設置されているため、磁気センサ７ｄは中央の主素子９
ｄの感応方向が永久磁石２２の磁極の方向に一致するよ
うになっており、両側の副業子１０ｄ、ｌＯｄの感応方
向は主素子９ｄの感応方向と直交し、主素子９ｄの中心
を通る感応方向と平行な中心線Ｙ−Ｙを対称軸とする線
対称形をなすように配置されている。この場合に、磁気
センサ７ｄを、第７図に示す変形例７ｅのように、主素
子９ｅの両側に副素子１０ｅ、１０ｅを斜めに配置して
も良い。
なお、本発明の磁気センサは、永久磁石がその磁気セン
サの対称軸上を移動して接離する場合にも使用すること
ができる。
サの対称軸上を移動して接離する場合にも使用すること
ができる。
第１図は本発明の磁気センサを用いた位置検出装置の断
面図、第２図はその回路図２、第３図、第４図及び第５
図は夫々磁気センサの変形例のパターンを示す拡大図、
第６図は本発明の磁気センサを用いた他の位置検出装置
の平面図、第７図はその磁気センサの変形例のパターン
を示す拡大図、第８図、第９図は出力電圧の変化を示す
グラフである。 ｌニジリンダチューブ ２：ピストン ３：永久磁石
４：位置検出装置 ７：磁気センサ９：主素子 ｌＯ：
副素子 １１：制御回路１３：発光ダイオード １４：
トランジスタ１５：負荷 １６：コンパレータ 出願人 シーケーデイコントロールズ株式会社代理人
弁理士 野 口 宏落３”Ｊ − ９Ｃ 笠７［ 窮８７ Ｋ９？７ Ｘ□−一一二□Ｘ □ １、事件の表示 昭和６２年特許順第２６７５３１号 ２、発明の名称 位置検出用ｍ気センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県春日井市場）内町８５０番地４、代理人 補正の内容 １ 明細書の特許請求の範囲を別紙の通りに訂正する。 ２ 明細書の第２頁第１８行に「−個の」と、あるを、 「１個の」 と、訂正する。 ３ 明細書の第３頁第１行に「その感応方向」と、ある
を、 ［その主素子の感応方向］ と、訂正する。 ４ 明細書の第７頁第１２行乃同第１５行に「磁石」と
、あるを、 「磁気」 と、訂正する。 特許請求の範囲 り個の主素子と該主素子の両側に配置した２個の副素子
の、合計３個の磁気抵抗素子を直列接続してなり、該３
個の素子を、前記主素子の中心を通って該主素子の感応
方向と平行な、または、直交する軸を対称軸とする線対
称形に配置したことを特徴とする位置検出用磁気センサ
面図、第２図はその回路図２、第３図、第４図及び第５
図は夫々磁気センサの変形例のパターンを示す拡大図、
第６図は本発明の磁気センサを用いた他の位置検出装置
の平面図、第７図はその磁気センサの変形例のパターン
を示す拡大図、第８図、第９図は出力電圧の変化を示す
グラフである。 ｌニジリンダチューブ ２：ピストン ３：永久磁石
４：位置検出装置 ７：磁気センサ９：主素子 ｌＯ：
副素子 １１：制御回路１３：発光ダイオード １４：
トランジスタ１５：負荷 １６：コンパレータ 出願人 シーケーデイコントロールズ株式会社代理人
弁理士 野 口 宏落３”Ｊ − ９Ｃ 笠７［ 窮８７ Ｋ９？７ Ｘ□−一一二□Ｘ □ １、事件の表示 昭和６２年特許順第２６７５３１号 ２、発明の名称 位置検出用ｍ気センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県春日井市場）内町８５０番地４、代理人 補正の内容 １ 明細書の特許請求の範囲を別紙の通りに訂正する。 ２ 明細書の第２頁第１８行に「−個の」と、あるを、 「１個の」 と、訂正する。 ３ 明細書の第３頁第１行に「その感応方向」と、ある
を、 ［その主素子の感応方向］ と、訂正する。 ４ 明細書の第７頁第１２行乃同第１５行に「磁石」と
、あるを、 「磁気」 と、訂正する。 特許請求の範囲 り個の主素子と該主素子の両側に配置した２個の副素子
の、合計３個の磁気抵抗素子を直列接続してなり、該３
個の素子を、前記主素子の中心を通って該主素子の感応
方向と平行な、または、直交する軸を対称軸とする線対
称形に配置したことを特徴とする位置検出用磁気センサ
Claims (1)
- 一個の主素子と該主素子の両側に配置した２個の副素子
の、合計３個の磁気抵抗素子を直列接続してなり、該３
個の素子を、前記主素子の中心を通つて該感応方向と平
行な、または、直交する軸を対称軸とする線対称形に配
置したことを特徴とする位置検出用磁気センサ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267531A JPH01109209A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | 位置検出用磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267531A JPH01109209A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | 位置検出用磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109209A true JPH01109209A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17446121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62267531A Pending JPH01109209A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | 位置検出用磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01109209A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114119A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Fanuc Ltd | 磁気センサ |
| JPH08152301A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Ckd Corp | ピストン位置検出装置 |
| JP2005291387A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Taiyo Ltd | 移動する磁気物体の検知方法および装置 |
| CN105107776A (zh) * | 2015-08-24 | 2015-12-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测装置及工件清洗设备 |
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| JPS59133420A (ja) * | 1983-01-21 | 1984-07-31 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 磁場検出用素子 |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP62267531A patent/JPH01109209A/ja active Pending
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