JPH0110167Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ａ 考案の技術分野 本考案は、セラミツク基板の製造装置に関し、
特に未焼成セラミツク基板いわゆるグリーンシー
トを得るためのドクターブレードに関する。

ｂ 技術の背景 アルミナ（Al₂O₃）を主体とするセラミツク材
は、電子機器の分野において、例えば電子部品搭
載用絶縁基板材料、混成集積回路用絶縁基板材料
あるいは、半導体素子収容用容器材料等に適用さ
れている。

かかる電子機器の分野においては、半導体集積
回路素子の高集積化とともに、前記絶縁基板ある
いは容器の表面に形成される導体層パターンの微
細化、高集積化が図られつつある。

このため、かかる絶縁基板あるいは容器を構成
するセラミツク基板にも、特にその表面の平滑性
を高めることが要求されている。

またセラミツク基板の各種分野への利用に伴な
い、その板厚も用途に応じ種々のものが要求され
ている。

ｃ 従来技術とその問題点 セラミツク基板は、従来いわゆるドクターブレ
ード法によつて未焼成セラミツク基板（グリーン
シート）を形成し、必要に応じてかかるグリーン
シート表面に導体層パターンを形成し、更に必要
に応じてかかるグリーンシートを複数枚積層し、
しかる後グリーンシートを加熱加圧して焼成する
ことによつて形成されている。

ここでドクターブレード法は、従来例えば第１
図ａ，ｂの側断面図と正面図に示される構成がと
られている。

同図において、１はセラミツクスラリー２を収
容するスラリー溜め、３は該スラリー溜めの一辺
に設けられたドクターブレード、４はスラリー供
給管、５はスラリー液面計である。スラリー溜め
１に収容されたセラミツクスラリー２は、該スラ
リー溜め１の下に配置されたキヤリアベルト６に
よつて移動されるキヤリアフイルム７の移動に従
つてドクターブレード３の下方部分から流出し、
該キヤリアフイルム７表面にスラリー膜又は層８
が形成される。そして該スラリー膜又は層８を乾
燥することにより、セラミツクグリーンシートが
形成される。

ところがこのようなドクターブレード法による
グリーンシートの形成にあつては、キヤリアフイ
ルム７上に形成されるスラリー膜又は層８は、乾
燥の際に収縮し、特にその幅方向の厚さ分布にお
いて、両端部が中央部に比較して、厚くなるとい
う現象を生じてしまう。かかる状態を第２図に示
す。同図において９はグリーンシート、１０はそ
の両端の肉厚部である。

このような肉厚部１０の発生はかかるグリーン
シート９の有効幅の減少を来たし、かかるグリー
ンシート９を用いたセラミツク基板の価格上昇の
一因となる。

本出願人はこの問題点の解決手段として第３図
に示す如き形状のドクターブレードを既に提案
（昭和56年12月23日出願の“特願昭56−208917
号”）している。

これはドクターブレード１１のセラミツクスラ
リー流出部１１Ａの両端に、下方（キヤリアフイ
ルム方向）に向う突出部１２Ａ，１２Ｂが配設さ
れる。

かかる突出部１２Ａ，１２Ｂの存在によつて、
当該ドクターブレード１１下から流出するセラミ
ツクスラリーの量（厚さ）は、当該ドクターブレ
ード１１の中央部よりも両端部において少なく
（薄く）なる。

従つて、かかるドクターブレードを用いてキヤ
リアフイルム上に形成されたセラミツクスラリー
膜又は層が、乾燥されてグリーンシートとされる
際に、その幅方向の両端部に発生する肉厚部の突
出高さは極めて小さな値となる。このためかかる
グリーンシートの有効幅が大幅に増加する。

しかしながら、この本出願人提案の従来構造で
は、種々の板厚のグリーンシートを簡易に形成す
るため、ドクターブレード１１を上下に移動させ
てセラミツクスラリー流出部１１Ａの開口量を所
望板厚に調整したとしても、突出部１２Ａ，１２
Ｂの突出量調整はできないので肉厚部の突出高さ
が極めて小さな有効幅の大きいグリーンシートを
得ることができない。

このため、従来では種々の形状のドクターブレ
ードを予め用意し、これを所望板厚の形成に合わ
せて取換えており、その取換え作業はセラミツク
スラリーを一旦除去し洗掃した後に行なわなけれ
ばならず、作業工数およびコストの面で解決を必
要としていた。

ｄ 考案の目的 本考案の目的は上記従来の欠点を解決し、有効
幅の大きいグリーンシートを簡単に形成でき、且
つ種々の板厚のグリーンシートを作業性良く得る
ことができ、もつて安価なセラミツク基板を提供
できる製造装置を与えることにある。

ｅ 考案の構成 この本考案の目的は、ドクターブレードの幅方
向の両端部に、キヤリアフイルム面にほぼ平行な
突出部を設けたセラミツク基板の製造装置の提供
により達成できる。

ｆ 考案の実施例 以下本考案を実施例をもつて詳細に説明する。

本考案によれば、たとえば第４図ａ，ｂの正面
図と平面断面図に示されるように、ドクターブレ
ード２１のセラミツクスラリー流出部２１Ａの両
端に、前方（キヤリアフイルム進行方向）に向う
突出部２２Ａ，２２Ｂが配設される。かかる突出
部２２Ａ，２２Ｂの存在によつて、当該ドクター
ブレード２１下から流出するセラミツクスラリー
の量（厚さ）は第３図と同様ドクターブレード２
１の中央部よりも両端部において少なく（薄く）
なる。

この結果かかるドクターブレード２１を用いて
キヤリアフイルム上に形成されたセラミツクスラ
リー膜又は層は、乾燥されてグリーンシートとさ
れる際に、その幅方向の両端部に発生する肉厚部
の突出高さが極めて小さな値となり、かかるグリ
ーンシートの有効幅が第３図の場合と同様に大幅
に増加する。

またドクターブレード２１の両端に配設される
突出部２２Ａ，２２Ｂは前記第４図に示される形
状に限られるものではなく、例えば第５図に示さ
れる形状とすることもできる。

第５図ａに示される構成にあつては、ドクター
ブレード３１の両端に設けられる突出部３２Ａ，
３２Ｂには中間の突出部３２ａ，３２ｂが配設さ
れ、階段状とされる。かかる突出部構造によれば
キヤリアフイルム上に形成されるセラミツクスラ
リー膜又は層の幅方向の両端部の該セラミツクス
ラリー量は制限され、乾燥されてグリーンシート
とされた場合の幅方向の両端部の突出高さを更に
低くすることができる。

また第５図ｂに示される構成にあつては、前記
ドクターブレード３１の両端に配設される突出部
３２Ａ，３２Ｂの内側縁部が傾斜面とされる。

また第５図ｃ，ｄに示される構成にあつては、
前記ドクターブレード３の両端に配設される突出
部３２Ａ，３２Ｂの内側縁部が曲線状傾斜面とさ
れる。

このような突出部形状であつても、本考案の目
的は達成される。

このように本考案のドクターブレードは突出部
がドクターブレード本体の下方外面の両端部にキ
ヤリアフイルム面と平行に突出するように形成さ
れているので、その突出部厚さ（突出量）を容易
に調整できる。

すなわち、第６図ａ，ｂ，ｃの各図に示すよう
に、ドクターブレード４１の突出部４２Ａ，４２
Ｂに対し補助突出部材４３Ａ，４３Ｂを外方より
着脱自在に取付けることができる。この取付け作
業はドクターブレード４１をスラリー溜めより取
外さなくても行なうことができ、スラリー流出部
の開口量調整と突出量調整が簡易作業となり、
種々の板厚のグリーンシートを効率良く形成可能
となる。

尚、突出部材４３Ａ，４３Ｂの着脱構成は第６
図の実施例では、突出部材４３Ａ，４３Ｂと突出
部４２Ａ，４２Ｂの対向面の各々に位置決め用の
ガイド溝４４とガイド突起４５を形成し、該溝４
４と突起４５の係合で突出部材４３Ａ，４３Ｂと
突出部４２Ａ，４２Ｂをその下面が同一平面とな
るように案内した上で図示せぬネジにより固定さ
れる。

この着脱構成としては、他に例えばドクターブ
レー４１を磁性金属板で形成し、突出部材４３
Ａ，４３Ｂは永久磁石を付加した構造にし、両者
を磁気吸着して固定する手法でもかまわない。

ｇ 考案の効果 以上のように、本考案によれば、ドクターブレ
ード法によつてセラミツクグリーンシートを形成
する際に、キヤリアフイルム上に形成されるセラ
ミツクスラリー膜又は層の幅方向の両端部の該セ
ラミツクスラリー量を抑制することができる。従
つて該セラミツクスラリーを乾燥してセラミツク
グリーンシートを形成する際に、当該セラミツク
グリーンシートの幅方向の両端部に生ずる突出部
の突出高さを抑制することができ、当該セラミツ
クグリーンシートの有効幅を大幅に増大すること
ができる。

しかも突出部の突出量を外部から調整可能であ
るので、適切な突出量調整を簡易作業にて実現で
き種々の板厚のセラミツク基板を安価に得ること
が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のドクターブレード法の構成を
示す側断面図ａ、および正面図ｂである。第２図
は、第１図のドクターブレード法により形成され
たセラミツクグリーンシートの状態を示す断面図
である。第３図は本出願人提案による従来のドク
ターブレードの正面図である。第４図は本考案に
かかるドクターブレードの構成を示す正面図ａ、
及び平面断面図ｂである。第５図ａ〜ｄは本考案
にかかるドクターブレードの他の形状を示す平面
断面図である。第６図ａ，ｂ，ｃは本考案の他の
実施例を示すドクターブレードを示すもので、ａ
は正面図、ｂはａの破断線ｂ…b′矢印方向に見た
平面断面図、ｃはａ図の破断線ｃ…c′矢印方向に
見た断面断面図である。 符号の説明、２１，３１，４１…ドクターブレ
ード、２２Ａ，２２Ｂ，３２Ａ，３２Ｂ，４２
Ａ，４２Ｂ…突出部、４３Ａ，４３Ｂ…補助突出
部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) スラリー溜めに収容されたセラミツクスラリ
   ーをドクターブレード法によりキヤリアフイル
   ム上に膜又は層状に形成し、次いで前記セラミ
   ツクスラリー膜又は層を乾燥させて未焼成セラ
   ミツク基板を形成する工程を有するセラミツク
   基板の製造装置において、前記ドクターブレー
   ドは幅方向の両端部にキヤリアフイルム面にほ
   ぼ平行な突出部が配設されてなることを特徴と
   するセラミツク基板の製造装置。 (2) 前記突出部が前記ドクターブレードの本体に
   着脱自在に設けられていることを特徴とした実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のセラミツク
   基板の製造装置。