JP7843617B2 - 感温性粘着剤および被加工物の加工方法 - Google Patents

感温性粘着剤および被加工物の加工方法

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Description

本発明は、感温性粘着剤および被加工物の加工方法に関する。
温度変化に対応して粘着力が変化する粘着剤として、感温性粘着剤が知られている。感温性粘着剤は、テープなどに加工され、積層セラミックコンデンサなどの製造工程においてセラミックグリーンシート積層体などを仮固定する際に使用される（例えば、特許文献１参照）。
仮固定用の粘着剤には、セラミックグリーンシート積層体などの被加工物を加工する際の固定性と、被加工物を加工して得られる加工物を剥離する際の易剥離性とが求められる。
特開平９－２５１９２３号公報
本発明の課題は、固定性および易剥離性に優れる感温性粘着剤および被加工物の加工方法を提供することである。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）紫外線硬化性官能基を有する化合物と側鎖結晶性ポリマーとの反応物であって、融点以上の温度で流動性を示す紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマーを含有し、前記側鎖結晶性ポリマーは、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート、炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートおよびヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分として含むとともに、前記ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に６重量％以上の割合で含む、感温性粘着剤。
（２）前記融点未満の温度で被加工物を仮固定し、且つ、紫外線の照射により前記融点未満の温度で加工物を剥離する、前記（１）に記載の感温性粘着剤。
（３）アゾ化合物をさらに含有する、前記（１）または（２）に記載の感温性粘着剤。
（４）前記アゾ化合物の含有量が、前記紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して５～１５重量部である、前記（３）に記載の感温性粘着剤。
（５）セラミックグリーンシート積層体の仮固定用である、前記（１）～（４）のいずれかに記載の感温性粘着剤。
（６）前記（１）～（５）のいずれかに記載の感温性粘着剤を含む、感温性粘着シート。
（７）フィルム状の基材と、前記基材の少なくとも片面に積層されており前記（１）～（５）のいずれかに記載の感温性粘着剤を含む粘着剤層と、を備える、感温性粘着テープ。
（８）前記（７）に記載の感温性粘着テープを前記融点以上の温度にして被加工物に貼付する工程と、前記感温性粘着テープを前記融点未満の温度にして前記被加工物を仮固定する工程と、前記被加工物を加工して加工物を得る工程と、前記感温性粘着テープの前記粘着剤層に紫外線を照射し、前記融点未満の温度で前記加工物を前記感温性粘着テープから剥離する工程と、を備える、被加工物の加工方法。
本発明によれば、固定性および易剥離性に優れるという効果がある。
（ａ）～（ｃ）は、本発明の一実施形態に係る被加工物の加工方法を示す概略説明図である。
＜感温性粘着剤＞
本実施形態の感温性粘着剤は、紫外線（Ultra Violet：以下、「ＵＶ」ということがある。）硬化型側鎖結晶性ポリマーを含有する。ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、ＵＶ硬化性官能基を有する化合物と側鎖結晶性ポリマーとの反応物であって、融点以上の温度で流動性を示す。このＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、ＵＶの照射によって硬化するＵＶ硬化性に加えて、温度変化に対応して結晶状態および流動状態を可逆的に起こす感温性を有する。
具体的に説明すると、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、融点を有する。融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていた重合体の特定部分が無秩序状態になる温度であり、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）によって１０℃／分の測定条件で測定して得られる値のことを意味する。
ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、上述した融点未満の温度で結晶化し、且つ、融点以上の温度では相転移して流動性を示す。これにより、感温性粘着剤の温度を融点以上の温度にすると、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すので、感温性粘着剤を被加工物に貼付することができる。また、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すと、被加工物の表面に存在する微細な凹凸形状に感温性粘着剤が追従する。そして、この状態の感温性粘着剤を融点未満の温度に冷却すると、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによっていわゆるアンカー効果が発現し、その結果、被加工物を仮固定することができる。
ここで、被加工物を仮固定する際には、高い固定力が求められる（固定性）。また、被加工物を加工して得られる加工物を感温性粘着剤から剥離する際には、容易に剥離できることも求められる（易剥離性）。剥離については、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーを流動状態にして固定力を低下させることで対応することも考えられるが、この対応では融点以上の温度に加熱する手間が必要となる。
本実施形態では、側鎖結晶性ポリマーが、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート、炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートおよびヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分として含む。そして、側鎖結晶性ポリマーが、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に６重量％以上の割合で含む。
このような構成によれば、融点未満の温度において、被加工物を高い固定力で仮固定することが可能となる。また、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートは、ＵＶ硬化性官能基を有する化合物と反応する。側鎖結晶性ポリマーが、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に６重量％以上の割合で含むと、ＵＶ硬化性官能基を有する化合物が多く反応し、その結果、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーが、ＵＶ硬化性官能基を多く有する。そして、ＵＶ照射時の硬化収縮が大きくなり、加工物との密着力が低下してアンカー効果が外れ易くなる。それゆえ、ＵＶの照射によって固定力を十分に低下させることができる。したがって、剥離する際に融点以上の温度に加熱する必要がなく、ＵＶの照射により融点未満の温度で加工物を容易に剥離することが可能となる。
このように、本実施形態の感温性粘着剤によれば、融点未満の温度で被加工物を高い固定力で仮固定することができ、しかも、加工物を剥離する際には、融点以上の温度に加熱する手間が不要であることから、固定性および易剥離性に優れるという効果を奏する。すなわち、本実施形態の感温性粘着剤は、融点未満の温度で被加工物を仮固定し、且つ、ＵＶの照射により融点未満の温度で加工物を剥離する。
感温性粘着剤は、ＵＶ硬化性および感温性が得られる割合でＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーを含有する。すなわち、感温性粘着剤は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有する。主成分とは、感温性粘着剤中に重量比で最も多く含まれる成分のことを意味する。
ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの融点は、例えば、２３～５０℃、好ましくは４０～５０℃である。融点を４０～５０℃にすると、室温においてＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーを結晶化させることができるので、被加工物を室温で高い固定力で仮固定し、加工することができる。また、得られた加工物を室温で易剥離することもできる。すなわち、被加工物の加工と加工物の剥離とを、いずれも室温で行うことが可能となる。なお、室温とは、２３℃±５℃のことを意味してもよい。
融点は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの組成などを変えることによって調整することができる。また、融点は、ＵＶ照射前後で実質的に変化しない傾向にある。すなわち、ＵＶ硬化後の融点は、ＵＶ硬化前の融点と実質的に同じ値になる傾向がある。さらに、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、ＵＶ硬化後においても融点未満の温度で結晶化し、且つ、融点以上の温度で流動性を示す。すなわち、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、ＵＶ照射前後のいずれの状態においても、温度変化に対応して結晶状態および流動状態を可逆的に起こすことができる。
炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートは、その炭素数１６以上の直鎖状アルキル基がＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーにおける側鎖結晶性部位として機能する。すなわち、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーは、側鎖に炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する櫛形のポリマーであり、この側鎖が分子間力などで秩序ある配列に整合されることによって結晶化する。
炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレートなどの炭素数１６～２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。例示した（メタ）アクリレートは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートのことを意味する。
炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。例示した（メタ）アクリレートは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。例示した（メタ）アクリレートは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
側鎖結晶性ポリマーは、上述したとおり、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に６重量％以上の割合で含む。ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートの割合は、好ましくは８重量％以上、より好ましくは１０重量％以上である。ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートの割合の上限値は、３０重量％以下であってもよい。
また、側鎖結晶性ポリマーは、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートおよび炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に同じ割合で含んでもよい。
側鎖結晶性ポリマーにおいて、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが、炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートよりも重量比で多く含まれてもよい。この場合には、固定性に優れる。
側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが１０～９０重量％、炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートが４～６０重量％、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートが６～３０重量％である。
モノマーの重合方法としては、例えば、溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法などが挙げられる。溶液重合法を採用する場合には、上述した各モノマーを溶剤に混合し、必要に応じて重合開始剤などを添加して、４０～９０℃程度で２～１０時間程度攪拌すればよい。
側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は、例えば、１０００００以上、好ましくは４０００００～８０００００である。重量平均分子量は、側鎖結晶性ポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
ＵＶ硬化性官能基を有する化合物においてＵＶ硬化性官能基とは、ＵＶ照射によって硬化する官能基のことを意味する。ＵＶ硬化性官能基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシ基、ビニル基、グリシジル基などが挙げられる。
ＵＶ硬化性官能基を有する化合物としては、上述したヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートと反応するうえでイソシアネート化合物がよく、例えば、下記式（Ｉ）で表される２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、下記式（II）で表される２－アクリロイルオキシエチルイソシアネート、下記式（III）で表される１，１－ビス（アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネートなどが挙げられる。
また、式（Ｉ）～（III）以外の他のＵＶ硬化性官能基を有するイソシアネート化合物としては、例えば、２－（メタ）アクリロイルオキシプロピルイソシアネート、２－（メタ）アクリロイルオキシブチルイソシアネート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、１－（４－ビニルフェニル）－１－メチルエチルイソシアネートなどが挙げられる。例示したイソシアネート化合物は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
ＵＶ硬化性官能基を有する化合物と側鎖結晶性ポリマーとの反応は、例えば、両者を所定の割合で混合した後、酸化防止剤および触媒などを必要に応じて加えて窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気下とし、４０～８０℃程度で１～９時間程度攪拌して行えばよい。
両者の混合割合は、例えば、側鎖結晶性ポリマー中のヒドロキシアルキル基に対して、ＵＶ硬化性官能基を有する化合物が０．１～５モル当量、好ましくは０．５～２モル当量である。側鎖結晶性ポリマーの含有量は、ＵＶ硬化性官能基を有する化合物の含有量よりも多いのがよい。
ＵＶ硬化性官能基の硬化には、光重合開始剤を用いる。光重合開始剤は、ＵＶ硬化性官能基の組成に応じて適宜選択すればよく、特に限定されるものではない。また、光重合開始剤は、市販品を用いることができる。市販の光重合開始剤としては、例えば、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製の「Ｏｍｎｉｒａｄ５００」などが挙げられる。光重合開始剤の添加量は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して、例えば、０．３～３重量部である。
ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は、例えば、１０００００以上、好ましくは６０００００～８０００００である。重量平均分子量は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーをＧＰＣによって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
感温性粘着剤は、アゾ化合物をさらに含有してもよい。この場合には、ＵＶ照射時に気体が発生し、加工物をリフトアップする効果が得られるため、より易剥離性に優れる。
アゾ化合物としては、例えば、アゾアミド類、アゾエステル類などが挙げられる。アゾアミド類としては、例えば、2,2'-Azobis(N-butyl-2-methylpropionamide) などが挙げられる。アゾ化合物の含有量は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して、例えば、５～１５重量部である。
感温性粘着剤は、架橋剤をさらに含有してもよい。架橋剤としては、例えば、金属キレート化合物、アジリジン化合物、イソシアネート化合物、エポキシ化合物などが挙げられる。架橋剤の含有量は、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して、例えば、０．１～５重量部である。架橋条件としては、加熱温度が９０～１２０℃程度であり、加熱時間が１分～２０分程度である。
感温性粘着剤は、ポリエチレンテレフタレートに対する１８０°剥離強度が、紫外線照射前の２３℃において１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、好ましくは１．０～１５Ｎ／２５ｍｍであってもよく、また、紫外線照射後の２３℃において０．１Ｎ／２５ｍｍ以下、好ましくは０．０１～０．１Ｎ／２５ｍｍであってもよい。この場合には、被貼付面が有機材料を含む被加工物に対して、感温性粘着剤が優れた固定性と易剥離性とを有する。１８０°剥離強度は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定される値である。
感温性粘着剤は、ステンレス鋼に対する１８０°剥離強度が、紫外線照射前の２３℃において３．０Ｎ／２５ｍｍ以上、好ましくは３．０～４０Ｎ／２５ｍｍであってもよく、また、紫外線照射後の２３℃において０．２Ｎ／２５ｍｍ以下、好ましくは０．０１～０．２Ｎ／２５ｍｍであってもよい。この場合には、被貼付面が無機材料を含む被加工物に対して、感温性粘着剤が優れた固定性と易剥離性とを有する。
感温性粘着剤は、例えば、セラミック部品製造用の仮固定材として使用することができる。セラミック部品としては、例えば、積層セラミックコンデンサ、セラミックインダクタ、セラミックバリスタなどが挙げられる。感温性粘着剤は、セラミックグリーンシート積層体の仮固定用であってもよい。
感温性粘着剤の使用形態は、特に限定されず、例えば、そのまま使用してもよいし、下記で説明するように、粘着シート、粘着テープなどの形態で使用してもよい。
＜感温性粘着シート＞
本実施形態の感温性粘着シートは、上述した感温性粘着剤を含むものであり、基材レスのシート状である。感温性粘着シートの厚さは、例えば、１０～４００μｍである。
感温性粘着シートの表面には、離型フィルムを積層してもよい。離型フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどからなるフィルムの表面に、シリコーンなどの離型剤を塗工したものが挙げられる。離型フィルムの厚さは、例えば、５～５００μｍ、好ましくは２５～２５０μｍである。離型フィルムは、感温性粘着シートの使用時に剥離される。
＜感温性粘着テープ＞
本実施形態の感温性粘着テープは、フィルム状の基材と、基材の少なくとも片面に積層されている粘着剤層とを備えている。フィルム状とは、フィルム状のみに限定されるものではなく、本実施形態の効果を損なわない限りにおいて、フィルム状ないしシート状をも含む概念である。
基材の構成材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂が挙げられる。
基材の構造は、単層構造または多層構造のいずれであってもよい。基材の厚さは、例えば、５～５００μｍ、好ましくは２５～２５０μｍである。基材は、粘着剤層に対する密着性を高めるうえで、表面処理が施されていてもよい。表面処理としては、例えば、コロナ放電処理（コロナ処理）、プラズマ処理、ブラスト処理、ケミカルエッチング処理、プライマー処理などが挙げられる。
基材の少なくとも片面に積層されている粘着剤層は、上述した感温性粘着剤を含むものである。粘着剤層を基材の少なくとも片面に積層するには、例えば、感温性粘着剤に溶剤を加えて塗工液を調製し、得られた塗工液をアプリケーター、コーターなどで基材の片面または両面に塗工して乾燥させればよい。アプリケーターとしては、例えば、ベーカー式アプリケーターなどが挙げられる。コーターとしては、例えば、ナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター、グラビアコーター、ロッドコーターなどが挙げられる。
粘着剤層の厚さは、例えば、５～３００μｍ、好ましくは１０～３００μｍである。
基材の両面に粘着剤層を積層する場合には、片面の粘着剤層と他面の粘着剤層は、互いの組成や厚さなどが同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、片面の粘着剤層が上述した感温性粘着剤を含む限り、他面の粘着剤層は特に限定されない。他面の粘着剤層は、例えば、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤などで構成することもできる。
粘着剤層の表面には、離型フィルムを積層してもよい。離型フィルムとしては、上述した感温性粘着シートで例示したのと同じものが挙げられる。離型フィルムは感温性粘着テープの使用時に剥離される。
＜被加工物の加工方法＞
次に、本発明の一実施形態に係る被加工物の加工方法について、被加工物がセラミックグリーンシート積層体である場合を例にとって、図１を参照して詳細に説明する。
本実施形態の被加工物の加工方法は、上述した感温性粘着テープを使用するとともに、以下の（ｉ）～（iv）の工程を備えている。
（ｉ）感温性粘着テープを融点以上の温度にして被加工物に貼付する工程。
（ii）感温性粘着テープを融点未満の温度にして被加工物を仮固定する工程。
（iii）被加工物を加工して加工物を得る工程。
（iv）感温性粘着テープの粘着剤層に紫外線を照射し、融点未満の温度で加工物を感温性粘着テープから剥離する工程。
具体的に説明すると、図１（ａ）に示すように、本実施形態の感温性粘着テープ１は、フィルム状の基材２と、基材２の片面に積層されており上述した感温性粘着剤を含む粘着剤層３と、を備えている。
（ｉ）の工程では、感温性粘着テープ１を融点以上の温度にして、被加工物であるセラミックグリーンシート積層体１００に貼付する。感温性粘着テープ１を融点以上の温度にするには、例えば、ヒータなどの加熱手段を使用すればよい。
セラミックグリーンシート積層体１００は、例えば、セラミック粉末のスラリーをドクターブレードで薄く延ばしてセラミックグリーンシートを形成し、このセラミックグリーンシートの表面に複数の電極を印刷した後、複数のセラミックグリーンシートを積層一体化して得られる。
（ii）の工程では、感温性粘着テープ１を融点未満の温度にしてセラミックグリーンシート積層体１００を仮固定する。本実施形態によれば、粘着剤層３が上述した感温性粘着剤を含むことから、セラミックグリーンシート積層体１００を高い固定力で仮固定することができる。なお、感温性粘着テープ１を融点未満の温度にするには、例えば、ファンなどの冷却手段を使用すればよい。
（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００を加工して加工物を得る。加工方法としては、例えば、切削加工、研磨加工などが挙げられる。本実施形態の（iii）の工程は、図１（ｂ）に示すように、いわゆるダイシング加工である。具体的に説明すると、本実施形態の（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００を回転刃２００でカットし、加工物として複数の生チップ１１０を得る。
（iv）の工程では、図１（ｃ）に示すように、感温性粘着テープ１の粘着剤層３にＵＶを照射し、融点未満の温度で複数の生チップ１１０を感温性粘着テープ１から剥離する。ＵＶ照射量は、例えば、０．５～３Ｊ／ｃｍ2である。
本実施形態では、粘着剤層３が上述した感温性粘着剤を含むことから、粘着剤層３にＵＶを照射すれば、融点未満の温度で固定力を十分に低下させることができる。それゆえ、複数の生チップ１１０を感温性粘着テープ１から融点未満の温度で容易に剥離することができ、歩留りよく複数の生チップ１１０を得ることができる。
融点が４０～５０℃であれば、（ii）の工程において、セラミックグリーンシート積層体１００を室温で高い固定力で仮固定することができる。また、（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００を室温でダイシング加工することができる。（iv）の工程では、複数の生チップ１１０を感温性粘着テープ１から室温で易剥離できる。
得られた生チップ１１０を焼成すると、セラミックチップを得ることができる。また、得られたセラミックチップの端面に外部電極を形成すると、積層セラミックコンデンサを得ることができる。
以上、本発明に係る実施形態について例示したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り任意のものとすることができることはいうまでもない。
例えば、上述の実施形態における被加工物の加工方法では、被加工物がセラミックグリーンシート積層体１００であるが、本実施形態の被加工物の加工方法は、セラミックグリーンシート積層体１００の他、例えば、セラミックインダクタ、セラミックバリスタなどの他のセラミック部品を製造する際の被加工物に対しても適用することができる。
また、被加工物の加工方法における（ｉ）の工程では、感温性粘着テープ１の基材２を台座に固定してもよい。基材２を台座に固定する方法としては、例えば、基材２と台座との間に所定の粘着剤や接着剤を介在させて固定する方法や、吸着機構などの固定手段を備えた台座を採用する方法などが挙げられる。また、感温性粘着テープ１の構成が、基材２の両面に粘着剤層３が積層されている両面テープである場合には、セラミックグリーンシート積層体１００を固定している片面の粘着剤層３と反対の他面の粘着剤層３を介して台座に固定してもよい。
また、被加工物の加工方法における（iii）の工程では、回転刃２００によるカットに代えて、例えば、切断刃による押し切りにしてもよい。
以下、合成例および実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の合成例および実施例のみに限定されるものではない。
（合成例１～２）
まず、ベヘニルアクリレート、ｎ－ブチルアクリレートおよび２－ヒドロキシエチルアクリレートを表１に示す割合で混合し、モノマー混合物を得た。
次に、重合開始剤として日油社製の「パーブチルＮＤ」をモノマー混合物１００重量部に対して０．３重量部の割合で混合し、酢酸エチル：ヘプタン＝７：３（重量比）の混合溶媒によって固形分量が３２重量％になるように調整し、混合液を得た。
次に、得られた混合液を５５℃で４時間撹拌した後、追加の重合開始剤として日油社製の「パーブチルＰＶ」をモノマー混合物１００重量部に対して０．５重量部の割合で混合し、８０℃で２時間さらに撹拌することによって各モノマーを共重合させ、側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。
得られた側鎖結晶性ポリマーの溶液を固形分換算で１００重量部、上述した式（Ｉ）で表される２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工（株）製のＵＶ硬化性官能基を有する化合物「カレンズＭＯＩ」）を１０．５重量部（側鎖結晶性ポリマー中のヒドロキシアルキル基に対して０．８モル当量）、および触媒としてジルコニウムテトラアセチルアセトネート（マツモトファインケミカル（株）製の「オルガチックスＺＣ－１５０」）を０．１重量部の割合で混合し、窒素ガス雰囲気下、５０℃で８時間撹拌して反応させて、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。
（比較合成例１）
まず、ベヘニルアクリレートを４５重量％、メチルアクリレートを５０重量％および２－ヒドロキシエチルアクリレートを５重量％の割合で混合し、モノマー混合物を得た。
次に、このモノマー混合物を用いた以外は、合成例１～２と同様にして各モノマーを共重合させて、側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。そして、この側鎖結晶性ポリマーの溶液を用いるとともに、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの割合を５．３重量部（側鎖結晶性ポリマー中のヒドロキシアルキル基に対して０．８モル当量）にした以外は、合成例１～２と同様にして反応させて、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。
（比較合成例２）
まず、ベヘニルアクリレートを４５重量％、ｎ－ブチルアクリレートを５０重量％および２－ヒドロキシエチルアクリレートを５重量％の割合で混合し、モノマー混合物を得た。
次に、このモノマー混合物を用いた以外は、合成例１～２と同様にして各モノマーを共重合させて、側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。そして、この側鎖結晶性ポリマーの溶液を用いるとともに、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの割合を５．３重量部（側鎖結晶性ポリマー中のヒドロキシアルキル基に対して０．８モル当量）にした以外は、合成例１～２と同様にして反応させて、ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの溶液を得た。
合成例１～２および比較合成例１～２で得られた各ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量および融点を表１に示す。なお、重量平均分子量は、ＧＰＣで測定して得られた測定値をポリスチレン換算した値である。融点は、ＤＳＣを用いて１０℃／分の測定条件で測定した値である。
［実施例１～７および比較例１～２］
＜感温性粘着テープの作製＞
まず、合成例１～２および比較合成例１～２で得られた各ＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマーの溶液を固形分換算で１００重量部、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製の光重合開始剤「Ｏｍｎｉｒａｄ５００」を固形分換算で１重量部、架橋剤およびアゾ化合物を表２に示す割合でそれぞれ混合し、塗工液を得た。
なお、表２に示す架橋剤およびアゾ化合物の割合は、固形分換算でＵＶ硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対する値である。使用した架橋剤およびアゾ化合物は、以下のとおりである。
架橋剤：日本ポリウレタン工業社製のイソシアネート化合物「コロネートＬ－４５Ｅ」
アゾ化合物：2,2'-Azobis(N-butyl-2-methylpropionamide)
次に、得られた塗工液を基材の片面に塗工して乾燥させ、基材の片面に厚さ４０μｍの粘着剤層が積層された感温性粘着テープを得た。使用した基材、塗工条件および乾燥条件（架橋条件）は、以下のとおりである。
基材：片面をコロナ処理した厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートからなるフィルム状の基材を用いた。
塗工条件：塗工液を、基材のコロナ処理面にアプリケーターによって塗工した。
乾燥条件：１００℃の乾燥機内で５分間乾燥した。
＜評価＞
実施例１～７および比較例１～２で得られた各感温性粘着テープについて、１８０°剥離強度を評価した。評価方法を以下に示すとともに、その結果を表２に示す。
（１８０°剥離強度）
得られた感温性粘着テープについて、ＵＶ照射前およびＵＶ照射後の２３℃の雰囲気温度におけるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）およびステンレス鋼（ＳＵＳ）に対する１８０°剥離強度を測定した。１８０°剥離強度は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した。具体的には、以下の条件で感温性粘着テープをＰＥＴおよびＳＵＳにそれぞれ貼付した後、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度で１８０°剥離した。
［ＵＶ照射前２３℃］
６０℃の雰囲気温度で感温性粘着テープをＰＥＴおよびＳＵＳにそれぞれ貼付し、この雰囲気温度で２０分間静置した後、雰囲気温度を２３℃に下げ、この雰囲気温度で２０分間静置した後、１８０°剥離した。
［ＵＶ照射後２３℃］
６０℃の雰囲気温度で感温性粘着テープをＰＥＴおよびＳＵＳにそれぞれ貼付し、この雰囲気温度で２０分間静置した後、雰囲気温度を２３℃に下げ、この雰囲気温度で２０分間静置した後、粘着剤層にＵＶを照射した。
ＵＶ照射条件は、以下のとおりである。
装置：ベルト式ＵＶ照射装置
光源：高圧水銀ランプ
ＵＶ照射量：１Ｊ／ｃｍ2
ＵＶを照射した後、２３℃の雰囲気温度で２０分間静置してから１８０°剥離した。
なお、ＰＥＴは、厚さ０．２５ｍｍのフィルム状であって、表面が未処理のものを使用した。ＳＵＳは、板状のＳＵＳ３０４を使用した。ＰＥＴおよびＳＵＳに対する感温性粘着テープの貼付は、感温性粘着テープの上で２ｋｇのローラーを５往復させることによって行った。
表２から明らかなように、実施例１～７は、ＰＥＴおよびＳＵＳのいずれに対しても、ＵＶ照射前の２３℃における１８０°剥離強度の値が高く、且つ、ＵＶ照射後の２３℃における１８０°剥離強度の値が低い結果を示した。したがって、実施例１～７は、融点未満の温度で被加工物を仮固定し、且つ、ＵＶの照射により融点未満の温度で加工物を剥離できるといえる。
比較例１は、２３℃の雰囲気温度でＰＥＴおよびＳＵＳから簡単に剥がれてしまい、ＵＶ照射前の２３℃における１８０°剥離強度を測定できず、固定性に劣る結果を示した。なお、参考例として、ＵＶ照射前の８０℃における１８０°剥離強度の値を、表２中の「ＵＶ照射前２３℃」の欄に示した。
比較例２は、ＰＥＴおよびＳＵＳのいずれに対しても、ＵＶ照射後の２３℃における１８０°剥離強度の値が高く、ＵＶ照射後の融点未満の温度における剥離性に劣る結果を示した。
１・・・感温性粘着テープ
２・・・基材
３・・・粘着剤層
１００・・・セラミックグリーンシート積層体
１１０・・・生チップ
２００・・・回転刃

Claims (7)

  1. 紫外線硬化性官能基を有する化合物と側鎖結晶性ポリマーとの反応物であって、融点以上の温度で流動性を示す紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマーを含有し、
    前記側鎖結晶性ポリマーは、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート、炭素数２～６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートおよびヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分として含むとともに、前記ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレートをモノマー成分中に６重量％以上の割合で含み、
    前記融点未満の温度で被加工物を仮固定し、且つ、紫外線の照射により前記融点未満の温度で加工物を剥離する、感温性粘着剤。
  2. アゾ化合物をさらに含有する、請求項１に記載の感温性粘着剤。
  3. 前記アゾ化合物の含有量が、前記紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して５～１５重量部である、請求項２に記載の感温性粘着剤。
  4. セラミックグリーンシート積層体の仮固定用である、請求項１～３のいずれかに記載の感温性粘着剤。
  5. 請求項１～４のいずれかに記載の感温性粘着剤を含む、感温性粘着シート。
  6. フィルム状の基材と、
    前記基材の少なくとも片面に積層されており請求項１～４のいずれかに記載の感温性粘着剤を含む粘着剤層と、を備える、感温性粘着テープ。
  7. 請求項６に記載の感温性粘着テープを前記融点以上の温度にして被加工物に貼付する工程と、
    前記感温性粘着テープを前記融点未満の温度にして前記被加工物を仮固定する工程と、
    前記被加工物を加工して加工物を得る工程と、
    前記感温性粘着テープの前記粘着剤層に紫外線を照射し、前記融点未満の温度で前記加工物を前記感温性粘着テープから剥離する工程と、を備える、被加工物の加工方法。
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