JP6797744B2

JP6797744B2 - 粘着剤組成物および被加工物の加工方法

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Publication number: JP6797744B2
Application number: JP2017084339A
Authority: JP
Inventors: 智博西尾
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Filing date: 2017-04-21
Publication date: 2020-12-09
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Description

本発明は、粘着剤組成物および被加工物の加工方法に関する。

従来から積層セラミックコンデンサなどの製造工程においてセラミックグリーンシート積層体などを仮固定するときに粘着剤を使用することがある（例えば、特許文献１参照）。

近時、積層セラミックコンデンサの高性能化に伴うカット精度向上のため、仮固定用の粘着剤には、セラミックグリーンシート積層体が有する凹凸への追従性が求められている。また、セラミックグリーンシート積層体などの被加工物の高硬度化に伴って加工温度が高温になる傾向にあるため、仮固定用の粘着剤には、高温でも被加工物の固定性に優れることが求められている。さらに、仮固定用の粘着剤には、加工物を容易に剥離できることも求められている。

特開平９−２５１９２３号公報

本発明の課題は、被加工物に対する凹凸追従性および高温での固定性に優れるとともに、加工物を容易に剥離することができる粘着剤組成物および被加工物の加工方法を提供することである。

本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上であるアクリル系の第１モノマーと、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が３０℃以下であるアクリル系の第２モノマーと、前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの共重合体でありガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１２０℃であるアクリル系のポリマーと、を含有し、紫外線硬化性を有し、且つ、液状である、粘着剤組成物。
（２）仮固定用である、前記（１）に記載の粘着剤組成物。
（３）硬化物が、前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度で軟化する、前記（１）または（２）に記載の粘着剤組成物。
（４）前記第１モノマーおよび前記第２モノマーのうち少なくとも一方が、紫外線硬化性官能基を有する、前記（１）〜（３）のいずれかに記載の粘着剤組成物。
（５）多官能（メタ）アクリレートをさらに含有する、前記（１）〜（４）のいずれかに記載の粘着剤組成物。
（６）前記（１）〜（５）のいずれかに記載の粘着剤組成物を介して被加工物を台座に貼り合わせる工程と、前記粘着剤組成物に紫外線を照射して硬化物にし、前記被加工物を前記台座に仮固定する工程と、前記被加工物を加工して加工物を得る工程と、前記硬化物を前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にして軟化させ、前記加工物を前記硬化物から剥離する工程と、を備える、被加工物の加工方法。
（７）前記被加工物が、セラミックグリーンシート積層体である、前記（６）に記載の被加工物の加工方法。
（８）前記被加工物が、前記粘着剤組成物と接触する領域に深さ３００μｍ以下の溝を有する、前記（６）または（７）に記載の被加工物の加工方法。
（９）前記被加工物を前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）未満の温度で加工する、前記（６）〜（８）のいずれかに記載の被加工物の加工方法。
（１０）ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上であるアクリル系の第１モノマーと、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が３０℃以下であるアクリル系の第２モノマーと、前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの共重合体でありガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１２０℃であるアクリル系のポリマーと、を含有し、紫外線硬化性を有し、且つ、液状である、粘着剤組成物の製造方法であって、前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの混合物に紫外線を照射しながらバルク重合することによって前記ポリマーを得る、粘着剤組成物の製造方法。

本発明によれば、被加工物に対する凹凸追従性および高温での固定性に優れるとともに、加工物を容易に剥離することができるという効果がある。

（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施形態に係る被加工物の加工方法を示す概略説明図である。本発明の一実施形態に係る粘着剤組成物を介して被加工物を台座に貼り合わせた状態を示す概略断面説明図である。

＜粘着剤組成物＞
以下、本発明の一実施形態に係る粘着剤組成物について詳細に説明する。
本実施形態の粘着剤組成物は、第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーを含有し、紫外線（Ultra Violet：以下、「ＵＶ」ということがある。）の照射によって硬化するＵＶ硬化性を有し、且つ、液状である。

（第１モノマー）
第１モノマーは、主として粘着剤組成物を液状にする成分として機能する。第１モノマーは、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上、好ましくは１００〜１８０℃であるアクリル系のモノマーである。ガラス転移温度（Ｔｇ）は、後述する実施例に記載の測定方法で測定して得られる値である。

第１モノマーとしては、例えば、アクリロイルモルフォリン、ジメチルアクリルアミド、イソプロピルアクリルアミドなどが挙げられる。例示した第１モノマーは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。例示した第１モノマーのうちアクリロイルモルフォリンは、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１４５℃である。

粘着剤組成物における第１モノマーの含有量は、第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーの合計１００重量％に対して、例えば、３０〜６０重量％である。

（第２モノマー）
第２モノマーは、主として第１モノマーとともに粘着剤組成物を液状にする成分として機能する。第２モノマーは、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が３０℃以下、好ましくは−８０〜３０℃であるアクリル系のモノマーである。

第２モノマーとしては、例えば、ｎ−ブチルアクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレートなどが挙げられる。例示した第２モノマーは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。例示した第２モノマーのうちｎ−ブチルアクリレートは、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が−５５℃である。

粘着剤組成物における第２モノマーの含有量は、第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーの合計１００重量％に対して、例えば、３０〜６０重量％である。

（ポリマー）
ポリマーは、主として固定力を発揮する成分として機能する。ポリマーは、第１モノマーおよび第２モノマーの共重合体であり、且つ、ガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１２０℃、好ましくは８０〜１０５℃であるアクリル系のポリマーである。ポリマーは、第１モノマーおよび第２モノマーの共重合体であることから、第１モノマーおよび第２モノマーに対して優れた相溶性を発揮する。

粘着剤組成物におけるポリマーの含有量は、第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーの合計１００重量％に対して、例えば、１０〜４０重量％である。

ポリマーは、第１モノマーおよび第２モノマーのバルク重合体であってもよい。言い換えれば、第１モノマーおよび第２モノマーの共重合は、バルク重合で行ってもよい。また、バルク重合は、ＵＶを照射しながら行ってもよい。これにより、比較的短時間でポリマーを得ることができる。

バルク重合の重合条件は、次のような条件に設定できる。重合温度は、例えば、１０〜８０℃である。重合時間は、例えば、３０秒〜５分である。ＵＶの強度は、例えば、１〜１００ｍＷ／ｃｍ²（３６５ｎｍ）である。なお、重合条件は、第１、第２モノマーを共重合して上述したガラス転移温度（Ｔｇ）を有するポリマーを得ることができる限り、例示した条件に限定されるものではない。

バルク重合は、光重合開始剤（光ラジカル開始剤）の存在下で行ってもよい。光重合開始剤の添加量は、第１モノマーおよび第２モノマーの合計１００重量部に対して、例えば、０．１〜１０重量部である。

光重合開始剤の組成は、特に限定されるものではない。また、光重合開始剤は、市販品を用いることができる。市販の光重合開始剤としては、例えば、いずれもチバ・ジャパン社製の「ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４」、「ＩＲＧＡＣＵＲＥ５００」などが挙げられる。

ポリマーの重量平均分子量は、例えば、１５０万以上、好ましくは２００万〜４００万である。重量平均分子量は、ポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。

ここで、上述した第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーを含有する本実施形態の粘着剤組成物は、上述のとおり、ＵＶ硬化性を有し、且つ、液状である。したがって、粘着剤組成物は、まず、液状の形態で使用することができる。それゆえ、粘着剤組成物を被加工物に塗工すれば、被加工物の表面に存在する微細な凹凸形状に粘着剤組成物が追従する。具体例を挙げると、粘着剤組成物は、後述する図２に示すように、セラミックグリーンシート積層体１００が有する溝１０１に対して優れた凹凸追従性を発揮する。そして、被加工物の表面に存在する微細な凹凸形状に追従した状態の粘着剤組成物にＵＶを照射して硬化物にすると、いわゆるアンカー効果が発現し、その結果、被加工物を高い固定力で仮固定することができる。このとき、硬化物は、主として上述したポリマーに起因して、高温においても高い固定力を発揮する。さらに、硬化物は、ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度で軟化する。したがって、硬化物をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にすれば、硬化物の固定力を低下させることができるので、被加工物を加工することで得られる加工物を硬化物から容易に剥離することができる。

液状とは、粘着剤組成物の２３℃における粘度が、１００〜１００００ｍＰａ・ｓであることを意味するものとする。粘度は、ＵＶ硬化前の値であって、後述する実施例に記載の方法で測定して得られる値である。

一方、第１モノマーおよび第２モノマーの合計含有量は、ポリマーの含有量よりも多くてもよい。このような構成によれば、粘着剤組成物が第１モノマーおよび第２モノマーを主成分として含有するようになり、結果として優れた塗工性を発揮する。

硬化物の貯蔵弾性率Ｇ’は、例えば、ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）未満の温度で１×１０⁶Ｐａ以上、好ましくは１×１０⁶〜１×１０⁹Ｐａである。このような構成によれば、硬化物が高温においても高い弾性率を維持することができるので、被加工物を高温においても高い固定力で仮固定することができる。

硬化物の貯蔵弾性率Ｇ’は、例えば、ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度で９×１０⁵Ｐａ以下、好ましくは１×１０⁴〜９×１０⁵Ｐａである。このような構成によれば、硬化物をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にすれば、硬化物による固定力を十分に低下させることができるので、加工物を容易に剥離することができる。

貯蔵弾性率Ｇ’は、動的粘弾性測定装置を使用して、１Ｈｚ、５℃／分、０〜２００℃の昇温過程で測定して得られる値である。貯蔵弾性率Ｇ’は、例えば、ポリマーの組成などを変えることによって調整することができる。

第１モノマーおよび第２モノマーのうち少なくとも一方が、ＵＶ硬化性官能基を有していてもよい。ＵＶ硬化性官能基とは、ＵＶ照射によって硬化する官能基のことを意味するものとする。第１モノマーおよび第２モノマーのうち少なくとも一方が、ＵＶ硬化性官能基を有しているときは、粘着剤組成物が、ＵＶ硬化性を有するようになる。ＵＶ硬化性官能基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシ基、ビニル基、グリシジル基などが挙げられる。例えば、第１モノマーで例示したアクリロイルモルフォリンは、ＵＶ硬化性官能基を有している。したがって、第１モノマーとしてアクリロイルモルフォリンを採用すれば、粘着剤組成物が、ＵＶ硬化性を有するようになる。

粘着剤組成物は、多官能（メタ）アクリレートをさらに含有していてもよい。多官能（メタ）アクリレートは、ＵＶが照射されることによって硬化する性質を有する硬化性化合物であり、分子内にラジカル重合可能な二重結合を２個以上有する（メタ）アクリレートである。粘着剤組成物が、多官能（メタ）アクリレートをさらに含有しているときは、粘着剤組成物が、ＵＶ硬化性を有するようになる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートのことを意味するものとする。

多官能（メタ）アクリレートの含有量は、第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーの合計１００重量部に対して、例えば、０．１〜３０重量部である。

多官能（メタ）アクリレートの重量平均分子量は、例えば、２００〜１２００である。

多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、２官能（メタ）アクリレートまたは３官能（メタ）アクリレートなどが挙げられる。多官能（メタ）アクリレートの具体的な組成としては、例えば、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−（２−アクリロキシエチル）イソシアヌレートなどが挙げられる。例示した多官能（メタ）アクリレートは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

上述した多官能（メタ）アクリレートは、市販品を用いることができる。市販の多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、いずれも新中村化学工業社製の「ＮＫエステルＡ−ＨＤ−Ｎ」、「ＮＫエステルＡ−ＢＰＥ−１０」、「ＮＫエステルＡ−９３００−１ＣＬ」、「ＮＫエステルＡ−９３００−６ＣＬ」などが挙げられる。

本実施形態の粘着剤組成物は、一度固定した被着体を再剥離する必要性のある仮固定用として好適に使用することができる。具体例を挙げると、本実施形態の粘着剤組成物は、例えば、セラミック部品製造用の仮固定材として使用することができる。セラミック部品としては、例えば、積層セラミックコンデンサ、セラミックインダクタ、セラミックバリスタなどが挙げられる。

粘着剤組成物の使用形態は、特に限定されず、例えば、そのまま使用してもよいし、粘着テープなどの形態で使用してもよい。

＜被加工物の加工方法＞
次に、本発明の一実施形態に係る被加工物の加工方法について、被加工物がセラミックグリーンシート積層体である場合を例にとって、図１および図２を参照して詳細に説明する。

本実施形態の被加工物の加工方法は、上述した粘着剤組成物を使用するとともに、以下の（ｉ）〜（iv）の工程を備えている。
（ｉ）粘着剤組成物を介して被加工物を台座に貼り合わせる工程。
（ii）粘着剤組成物に紫外線を照射して硬化物にし、被加工物を台座に仮固定する工程。
（iii）被加工物を加工して加工物を得る工程。
（iv）硬化物をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にして軟化させ、加工物を硬化物から剥離する工程。

具体的に説明すると、（ｉ）の工程では、図１（ａ）に示すように、粘着剤組成物１を介して被加工物であるセラミックグリーンシート積層体１００を台座２００に貼り合わせる。

ここで、本実施形態のセラミックグリーンシート積層体１００は、図２に示すように、粘着剤組成物１と接触する領域Ｓに溝１０１を複数有する。溝１０１は、後述する（iii）の工程において、セラミックグリーンシート積層体１００を複数の生チップ１１０にカットするときのガイドとして機能する部位である。溝１０１の深さＤは、例えば、３００μｍ以下、好ましくは５０〜３００μｍ、より好ましくは５０〜１００μｍである。溝１０１の幅Ｗは、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは２０〜２０００μｍである。液状である粘着剤組成物１は、優れた凹凸追従性を発揮することから、粘着剤組成物１と溝１０１との間に空隙が発生するのを抑制しつつ、粘着剤組成物１を介してセラミックグリーンシート積層体１００を台座２００に貼り合わせることができる。

セラミックグリーンシート積層体１００は、例えば、セラミック粉末のスラリーをドクターブレードで薄く延ばしてセラミックグリーンシートを形成し、このセラミックグリーンシートの表面に複数の電極を印刷した後、複数のセラミックグリーンシートを積層一体化して得られる。

（ii）の工程では、粘着剤組成物１にＵＶを照射し、粘着剤組成物１を硬化物２にする。その結果、セラミックグリーンシート積層体１００を台座２００に仮固定することができる。ＵＶ照射量は、例えば、１０００〜１００００ｍＪ／ｃｍ²である。

（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００を加工して加工物を得る。加工方法としては、例えば、切削加工、研磨加工などが挙げられる。本実施形態の（iii）の工程は、図１（ｂ）に示すように、いわゆるナイフカットである。具体的に説明すると、本実施形態の（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００をナイフ３００でカットし、加工物として複数の生チップ１１０を得る。

本実施形態では、図２に示すように、粘着剤組成物１と溝１０１との間に空隙が発生するのを抑制しつつ粘着剤組成物１を介してセラミックグリーンシート積層体１００を台座２００に貼り合わせている。したがって、矢印ａ方向にナイフ３００を動かしてセラミックグリーンシート積層体１００を溝１０１に沿ってカットするとき、バリの発生を抑制することができる。また、粘着剤組成物１にＵＶを照射して硬化させた硬化物２は、高温においても高い弾性率を維持することができ、高い固定力を発揮することができる。それゆえ、高温になりやすいナイフカットにおいても優れたカット精度でセラミックグリーンシート積層体１００をカットすることができる。

（iii）の工程では、セラミックグリーンシート積層体１００をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）未満の温度で加工するのがよい。これにより、硬化物２が高い固定力を発揮している状態で、セラミックグリーンシート積層体１００をカットすることができる。

（iv）の工程では、硬化物２をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にして軟化させる。その結果、硬化物２の固定力が低下するので、図１（ｃ）に示すように、複数の生チップ１１０を硬化物２から容易に剥離することができ、歩留りよく複数の生チップ１１０を得ることができる。硬化物２をポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にするには、例えば、ヒータなどの加熱手段を使用すればよい。

得られた生チップ１１０を焼成すると、セラミックチップを得ることができる。また、得られたセラミックチップの端面に外部電極を形成すると、積層セラミックコンデンサを得ることができる。

以上、本発明に係る実施形態について例示したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り任意のものとすることができることはいうまでもない。

例えば、上述の実施形態における被加工物の加工方法では、被加工物がセラミックグリーンシート積層体１００であるが、本実施形態の被加工物の加工方法は、セラミックグリーンシート積層体１００の他、例えば、セラミックインダクタ、セラミックバリスタなどの他のセラミック部品を製造するときの被加工物に対しても適用することができる。

また、被加工物の加工方法における（iii）の工程では、ナイフ３００によるカットに代えて、例えば、回転刃によるカットにしてもよい。

以下、合成例および実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の合成例および実施例のみに限定されるものではない。

＜合成例＞
まず、フラスコ上部に窒素導入管、温度計、冷却管およびＵＶ照射ヘッドを備える５００ｍｌのフラスコに、第１モノマーとしてアクリロイルモルフォリンを７５ｇ、第２モノマーとしてｎ−ブチルアクリレートを２５ｇ、および光重合開始剤としてＢＡＳＦジャパン社製の「ＩＲＧＡＣＵＲＥ５００」を２ｇの割合で投入し、混合液を得た。

次に、フラスコを湯浴に浸けて混合液を４０℃に加温し、１５０ｒｐｍで撹拌しながら３０分間窒素バブリングし、混合液内の酸素を除去した。そして、混合液に対してフラスコ上部のＵＶ照射ヘッドからＵＶを照射しながらモノマーをバルク重合した。

バルク重合の条件は、以下のとおりである。
重合温度：４０℃
重合時間：２分
ＵＶの強度：４０ｍＷ／ｃｍ²（３６５ｎｍ）

バルク重合後、フラスコにｎ−ブチルアクリレートを１００ｇの割合でさらに投入し、第１モノマーであるアクリロイルモルフォリンと、第２モノマーであるｎ−ブチルアクリレートと、アクリロイルモルフォリンおよびｎ−ブチルアクリレートの共重合体であるアクリル系のポリマーと、を含有し、ＵＶ硬化性を有し、且つ、液状である、粘着剤組成物を得た。

得られた粘着剤組成物について、ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）および重量平均分子量、含有量（ポリマーの含有量および第１、第２モノマーの合計含有量）、粘着剤組成物の粘度を測定した。各々の測定結果および測定方法は、以下のとおりである。

ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）：１００℃
ポリマーの重量平均分子量：２００万
ポリマーの含有量：１８重量％
第１、第２モノマーの合計含有量：８２重量％
粘着剤組成物の粘度：８００ｍＰａ・ｓ

（ガラス転移温度（Ｔｇ））
サーモサイエンティフィック（Thermo Scientific）社製の動的粘弾性測定装置「ＨＡＡＫＥＭＡＲＳIII」を使用して、２０Ｈｚ、５℃／分、−１００〜４００℃の昇温過程でｔａｎδを測定し、得られたｔａｎδのピーク温度からガラス転移温度（Ｔｇ）を求めた。

（重量平均分子量）
ＧＰＣによって測定し、得られた測定値を標準ポリスチレン換算して得た。ＧＰＣの測定溶媒には、ＴＨＦを使用した。

（含有量）
上述した重量平均分子量の測定結果において、ポリマー分とモノマー分との検出面積比から算出した。

（粘度）
以下の測定条件で測定した。
測定装置：Ｂ型粘度計
ローター：Ｎｏ．３
回転数：１２ｒｐｍ
測定温度：２３℃

得られた粘着剤組成物に多官能アクリレートを添加した。添加した多官能アクリレートの組成および添加量は、以下のとおりである。
組成：新中村化学工業社製の１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ＮＫエステルＡ−ＨＤ−Ｎ」
添加量：第１モノマー、第２モノマーおよびポリマーの合計１００重量部に対して、１重量部

＜比較合成例＞
アクリロイルモルフォリンの割合を７５ｇに代えて２５ｇにし、ｎ−ブチルアクリレートの割合を２５ｇに代えて７５ｇにした以外は、上述した合成例と同様にしてモノマーをバルク重合した。

得られた粘着剤組成物について、上述した合成例と同様にして、ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）および重量平均分子量、含有量（ポリマーの含有量および第１、第２モノマーの合計含有量）、粘着剤組成物の粘度を測定した。各々の測定結果は、以下のとおりである。

ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）：３０℃
ポリマーの重量平均分子量：２００万
ポリマーの含有量：２０重量％
第１、第２モノマーの合計含有量：８０重量％
粘着剤組成物の粘度：１０００ｍＰａ・ｓ

得られた粘着剤組成物に上述した合成例と同様にして多官能アクリレートを添加した。

合成例で得た多官能アクリレートを添加した粘着剤組成物を使用して、８０℃固定性、１２０℃剥離性および凹凸追従性を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、その結果を表１に示す。

＜８０℃固定性＞
まず、粘着剤組成物をフィルム状の基材の片面にアプリケーターを使用して厚さ５ｍｉｌで塗工した。

使用したフィルム状の基材は、以下のとおりである。
基材：片面をコロナ処理したユニチカ社製の厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム「エンブレットＳＢ−１００」

次に、塗膜の表面にフィルム状の被着体を積層し、被着体の上方からＵＶを照射して第１試験片を得た。

使用したフィルム状の被着体は、以下のとおりである。
被着体：表面未処理の厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム

ＵＶ照射条件は、以下のとおりである。
ＵＶ照射装置：アズワン社製の「ＨＬＲ１００Ｔ−２／ＨＢ１００Ａ−１」
ＵＶ照射量：１５００ｍＪ／ｃｍ²

得られた第１試験片について、８０℃の雰囲気温度における１８０°剥離強度をＪＩＳＺ０２３７に準拠して測定した。具体的には、第１試験片を８０℃の雰囲気温度で２０分間静置した後、ロードセルを用いて３００ｍｍ／分の速度で被着体を１８０°剥離した。そして、この測定結果から、８０℃固定性を評価した。評価基準は、以下のように設定した。
○：１８０°剥離強度が、１．０Ｎ／２５ｍｍ以上である。
△：１８０°剥離強度が、０．５Ｎ／２５ｍｍ以上１．０Ｎ／２５ｍｍ未満である。
×：１８０°剥離強度が、０．５Ｎ／２５ｍｍ未満である。

＜１２０℃剥離性＞
まず、上述した８０℃固定性の評価と同様にして第１試験片を得た。次に、第１試験片を８０℃に代えて１２０℃の雰囲気温度で２０分間静置した以外は、上述した８０℃固定性の評価と同様にして被着体を１８０°剥離した。そして、この測定結果から、１２０℃剥離性を評価した。評価基準は、以下のように設定した。
○：１８０°剥離強度が、０．３Ｎ／２５ｍｍ以下である。
△：１８０°剥離強度が、０．３Ｎ／２５ｍｍよりも大きく、かつ１．０Ｎ／２５ｍｍ以下である。
×：１８０°剥離強度が、１．０Ｎ／２５ｍｍよりも大きい。

＜凹凸追従性＞
まず、表面に深さ２８０μｍおよび幅１０００μｍの溝を有するガラス板を準備した。次に、粘着剤組成物をガラス板の表面における溝およびその周辺に滴下し、その上に８０℃固定性の評価で使用したのと同じ被着体を積層し、被着体の上方から８０℃固定性の評価と同じ条件でＵＶを照射して第２試験片を得た。

得られた第２試験片を１５０℃の雰囲気温度で２０分間静置した後、ロードセルを用いて硬化物とガラス板との界面で１８０°剥離した。そして、硬化物に転写された溝の形状を電子顕微鏡（倍率：５００倍）で観察し、粘着剤組成物の凹凸追従性を評価した。評価基準は、以下のように設定した。
○：溝と実質的に同じ形状が硬化物に転写されている。
×：溝と実質的に同じ形状が硬化物に転写されていない。

［比較例］
比較合成例で得た多官能アクリレートを添加した粘着剤組成物を使用した以外は、上述した実施例と同様にして８０℃固定性、１２０℃剥離性および凹凸追従性を評価した。その結果を表１に示す。

表１から明らかなように、実施例は、８０℃固定性、１２０℃剥離性および凹凸追従性に優れているのがわかる。

１粘着剤組成物
２硬化物
１００セラミックグリーンシート積層体
１０１溝
１１０生チップ
２００台座
３００ナイフ

Claims

ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上であるアクリル系の第１モノマーと、
ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が３０℃以下であるアクリル系の第２モノマーと、
前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの共重合体でありガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１２０℃であるアクリル系のポリマーと、を含有し、
紫外線硬化性を有し、且つ、液状である、粘着剤組成物。
仮固定用である、請求項１に記載の粘着剤組成物。
硬化物が、前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度で軟化する、請求項１または２に記載の粘着剤組成物。
前記第１モノマーおよび前記第２モノマーのうち少なくとも一方が、紫外線硬化性官能基を有する、請求項１〜３のいずれかに記載の粘着剤組成物。
多官能（メタ）アクリレートをさらに含有する、請求項１〜４のいずれかに記載の粘着剤組成物。
請求項１〜５のいずれかに記載の粘着剤組成物を介して被加工物を台座に貼り合わせる工程と、
前記粘着剤組成物に紫外線を照射して硬化物にし、前記被加工物を前記台座に仮固定する工程と、
前記被加工物を加工して加工物を得る工程と、
前記硬化物を前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にして軟化させ、前記加工物を前記硬化物から剥離する工程と、を備える、被加工物の加工方法。
前記被加工物が、セラミックグリーンシート積層体である、請求項６に記載の被加工物の加工方法。
前記被加工物が、前記粘着剤組成物と接触する領域に深さ３００μｍ以下の溝を有する、請求項６または７に記載の被加工物の加工方法。
前記被加工物を前記ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）未満の温度で加工する、請求項６〜８のいずれかに記載の被加工物の加工方法。
ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上であるアクリル系の第１モノマーと、ホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が３０℃以下であるアクリル系の第２モノマーと、前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの共重合体でありガラス転移温度（Ｔｇ）が８０〜１２０℃であるアクリル系のポリマーと、を含有し、紫外線硬化性を有し、且つ、液状である、粘着剤組成物の製造方法であって、
前記第１モノマーおよび前記第２モノマーの混合物に紫外線を照射しながらバルク重合することによって前記ポリマーを得る、粘着剤組成物の製造方法。