JPH01103444A

JPH01103444A - 薄膜形成装置

Info

Publication number: JPH01103444A
Application number: JP62262199A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Hashimura; 橋村　康広; Norio Moriwaki; 森脇　功雄; Riyoumei Men; 了明面; Kenji Yotsuya; 健二肆矢; Kenichi Nagahara; 永原　賢一
Original assignee: Nissha Printing Co Ltd
Current assignee: Nissha Printing Co Ltd
Priority date: 1987-10-15
Filing date: 1987-10-15
Publication date: 1989-04-20
Also published as: JPH052506B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】【産業上の利用分野】

本発明は、所定の位置に印刷パターンが形成された版を
周面に巻き付けろ版胴と、該版胴の下方で、被印刷体を
載置して前記版胴の回転に同期してスライド移動が可能
なステージとを有する薄膜形成装置に係り、特に版胴に
巻き付けられる版を交換するに際して、鎖板の印刷パタ
ーンと被印刷体の印刷パターンとの位置合わせ操作を簡
略化できる薄膜形成装置に関するものである。

【従来技術】

本件出願人は、液晶配向膜やフォトレジスト膜等の薄膜
、液晶封入用シールまたは半導体素子の絶縁被膜などの
種々の薄膜を印刷により形成するための薄膜形成装置に
関する発明について既に特許出願（特願昭６１−４６８
０６号）している。この既出願の発明における薄膜形成
装置は、所定の印刷パターンに配列された多数のインキ
セルを表面に有するとともに回転自在に支持された凹版
ロールと、該凹版ロールの下方に回転自在に支持され且
つ該凹版ロールに接触する凸部を有して上記凹版ロール
表面に所定パターンに配列されたインキセル内のインキ
を上記凸部に転移させる印刷ロールとを備えており、そ
の下方には、被印刷体を・載置するとともにこの凹版ロ
ール及び印刷口の回転と同期してスライド移動する定盤
を備えている。被印刷体は定盤の上に載置されて定盤と
ともにスライド移動する間に印刷ロールに接触し、印刷
ロールの凸部に転移されたインキが被印刷体に転移する
ことによって印刷が行なわれる。この発明の場合には、
版として凸版が用いられているが、例えば所定の印刷パ
ターンに配列された多数のインキセルを表面に有する凹
版ロールから被印刷体に直接印刷を行なう場合であれば
凹版ロールが用いられてもよい（特願昭６１−３０９３
６８号）。実際にはドラム状の版胴に凸版または凹版の
版が巻き付けられるが、この版を交換する場合には、そ
の度に版胴から凸版または凹版の着脱が行なわれる。

【発明が解決しようとする問題点】

ところで、上述のごとく構成された薄膜形成装置で版の
交換を行なうに際しては、新たに版胴に版が巻き付けら
れる毎に、版の印刷パターンと被印刷体の印刷パターン
とがずれないように互いの位置を合わせる調整操作が必
要であり、従来、この調整操作は以下に説明するように
行なわれていた。すなわち、通常は長方形ないし正方形の版が版胴に巻き
付けられるが、その版の隣合う２辺のエツジに当接して
版の位置を決める基準ピンが版胴の表面（周面）に３箇
所突出して設けられており、版はその２辺のエツジを基
準ピンの側面に当接させることによって版胴の周面上で
の位置が決められる。これに対して被印刷体は、被印刷
体の縦横方向に移動可能な位置決めピンを有する定盤上
に載置されるが、このピンの設定位置を決めるに際して
は、試験的に被印刷体を定盤上に載置して何度かテスト
印刷を行ない、そのテスト印刷毎に版の印刷パターンと
被印刷体の印刷パターンとの「ずれ」を見て位置決めピ
ンの位置を修正し、このようなトライ・アンド・エラー
法によって上記調整操作が行なわれていた。したがって
従来技術では、版を交換して版と被印刷体との位置合わ
せを終了するまでに大略３０分程の時間を要し、薄膜形
成の作業性を著しく低下させる一因となっていた。本発明は上述のごとき従来技術の問題点に鑑み、これら
を有効に解決すべく創案されたものである。したがってその目的は、版を交換するに際して、版の印
刷パターンと被印刷体の印刷パターンとの位置決めを行
なう調整操作の簡略化を図り、その操作に要する時間を
短縮化できる薄膜形成装置を提供することにある。

【問題点を解決するための手段】

本発明に係る薄膜形成装置は、従来技術の問題点を解決
し、その目的を達成するために以下のような構成を備え
ている。すなわち、印刷パターンが形成された版を周面に巻き付
ける版胴と、被印刷体を盤面上に載置するステージとを
有し、これら版胴とステージとが互いに同期して転動関
係を満足すべく相対移動可能に構成された薄膜形成装置
において、前記版の印刷パターンを、該版上に表示した
位置決めマーりに対して一定の位置関係に形成し、前記
版胴の周面上に突出し、該版胴に対する前記印刷パター
ンの位置を固定的に決めるために前記版の巻き付けられ
る位置を決めるべく、鎖板の位置決め基準部である基準
形状部に係合する固定位置決め手段を設け、前記ステー
ジの盤面に対して突出し、前記被印刷体のエツジが当接
して可変調整可能に該被印刷体の載置位置を決める可動
位置決め手段を設け、前記ステージの盤面上に着脱可能
に載置でき、前記可動位置決め手段に当接する前記被印
刷体のエツジの部分と等しい形状のエツジを有する板状
治具を備え、該治具は、そのエツジから外方の所定の方
向へ所定の距離だけ隔てた位置に、前記版の位置決めマ
ークと同形状の透孔を有する耳部が形成され、前記治具
を前記可動位置決め手段に当接させて載置した前記ステ
ージが前記版胴に対する相対移動をして、該治具の透孔
が前記位置決めマークに重なる位置へ来たことを検知す
る光学センサを備えている。

【作用】

本発明に係る薄膜形成装置によれば、版胴に設けられた
固定位置決め手段に基準形状部としてのエツジを当接さ
せた状態で例えばマグネットを利用して版が版胴に巻き
付けられ固定される。あるいは、版の所定箇所に基準形
状部としての穴を設けておきピン状の固定位置決め手段
にこれらを差し込み、金具などによって機械的に固定す
るようにしてもよい。一方、治具は、可動位置決め手段
にそのエツジを当接させてステージの盤面上に載置され
る。この状態で版胴が回転し、その回転に同期しつつス
テージと版胴とが互いに相対移動する。この相対移動に
ついては、例えば、版胴が固定位置で回転しているとこ
ろへステージがスライド移動して行け°ばよい。この版
胴の回転およびステージと版胴との相対移動に際して、
版の位置と治具の位置が適合していれば版の位置決めマ
ークと治具の透孔とが重なり合い、この重なり合いを光
学センサで検知できる。すなわち、治具のエツジと被印
刷体のエツジとは同一形状の輪郭を呈しており、治具の
エツジから所定の方向へ所定の距離だけ隔てた位置に形
成される透孔は、被印刷体に予め形成されている印刷パ
ターンからも所定の方向へ所定の距離だけ隔てた位置に
存在することになる。したがって、版上の位置決めマー
クと印刷パターンの位置関係と、治具上の透孔と被印刷
体の印刷パターンとの位置関係とのそれぞれを等しい位
置関係に設定しておけば、位置決めマークに透孔を合わ
せた位置で、ステージの盤面上の可動位置決め手段を治
具のエツジに当接する位置に固定することにより、１回
の位置合わせ操作で版の印刷パターンと被印刷体の印刷
パターンとの位置合わせが行なえる。なお、上記説明においては、版胴の回転に同期してステ
ージがスライド移動する薄膜形成装置に適用する場合を
例に挙げて説明したが、ステージが固定されており、版
胴が回転しながらステージ上に移動する薄膜形成装置（
実開昭５８−１７０８６４号）にも同様に適用できるも
のである。

【発明の効果】

以上の説明より明らかなように、本発明によれば次のご
とき優れた効果が発揮される。すなわち、１回の位置合わせ操作で版の印刷パターンと
被印刷体の印刷パターンとの位置合わせが行なえ、その
操作に要する時間を短縮化できる。

【実施例】

以下に本発明の好適一実施例について第１図および第２
図を参照して説明する。第１図は本発明に係る薄膜形成装置の一実施例について
、その要部の概略構成を示す模式図である。第２図は第
１図における治具をステージから取り外し、被印刷体を
ステージ上に載置した状態を示す模式図である。図中１
は版胴であり、フレーム（図示せず）等の固定側部分に
回動自在に支持されている。版胴ｌの周面には樹脂凸版
等の版２が巻き付けられるが、その版胴ｌに対する版２
の位置を決めるべく、版２のエツジ３．．３．が当接さ
れる固定位置決め手段としての基準ピン４Ｉ。４！、４３が版胴ｌ°の周面に３箇所突設されている。版２は長方形もしくは正方形の方形に形成されており、
その大略中央の所定の位置に印刷パターン５、が形成さ
れている。また、そのマージン部６には、５ｍｍ角の大
きさで０　、２　ｙの太さの線で十字形状の位置決めマ
ーク１１８．Ｉ　Ｌ、１１３が３箇所表示されている。印刷パターン５１は、これら位置決めマーク＋１．、ｌ
″Ｌ、１１ｓを基準にして縦方向にＡ、横方向にＢの距
離だけ隔てられた位置に形成されており、どの版２にお
いても位置決めマークｔ　ｉｔ、Ｉ　Ｌ、１　ｔ３と印
刷パターン５１との位置関係が同じにされている。一方、版胴ｌの下方には、版胴１の回転に同期してスラ
イド移動するステージ１２が設けられている。このステ
ージ１２には、ガラス基板等の被印刷体７が載置され、
版胴ｌの回転に同期してステージ１２がスライド移動す
ることによって版２と被印刷体７が接触するように構成
されている。また、このステージ１２には、その盤面に対して上方へ
僅かに突出し、被印刷体７のエツジ８．。８、が当接する可動位置決め手段としての可動ピン１３
□１３．．１３３が３箇所設けられている。この可動ピン１３．．１３．．１３３はマイクロメータ
（図示せず）等に連結されており、ステージ１２の縦方
向および横方向に微調整移動が可能に構成されている。また本装置には、上述のような版胴ｌに巻き付けられた
版２に対して、被印刷体７の印刷パターン５．の位置を
版２の印刷パターン５Ｉの位置と合わすための治具９が
、ステージ１２に対して着脱自在に設けられている。す
なわちこの治具は、版２と被印刷体７の位置決め操作を
行なう際にはステージ１２上に載置され、実際に印刷を
行なう際には取り外される。この治具９は板状に形成さ
れ、被印刷体７のエツジ８．．８２と同様に、３箇所の
可動ピン１３．．１３．、ｌ　３３に当接ずべく互いに
直交する２辺のエツジ１０．、ＩＱ。を有している。この治具９には、それぞれのエツジｔｏ
、、ｔｏｗから縦方向および横方向に所定の距離だけ隔
てた位置に前述の位置決めマーク１１、．１１２．ｌ　
１３と同形状の透孔１４１＋　１４　、。１４３を位置せしめて耳部１５．．１５２，１５３が形
成されている。透孔１４Ｉ、１４２はエツジ１０．から
縦方向に距離ａ＋だけ離れており、透孔ｔ４．はエツジ
１０．から横方向に距離ｂ１だけ離れている。なお、この透孔１４．．１４．．１４．は、５１角の大
きさで幅０　、３　Ｈｌｌで穿設されている。したがっ
て、透孔１４．．１４．．１４．と位置決めマーク１１
、．１１．．１１３とが重なり合ったときの互いのギャ
ップは０．０５ｘｘとなる。また被印刷体７は、その印刷パターン５．がそれぞれの
エツジ８．．８．から縦方向に距離ａ！たけ、横方向に
距離す、たけ離れている。すなわち、Ａ　二ａＩ＋　ａｓ且−）　Ｂ＝ｂｌ＋ｂ２
の関係が満たされるようにａ、およびｂｌの寸法が設定
されている。版胴ｌの直下でステージ１２よりもさらに下方には、光
学センサ１６が設けられており、各位置決めマーク１１
．．１１．．１１３と各透孔１４１゜１４ｔ、１４．と
の重なりは、この光学センサ１６によって検知される。版２を交換する際には、まず基準ピン４．．４！。４３に版２のエツジ３．．３．を沿わせるように当接さ
せた状態に版２を版胴１に巻き付ける。次にステージ１
２の可動ピン１３．．１３．．１３３を移動自在の状態
にし、盤面上の適当な位置に治具９を載置してステージ
１２をスライド移動させる。このとき、版胴ｌはステー
ジ１２の移動とともに同期して回転する。位置決めマー
ク１１．、ｌｌ、。ｌｌ、が光学センサ１６の真上に来たとき、透孔１４、
．１４．．１４３を介して各位置決めマーク１１＋、ｌ
　１＊、１１３が光学センサ１６で透視できる位置へ治
具９を盤面上で移動させる。この位置で治具９のエツジ
１０．．１０．に可動ピン１３．。１３２、１３ｓを当接させてこれらを固定し、治具９を
盤面上から取り外す。このようにして位置決めされた可
動ピンｔ３．．ｔ３！−，＋３．に被印刷体７のエツジ
８．．８．を当接させて盤面上に載置すれば、被印刷体
７の印刷パターン５．は版２の印刷パターン５．と合致
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る薄膜形成装置の一実施例・に関し
てその要部の概略構成を示す模式図、第２図は第１図に
おける治具をステージから取り外し、被印刷体をステー
ジ上に載置した状態を示す模式図である。ｌ・・・版胴、２・・・版、３．．３．・・・版の基準
形状部としてのエツジ、４．．４．．４３・・・固定位
置決め手段としての基準ビン、５Ｉ・・・版の印刷パタ
ーン、５、・・・被印刷体の印刷パターン、６・・・マ
ージン部、７・・・被印刷体、８．．８．・・・被印刷
体のエツジ、９・・・治具、１０１，１０２・・・治具
のエツジ、１１．。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、印刷パターン（５＿１）が形成された版（２）
を周面に巻き付ける版胴（１）と、被印刷体（７）を盤
面上に載置するステージ（１２）とを有し、これら版胴
（１）とステージ（１２）とが互いに同期して転動関係
を満足すべく相対移動可能に構成された薄膜形成装置に
おいて、前記版（２）の印刷パターン（５＿１）を、該版（２）
上に表示した位置決めマーク（１１＿１、１１＿２、１
１＿３）に対して一定の位置関係に形成し、前記版胴（１）の周面上に突出し、該版胴（１）に対す
る前記印刷パターン（５＿１）の位置を固定的に決める
ために前記版（２）の巻き付けられる位置を決めるべく
、該版（２）の位置決め基準部である基準形状部（３＿
１、３＿２）に係合する固定位置決め手段（４＿１、４
＿２、４＿３）を設け、前記ステージ（１２）の盤面に対して突出し、前記被印
刷体（７）のエッジ（８＿１、８＿２）が当接して可変
調整可能に該被印刷体（７）の載置位置を決める可動位
置決め手段（１３＿１、１３＿２、１３＿３）を設け、
前記ステージ（１２）の盤面上に着脱可能に載置でき、
前記可動位置決め手段（１３＿１、１３＿２、１３＿３
）に当接する前記被印刷体（７）のエッジ（８＿１、８
＿２）の部分と等しい形状のエッジ（１０＿１、１０＿
２）を有する板状治具（９）を備え、該治具（９）は、
そのエッジ（１０＿１、１０＿２）から外方の所定の方
向へ所定の距離だけ隔てた位置に、前記版（２）の位置
決めマーク（１１＿１、１１＿２、１１＿３）と同形状
の透孔（１４＿１、１４＿２、１４＿３）を有する耳部
（１５＿１、１５＿２、１５＿３）が形成され、前記治具（９）を前記可動位置決め手段（１３＿１、１
３＿２、１３＿３）に当接させて載置した前記ステージ
（１２）が前記版胴（１）に対する相対移動をして、該
治具（９）の透孔（１４＿１、１４＿２、１４＿３）が
前記位置決めマーク（１１＿１、１１＿２、１１＿３）
に重なる位置へ来たことを検知する光学センサ（１６）
を備えたことを特徴とする薄膜形成装置。