JP7796030B2 - 液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素およびその製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素、およびアクチュエータ構成要素の製造方法に関する。アクチュエータ構成要素は、ドロップオンデマンドインクジェットプリントヘッド、またはより一般的には、液滴吐出装置、特に、一つまたは複数のアクチュエータ構成要素を含む液滴吐出装置に特に好適であり得る。アクチュエータ構成要素は、流体チャンバのアレイを提供し、その各々が、圧電アクチュエータ素子およびノズルを有し、圧電アクチュエータ素子は、電気信号に応答して、ノズルを通る流体液滴の吐出方向への放出を引き起こすように動作可能である。

液滴吐出ヘッドは、インクジェット印刷などのより従来型の用途、もしくは３Ｄ印刷、または他のラピッドプロトタイピング技術であるかを問わず、現在広く使用されている。したがって、流体、例えば、インクは、新たな基材に付着し、かつ堆積した材料の機能性を増加させる新規の化学特性を有し得る。産業用途、例えば、セラミックタイルまたは織物などの基材上に直接印刷するため、またはフラットスクリーンテレビ用のＬＣＤまたはＯＬＥＤディスプレイの色フィルタなどの素子を形成するために使用可能である液滴吐出ヘッドが開発されてきた。液滴吐出ヘッドを使用する、このような産業印刷技術により、短い生産工程、製品のカスタマイズ生産、さらには特注設計の印刷さえも可能である。したがって、液滴吐出ヘッドが進歩・専門化を続けて、新たな、かつ／またはますます課題の多い吐出用途に好適になることを理解されたい。しかしながら、液滴吐出ヘッドの分野において数々の開発が行われてきたものの、改善の余地は依然存在する。

近年、より高い頻度での印刷および／または水性もしくは導電性のインクおよび流体を使用する印刷に対する関心が高まっている。異なる機能性を有する異なる種類の液滴吐出ヘッドが、ベースアクチュエータ構成要素アーキテクチャ上のバリアントから生成され得るような、柔軟な設計への関心も高まっている。このような柔軟性は、生産の応答性や在庫要件にメリットがあるため、コスト削減に利点がある。しかしながら、これまでのところ、異なる種類の流体または性能要件に対処するバリアントを、単純かつ容易に製造できる、柔軟な液滴吐出ヘッドアーキテクチャの作製が困難であることは実証されている。

本発明は、単一の部品または限定数の部品の速やかなカスタマイズ生産を可能にして、より高い頻度で動作する、または水性もしくは導電性のインクで作動するなど、異なる市場および顧客に対する要件に対処するためのプリントヘッドのバリアントを生産する。

本発明の態様が、添付の独立請求項に記載される一方、本発明の特定の実施形態の詳細は、添付の従属請求項に記載されている。

本開示の第一の態様によれば、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素であって、前述のアクチュエータ構成要素は、基材と、前述の基材に固定して取り付けられた一つまたは複数の圧電材料のストリップと、を備え、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップは、一つまたは複数の圧電材料の層と、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ内に画定され、アレイ方向に延在する、流体チャンバのアレイと、を含み、前述のアクチュエータ構成要素は、一つまたは複数のカバー部品をさらに備え、当該または各カバー部品は、前述のアレイ方向に延在し、圧電材料のストリップのうちの一つの側面および／または前述の基材の少なくとも一部分のうちの少なくとも一つに固定して取り付けられ、前述の一つまたは複数のカバー部品は、複数の開口部を備え、流体を、前述の開口部を通して前述の流体チャンバのうち選択された流体チャンバに供給可能である、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素が提供される。

特定の実施形態によれば、開口部は、ＡＬＡ（Ａｌｔｅｒｎａｔｅ Ｌｉｎｅ Ａｃｔｉｖｅ）設計を提供する。

他の特定の実施形態によれば、開口部が流れ制限器を提供する、設計が提供される。

他の特定の実施形態によれば、開口部がＡＬＡ設計および流れ制限器の両方を提供する、設計が提供される。

他の特定の実施形態によれば、流体チャンバのアレイが、主要領域を備え、また、流体チャンバのアレイの一方の端または両端に緩衝領域も備え、緩衝領域内の開口部および／または流体チャンバが、主要領域内のものと異なっている、設計が提供される。

本開示の第二の態様によれば、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素の製造方法が提供され、前述の方法は、
一つまたは複数の圧電材料のストリップを、基材に固定して取り付けるステップと、
流体チャンバの一つまたは複数のアレイを、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ内に形成するステップと、
前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップおよび前述の基材に適合するウエハを形成するステップであって、前述のウエハは、一つまたは複数の部品を含む、形成するステップと、
前述のウエハの少なくとも一部を前述の基材に、および前述のウエハの少なくとも一部を前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップに固定して取り付けるステップと、
材料を前述のウエハから除去し、それによって、前述の圧電材料のストリップのうちの一つの面および前述の基材の少なくとも一部分に固定して取り付けられる一つまたは複数のカバー部品を形成するステップと、
複数の開口部を前述のカバー部品内に選択的に形成し、流体を、前述の開口部を通して前述の流体チャンバのうち選択された流体チャンバに供給可能にするステップと、を含む。

本開示の第三の態様によれば、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素の製造方法が提供され、前述の方法は、
一つまたは複数の圧電材料のストリップを、基材に固定して取り付けるステップと、
流体チャンバの一つまたは複数のアレイを、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ内に形成するステップと、
形状を、前述の基材および前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップの少なくとも一部の上に形成するステップと、
材料を前述の形状から除去し、それによって、前述の圧電材料のストリップのうちの一つの面および／または前述の基材の少なくとも一部分に固定して取り付けられる一つまたは複数のカバー部品を形成するステップと、
複数の開口部を前述のカバー部品内に選択的に形成し、流体を、前述の開口部を通して前述の流体チャンバのうち選択された流体チャンバに供給可能にするステップと、を含む。

本開示の第四の態様によれば、本開示の第一の態様に係るアクチュエータ構成要素を含み、本開示の第二の態様または第三の態様にしたがって製造される、液滴吐出ヘッドが提供される。

図１は、圧電材料のストリップの一つの側面へのカバー部品を含むある実施形態に係るアクチュエータ構成要素を示し、カバー部品は、流体チャンバよりも狭い開口部を含む。 図２ａは、図１に記載のものなどの、流体チャンバおよび開口部の詳細図である。 図２ｂは、図２ａのものと類似した流体チャンバおよび開口部の詳細図であるが、流体チャンバはコーティング層を含む。 図２ｃは、図１のＡ－Ａ線に沿った、アクチュエータ構成要素の一部の断面図である。 図２ｄは、図２ｃの断面図に対応するが、アクチュエータ構成要素の作製の後の時点での断面図である。 図３は、図１に係るアクチュエータ構成要素を示し、ポートおよび境界部をさらに含み、液滴吐出ヘッドに取り付けられた場合のアクチュエータ構成要素を通る流体経路を示す。 図４は、図３に係るアクチュエータ構成要素を含み、カバーウエハをさらに含む、液滴吐出ヘッドの一部を示す。 図５は、圧電材料のストリップの一つの側面にカバー部品を含む、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素を示し、カバー部品は、流体チャンバよりも浅い開口部を含む。 図６は、圧電材料のストリップの両側にカバー部品を含む、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素を示し、前述のカバー部品は、流体チャンバよりも狭い開口部を含む。 図７は、圧電材料のストリップの各側面にそれぞれのカバー部品を含む、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素を示し、カバー部品は、代替の流体チャンバへの開口部を提供する。 図８は、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素を示し、カバー部品の開口部は、流体チャンバ当たり複数の副開口部を含む。 図９ａは、カバー部品を取り付ける前に、二つの圧電材料のストリップを含むアクチュエータ構成要素を示す。 図９ｂおよび９ｃは、圧電材料の各ストリップの両側に、カバー部品が取り付けられた、図９ａのアクチュエータ構成要素の詳細を示す。 同上。 図９ｄは、追加の成形を有するカバー部品を有する、図９ｂおよび９ｃのアクチュエータ構成要素の変形例を示す。 図１０ａは、カバー部品が層に組み込まれた材料を含む、別の配置に係るアクチュエータ構成要素を示す。 図１０ｂは、材料の層の詳細を示す図１０ａのアクチュエータ構成要素の流体チャンバを通る断面図を示す。 図１０ｃは、図１０ｂのものと類似した流体チャンバの断面を示すが、カバー部品は、流体チャンバ内の柱部を含む。 図１０ｄは、図１０ｂのものと類似した流体チャンバの断面を示すが、カバー部品は、流体チャンバを充填する充填部を含む。 図１１ａは、アクチュエータ構成要素の製造工程を示すフローチャートである。 図１１ｂは、アクチュエータ構成要素の製造工程を示す代替的なフローチャートである。 図１２ａは、図１０ａ～１０ｄの実施形態に係るアクチュエータ構成要素の製造プロセスステップを示す。 図１２ｂは、図１２ａのものからのさらなるプロセスステップを示し、二つの圧電材料のストリップは面取りされて、台形輪郭を与え、流体チャンバのアレイは、圧電材料のストリップ内に形成される。 図１２ｃは、図１２ｂのアクチュエータ構成要素に取り付けるためのウエハを示す。 図１２ｄは、図１２ｂのアクチュエータ構成要素に取り付けられた図１２ｃのウエハを示す。 図１２ｅは、図１２ｄのアクチュエータ構成要素の断面を示す。 図１２ｆは、図１２ｅのアクチュエータ構成要素の断面図を示し、材料がウエハから除去され、圧電材料のストリップの両側にカバー部品を形成する。 図１２ｇは、カバー部品内に形成された面取り部を有する、図１２ｆのアクチュエータ構成要素のさらなる断面を示す。 図１３ａは、アクチュエータ構成要素の代替的な製造方法の工程を示すフローチャートである。 図１３ｂは、アクチュエータ構成要素の製造工程を示す、図１３ａ記載の代替的なフローチャートである。

図面は原寸比に基づくものではなく、特定の特徴がより明瞭に可視化されるように、サイズを誇張して示す場合があることに留意されたい。

ここで、実施形態およびそれらの様々な実施を、図面を参照して説明する。以下の説明全体を通して、同じ要素には同じ参照番号が、必要に応じて使用される。

図１は、圧電ストリップ１２０の一つの側面へのカバー部品１４０を含むある実施形態に係る、アクチュエータ構成要素１０１を示す。図１は、より詳しくは、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素１０１を示し、該アクチュエータ構成要素１０１は、基材１１０および圧電材料のストリップ１２０、または基材１１０に固定して取り付けられた複数のこのような圧電材料のストリップを備える。当然のことながら、本明細書に記載されるこの実施形態およびすべての実施形態では、圧電材料の該または各ストリップ１２０は、単一層の圧電材料または複数の層の圧電材料を備えてもよく、例えば、一緒に固定して取り付けられた圧電材料の層を含む積層体を備えてもよい。このような層の圧電材料を一緒に固定する任意の好適な方法が利用され得る。基材１１０はまた、圧電材料から作製されてもよく、または別の方法として、他の任意の好適な材料を使用してもよい。

圧電材料のストリップ１２０は、圧電材料のストリップ１２０内に画定され、アレイ方向１０に延在する流体チャンバのアレイ１３０をさらに含む。流体チャンバのアレイ１３０は、複数の流体チャンバ１３１を含む。流体チャンバ（１３１＿ｉ－１３１＿ｎ）は、アレイ方向１０で、それぞれの第一の長手方向端部から、流体チャンバのアレイ１３０の第二の対向する長手方向端部まで並列に延在し、前述のアレイ方向１０は、流体チャンバの高さ方向１５に対して略垂直である。各流体チャンバ１３１は、アレイ方向１０に対してある角度をなす流体チャンバ伸長方向５に細長で、各流体チャンバ１３１は、圧電材料のストリップ１２０内に開放チャネルを形成する（流体チャンバ高さ方向１５で開き、流体チャンバ伸長方向５の一方の端で開く）。流体チャンバ１３１の内部形状をより容易に視覚化することを可能にするために、第一の流体チャンバ（１３１＿ｉ）の一側面が取り除かれた状態を図１（および同様に図３～８で）に示す。

この実装では、アレイ方向１０は、流体チャンバ伸長方向５に垂直であるが、当然のことながら、これは決して必須ではなく、他の実装では、圧電材料のストリップ１２０は、基材１１０上で９０°以外の角度で整列され得る。流体チャンバ１３１は、それらがアレイ方向１０で互いに平行になるように横並びに延在し、このような配置により、流体チャンバ１３１の密封が可能になるが、これは決して必須ではなく、他の配置も想定され得る。流体チャンバ１３１は、流体チャンバ伸長方向５の長さＬ、アレイ方向１０の幅Ｗ、および流体チャンバ高さ方向１５の高さＨ、ならびに断面積Ａｃ＝Ｈ＊Ｗを有する（図２ａを参照）。

図１をさらに考慮すると、アクチュエータ構成要素１０１は、圧電材料のストリップ１２０に隣接して、アレイ方向１０に延在する少なくとも一つのカバー部品１４０をさらに備える。該または各カバー部品１４０は、圧電材料のストリップ１２０の側面１２１ａの少なくとも一つ、および／または基材１１０の少なくとも一部分１１１に固定して取り付けられる。当然のことながら、一部の配置では、カバー部品は、図１の配置のように固定して取り付けられてもよく、カバー部品１４０は、部分１１１および側面１２１ａにそれぞれ固定して取り付けられる二つの内面１４５＿ｉ、１４５＿ｉｉを備える。カバー部品１４０は、圧電材料のストリップ１２０と同じ材料で作製されてもよいが、これは決して必須ではなく、他の材料を使用してもよい。

該または各カバー部品１４０は、複数の開口部１４１（１４１＿ｉ－１４１＿ｎ）をさらに備え、流体を、開口部１４１を通して流体チャンバ１３１のうち選択された流体チャンバに供給可能である。第一の流体チャンバ１３１＿ｉに関しては、対応する第一の開口部１４１＿ｉは、開口部１４１＿ｉの内部が目に見えるように、一つの側面が取り除かれた状態で示されている。この実装では、アクチュエータ構成要素１０１は、各流体チャンバ１３１に対して、圧電材料のストリップ１２０当たり少なくとも一つの開口部１４１を備える。したがって、この実装では、使用時に、流体は、開口部１４１内を流れ、その後、流体チャンバ１３１を通って流れてもよい。図１から、および流体チャンバ１３１および開口部１４１の一部分を示す図２ａから詳細に見られるように、この実装では、開口部１４１は、流体チャンバ高さ方向１５における流体チャンバ１３１の高さＨと同じ高さｈを有するが、アレイ方向１０ではそれらよりも狭い。図１においても明らかなように、開口部１４１は、流体チャンバ伸長方向５の流体チャンバ１３１よりも短い。したがって、開口部１４１は、高さｈ（ｈ＝Ｈ）、幅ｗ（ｗ＜Ｗ）、長さｌ（ｌ＜Ｌ）、および断面積Ａｏ＝ｈ＊ｗ（Ａｏ＜Ａｃ）を有する。

図２ａおよび２ｂは、図１に記載されるものなどの流体チャンバ１３１の一部分および開口部１４１の一部分を示す。図２ｃおよび図２ｄは、アクチュエータ構成要素１０１の構成の異なる段階で、図１に示す位置Ａ－Ａなど、典型的な断面に沿った圧電材料のストリップ１２０および基材１１０の一部分を示す。図２ｂに詳述されるように、流体チャンバ１３１は、一つまたは複数の層ｃ１～ｃｎ（例えば、図２ｂの層ｃ１およびｃ２）を、単一の金属層または複数の層などのそれらの内部表面の一部またはすべてに堆積して含み、圧電材料の作動を可能にし、単一のまたは複数の保護コーティング層を含み、インクなどの流体が金属層に損傷（例えば、腐食）させるのを防止し、および／または電子機器を不動態化させ得る。したがって、アクチュエータ構成要素１０１は、電気トラックおよび接続を含む。図２ｃに示すように、当然のことながら、金属層（この場合、単一層ｃ１、ただしこれに限定されない）は、基材１１０および圧電材料のストリップ１２０の外面上に延在し得る。

このような層は、無電解めっきまたは金属スパッタリング／蒸発などの任意の好適な方法を使用して、例えば、基材１１０および圧電材料のストリップ１２０の上に、アクチュエータ構成要素１０１の外面の一部または全ての上に、一度に一つ構築される連続層として堆積され得る。次いで、切断またはその他の除去技術を使用して、金属層または層の一部を除去して、電気的に絶縁された電気トラックおよび接続部を形成してもよい。次に、カバー部品１４０は、電気トラックおよび接続部の少なくとも一部分が、基材とカバー部品の間、および／または圧電材料のストリップとカバー部品の間に位置するように、圧電材料のストリップ１２０および基材１１０に固定して取り付けられてもよい。追加の保護層は、カバー部品１４０を取り付ける前に、金属層の上に堆積されてもよく、それによって、アクチュエータ構成要素１０１は、一つまたは複数のコーティング層ｃをさらに含み、前述のコーティング層ｃは、基材１１０とカバー部品１４０との間に、および／または圧電材料のストリップ１２０とカバー部品１４０との間に少なくとも部分的に配置され、電気トラックおよび接続部を保護する。研削またはその他の除去技術は、後の段階で使用され、単層ｃ１について図２ｄに示すように、層ｃ１～ｃｎの一部分、および必要に応じて、カバー部品１４０の上部の一部を除去し得る。このような配置では、カバー部品１４０および取り付け手段は、それを基材１１０および／または圧電材料のストリップ１２０に接合し、追加の物理的保護および電気的分離を電気トラックおよび接続部に提供し得る。

さらに当然かもしれないが、いくつかの実装（図示せず）では、任意の金属層および／またはコーティング層またはパッシベーション層ｃ１、ｃ２．．．．ｃｎの一部またはすべては、流体チャンバ１３１および開口部１４１の両方が形成された後、ある時点で堆積されてもよく、流体チャンバ１３１および開口部１４１の両方が、それらの内部表面および基材１１０の一部またはすべて上に層を備え、および圧電材料のストリップ１２０およびカバー部品１４０は、それらの外面の一部またはすべて上に層を含む。さらなるいくつかの層ｃは、流体チャンバ１３１のみに提供されてもよく、圧電材料のストリップ１２０およびいくつかの層ｃ＿の両方（図示せず）は、流体チャンバ１３１および開口部１４１の両方に、また場合によっては、製造プロセスにおいて提供されるタイミングおよびその方法に応じて、カバー部品１４０にも提供されてよい。これらの場合において、当然のことながら、流体チャンバ１３１の断面積Ａｃおよび／または開口部１４１の断面積Ａｏは、それに提供される任意の層によって減少されること、および流体チャンバ１３１の断面積ＡｃおよびＡｏと開口部１４１との間の関係をそれぞれ考慮する際に重要であるのは、流体が通過し得る最終開断面積である（図２ｂ参照）。当然のことながら、このような金属層および保護層ｃおよび／または保護層ｃおよび／または保護層ｃ＿両方が存在する場合、本明細書で言及する流体チャンバ１３１の幅Ｗおよび高さＨ（および開口部がコーティングも含む場合の開口部１４１の幅ｗおよび高さｈ）は、開放断面積Ａｃ（＝Ｈ＊Ｗ）およびＡｏ（＝ｈ＊ｗ）の幅Ｗ、ｗおよび高さＨ、ｈである。

図３は、入口ポート２１１、入口マニホールドチャネル２０１、出口マニホールドチャネル２０２、および出口ポート２１２をさらに含む、図１に係るアクチュエータ構成要素１０１を示す。図３から明らかなように、アクチュエータ構成要素は、アクチュエータ構成要素１０１が、圧電材料のストリップ１２０に隣接する一つまたは複数のマニホールドチャネル２０１、２０２を備えるように、基材１１０の両側に境界部２３０を備え、前述の一つまたは複数のマニホールドチャネル２０１、２０２の各々は、それぞれのポート２１１、２１２に流体接続され、この配置では、境界部２３０によってそれらの外縁が境界となる。しかしながら、当然のことながら、この構成は、決して必須ではなく、マニホールドチャネル２０１、２０２を形成する他の配置および方法は、流体チャンバのアレイ１３０に流体を供給するために想定され得る。さらに、当然のことながら、液滴吐出ヘッドが流体チャンバの複数のアレイ１３０を含むように、複数の圧電材料のストリップ１２０が存在する場合、境界部２３０は、その中に開口部を含んで、流体が隣接するマニホールドチャネル間、すなわち、隣接する圧電材料のストリップ１２０間で流れることを可能にし得る。別の方法として、隣接する圧電材料のストリップ１２０がマニホールドチャネルを共有する構成が想定され得る。いくつかの実装では、境界部２３０は、例えば、入口マニホールドチャネル２０１および出口マニホールドチャネル２０２を分離し、および／またはアクチュエータ構成要素に追加的な構造的完全性を提供するために必要とされる場合、アクチュエータ構成要素１０１の外側境界上、または必要に応じて、アクチュエータ構成要素１０１内の選択された位置に配置され得る。

ここで図４を参照すると、これは、図３のアクチュエータ構成要素１０１（反転されている）を含み、それに固定して取り付けられたノズルウエハ２２０をさらに含む、液滴吐出ヘッド２０の一部を示す。ノズルウエハ２２０は、流体チャンバのアレイ１３０（この図では、大部分が見えない）、開口部１４１、マニホールドチャネル２０１、２０２、および流体チャンバ高さ方向１５の境界部２３０を流体的に封止するように作用する。ノズル２２１は、各流体チャンバ１３１が、一つまたは複数のノズル２２１をさらに備えるように、ノズルウエハ２２０内に形成され得る。

当然のことながら、図４は、液滴吐出ヘッド２０を通る断面であり、境界部２３０は、マニホールドチャネル２０１、２０２をアレイ方向１０のそれらの長手端部で封止するように形成されてもよく、または代替的に、液滴吐出ヘッド２０は、マニホールドチャネル２０１、２０２の端部をアレイ方向１０に流体的に封止するためのさらなる部品を含んでもよい。したがって、アクチュエータ構成要素１０１が液滴吐出ヘッド２０内に組み立てられる場合、流体チャンバ１３１は、開口部１４１を介して入口マニホールドチャネル２０１の一方の端で流体接続され、他方の端で流体チャンバ１３１は、出口マニホールドチャネル２０２に流体接続される。この実装では、入口マニホールドチャネル２０１は、入口ポート２１１およびさらには流体経路（また図示せず）を介して入口（図示せず）に流体接続され、出口マニホールドチャネル２０２は、出口ポート２１２およびさらには流体経路（また図示せず）を介して出口（図示せず）に流体接続される。

図４の配置の使用中、入口ポート２１１から入口マニホールドチャネル２０１内へかつそれに沿って、各開口部１４１内を通り、その後、流体チャンバのアレイ１３０内の各流体チャンバ１３１を通り、流体チャンバの外へ、出口マニホールドチャネル２０２内へかつそれに沿って、その後、出口ポート２１２内を流体が流れる（一般に、この配置はスルーフロー設計と呼ばれる）。代替的な配置では、アクチュエータ構成要素１０１は、重力モードで供給されるように配置され得る液滴吐出ヘッド２０内に組み立てられてもよく、この配置では、ポート２１１および２１２の両方が入口ポートとして動作し、それゆえ、当然のことながら、両方のマニホールドチャネル２０２、２０２が、流体チャンバ１３１の両端に、圧電材料のストリップ１２０の一方または両方の側面上の開口部１４１を介して流体を供給するように、入口マニホールドチャネルとして動作する。

流体チャンバ１３１は各々、一つまたは複数の圧電アクチュエータ素子を含む。圧電アクチュエータ素子は、電気信号に応答して、ノズル２２１を通り吐出方向３０に流体液滴Ｄを吐出させるように動作可能である。吐出方向３０は、図４に、液滴Ｄ＿ｉが流体チャンバ１３１＿ｉから吐出される様子を示すように、アレイ方向１０に対して略垂直であり、チャンバ高さ方向１５に平行である。

当然のことながら、図４に示す実装では、開口部１４１は、流体チャンバ１３１を通る流体流れをチョークまたはスロットル調整し、音響伝播圧力変動およびそれらの関連する音速場の妨害を減衰するための制限器として作用して、流体チャンバのアレイ１３０内の流体チャンバ１３１間のクロストーク効果を低減し、それによって、液滴吐出ヘッド２０をより高い頻度で動作させる。クロストークは、実際には、（ａ）隣接または近隣チャネルの負荷サイクルに基づくチャネルのジェット性能の変動、および（ｂ）極端な場合の望ましくない吐出事象として観察される。直接的なクロストーク効果は、隣接するチャネルを変形させるアクティブなチャネルの壁の歪みに由来する。最後に、流体クロストークは、流体チャンバから、マニホールドチャネル内に、その後、流体経路を介して周囲の流体チャンバ１３１内に放射される圧力波から生じる。制限剤を追加することで、流体クロストークが減少し、液滴速度と容量との相関、したがってトリミングがさらに改善し得る。

図４から明らかなように、ノズル２２１＿ｉは、流体チャンバ伸長方向５の流体チャンバ１３１＿ｉの中心に位置し、他のノズルも同様に位置付けられるが、これに決して限定されるものではなく、他の実装では、ノズルの平均位置は、液滴吐出ヘッド２０の流体性能および音響性能に応じて、流体チャンバ伸長方向５の流体チャンバ１３１の一方または他の端部により近い場合がある。さらに当然かもしれないが、図４は、流体チャンバ伸長方向５の同じ位置にすべて整列されるノズルの列を含むが、これは必須ではなく、他の実装では、ノズル列は互いに対して互い違いの位置にノズルを含んでもよい。

ここで図５を参照すると、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素１０２が開示されており、これは図１のアクチュエータ構成要素１０１と非常に類似しており、したがって、同じ参照番号が適宜使用される。アクチュエータ構成要素１０２は、流体チャンバ１３１よりも浅い（開口部１４１が流体チャンバ１３１よりも狭い、図１に示すアクチュエータ構成要素１０１とは異なり）複数の開口部１４１を有するカバー部品１４０を備える。したがって、アクチュエータ構成要素１０２の複数の開口部１４１は、高さｈ＜Ｈ、および幅ｗ＝Ｗを有する。この配置では、開口部１４１はまた、長さｌを有し、流体チャンバ１３１は、長さＬを有し、両方とも図１と同一であり、ｌ＜Ｌである。アクチュエータ構成要素１０２は、図４の液滴吐出ヘッド２０の部分のアクチュエータ構成要素１０１の代わりに使用することができ、開口部１４１は、流体チャンバ１３１への制限器として作用する。

当然のことながら、いくつかの代替的な配置（図示せず）では、複数の開口部１４１を、流体チャンバのアレイ１３０の第一の側面１２１ａ上に配置するのではなく、代わりに第二の側面１２１ｂ上に配置されてもよく、アクチュエータ構成要素１０１、１０２が、液滴吐出ヘッド２０に実装され、図４に示すように、複数の開口部１４１は、流体チャンバのアレイ１３０を出口マニホールドチャネル２０２に接続し、流体チャンバ１３１を離れる流体流れを制限するように作用する。したがって、このような代替的な配置では、使用時に、流体は、流体チャンバ１３１内を通って、その後、開口部１４１内を通って流れてもよい。

ここで図６を考慮すると、これは図１～図５の以前の配置と類似しているが、この配置は、圧電材料のストリップ１２０に隣接する、アレイ方向１０に延在する二つのカバー部品１４０ａ、１４０ｂを含むアクチュエータ構成要素１０３を示す。カバー部品１４０ａ、１４０ｂは、圧電材料のストリップ１２０の側面１２１ａ、１２１ｂ、および基材１１０の部分１１１ａ、１１１ｂに固定して取り付けられる。カバー部品１４０ａ、１４０ｂは、部分１１１ａ、１１１ｂにそれぞれ固定して取り付けられる内面１４５ａ＿ｉ、１４５ｂ＿ｉ、および側面１２１ａ、１２１ｂにそれぞれ固定して取り付けられる内面１４５ａ＿ｉｉ、１４５ｂ＿ｉｉを含む。図６は、圧電材料のストリップ１２０の各側面上にそれぞれのカバー部品１４０ａ、１４０ｂを含むアクチュエータ構成要素１０３を示し、両方の前述のカバー部品１４０ａ、１４０ｂは、それぞれ、複数の開口部１４１ａ、１４１ｂを含むことがさらに分かる。当然のことながら、図６の圧電材料のストリップ１２０は、図１～５のストリップと同一であり、結果として、図６の流体チャンバ１３１の高さＨ、幅Ｗおよび長さＬが標識されていない。この実装では、開口部１４１ａ、１４１ｂは、流体チャンバ１３１よりも浅く、その結果、それらの高さｈａおよびｈｂは、流体チャンバ１３１の高さＨよりも小さい（ｈａ＜Ｈ、ｈｂ＜Ｈ）一方、それらの幅は、流体チャンバ１３１のものと等しく（ｗａ＝ｗｂ＝Ｗ）、そして上述同様に、それらの長さは、流体チャンバ１３１のものよりも小さい（ｌａ＜Ｌ、ｌｂ＜Ｌ）。

図６に示すものに対する代替的な配置では、開口部１４１ａ、１４１ｂの幅は、流体チャンバ１３１に対して変更されてもよく、その結果、（ｗａ＜Ｗ、ｗｂ＜Ｗ）、これは、高さｈａおよびｈｂを変更するのと同様、またはその代わりになり得る。当然のことながら、一部の配置では、図６に示すように、カバー部品１４０ａおよび１４０ｂの開口部１４１ａ、１４１ｂは同じであり、同じ高さ（ｈａ＝ｈｂ）および長さ（ｌａ＝ｌｂ）および幅（ｗａ＝ｗｂ）を有し、したがって、開口部の断面積（Ａｏａ＝ｈａ＊ｗａ、Ａｏｂ＝ｈｂ＊ｗｂ）は、同じであってもよく（Ａｏａ＝Ａｏｂ）、圧電材料１２０の一つまたは複数のストリップの各側面上のカバー部品１４０ａ、１４０ｂの開口部１４１は、同じ長さおよび／または同じ幅および／または同じ高さおよび／または同じ断面積を有する。

さらなる代替的な配置では、一つまたは複数のカバー部品１４０ａ、１４０ｂの流体チャンバ伸長方向５の長さｌａ、ｌｂを変更することによって、アクチュエータ構成要素１０３は、前述のアレイ方向１０に対して角度をなす流体チャンバ伸長方向５に細長である、流体チャンバ１３１を備えてもよく、流体チャンバ伸長方向５の複数の開口部１４１の長さｌは、流体チャンバ１３１の長さＬ以下（ｌ≦Ｌ）である。流体チャンバ伸長方向５の開口部１４１の長さｌは、例えば、異なるサイズのカバー部品１４０を利用することによって、または異なるアクチュエータ構成要素設計１０１、１０２、１０３を生成するために、長さｌａ、ｌｂを減少するようにカバー部品１４０を切断、機械加工、もしくは別の方法で変更することによって、制御することができる。

ここで図７を参照すると、これは、図６に示すアクチュエータ構成要素１０３と類似したアクチュエータ構成要素１０４を示す。これは、流体チャンバのアレイ１３０内の流体チャンバが、図５および６と同じ高さＨ、長さＬおよび幅Ｗを有し、開口部１４１ａ、１４１ｂは、図６と同じ高さｈａ、ｈｂ、長さｌａ、ｌｂおよび幅ｗａ、ｗｂを有することを意味する。図６および図７に示す実施形態間の主な違いは、図７では、一つ置きの流体チャンバ１３１ｃが開口部１４１ａおよび１４１ｂに接続されて、両端で開状態である（いわゆる「開」チャネルまたは「湿潤」チャネル）ように、カバー部品１４０ａ、１４０ｂ内に開口部１４１ａおよび１４１ｂが形成され、一つ置きの流体チャンバ１３１ｄは両端で遮断される（いわゆる「ダミー」チャネルまたは「乾燥」チャネル）。つまり、各カバー部品１４０ａ、１４０ｂにおける開口部１４１ａ、１４１ｂの数は、流体チャンバ１３１の半分の数であり（または代替的に記載され、「湿潤」流体チャンバ１３１ｃの数と等しくなる）、カバー部品１４０ａ、１４０ｂにおける開口部１４１ａ、１４１ｂは、流体チャンバ１３１ｃを選択的に交互に開になるように整列され、その結果、液滴吐出ヘッド２０の一部に設置される場合、図４に従って、開口部は、流体がそれを通って流れることを可能にするように、入口マニホールドチャネル２０１および出口マニホールドチャネル２０２に流体接続される。

したがって、図７は、一つ置きの流体チャンバ１３１ｃに対して、圧電材料のストリップ当たり少なくとも一つの開口部１４１ａ、１４１ｂがあるアクチュエータ構成要素１０４を示す。これは、例えば、水性インク／流体などの水性流体、または導電性流体との使用に適する、いわゆる代替ラインアクティブ（ＡＬＡ）設計であるが、これは、アクチュエータ構成要素１０４が、流体がノズルを通って吐出され得る開放または「射出」流体チャンバ１３１ｃ、ならびに液滴を吐出できないように構成されたダミーまたは「非射出」チャンバ１３１ｄを含むためである。したがって、これは、圧電材料のストリップ１２０当たりの流体チャンバ１３１よりも、カバー部品１４０当たりの開口部１４１の数が少ないアクチュエータ構成要素１０４の一例である。射出チャンバおよび非射出チャンバは、典型的には交互に配置され、非射出チャンバでは、インクなどの流体がそれを通って移動することができず、ノズルが含まれない場合がある（非射出チャンバは、空気などの流体を含んでもよいが、入口または出口のマニホールドまたは流体経路に接続されていないため、「乾燥」状態のままである）。したがって、当然かもしれないが、図７に示すものなどの、ＡＬＡを有するアクチュエータ構成要素が、図４に示されるような液滴吐出ヘッド２０の一部に組み込まれる場合、ノズルウエハ２２０のノズル２２１の数および位置は、開放流体チャンバ１３１ｃの数に合致し、適合するように調整される。さらに当然かもしれないが、非射出チャンバ１３１ｄは、駆動電極を含んでもよく、この方法では、インクなどの流体との接触から物理的に分離される。

この種類のＡＬＡ設計には、いくつかの利点がある。例えば、この構成は、駆動電極を非射出チャンバ１３１ｄに配置することにより、水性インクを噴射できるようにするために使用できる。非射出チャンバ１３１ｄには、動作中、電気信号が送信される一方、流体が流れる射出チャンバ１３１ｃは、接地される。異なる電位の電極は流体と接触していないため、流体中のイオン種の存在によって引き起こされる故障のリスクは排除され、非射出チャンバ１３１ｄ中の電極は不動態化を一切必要としない。このような設計はまた、流体チャンバ１３１ｃがアクチュエータ壁を共有しないため、流体チャンバ１３１ｃ間の機械的クロストークを低減するために使用され得る。しかしながら、隣接するノズル間の距離を２倍にすることで解像度が失われるのが、不具合となる。解像度への制限は、音響作動特性を保持するために噴射チャンバ１３１ｃの寸法を同じに保ちながら、より薄い壁を作製するための圧電材料の機械加工性である。解像度の喪失は、より狭い非射出チャンバ１３１ｄを使用して、したがって、隣接する射出チャンバ１３１ｃとそれらのノズル２２１との間の距離を減少させることによって軽減されてもよい。例えば、非射出チャンバ１３１ｄは、射出チャンバ１３１ｃ（ｗｄ＝ｗｃ／２）の幅の半分、または他の任意の好適な比（ｗｄ：ｗｃ）であってもよい。ＡＬＡ設計は、水性流体に有益であるだけでなく、より速い印刷速度（おそらくは、３倍）を非水性流体と共に使用することができ、生産性の改善につながる可能性がある。

図７をさらに考慮すると、この実施形態では、圧電材料のストリップ１２０の両側の開口部１４１ａおよび１４１ｂは同一であり、ｗａ＝ｗｂ＝Ｗおよびｈａ＝ｈｂ＝Ｈになるように、流体チャンバ１３１の幅と等しい、幅ｗａおよびｗｂおよび高さｈａ、ｈｂを有する。図６に示すように、開口部１４１ａ、１４１ｂは、長さｌａおよびｌｂを有し、この実施形態では、これは、ｌａ＝ｌｂ＜Ｌのように、互いに同一であり、流体チャンバ１３１の長さよりも小さい。当然のことながら、他の実装では、ＡＬＡと、流体チャンバ１３１ｃの上流および／または下流の開放流体チャンバ１３１ｃ当たり少なくとも一つの制限器の両方を有する設計を有することが望ましい場合があり、その結果、流体チャンバ１３１ｃを開放するだけと同様に、開口部１４１ａ、１４１ｂの一方または両方は、例えば、ｗａ＜Ｗ、ｗｂ＜Ｗ（図１に示す配置に類似）のような、流体チャンバ１３１ｃよりも狭くてもよく、および／または、例えば、ｈａ＜Ｈ、ｈｂ＜Ｈ（図５の配置に類似）のような、流体チャンバ１３１ｃよりも浅くてもよい。さらに、図６を参照して前述の通り、開口部１４１ａ、１４１ｂの同一要件はないが、一部の実施形態では、開口部１４１ａ、１４１ｂが同一であることが望ましい場合があり、その結果、カバー部品が圧電材料のストリップ１２０にわたって対称である（例えば、ｗａ＝ｗｂ、ｈａ＝ｈｂ、ｌａ＝ｌｂ）。

当然のことながら、アクチュエータ構成要素１０２、１０３、１０４は、図４の液滴吐出ヘッド２０の部分のアクチュエータ構成要素１０１の代わりに、本明細書に記載されるアクチュエータ構成要素の任意の変形例とすることができる。したがって、アクチュエータ構成要素は、圧電材料のストリップ当たり単一のカバー部品を備えてもよく、または圧電材料のストリップ１２０の各側面上にそれぞれのカバー部品を備えてもよく、前述のカバー部品１４０ａ、１４０ｂの各々は、複数の開口部を備える。さらに、各側面に単一のカバー部品またはカバー部品があるかどうかに関係なく、アクチュエータ構成要素が、複数の流体チャンバ１３１および複数の開口部１４１とを備えてよく、その両方ともアレイ方向１０に幅を有し、開口部の幅ｗは、流体チャンバの幅Ｗ以下（ｗ≦Ｗ）または流体チャンバの幅より小さく（ｗ＜Ｗ）、および／または流体チャンバ１３１および前述の複数の開口部１４１は、流体チャンバ高さ方向１５に高さを有し得、開口部の高さｈは、流体チャンバの高さＨ以下（ｈ≦Ｈ）である。さらに、アクチュエータ構成要素は、流体チャンバ１３１と、アレイ方向１０に断面積を有する複数の開口部１４１とを備えてもよく、開口部の断面積（Ａｏ、この例ではＡｏ＝ｗ＊ｈ）は、Ａｏ≦Ａｃとなるように、流体チャンバ（Ａｃ＝Ｗ＊Ｈ）の断面積以下である。当然のことながら、圧電材料のストリップの一方または両方の側面上の複数の開口部が、流れを制限するように作用する制限器の設計に対して、ＡＬＡ設計は、動作要件に応じて、制限器設計を含む場合とそうでない場合もある一方、アクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４は、開口部１４１の高さｈおよび／または幅ｗのいずれかを修正することで、アレイ方向１０の断面積Ａｏがアレイ方向の流体チャンバ１３１の断面積Ａｃよりも小さい（Ａｏ＜Ａｃ）複数の開口部１４１を備えてよい。

ここで図８を考慮すると、これは、図６～７のものと類似したアクチュエータ構成要素１０５を示し、カバー部品１４０ａ、１４０ｂが圧電材料のストリップ１２０の各側面上にある。主な違いは、開口部１４１ａ、１４１ｂが、複数の副開口部１４７ａ（ｉ～ｉｉｉ）および同様に、断面積Ａｓｏを有する１４７ｂ（ｉ～ｉｉｉ）（非標識）を含むことである。この特定の実装では、各開口部１４１は、例えば、レーザーアブレーションを使用して有利に形成され得る、三つの円形の副開口部１４７（ｉ～ｉｉｉ）の直径фを含む。当然のことながら、副開口部１４７を有する実装では、開口部１４１の断面積Ａｏは、例えば、三つの副開口部１４７（ｉ：ｉｉｉ）Ａｏ＝３＊Ａｓｏ＝３＊（л／４）＊ф^２≦Ａｃである、図８の実装では、全ての副開口部１４７の面積の総和である。したがって、アクチュエータ構成要素１０５は、流体チャンバ１３１および前述のアレイ方向１０に断面積Ａｏを有する複数の開口部１４１を備え、開口部１４１の断面積Ａｏは、アレイ方向１０の流体チャンバ１３１の断面積Ａｃ以下であり、開口部１４１の断面積Ａｏは、副開口部１４７の面積の総和である。当然かもしれないが、副開口部１４７は、任意の形状または形態に特に限定されず、副開口部の面積Ａｓｏの計算は、その形状に従って調整されてよい。

また、図８の配置では、カバー部品１４０ａ、１４０ｂが以前の実装の場合よりも狭く、その結果、開口部１４１の長さｌが流体チャンバ１３１の長さＬよりもかなり小さい（ｌ＜＜Ｌ）ことは観察され得る。図６を参照して前述した通り、カバー部品１４０の長さｌは、カバー部品の初期寸法を変更する、または好適な切断方法などによってその場で変更することによってなど、様々な方法によって制御され得る。別の方法として、カバー部品は、例えば、接着剤または接着剤のストリップなどの任意の好適な方法を使用して、圧電材料のストリップ１２０に取り付けられ得る、Ｕｐｉｌｅｘ５０Ｓなどの可撓性フィルムストリップなどの材料から形成されてもよい。

図９ａは、カバー部品１４０がまだ取り付けられていない時点での、別の実施形態に係るアクチュエータ構成要素１０６を示す。この実装では、二つの圧電材料のストリップ１２０＿１および１２０＿２は、基材１１０に固定して取り付けられ、面取り１２２は、それらの上縁に適用され、チャンバ拡張方向５の各圧電ストリップに台形断面を提供する。流体チャンバ１３０＿１および１３０＿２のアレイは、アレイ方向１０に延在する圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２内に形成されている。明確にするために、流体チャンバ１３０＿１、１３０＿２のアレイは、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の長さに沿って、流体チャンバ１３１のいくつかの別個の領域として示されているが、当然のことながら、実際には、流体チャンバ１３１が、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の実質的にすべての長さに沿って延在する。この例では、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２（およびそれゆえ、流体チャンバ）は、１５００～２５００マイクロメートルの流体チャンバ伸長方向５の長さＬ、３００～５００マイクロメートル、例えば、３５０～４００マイクロメートルのチャンバ高さ方向１５の高さＨ、および５０～１００マイクロメートルのアレイ方向１０の幅Ｗを有してよい。非限定的な例では、Ｌ＝１９００マイクロメートル、Ｈ＝３８０マイクロメートル、およびＷ＝７０マイクロメートルである。

また、図９ａからは、この配置では、基材１１０は、複数の入口ポート２１１を１列に、複数の出口ポート２１２＿１および２１２＿２を２列に配置して、各列のポート２１１、２１２＿１、２１２＿２がアレイ方向１０に延在することも確認することができる。アクチュエータ構成要素１０６が完全に組み立てられる場合、複数の入口ポート２１１は、流体チャンバ１３０＿１および１３０＿２のアレイ間に位置する共通入口マニホールド２０１に流体接続され、流体チャンバ１３０＿１、１３０＿２の各アレイは、別個の出口マニホールド２０２＿１および２０２＿２に流体接続され、その後、それぞれの列の各出口ポート２１２＿１、２１２＿２に流体接続される。

ここで図９ｂおよび９ｃを参照すると、これらは図９ａのアクチュエータ構成要素１０６の一方の端での詳細を示す。アクチュエータ構成要素１０６は、基材１１０と、前述の基材１１０に固定して取り付けられた二つの圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２とを備え、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２は、一つまたは複数の圧電材料の層を含むことが確認することができる。圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２は、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２内に画定され、アレイ方向１０に延在する、流体チャンバ１３０＿１、１３０＿２のアレイを含む。アクチュエータ構成要素１０６は、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂ（図９ｃ参照）をさらに備え、前述のカバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂの各々は、アレイ方向１０に延在し、前述の圧電材料１２０＿１、１２０＿２のストリップのうちの一つの側面、および／または前述の基材１１０の少なくとも一つの部分のうちの少なくとも一つに固定して取り付けられる。さらに、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂは、複数の開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂを含み、流体を、前述の開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂを通して前述の流体チャンバ１３１のうち選択された流体チャンバに供給可能である。

図９ｂおよび図９ｃの配置では、複数のカバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂが取り付けられて存在し、それぞれのカバー部品１４０が、圧電材料のストリップ１２０＿１および１２０＿２のそれぞれの各側面上に固定して取り付けられ、アレイ方向１０に延在する。カバー部品１４０は、複数の開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂを備える。図９ｂおよび９ｃの詳細図から、各カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂが、アレイの実質的な部分の上に、一つ置きの流体チャンバ１３１ｃに対して少なくとも一つの開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂを備えるように、流体チャンバ１３１よりも少ない開口部１４１があることが確認することができる。すなわち、これは、図７に示すものに類似するＡＬＡ設計の一例である。さらに、この実施形態では、図７のように、開口部１４１は、流体流れに制限をもたらさず、例えば、該開口部は、同じ断面積Ａｏ＝Ａｃを有する流体チャンバ１３１の形態および形状の連続体であることを確認することができる。

当然のことながら、図９ａ～９ｃの通り、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２が台形形状を有し、それゆえ、流体チャンバ１３１が非立方体形状を有する場合、流体チャンバ１３１の断面積Ａｃは、台形端部のテーパ領域の外側のチャンバ高さ方向１５におけるチャンバ延長方向５に対して垂直に計算された断面積であってもよい。同様に、開口部１４１の断面積Ａｏは、チャンバ高さ方向１５でチャンバ拡張方向５に垂直に計算された投影断面積である。このような設計では、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂが、代替の流体チャンバ１３１＿１ｃ、１３１＿２ｃを選択的に開放するように作用し、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿１ｃ、１４０＿１ｃが、開口部の長さｌが流体チャンバの長さＬよりも小さい（ｌ＜＜Ｌ）ように、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の両側のアレイ方向１０に延在する狭いストリップとして形成されている。

図９ａおよび９ｂの詳細である図９ｃを考慮すると、流体チャンバ１３０＿１、１３０＿２および開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂは、主要領域１６０および緩衝領域１５０を含み、緩衝領域１５０は、アレイ方向１０において、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の長軸方向端に隣接していることを確認することができる。主要領域１６０は、緩衝領域１５０が終了後に開始し、アレイ方向１０に延在する。類似の第二の緩衝領域１５０は、アレイ方向１０の圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の反対側の端に存在してもよく、主要領域１６０は、第二の緩衝領域１５０が始まる前に終了する（例えば、図９ａを参照）。図９ａ～９ｃに示す配置では、主要領域１６０および緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、同じ断面積を有する。この配置では、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、ノズル（図示せず）を有しないため、インクを吐出することはできないが、使用中は、流体がそれを通って移動できる。この配置により、アレイ方向１０のアクチュエータ構成要素１０６に沿った流れの均一性が改善され、また、アレイ方向１０のアクチュエータ構成要素１０６に沿った応力プロファイルの改善にも役立ち、それゆえ、液滴吐出性能および印刷品質が改善する（本明細書に記載のものなどのアクチュエータ構成要素の応力により、流れに不均一性がもたらされ、それが「裏抜け印刷」して、印刷画像または製品の観察可能な欠陥に陥る可能性があるため）と考えられる。

当然のことながら、他の配置では、緩衝領域１５０が、主要領域１６０のものとは異なるように構成される流体チャンバ１３１および／または開口部１４１を備えてもよい。例えば、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１（およびそれゆえ開口部１４１）は、異なって離間（共により近くまたはさらに離れている）していてもよい。あるいは、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、より広く／狭く、またはより高く／より浅くてもよく、または、Ａｃ＿１５０≠Ａｃ＿１６０のように、それらの中に単一のまたは複数の金属層を有しないことがある。さらに、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、アクチュエータ構成要素１０６が、液滴吐出ヘッド２０内に設置される場合、任意の駆動スキームで起動されなくてもよい／異なって駆動されてもよく、その結果、流体チャンバ１３１は、液滴を吐出する作用はない。さらに、一部の配置では、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、ノズル２２１（図９ｃには図示せず）を備えない場合がある。

代替的な配置では、緩衝領域１５０の流体チャンバ１３１は、Ａｃ＿１５０＝Ａｃ＿１６０となるように、主要領域１６０内の流体チャンバと同じであってもよいが、緩衝領域１５０内の開口部１４１は、主要領域１６０のものと異なってもよい。例えば、主要領域がＡＬＡ（開口部１４１は一つ置きの流体チャンバ１３１に対する）である設計では、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１は、各流体チャンバ１３１に対して開口部１４１を有してもよく、代替的に、主要領域１６０がＡＬＡ設計であるか否かにかかわらず、緩衝領域１５０内に未開（ダミー）の流体チャンバ１３１が存在してもよく、その結果、アクチュエータ構成要素は、圧電材料のストリップ当たりの流体チャンバ１３１よりも少ない数のカバー部品１４０当たりの開口部１４１を備える。

一部の配置では、緩衝領域１５０内の開口部１４１は、主要領域１６０よりも広く／狭く、または高く／浅くてもよく、その結果、Ａｏ＿１５０＿Ａｏ＿１６０となる。あるいは、（ＡＬＡの有無に関わらず）制限器として機能する開口部１４１を含む設計において、主要領域１６０内の開口部１４１は、断面積Ａｏ＿１６０＜Ａｃ＿１６０を有し、流体チャンバのアレイ１３０の一方の端または両端の緩衝領域１５０は、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１の幅Ｗ＿１５０（ｗ＿１５０＝Ｗ＿１５０）または高さＨ＿１５０（ｈ＿１５０＝Ｈ＿１５０）または断面積Ａｃ（Ａｏ＿１５０＝Ａｃ＿１５０）と等しい開口部１４１を備えてもよく、流体チャンバが含んでもよい任意のコーティング層の厚さを除外する流体チャンバ１３１の幅または高さまたは断面積と等しくてもよい（例えば、金属層およびコーティング層が形成されない場合があり、または、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１から除去されてもよい）。別の方法として、開口部１４１は、緩衝領域１５０内の流体チャンバ１３１に対して異なる幅および／または高さおよび／または断面積を有してもよい。さらに、開口部１４１は、主要領域１６０内の開口部１４１とは異なる幅および／または高さおよび／または断面積を有してもよい。当然のことながら、一部の実装では、このような緩衝領域１５０は、液滴吐出ヘッド２０内の流体流れ性能に有益であってもよく、またはアクチュエータ構成要素内の応力プロファイルを改善するために、その両方が液滴吐出性能に影響を与え得る。

さらに、緩衝領域１５０は、アクチュエータ構成要素の流体性能または応力緩和などのプリントヘッドの異なる要件に対処するために、二つ以上のサブ緩衝領域内の流体チャンバ１３１および／または開口部１４１の異なる配置を有する二つ以上のサブ緩衝領域を含んでもよい。

図９ａをさらに考慮すると、アクチュエータ構成要素１０６が液滴吐出ヘッド２０内に設置される場合、配置は、単一の入口マニホールドチャネル２０１および二重出口マニホールドチャネル２０２＿１および２０２＿２が存在するようなものであってもよいが、これは必ずしも必要ではなく、他の配置では、入口および出口マニホールドチャネルの他の構成であってもよいが、前述のマニホールドチャネルのうちの少なくとも一つは、一つまたは複数の入口に流体接続されていることを確認することができる。さらに、二つ以上のマニホールドチャネルがある場合、少なくとも一つは、一つまたは複数の出口に流体接続されてもよい。

一部の配置では、アクチュエータ構成要素が、例えば、緩衝領域１５０が、幅ｗ＿１５０が主要領域１６０内の開口部１４１とは異なる開口部１４１を備える場合、流体チャンバのアレイ１３０の異なる部分で幅ｗが異なる開口部１４１を備えるように、開口部１４１の幅ｗを修正することが望ましい場合がある。別の方法として、または同様に、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０の一つまたは両方の側面上の開口部１４１の幅ｗは、前述の一つまたは複数の入口ポート２１１のそれぞれおよび／または前述の一つまたは複数の出口ポート２１２のそれぞれからの距離の増加と共に増加し得る。例えば、再び図９ａを考慮すると、基材１１０は、複数の入口ポート２１１および複数の出口ポート２１２＿１および２１２＿２を備えることを確認することができる。圧電材料のストリップ１２０の一つまたは両方の側面上の開口部１４１の幅ｗが、入口２１１および／または出口ポート２１２＿１および２１２＿２からの距離が増加するにつれて増加する配置は、流体流れ性能を改善し得る。例えば、該配置は、ポート２１１、２１２＿１および２１２＿２により近いものが流体を優先的に供給されないように、流体チャンバ１３１の全てへの流体供給の一貫性を改善し得る。

図９ｂおよび図９ｃは、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂが、前述の圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２の一つの一部、または基材１１０の少なくとも一部に固定されていない一つまたは複数の外面を含むように成形され、前述の外面のうちの少なくとも一つが形状の輪郭を含む、アクチュエータ構成要素１０６を示す。図９ｂおよび９ｃの配置では、カバー部品は、面取り部１４４を含み、面取り部１４４は、圧電材料１２０＿１、１２０＿２の基となるストリップ上の面取り部１２２と略平行であるが、当然のことながら、これは決して必須ではなく、他の配置では、面取り部１４４は、面取り部１２２とは異なる角度であってもよい。

図９ｄは、図９ｂおよび９ｃのものと類似した代替的なアクチュエータ構成要素１０７を示し、主な違いは、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂの外面が、段付き輪郭１４３＿１ａ、１４３＿１ｂ、１４３＿２ａ、１４３＿２ｂを有することである。このようなステップは、圧力波を開口部１４１から逸らし、それによって、流体チャンバ間のクロストークを低減するように作用し得る。当然のことながら、他の配置では、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂは、一つまたは複数のカバー部品１４０＿１ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ａ、１４０＿２ｂの外面のうちの一つまたは複数に、任意の好適で達成可能な形状の輪郭１４３を有してもよく、その結果、前述の形状の輪郭は、面取り部１４４、または凹部もしくは凸形状、またはアレイ方向１０のカバー部品の長さに沿って延在する段付き輪郭を含む。

図１０ａは、カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿２ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ｂが、流動性の可撓性材料の一層または一連の層を堆積することによって構築されているアクチュエータ構成要素１０７を示し、例えば、樹脂（例えば、Ｄｅｌｏ ＯＢ７８７接着剤）は、圧電材料のストリップ１２０＿１、１２０＿２および基材１１０に塗布されてもよい。当然のことながら、ＵＶ硬化性樹脂、高分子樹脂、または他の接着剤、または任意の好適な高分子、例えば、流動性および／または好適に変形可能な任意の材料など、他の材料が使用され得る。一例として、圧電材料のストリップ１２０の外側に、および基材１１０に付着されたカバー部品１４０＿２ａｉ－ｉｉｉ、１４０＿２ｂｉ－ｉｉｉの層を有する単一の乾燥流体チャンバ１３１ｄを概略的に示す、図１０ｂを考慮する。このようなカバー部品材料層１４０＿２ａｉ－ｉｉｉ、１４０＿２ｂｉ－ｉｉｉは、その後、原位置で硬化し得または硬化され得る。例えば、一部の材料は、時間と共に硬化するか、またはＵＶ硬化性または熱硬化性であり得る。層は、変形して、全体として均質な方向に融合してもよく、または別個であるが付着した層として残存してもよい。

図１０ａの配置をさらに考慮すると、当然のことながら、このようなカバー部品１４０＿１ａ、１４０＿２ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ｂが、接着、コンプライアンス、耐薬品性などの相補的な特性を提供する異なる層を有する多層固体ブロックを形成するために、異なる特性を有する層も含み得る。また、パルス減衰、誘電体の低絶縁性、およびコンプライアンスを可能にするエアギャップを組み込む多相ブロックを含み得る。カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿２ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ｂのコンプライアンスは、化学的性質の変化および／または気泡の含有によって性能を最適化するように調整されてもよい。このような可撓性材料を使用する利点は、設計を容易に変更および実装することができ、アクチュエータ構成要素１０７の内部形状および流体流路を容易に高分解能で変更可能なことである。

ここで図１０ｃおよび図１０ｄを考慮すると、一部のＡＬＡ配置では、カバー部品１４０は、代わりに、乾燥流体チャンバ１３１ｄの一部またはすべてを充填することを含み得る。例えば、カバー部品は、流体チャンバ１３１ｄの残存部分にエアギャップ２４９を有する（図１０ｃの通り）、流体チャンバ１３１ｄの端部に柱部１４８＿ａ、１４８＿ｂを備えてもよく、またはそれらを完全に充填部１４９で充填してもよい（図１０ｄの通り）。さらに、エアギャップ２４９は、流体チャンバ壁が動作中に偏向した場合に容易に変形するように、電気パッシベーションまたは高レベルの圧縮性などの選択された特性を有する充填部２４９で置換されてもよい。さらに当然かもしれないが、一部の配置では、図１０ａおよび図１０ｂの実装は、外部カバー部品１４０＿１ａ、１４０＿２ａ、１４０＿１ｂ、１４０＿２ｂを備えて、両方とも外部であり、かつ圧電材料のストリップ１２０に取り付けられるカバー部品を備えるように、図１０ｃまたは図１０ｄの配置と組み合わせてよく、また、柱部１４８または完全充填部１４９または柱部１４８および一つまたは複数の材料の充填部２４９など、乾燥流体チャンバ１３１ｄを部分的または完全に充填する部品も含む。さらに、内部充填部または柱部および充填部は、本明細書に記載されるアクチュエータ構成要素のいずれかと組み合わされてもよい。

ここで図１１ａを参照すると、これは、本明細書に記載の液滴吐出ヘッド２０用のアクチュエータ構成要素の製造方法における主要なステップを要約する。図１１ｂは、本明細書に記載のアクチュエータ構成要素の代替的な製造方法を示し、ステップの一部が再配置されている。図１２ａ～１２ｇは、以下の主なステップを示す。

ステップ３００：図１２ａおよび１２ｂ（この場合、二つのストリップ１２０＿１および１２０＿２）に示すように、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０を基材１１０に固定して取り付ける。このステップは、より大きな圧電材料片を基材１１０に固定して取り付け、次いで、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０を形成するように、該より大きな圧電材料片を切断または形成または加工することを含み得る。図１２ａおよび図１２ｂの例では、１列の入口ポート２１１および２列の出口ポート２１２が、基材１１０内に形成されている。当然かもしれないが、該ポートは、圧電材料のストリップ１２０が基材１１０に取り付けられる前や、圧電材料のストリップ１２０が取り付けられた後に形成されてもよく、またはこれらが製造工程の後の段階で好適に形成されてもよい。

ステップ３００ａ：任意選択で、台形断面を形成するために、図１２ｂに示すように、面取り部１２２を、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０の上端部上に形成する。このステップは、圧電材料のストリップの必要な断面形状に応じて、任意である。

ステップ３１０：図１２ｂに示すように、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０に複数の開放チャネルまたは流体チャンバ１３１を生成するために、流体チャンバ１３０＿１および１３０＿２の一つまたは複数のアレイを、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０内に形成し、流体チャンバ１３１は、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０に沿ってアレイ方向１０に整列される。各流体チャンバ１３１は、それが、流体チャンバ伸長方向５の両端部に開口部を有する圧電材料のストリップ１２０内に開放チャネルを備え、流体チャンバ１３１も、流体チャンバ高さ方向１５の基材１１０と反対側のその程度に沿って開放されるように形成される。

レーザー切断、ダイシングブレードもしくはソーでの切断、またはウォータージェットカッターもしくは他の任意の好適な切断ツールの使用など、任意の好適な方法を使用して、流体チャンバ１３１を形成してもよい。一例として、ダイシングブレードは、３マイクロメートル～１６０マイクロメートルの幅であってもよい。必要な設計に応じて、流体チャンバ１３１は、選択されたダイシングブレードに応じて、任意の好適な幅Ｗで形成されてもよく、例えば、それらは、５０マイクロメートルから１００マイクロメートルの幅であってもよい。流体チャンバ１３１の高さＨは、例えば、流体チャンバ１３１を任意の好適な高さＨに形成するように、ダイシングブレードの経路および位置を変更することによって制御されてもよく、好適な高さＨは、２５マイクロメートル～６００マイクロメートル、好ましくは１００マイクロメートル～５００マイクロメートル、より好ましくは３００マイクロメートル～４５０マイクロメートル、さらにより好ましくは３５０マイクロメートル～４１０マイクロメートルの間であってもよい。例えば、流体チャンバ１３１は、公差＋／－１５マイクロメートルに対して、３６０マイクロメートル、３７０マイクロメートル、または３８０マイクロメートルの高さＨを有し得る。流体チャンバ１３１を形成するために、ダイシングブレードは、基材１１０に向けて圧電材料のストリップの一つの側面に降下されてもよく、その後、アレイ方向１０の所定の位置で流体チャンバ１３１の全てを形成するように、流体チャンバ伸長方向５の圧電材料のストリップ１２０にわたって移動されてもよい。次に、ダイシングブレードを持ち上げて元の位置に戻り、アクチュエータ構成要素をアレイ方向１０に漸進的に移動させて、その結果、次の列の流体チャンバ１３１が形成され得る。

ステップ３２０：電気トラックおよび接続部（図示せず）を、複数の前述の流体チャンバ１３１内に形成する。このステップは、任意の好適な方法を使用して行われてもよい。例えば、金属層は、基材１１０、圧電ストリップ１２０、および流体チャンバのアレイ１３０上に堆積されてもよく、その後、金属層の一部を除去して、金属トラックおよび電極を形成してもよい（例えば、金属層の一部をアブレーションするためにレーザーを使用する）。別の方法として、フォトレジストまたはマスキングを使用してトラックおよび電極を形成するなど、他の方法を使用してもよい。ステップ３２０はまた、任意選択で、前述の電気トラックおよび接続部の不動態化および／または絶縁のために、一つまたは複数のコーティング層を堆積させることも含み得る。あるいは、コーティング層は、後段、例えば、電極が形成された後の任意の時点で形成されてもよい。

ステップ３３０：図１２ｃに示すように、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０の少なくとも一部および前述の基材１１０の少なくとも一部に適合したウエハ１４２を形成することであって、前述のウエハ１４２は一つまたは複数の部品を含む、形成すること。例えば、ウエハ１４２は、単層の材料を含んでもよく、または一緒に固定して取り付けられる複数の層の材料から形成されてもよい。別の方法として、ウエハ１４２は、複数の構成要素部品、例えば、圧電材料のストリップ１２０または次に一緒に固定される基材１１０の特定の部分に適合するように予め成形されたいくつかの部品を含んでもよい。

ウエハ１４２は、機械加工もしくは成形もしくは任意の好適な製造技術によって成形されてもよく、または構成要素部品が形成され、その後、組み立てられ、その後、切断もしくは研削またはレーザーアブレーションなどの任意の好適な製造技術を使用してさらに成形されてもよい。カバーウエハ１４２の材料は、圧電材料のストリップと同じ材料であってもよく、または異なる材料であってもよい。カバーウエハ１４２の材料は、圧電材料のストリップ１２０および／または基材１１０と音響的に同一または類似の材料を含み得る。

代替的な方法では、ウエハ１４２は、適合可能な材料を含んでもよく、製造方法は、アクチュエータ構成要素１０１～１０７上にわたって現場でまたは外部形態のいずれかで、適合可能なフィルムを必要な形状に真空形成することを伴い、それによって、フィルムは、その後硬化され、必要に応じて、さらに機械加工または切断されて形状を形成し、外部形態上に形成されれば、アクチュエータ構成要素１０１～１０７に取り付けられる。

ステップ３４０：図１２ｄに示すように、前述のウエハ１４２の少なくとも一部を前述の基材１１０に、および前述のウエハ１４２の少なくとも一部を前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０に、および図１２ｅの断面で固定して取り付ける。取り付け方法は、任意の好適な接着剤を使用して、接着剤接合を含んでもよい。接着剤接合方法は、接着剤を好適な位置に堆積または３Ｄ印刷することを含み得る。接着剤は、硬化性であってもよく、例えば、熱硬化性接着剤であってもよく、またはカバーウエハがＵＶ透明材料から形成されれば、ＵＶ硬化性接着剤を使用してもよい。エポキシ接着剤は、ＰＺＴ性能を損傷しないまたはそれ以外の方法で損なわない温度範囲で硬化可能な接着剤として使用されてよく、例えば、１４０℃未満、より好ましくは１２０℃未満で硬化可能である。

流動性の接着剤の代替物として、接着材料のフィルムは、ウエハ１４２と圧電材料のストリップ１２０と基材１１０との間の層として塗布されてもよく、次いで、フィルムは、接着を確保するために硬化されるか、または別の方法で処理されてもよい。

ステップ３５０：図１２ｆに示すように、材料を前述のウエハ１４２から除去し、それによって、前述の圧電材料のストリップ１２０のうちの一つの面および前述の基材１１０の少なくとも一部分に固定して取り付けられる、一つまたは複数のカバー部品１４０を形成する。材料は、例えば、ウエハ１４２の切断および／または研削などの任意の好適な方法または方法の組み合わせによって除去されてもよく、例えば、それによって、材料をウエハ１４２から除去することは、一つまたは複数のカバー部品１４０を形成するために、前述のウエハを、基材１１０に固定して取り付けられた側面と反対の側面から研削または切断することを含む。図９ａに示すような実施形態では、アクチュエータ構成要素の製造方法は、それぞれのカバー部品１４０を、前述の一つまたは複数の圧電材料１２０のストリップのそれぞれの側面上に形成することを含み得る。

ステップ３５０ａ：任意選択で、例えば、図１２ｇ（または図９ｄを参照して説明したように、例えば、前述の形状の輪郭が、面取り部１４４、またはアレイ方向１０のカバー部品の長さに沿って延在する凹面もしくは凸面または段付き輪郭を含む、その他の形状）に示すように、面取り部１２２を、前述の一つまたは複数のカバー部品１４０の一部の上縁上に形成する、カバー部品を形成する。面取り部１２２は、圧電材料のストリップ１２０上の面取り部に対して平行に形成されてもよく、または異なる角度で傾斜してもよい。これらはまた、圧電材料のストリップ１２０が面取りされていない部位で形成されてもよい。面取りは、一部の実施では、プロセス中の後の段階でレーザートラック切断を行うことを容易にし得るため、望ましい場合がある。他の実装では、カバー部品１４０に対する面取り形成またはトリミングツールの位置を変更することによって、異なる長さの開口部１４１を形成するように、カバー部品１４０をトリミングおよび／または面取りしてもよい。例えば、流体チャンバ１３１が、アレイ方向１０に対して角度をなす流体チャンバ伸長方向５に細長である場合、流体チャンバ伸長方向５の開口部１４１の長さｌは、材料をある程度、カバー部品１４１から除去することによって（または別の方法として、そこからカバー部品１４１を形成するための異なる設計のウエハ１４２を使用することによって）制御することができる。

図１２ｇをさらに考慮すると、チャネル１４３がウエハ１４２内に形成されたため（図１２ｃを参照）、カバー部品１４０が基材にわたって一通り延在しないことを確認することができ、これは、ポート２１１がカバー部品１４０によって覆われていないことを意味する。これは、決して必須ではなく、他の配置では、カバー部品１４０は、圧電材料のストリップ１２０間の基材１１０の領域を追加的にカバーする部品を含むように、異なる形状であってもよい。この場合、ポート２１１／２１２は、基材１１０を作製する際にポート２１１／２１２を形成するのではなく、基材１１０およびカバー部品１４０の両方を通過するように、カバー部品１４０が形成された後に形成され得る。別の方法として、ポート２１１／２１２は、従前同様に基材１１０内に形成されてもよく、その後、ポート２１１／２１２を開くために、さらなる穴が、カバー部品１４０の関連する部分を通して形成されてもよい。

ステップ３６０：図９ｂ～９ｄに示すように、アクチュエータ構成要素を形成するために、複数の開口部１４１を前述のカバー部品１４０内に形成する。開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂは、レーザー切断、またはダイシングブレードもしくはカッターによる切断などの任意の好適な方法によって形成され得る。使用される方法に応じて、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂの幅および／または高さを制御してもよい。例えば、異なる幅のダイシングブレードを使用することにより、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂの異なる幅ｗを切断することができ、例えば、そのアレイ方向１０の幅ｗが流体チャンバ１３１の幅Ｗ以下である、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａから１４１＿２ｂを形成することができる。

さらに、切込み深さは、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂの高さｈを制御するように制御されてもよく、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂの高さは、流体チャンバ１３１の高さＨ以下となるように制御されてもよい。

さらに、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂの断面積Ａｏは、流体チャンバＡｃの断面積以下となるように制御されてもよい。さらに、流体チャンバ伸長方向５における開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ、１４１＿２ｂの長さｌは、流体チャンバ１３１の長さＬ以下となるように制御されてもよい。前述のコーティングを損傷しないように、流体チャンバ１３１の表面上の任意のコーティングｃ１～ｃｎの位置および厚さを考慮に入れてもよい。したがって、一部の配置では、開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂが流体チャンバ１３１よりもわずかに浅く、および／または、流体チャンバ１３１を形成するために使用されるものよりも狭い切断ツール（例えば、切断ブレード）を使用して、開口部を形成し得るように、開口部の切込み深さを制御してもよい。開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂをこのような方法で形成することは、流体チャンバ１３１の内部表面に既に提供されている任意のコーティングまたは層ｃ１．．．ｃｎへの損傷を防止するために使用され得る。

製造パラメータの制御は、アクチュエータ構成要素１０１～１０７の所与の設計に対して、アレイ方向１０の異なる位置で開口部１４１＿１ａ、１４１＿１ｂ、１４１＿２ａ～１４１＿２ｂのサイズを変更するように行うことができる。別の方法として、製造パラメータの制御は、例えば、一つの製造ラインから異なるアクチュエータ構成要素を製造するためのものであってもよい。例として、切断ブレードは、３０～４００マイクロメートル幅であってもよく、例えば、この範囲内の任意の所望の幅で利用可能であってもよい。より厚いブレードは、任意の所望の幅で、例えば、最大２．２ｍｍの幅で利用可能であってもよい。

非限定的な例として、流体チャンバ１３１は、例えば、７５マイクロメートル幅、金属メッキ層ｃ１の堆積後の６５マイクロメートル幅、および保護コーティングまたはパッシベーション層ｃ２の堆積後の５５マイクロメートル幅であり得る。好適な単一又は複数のダイシングブレードは、開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂを所望の幅ｗ（ｗ＜５５マイクロメートル）に切断するように選択されてもよい。別の非限定的な例では、６５マイクロメートル幅のダイシングブレードは、流体チャンバ１３１の断面積Ａｃが、金属メッキ層ｃ１の堆積後、６５マイクロメートルである場合、開口部を形成するように選択され得る。開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂは切断されてもよく、その後、コーティング層ｃ２．．ｃｎ（例えば）は、開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂが形成された後に、流体チャンバ１３１および開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂの両方が、塗布される任意の保護コーティング層ｃ２．．．ｃｎの厚さにより狭くなるように、後の段階で堆積されてもよい。

別の方法として、その他のブレードの厚さは、開口部の幅ｗが流体チャンバ１３１の幅Ｗよりも小さい（ｗ＜Ｗ）、アクチュエータ構成要素１０１を形成するように、Ａｏ＜Ａｃとなる制限器設計を形成するような設計に好適なものとして選択され得る。複数の開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂは、複数の開放チャネル、開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂを形成するために、例えば、ダイシングブレードをカバー部品１４０＿１ａ～１４０＿２に向かって降下させ、カバー部品１４０＿１ａ～１４０＿２ｂを通る経路を切断することによって形成されてもよい。切断プロセスの一部として、ダイシングブレードはまた、流体チャンバ１３１を通過してもよいが、それらに影響を与えない。

当然のことながら、開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂがまた、例えば、より狭い開口部を形成するために使用され得る、レーザーアブレーションなどの技術を使用して形成されてもよい。また当然かもしれないが、開口部１４１の幅ｗは、流体チャンバ１３１の幅Ｗに比例し得るため、流体チャンバが７５マイクロメートルよりも幅が広い場合、開口部１４１はそれに応じて幅が広くなる。流体チャンバ１３１の形成に関しては、開口部１４１＿１ａ～１４１＿２ｂの高さｈは、例えば、基材１１０に対するダイシングブレードの垂直位置を変更することによって選択的に変更させられてもよい。

当然のことながら、製造されるアクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（またはその変形例）の設計に応じて、開口部の数および位置を制御できる。例えば、緩衝領域１５０がある場合、および／またはＡＬＡ設計を形成するために、一つ置きで流体チャンバ１３１が少なくとも主要領域で開いている場合、複数の開口部を形成する方法は、流体チャンバ１３１がある数よりも少ない開口部１４１を形成することを含み得る。さらに、アクチュエータ構成要素がＡＬＡを可能にする場合、アクチュエータ構成要素の製造方法は、流体チャンバのアレイ１３０の実質的な部分の上に、一つ置きの流体チャンバ１３１に対し少なくとも一つの開口部を形成することを含み得る。あるいは、アクチュエータ構成要素がＡＬＡを可能にしない場合、アクチュエータ構成要素の製造方法は、例えば、実質的な部分が少なくとも主要領域１６０を含んでもよい場合で、流体チャンバ当たり少なくとも一つの開口部１４１を、流体チャンバのアレイ１３０の実質的な部分の上に形成することを含み得る。

さらに、アクチュエータ構成要素を製造する場合、必要とされるアクチュエータ構成要素の種類に応じて、複数の開口部１４１は、開口部１４１の数、および開口部１４１の幅ｗ、および／または長さｌ、および／または高さｈを選択すること、および選択された要件を満たすために、カバー部品１４０をウエハ１４２から形成することを含む方法によって、カバー部品１４０内に形成され得る。例えば、アクチュエータ構成要素の製造方法は、
一つ置きの流体チャンバ１３１に対して少なくとも一つの開口部１４１を、流体チャンバの実質的にすべてのアレイ１３０の上に形成することによるＡＬＡ設計と、および／または
流体チャンバのアレイ１３０の実質的にすべてにわたって、開口部１４１の幅ｗは、流体チャンバ１３１の幅Ｗよりも小さく、および／または開口部１４１の高さｈは、流体チャンバ１３１の高さＨよりも小さく、および／または開口部の断面積は、流体チャンバの断面積よりも小さい、開口部１４１を形成することによる制限器設計と、を選択することを伴い得る。

さらに、アクチュエータ構成要素が、圧電材料のストリップの両側にカバー部品１４１ａ、１４１ｂを含む場合、アクチュエータ構成要素の製造方法は、流体チャンバのアレイの実質的な部分の上に、各流体チャンバ１３１の各側面上の異なる幅ｗａ、ｗｂ、および／または異なる高さｈａ、ｈｂ、および／または異なる断面積の開口部１４１を形成することを含み得る。例えば、流体チャンバのアレイ１３０の一つの側面にある入口マニホールドチャネル２０１に隣接する開口部１４１は、流体チャンバ伸長方向５における流体チャンバのアレイ１３０の他方の側面にある出口マニホールドチャネル２０２に隣接する開口部とは異なってもよい。

さらに、開口部が副開口部を含む場合、該方法は、各開口部に対して複数の副開口部を形成することを含み得る。さらに、設計がＡＬＡ設計である場合、および／または一つまたは複数の緩衝領域１５０を含む場合、該方法は、柱部および／または充填部を、特定の流体チャンバ１３１内に形成することを含み得る。

当然かもしれないが、上述の製造工程が実施されると、さらなる製造工程も実施されてもよく、その結果、該方法は、前述のマニホールドチャネル２０１、２０２および前述の開口部１４１および前述の流体チャンバ１３１のアレイを流体的に封止するために、ノズルウエハ２２０をアクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７に固定して取り付けることをさらに含んでもよい。次に、ノズルウエハ２２０は、例えば、流体チャンバ１３１に接続するノズル２２１を開くためにレーザーアブレーションを使用することによって、その中に形成されるノズル２２１を有してもよいが、当然のことながら、ノズル２２１を形成する任意の好適な方法を利用してもよく、ノズルウエハ２２０をアクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８に取り付ける前または後に形成されてもよい。さらなる製造工程は、アクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８の内部表面を、保護コーティング層ｃまたは層ｃｉ～ｎでコーティングするために、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）または物理蒸着（ＰＶＤ）などの蒸着方法、または電気泳動コーティングなどの液体コーティングを使用して、保護コーティング層の蒸着を含み得る。

さらなる工程は、本明細書に記載の一つまたは複数のアクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８を含む液滴吐出ヘッド２０を製造および／または構築することを含み、アクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８は、本明細書に記載の好適な製造工程のいずれかに従って製造され得る。当然のことながら、液滴吐出ヘッド２０の製造は、単一のまたは複数のアクチュエータ構成要素１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８を、入口ポート２１１および（存在する場合）出口ポート２１２が、液滴吐出ヘッド２０の外面上にそれぞれ入口および出口に流体接続されるように、流体供給システムなどのさらなる部品へ流体接続することを含み得、また、液滴吐出ヘッド２０を形成するために、電子機器の部品、カバー部品などのさらなる部品を組み立てることも含み得る。

代替的な配置では、流体チャンバ１３１は、空間の使用を最適化するように、異なる幅で形成されてもよい。例えば、本明細書に記載のＡＬＡ設計は、流体チャンバの二つの幅Ｗ１およびＷ２を、主要領域１６０内に含んでもよい。このような配置では、例えば、開放流体チャンバ１３１ｃは、幅Ｗ１を有してもよく、ダミー（乾燥）流体チャンバ１３１ｄは、幅Ｗ２を有してもよく、Ｗ２＜Ｗ１であって、例えば、Ｗ２は、Ｗ１の半分（Ｗ２＝Ｗ１／２）であってもよい。より狭いダミー流体チャンバ１３１ｄを切断することは、射出流体チャンバと非射出流体チャンバとの間のピッチを変化させ得、所与のサイズの液滴吐出ヘッドに対するより大きな印刷解像度を可能にするであろう。

当然のことながら、流体チャンバを製造するためのプロセスステップは、流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄの異なる幅があり、例えば、ステップ３１０を２ステッププロセスに変更し、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０で、幅Ｗ１の複数の開放チャネルまたは流体チャンバ１３１ｃおよび幅Ｗ２の複数の開放流体チャンバ１３１ｄを生成するために、流体チャンバの一つまたは複数のアレイ１３０を形成することによって、好適に調整され、流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄは、一つまたは複数の圧電材料のストリップ１２０に沿ってアレイ方向１０に整列される。このようなステップは、例えば、圧電材料のストリップに沿って、それぞれ、幅Ｗ１およびＷ２の代替的な流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄを形成するために、異なる幅のダイシングブレードを使用することを伴い得る。例えば、幅Ｗ１の第一のブレードを使用して、幅Ｗ１の全ての流体チャンバ１３１ｃを切断してもよく、次に、幅Ｗ２の第二のブレードを使用して、幅Ｗ２の全ての流体チャンバ１３１ｄを切断してもよい。

別の方法として、このような流体チャンバ形成ステップは、異なる幅のＷ１およびＷ２の二つのダイシングブレードを整列させ、二つの流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄを単一の切断パスで切断し、その後、アレイ方向１０におけるブレードの位置を調整し、次の対の流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄを切断することを伴い得る。いずれの方法も最終結果として、流体チャンバのアレイが、代替幅Ｗ１，Ｗ２の流体チャンバ１３１ｃ、１３１ｄを、アレイ方向１０に有することになる。次に、開口部１４１は、流体チャンバ１３１ｃと整列するように、ｗ＜Ｗ１の好適な幅ｗのダイシングブレードを使用して、それらの所望の位置に形成される。

ここで図１１ｂを参照すると、これは、ステップ３２０がステップ３６０の後に移動したことを除いて、図１１ａのものと非常に類似した一連のプロセスステップを示し、金属層の堆積およびトラックおよび接続部の形成が、カバー部品１４０を取り付け、開口部１４１を形成した後、プロセスの後のステップで行われていることを示す。

図１３ａおよび１３ｂは、図１０ａから１０ｄを参照して示されるように、カバー部品がエポキシフィルムもしくは接着剤などの流動性材料、または他の任意の好適な材料から形成される、アクチュエータ構成要素の製造プロセスを記載する。図１３ａに記載されるステップは、ステップ３３０、３４０、および３５０がステップ３３０ａ、３４０ａ、および３５０ａで置き換えられていることを除いて、図１１ａを参照して上述したものと類似しており、その結果、ステップ３２０（電気トラックおよび接続部を形成する）が完了すると、プロセスは、以下のステップに移動する。

ステップ３３０ａ：このステップは、形状を、基材および壁の端部上に形成する。これは、例えば、図１０ｂに示すように、三つの層ｉ～ｉｉｉがあるカバー部品１４０を形成するために、圧電材料のストリップの側面上に、接着剤などの流動性材料の層を堆積させることを伴い得る。好適な方法は、液滴吐出ヘッドまたは３Ｄプリンタを使用して、接着剤などの流動性材料を分注（例えば、ジェット）し、次いで、例えば、ＵＶ硬化、または時間を伴う硬化、または熱エネルギーで硬化することによって、または硬化するために一緒に反応する二つの材料を混合することによって、前述の材料を現場で硬化することを伴い得る。一部の配置では、接着剤は、滑らかな表面を提供するように、硬化後に平面化されてもよく、または別の方法で研磨、または処理されてもよい。

非限定的な例として、好適な方法は、３０℃で、Ｄｅｌｏ ＯＢ７８７接着剤などの接着剤を分注し、次いで５０℃に加熱して、層が均等に流れ、広がり、電気トラックおよび接続部のより大きな領域上に保護層を提供するために、Ｎｏｒｄｓｏｎ Ａｓｙｍｔｅｋなどのデバイスを使用することを伴い得る。このステップの後は、任意選択で、例えば、接着剤を固定するためのＵＶ硬化を行ってもよい。一部の配置では、接着剤は、電極の全てを不動態化（例えば、電気的腐食から保護する）するために使用されてもよく、そのため、濡れた表面全体（例えば、装置が動作している場合にインクなどの流体に曝露される表面）の上に延在してもよい。

任意選択で、ステップ３４０ａを実施することができ、充填部は、ダミーまたは乾燥流体チャンバ１３１ｄである任意の流体チャンバ１３１の一部またはすべてで形成される。このような充填部は、流体チャンバ１３１ｄの残りの部分に空気ギャップ２４９を有する（図１０ｃの通り）、流体チャンバ１３１ｄの端部に柱部１４８＿ａ、１４８＿ｂを備えてもよく、またはそれらを完全に充填部１４９で充填してもよい（図１０ｄの通り）。さらに、エアギャップ２４９は、選択された特性を有する充填部２４９と置き換えられてもよく、ここで、前述の充填部２４９は、柱部１４８＿ａ、１４８＿ｂに対して異なる電気的特性または機械的特性を有してもよい。当然のことながら、柱部および／または充填部は、単一層として堆積されてもよく、または一連の層として構築されてもよい。さらに、複数の層が使用される場合、層は、例えば、ＵＶまたは熱硬化方法を使用して、次の層が堆積する前に硬化されてもよい。追加的に、または代替的に、層は、それらのすべてが配置された後に硬化されてもよい。複数の種類の硬化の組み合わせが、一部の例では使用され得る。

カバー部品を形成するために、材料を形状から除去するステップ３５０は、上述のステップ３５０のものと類似している。例えば、ステップ３５０は、圧電材料のストリップ１２０の上部と水平なカバー部品１４０を形成するために、形状を再度粉砕または切断することを伴い得る。任意選択で、カバー部品を形成するステップ３５０ａは、図９ｄを参照して前述したように、段、または凹面または凸面などの形状表面を提供するように、カバー部品の外面のうちの一つまたは複数を切断することを伴い得る。

ステップ３６０：本明細書に記載されるアクチュエータ構成要素を形成するために、複数の開口部１４１を前述のカバー部品１４０内に形成する。このプロセスは、例えば、開口部を形成するために、のこぎり切断または切断を含み得る。レーザーアブレーションなどの別の技術を使用してもよい。

まとめると、該ステップは、以下のステップを含む、液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素の製造方法として要約することができ、
ステップ３００：一つまたは複数の圧電材料のストリップを、基材に固定して取り付けるステップと、
ステップ３００ａ：任意選択で、例えば、台形断面を形成するために、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップの上端を面取りするステップと、
ステップ３１０：流体チャンバの一つまたは複数のアレイを、前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップ内に形成するステップと、
ステップ３２０：任意選択で、電気トラックおよび接続部を形成するステップと、
ステップ３３０ａ：形状を、前述の基材および前述の一つまたは複数の圧電材料のストリップの少なくとも一部の上に形成するステップと、
ステップ３４０ａ：任意選択で、充填部を、前述の流体チャンバのうち選択された流体チャンバの部分／すべてに形成するステップと、
ステップ３５０：材料を前述の形状から除去し、それによって、前述の圧電材料のストリップのうちの一つの表面および／または前述の基材の少なくとも一部分に固定して取り付けられる、一つまたは複数のカバー部品を形成するステップと、
ステップ３５０ａ：任意選択で、カバー部品の外面または表面を成形するステップと
ステップ３６０：複数の開口部を前述のカバー部品内に選択的に形成することであって、流体を、前述の開口部を通して前述の流体チャンバのうち選択された流体チャンバに供給可能である、形成するステップと、を含む、方法である。

ここで図１３ｂを参照すると、これは、ステップ３２０がステップ３６０の後に移動したことを除いて、図１３ａのものと非常に類似した一連のプロセスステップを示し、金属層の堆積およびトラックおよび接続部の形成が、カバー部品１４０を取り付け、開口部１４１を形成した後、プロセスの後のステップで行われていることを示す。

当然かもしれないが、本明細書に記載される実装のいずれかは、必要に応じて、他の実装のいずれかと組み合わされてもよい。例えば、図１～６および図８を参照して記載されるように、制限器を有するがＡＬＡを有しないアクチュエータ構成要素は、アレイ方向１０の一つまたは複数の圧電ストリップ１２０の両端部に、単一のまたは複数の緩衝領域１５０を備えてもよく、その結果、アクチュエータ構成要素は、流体チャンバのアレイ１３０の実質的な部分（例えば、主要領域１６０）の上に、流体チャンバ１３１当たり少なくとも一つの開口部１４１を備える。他の組み合わせも実施され得る。

さらに当然かもしれないが、カバー部品は、固体材料から作製される必要はないが、代わりに、それに応じて成形され得るバリアまたはゴムなどの粘弾性材料および等価物を形成する、可撓性または高粘性材料から作製され得る。

当然かもしれないが、本明細書に記載される実施形態は、アクチュエータ構成要素のモノリシック設計およびシェブロン設計の両方と共に使用され得る。さらに当然かもしれないが、図２ａ～図２ｄを参照して説明した電気トラックおよびコーティング層を形成する層が、本明細書に記載される実施形態のいずれかで実施され得る。別の方法として、電気トラックは、選択された流体チャンバが電気信号を受信し、所望に応じて流体の液滴を吐出するために駆動できるように、他の任意の好適な位置に位置付けられてもよい。電気パッシベーションおよび／または化学的防護のためのコーティング層およびそれに類するものも、製造工程中の任意の好適な段階で、およびそれらの所望の機能を実施するために任意の好適な場所で適用され得る。

Claims (14)

1. 一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）を備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）のそれぞれは、
   一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）を、基材（１１０）に固定して取り付けるステップ（３００）と、
   流体チャンバ（１３１）の一つまたは複数のアレイ（１３０）を、前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）内に形成するステップ（３１０）と、
   前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）および前記基材（１１０）に適合するウエハ（１４２）を形成するステップであって、前記ウエハ（１４２）は、一つまたは複数の部品を含む、形成するステップ（３３０）と、
   前記ウエハ（１４２）の少なくとも一部を前記基材（１１０）に、および前記ウエハ（１４２）の少なくとも一部を前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）に固定して取り付けるステップ（３４０）と、
   材料を前記ウエハ（１４２）から除去し（３５０）、それによって、前記圧電材料のストリップ（１２０）のうちの一つの面および前記基材（１１０）の少なくとも一部分に固定して取り付けられるそれぞれのカバー部品（１４０）を前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）のそれぞれの側面上に形成するステップと、
   複数の開口部（１４１）をそれぞれの前記カバー部品（１４０）内に選択的に形成し（３６０）、流体を、前記開口部（１４１）を通して前記流体チャンバ（１３１）のうち選択された流体チャンバに供給可能にするステップと、を含み、
   前記複数の開口部（１４１）を前記カバー部品（１４０）内に選択的に形成すること（３６０）は、必要とされる前記アクチュエータ構成要素（１０１～１０５）の種類に応じて、前記開口部（１４１）の数、前記開口部（１４１）の幅（ｗ）、長さ（ｌ）、高さ（ｈ）、および断面積（Ａｏ）のいずれかひとつ以上を選択することを含む方法により製造され、
   前記液滴吐出ヘッドは、流体チャンバの二つの幅Ｗ１およびＷ２を、主要領域（１６０）内に含む代替ラインアクティブ設計を備え、
   開放流体チャンバ（１３１ｃ）は幅Ｗ１を有し、ダミー流体チャンバ（１３１ｄ）は幅Ｗ２を有し、Ｗ２＜Ｗ１である、
   方法。
2. 一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）を備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）のそれぞれは、
   一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）を、基材（１１０）に固定して取り付けるステップ（３００）と、
   流体チャンバ（１３１）の一つまたは複数のアレイ（１３０）を、前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）内に形成するステップ（３１０）と、
   流動性材料の層の形状を、前記基材（１１０）および前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）の少なくとも一部の上に形成するステップ（３３０ａ）と、
   材料を前記流動性材料の層の形状から除去し（３５０）、それによって、前記圧電材料のストリップ（１２０）のうちの一つの面および／または前記基材（１１０）の少なくとも一部分に固定して取り付けられるそれぞれのカバー部品（１４０）を前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）のそれぞれの側面上に形成するステップと、
   複数の開口部（１４１）をそれぞれの前記カバー部品（１４０）内に選択的に形成し（３６０）、流体を、前記開口部（１４１）を通して前記流体チャンバ（１３１）のうち選択された流体チャンバに供給可能にするステップと、を含み、
   前記複数の開口部（１４１）を前記カバー部品内（１４０）に選択的に形成すること（３６０）は、必要とされる前記アクチュエータ構成要素（１０１～１０５）の種類に応じて、前記開口部（１４１）の数、前記開口部（１４１）の幅（ｗ）、長さ（ｌ）、高さ（ｈ）、および断面積（Ａｏ）のいずれかひとつ以上を選択することを含む方法により製造され、
   前記液滴吐出ヘッドは、流体チャンバの二つの幅Ｗ１およびＷ２を、主要領域（１６０）内に含む代替ラインアクティブ設計を備え、
   開放流体チャンバ（１３１ｃ）は幅Ｗ１を有し、ダミー流体チャンバ（１３１ｄ）は幅Ｗ２を有し、Ｗ２＜Ｗ１である、方法。
3. 充填部（１４９）を、前記流体チャンバ（１３１）のうち選択された流体チャンバ（１３１）の部分／すべてに形成すること（３４０ａ）をさらに含む、請求項１または請求項２に記載の方法。
4. 前記複数の開口部（１４１）を形成することは、その前記アレイ方向における前記幅（ｗ）が前記流体チャンバ（１３１）の幅（Ｗ）以下である開口部を選択的に形成することを含み、
   および／または前記流体チャンバ（１３１）は、前記アレイ方向（１０）に対して角度をなす流体チャンバ伸長方向（５）に細長であり、前記流体チャンバ伸長方向（５）の前記開口部（１４１）の前記長さ（ｌ）は、前記流体チャンバ（１３１）の長さ（Ｌ）以下になるように制御され、
   および／または前記開口部（１４１）の前記高さ（ｈ）は、前記流体チャンバ（１３１）の高さ（Ｈ）以下になるように制御され、
   および／または前記開口部（１４１）の前記断面積（Ａｏ）は、前記流体チャンバ（１３１）の断面積（Ａｃ）以下になるように制御される、請求項１～３のいずれかに記載の方法。
5. 前記複数の開口部（１４１）を選択的に形成すること（３６０）は、カバー部品（１４０）当たり、流体チャンバ（１３１）があるよりも少ない数の開口部（１４１）を形成することを含む、請求項１～４のいずれかに記載の方法。
6. 前記複数の開口部（１４１）を選択的に形成すること（３６０）は、前記流体チャンバ（１３１）のアレイ（１３０）の実質的な部分にわたって、カバー部品（１４０）当たり一つ置きの流体チャンバ（１３１）に対して少なくとも一つの開口部（１４１）を形成することを含む、請求項１～５のいずれかに記載の方法。
7. 前記複数の開口部（１４１）を選択的に形成すること（３６０）は、前記流体チャンバ（１３１）のアレイ（１３０）の実質的な部分の上に、流体チャンバ（１３１）当たりのカバー部品（１４０）当たり少なくとも一つの開口部（１４１）を形成することを含む、請求項１～６のいずれかに記載の方法。
8. 形成される前記アクチュエータ構成要素（１０１～１０５）は、
   前記流体チャンバ（１３１）のアレイ（１３０）の実質的にすべてにわたって、一つ置きの流体チャンバ（１３１）に対して少なくとも一つの開口部（１４１）を選択的に形成することによる、代替ラインアクティブ設計、および／または
   開口部（１４１）を選択的に形成することによる、制限器設計であって、前記流体チャンバ（１３１）のアレイ（１３０）の実質的にすべてにわたって、前記開口部（１４１）の前記幅（ｗ）が、前記流体チャンバ（１３１）の前記幅（Ｗ）よりも小さい、および／または前記開口部（１４１）の前記高さ（ｈ）が、前記流体チャンバ（１３１）の前記高さ（Ｈ）よりも小さい、および／または前記開口部（１４１）の前記断面積（Ａｏ）が、前記流体チャンバ（１３１）の前記断面積（Ａｃ）よりも小さい、制限器設計を有する、請求項１～７のいずれかに記載の方法。
9. 前記方法は、各開口部（１４１）用の複数の副開口部（１４７）を形成することを含む、請求項１～８のいずれかに記載の方法。
10. 前記カバー部品（１４０）の単一のまたは複数の外面を成形すること（３５０ａ）をさらに含む、請求項１～９のいずれかに記載の方法。
11. 電気トラックおよび接続部を形成すること（３２０）をさらに含む、請求項１～１０のいずれかに記載の方法。
12. 一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）を備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記一つまたは複数の液滴吐出ヘッド用のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）のそれぞれは、
    一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）を、基材（１１０）に固定して取り付けるステップ（３００）と、
    流体チャンバ（１３１）の一つまたは複数のアレイ（１３０）を、前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）内に形成するステップ（３１０）と、
    前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）および前記基材（１１０）に適合するウエハ（１４２）を形成するステップであって、前記ウエハ（１４２）は、一つまたは複数の部品を含む、形成するステップ（３３０）と、
    前記ウエハ（１４２）の少なくとも一部を前記基材（１１０）に、および前記ウエハ（１４２）の少なくとも一部を前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）に固定して取り付けるステップ（３４０）と、
    材料を前記ウエハ（１４２）から除去し（３５０）、それによって、前記圧電材料のストリップ（１２０）のうちの一つの面および前記基材（１１０）の少なくとも一部分に固定して取り付けられるそれぞれのカバー部品（１４０）を前記一つまたは複数の圧電材料のストリップ（１２０）のそれぞれの側面上に形成するステップと、
    複数の開口部（１４１）をそれぞれの前記カバー部品（１４０）内に選択的に形成し（３６０）、流体を、前記開口部（１４１）を通して前記流体チャンバ（１３１）のうち選択された流体チャンバに供給可能にするステップと、を含み、
    前記複数の開口部（１４１）を前記カバー部品（１４０）内に選択的に形成すること（３６０）は、必要とされる前記アクチュエータ構成要素（１０１～１０５）の種類に応じて、前記開口部（１４１）の数、前記開口部（１４１）の幅（ｗ）、長さ（ｌ）、高さ（ｈ）、および断面積（Ａｏ）のいずれかひとつ以上を選択することを含む方法により製造され、
    前記液滴吐出ヘッドは、流体チャンバの二つの幅Ｗ１およびＷ２を、主要領域（１６０）内に含む代替ラインアクティブ設計を備え、
    開放流体チャンバ（１３１ｃ）は幅Ｗ１を有し、ダミー流体チャンバ（１３１ｄ）は幅Ｗ２を有し、Ｗ２＜Ｗ１である、
    方法に従って製造される、一つまたは複数のアクチュエータ構成要素（１０１～１０５）を備える液滴吐出ヘッド。
13. 流体チャンバ（１３１）の前記アレイ（１３０）内に主要領域（１６０）と、流体チャンバ（１３１）の前記アレイ（１３０）の一方の端または両端に緩衝領域（１５０）とがあり、前記緩衝領域（１５０）内の前記開口部（１４１）および／または前記流体チャンバ（１３１）は、前記主要領域（１６０）内のものと異なる、請求項１２に記載の液滴吐出ヘッド。
14. 一つまたは複数のポート（２１１、２１２）をさらに備え、前記開口部（１４１）の幅（ｗ）は、前記一つまたは複数のポート（２１１、２１２）からの距離の増加と共に増加する、請求項１２に記載の液滴吐出ヘッド。