JP2018043426A - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】インクジェットヘッドの製造を容易にする。【解決手段】本実施形態に係るインクジェットヘッドは、記録媒体にインクを噴出するインクジェットヘッドであって、基板と、複数のアクチュエータと、流路部材と、共通インク室と、を有する。アクチュエータは、基板に設けられ直線状に並ぶ。流路部材は、隣接するアクチュエータによって規定される空間を交互に閉塞して、インクを噴出するための圧力室と、圧力室に隣接しインクに対して密閉された密閉空間と、を交互に形成する閉塞部を有する。また、流路部材は、圧力室を循環するインクの流路を有する。共通インク室は、流路部材の上方に形成され、圧力室それぞれに通じる。【選択図】図１０

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
液体インクを紙などの記録媒体に吹き付けることにより印刷を行うインクジェットプリンタでは、印刷が行われない待機時間が長期化すると、ノズル内のインクが乾燥し、ノズルの目詰まりが発生する。そこで、この種のインクジェットプリンタでは、インクタンクとインクジェットヘッドの間で、インクを常時循環させる。
循環型のインクジェットヘッドの圧力室は、直線状に配置された圧電材料によって規定される。圧電材料に挟まれた空間は、充填されるインクを噴出することが可能な圧力室になり得る。しかしながら、ある圧力室を構成する圧電材料を高速に駆動すると、隣接する圧力室からも意に反してインクが噴出する場合がある。そこで、圧電素子によって規定される空間を交互に密閉することで、圧力室に隣接する空間をダミー室としたインクジェットヘッドが登場するに至っている。この種のダミー室を備えるインクジェットヘッドでは、圧電素子同士の隙間を、例えば樹脂などで塞ぐことで、圧力室に隣接するダミー室を形成している。
しかしながら、圧電素子間への樹脂の充填は煩雑な作業である。特に圧電素子の配列間隔が狭い場合や、圧電素子の数が多い場合には、樹脂の充填ミスが発生する頻度も高くなり、ひいては製品の歩留まりが低下することも考えられる。
特開２０１３−１０２１１号公報
本発明は、上述の事情の下になされたもので、インクジェットヘッドの製造を容易にすることを課題とする。
上記課題を解決するため、本実施形態に係るインクジェットヘッドは、記録媒体にインクを噴出するインクジェットヘッドであって、基板と、複数のアクチュエータと、流路部材と、共通インク室と、を有する。アクチュエータは、基板に設けられ直線状に並ぶ。流路部材は、隣接するアクチュエータによって規定される空間を交互に閉塞して、インクを噴出するための圧力室と、圧力室に隣接しインクに対して密閉された密閉空間と、を交互に形成する閉塞部を有する。また、流路部材は、圧力室を循環するインクの流路を有する。共通インク室は、流路部材の上方に形成され、圧力室それぞれに通じる。
第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 インクジェットヘッドの展開斜視図である。 ケーシングの斜視図である。 基板に設けられたアクチュエータを拡大して示す斜視図である。 電極パターンを示す斜視図である。 アクチュエータの動作を説明するための図である。 アクチュエータの動作を説明するための図である。 基板とアクチュエータに固定された流路ブロックを示す斜視図である。 インクジェットヘッドのＸＹ断面を示す図である。 インクジェットヘッドのＸＺ断面を示す図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 インクジェットヘッドの変形例を説明するための図である。 変形例に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。 第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 インクジェットヘッドの展開斜視図である。 インクジェットヘッドの動作を説明するための図である。
≪第１の実施形態≫
以下、第１の実施形態を、図面を用いて説明する。説明には、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる直交座標系を用いる。
図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０を示す斜視図である。インクジェットヘッド１０は、シェアードウォール型のインクジェットヘッドである。図２は、インクジェットヘッド１０の展開斜視図である。図２に示されるように、インクジェットヘッド１０は、ケーシング２０、基板３０、流路ブロック４０、オリフィスプレート５０を有している。
ケーシング２０は、長手方向をＹ軸方向とするケーシング本体２１と、ケーシング本体２１に取り付けられる２本の管路２２Ａ，２２Ｂを有している。図３は、ケーシング２０を、下方（−Ｚ側）から見たときの斜視図である。ケーシング本体２１は、Ｙ軸方向の寸法が５０ｍｍ程度で、下方（−Ｚ側）が開放された長方形の中空部材である。ケーシング本体２１には、長手方向をＹ軸方向とする長方形の開口２３が形成されている。ケーシング本体２１は、例えば、表面に絶縁被膜を形成したアルミニウムやステンレス鋼などの金属や、プラスティックなどの樹脂、或いはセラミックなどからなる。
図１に示されるように、管路２２Ａ，２２Ｂは、Ｚ軸方向を長手方向とし、ケーシング２０の上面のＹ軸方向両端部に固定されている。管路２２Ａ，２２Ｂは、ケーシング２０の内部空間に通じている。管路２２Ａ，２２Ｂは、インクジェットヘッド１０に供給されるインクの循環系を構成する。インクジェットヘッド１０へ供給されるインクは、管路２２Ａから供給され、管路２２Ｂから排出される。これにより、インクジェットヘッド１０と不図示のインクタンクとの間をインクが循環する。
図２に示されるように、基板３０は、長手方向をＹ軸方向とする長方形の基板である。基板３０の下面には、Ｙ軸に沿って並ぶ複数のアクチュエータ３２が固定されている。基板３０は、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させた部材や、アルミナ或いはセラミックなどからなる。基板３０のＹ軸方向の寸法は、ケーシング２０に形成された開口２３のＹ軸方向の寸法とほぼ等しい。また、基板３０の厚さは、開口２３のＸ軸方向の寸法とほぼ等しい。
図４は、基板３０に設けられたアクチュエータ３２を拡大して示す図である。図４に示されるように、アクチュエータ３２は、長方形板状の部材である。アクチュエータ３２は、長手方向をＸ軸方向とする長方形に整形された２つの圧電素子３２ａ，３２ｂから構成されている。圧電素子３２ａ，３２ｂは、圧電素子３２ａの下面と圧電素子３２ｂの上面とが接着剤等によって接着さることで一体化されている。
アクチュエータ３２は、圧電素子３２ａの上面が、接着剤によって基板３０の下面に接着されることで、基板３０に固定されている。各アクチュエータ３２は、Ｙ軸に沿って等間隔に並んでいる。このため、アクチュエータ３２によって挟まれる空間Ｓは、相互に容積が同じ空間となる。
例えば、圧電素子３２ａ，３２ｂは、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするピエゾ素子である。圧電素子３２ａ，３２ｂそれぞれの分極方向はＺ軸に平行であり、圧電素子３２ａの極性と、圧電素子３２ｂの極性は逆になっている
図４では、図示が省略されているが、図５示さるように、各空間Ｓの内壁面から基板３０の＋Ｘ側の面に渡って、電極パターン３３が形成されている。この電極パターン３３は、例えば、ニッケル膜からなるパターンであり、アクチュエータ３２に電圧を印加するための電極として機能する。
各電極パターン３３に選択的に電圧を印加することで、図６に示されるように、直線的になっているアクチュエータ３２を、図７に示されるように、屈曲させることができる。アクチュエータ３２が屈曲すると、空間Ｓの体積が小さくなり、後述するオリフィスプレート５０に設けられた開口５１からインクが噴出する。
図２に示されるように、流路ブロック４０は、長手方向をＹ軸方向とする部材である。流路ブロック４０は、矩形枠状のフレーム部４１と、フレーム部４１から内側に突出する突出部４２の２部分を有する部材である。フレーム部４１のＸ軸方向及びＹ軸方向の寸法は、ケーシング本体２１のＸ軸方向及びＹ軸方向の寸法とそれぞれ等しい。突出部４２は、フレーム部４１の−Ｘ側に設けられた突出部４２と、フレーム部４１の＋Ｘ側に設けられた突出部４２とが対抗するように、フレーム部４１の内側に設けられている。
図８は、基板３０とアクチュエータ３２に固定された流路ブロック４０を示す図である。図８に示されるように、流路ブロック４０が、基板３０とアクチュエータ３２に固定されているときには、流路ブロック４０の突出部４２が、２つのアクチュエータ３２及び基板３０の−Ｘ側の側面と＋Ｘ側の側面に密着する。これによって、アクチュエータ３２によって挟まれる空間Ｓが交互に突出部４２によって閉塞される。
図９に示されるように、２つのアクチュエータ３２によって規定される空間Ｓは、流路ブロック４０によって閉塞された空間Ｓが、インクが流れこまないダミー室Ｄとなる。また、流路ブロック４０によって閉塞されていない空間Ｓが、インクが流れこむ圧力室Ｐとなる。圧力室Ｐを循環するインクは、隣接する突出部４２同士の隙間を流路Ｆとして圧力室Ｐに供給され、その後排出される。
図２に示されるように、オリフィスプレート５０は、ポリイミド等を素材とし、長手方向をＹ軸方向とする長方形のシートである。オリフィスプレート５０のＸ軸方向の寸法、及びＹ軸方向の寸法は、流路ブロック４０のＸ軸方向の寸法、及びＹ軸方向の寸法にそれぞれ等しい。
オリフィスプレート５０には、Ｙ軸に沿って等間隔に円形の開口５１が形成されている。開口５１は、インクジェットヘッド１０を循環するインクを、紙などの記録媒体に吐出するためのノズルとして機能する。これらの開口５１の配列間隔は、図９に示される圧力室Ｐの配列間隔に等しい。
図１０は、インクジェットヘッド１０のＸＺ断面を示す図である。上述のように構成されるケーシング２０、基板３０、流路ブロック４０、オリフィスプレート５０においては、図１０に示されるように、流路ブロック４０が、基板３０とアクチュエータ３２に固定されることで、基板３０と流路ブロック４０と一体化する。そして、ケーシング２０が、開口２３に基板３０が挿入された状態で、基板３０の側面と流路ブロック４０の上面に固定される。流路ブロック４０に固定されたケーシング２０の内部空間は、すべての圧力室Ｐに通じる共通インク室Ｃとなる。オリフィスプレート５０は、流路ブロック４０の下面と、アクチュエータ３２の下面に固定される。
以上のように、ケーシング２０、基板３０、流路ブロック４０、オリフィスプレート５０が一体化されることで、図１に示されるインクジェットヘッド１０が組み立てられる。この状態のときには、図９に示されるように、オリフィスプレート５０の開口５１が、圧力室Ｐと通じた状態になる。また、ダミー室Ｄは、流路ブロック４０の突出部４２とオリフィスプレート５０によって、インクに対して密閉された状態になる。
図１０に示されるように、インクジェットヘッド１０では、管路２２Ａからインクが供給され、管路２２Ｂからインクが排出されることで、インクジェットヘッド１０をインクが循環する。図１０の実線で示されるように、インクジェットヘッド１０では、管路２２Ａから流入したインクは、ケーシング２０の内部を通った後、流路ブロック４０によって、圧力室Ｐに流入する。そして、圧力室Ｐに流入したインクは、流路ブロック４０によって、ケーシング２０の内部へ導かれ、管路２２Ｂから排出される。
インクが、図１０の実線で示されるように循環しているときに、図５に示される電極パターン３３に選択的に電圧を印加すると、アクチュエータ３２が、図６に示される状態から、図７に示される状態に変形する。これにより、圧力室Ｐとして機能する空間Ｓが収縮して、図１０の白抜き矢印に示されるように、オリフィスプレート５０に形成された開口５１からインクが噴出する。
次に、上述のように構成されたインクジェットヘッド１０の製造方法について説明する。
まず、図１１に示されるように、圧電素子３２ａと同じチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするシート３２１と、圧電素子３２ｂと同じチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするシート３２２をそれぞれ張り合わせて、２層構造の多層フィルム３００を形成する。シート３２１，３２２の接着には、例えば、熱硬化性を有する接着材などを用いることができる。
多層フィルム３００を構成するシート３２１，３２２の分極方向はシート３２１，３２２の法線に平行な方向（Ｚ軸方向）であり、本実施形態では、例えばシート３２１の極性が＋Ｚ方向となり、シート３２２の極性が−Ｚ方向となっている。
次に、多層フィルム３００を、図１１の点線で示される位置で切断する。これにより、図１２に示されるように、２枚のシート３２１，３２２からなり、長手方向をＸ軸方向とするシートブロック３２０が形成される。
次に、シートブロック３２０を、例えば、熱硬化性を有する接着剤或いは紫外線硬化性を有する接着材を用いて、図１３に示されるように、基板３０の上面に接着する。
次に、ダイヤモンドソーを用いて、シートブロック３２０に、上面から基板３０に達し、Ｙ軸に平行な溝を複数形成する。これにより、図１４に示されるように、シートブロック３２０を構成するシート３２１，３２２は、圧電素子３２ａ，３２ｂとなる。圧電素子３２ａ，３２ｂは、アクチュエータ３２を構成する。ダイヤモンドソーを用いて、アクチュエータ３２を形成すると、図４に示されるように、アクチュエータ３２の間の基板３０の表面は凹面となる。
次に、図１５に示されるように、アクチュエータ３２の表面と、基板３０の＋Ｘ側の面に、例えばメッキ膜３３０を形成する。そして、アクチュエータ３２の上面（＋Ｚ側の面）と、アクチュエータ３２の側面（＋Ｘ側及び−Ｘ側の面）を研磨することにより、メッキ膜３３０を除去し、基板３０のメッキ膜３３０をパターニングする。これにより、図５に示されるように、アクチュエータ３２に電圧を印可するための電極パターン３３が形成される。
次に、図１６に示されるように、アクチュエータ３２と基板３０の上端が露出するように、型枠１００を基板３０に設ける。
次に、図１７に示されるように、型枠１００に、紫外線に対して硬化性を有する紫外線硬化樹脂４００を充填し、紫外線を透過するガラスなどの板４１０で、型枠１００に蓋をする。そして、紫外線硬化樹脂４００にマスクＭを介して紫外線を照射して、紫外線硬化樹脂４００を硬化せる。これにより、図１８に示されるように、紫外線硬化樹脂４００からなる流路ブロック４０が形成される。
次に、型枠１００と未硬化の紫外線硬化樹脂４００を除去する。これにより、図８に示されるように、基板３０及びアクチュエータ３２と一体化した流路ブロック４０が形成される。流路ブロック４０が形成されたら、流路ブロック４０の表面をアクチュエータ３２とともに研磨する。これにより、アクチュエータ３２の表面に残る紫外線硬化樹脂が除去されるとともに、オリフィスプレート５０が接着される面が平坦化される。
次に、図２を参照するとわかるように、基板３０及び流路ブロック４０にケーシング２０を固定し、流路ブロック４０にオリフィスプレート５０を固定する。これにより、インクジェットヘッド１０が完成する。
インクジェットヘッド１０は、以上の工程を経て、製造される。インクジェットヘッド１０では、電極パターン３３に、ドライバＩＣが接続され、管路２２Ａ，２２Ｂに、インク循環系が接続される。
以上説明したように、本実施形態では、図９に示されるように、流路ブロック４０の突出部４２によって、アクチュエータ３２の間に形成される空間Ｓが密閉されることにより、ダミー室Ｄが形成される。また、流路ブロック４０では、隣接する２つの突出部４２によって、各圧力室Ｐを循環するインクの流路Ｆが形成される。突出部４２は、流路ブロック４０としてフレーム部４１と一体的に成形されている。このため、アクチュエータ３２に規定される空間を密閉してダミー室を設けるために、アクチュエータ３２の間に一か所ずつ樹脂を充填する等の煩雑な作業が不要となる。したがって、インクジェットヘッド１０を容易に製造することが可能となる。
また、インクジェットヘッド１０の製造が容易になるので、装置の製造コストを削減するとともに、歩留りを向上することができる。
本実施形態では、図９に示されるように、２つのアクチュエータ３２に接する突出部４２の当接面が平面である場合について説明した。これに限らず、例えば図１９に示されるように、突出部４２の対抗面に凹部４３を形成し、凹部４３を挟む一対の支持部４４で、アクチュエータ３２をそれぞれ支持することとしてもよい。支持部４４は弾性によりある程度自由に変形する。このため、アクチュエータ３２を駆動するときの抵抗が少なくなるため、結果的にアクチュエータ３２に印可する電圧が少なくてすむ。したがって、インクジェットヘッド１０で消費される電力を削減することが可能になる。
図１９に示されるように、支持部４４で、アクチュエータ３２をそれぞれ支持する場合には、ダミー室ＤのＸ軸方向の寸法の方が、アクチュエータ３２のＸ軸方向の寸法よりも大きくなる。そのため、基板３０の厚さは、アクチュエータ３２のＸ軸方向の寸法よりも大きくする必要がある。
本実施形態では、図１０に示されるように、流路ブロック４０の上面と、ケーシング２０の下面とが接着されている場合について説明した。これに限らず、図２０に示されるように、流路ブロック４０がケーシング２０に包囲されていてもよい。
この場合には、インクジェットヘッド１０のＸ軸方向の寸法が大きくなるが、インクジェットヘッドの製造工程を簡略化することができる。例えば、図２１に示されるように、基板３０にケーシング２０を固定した後に、ケーシング２０の下面側を、紫外線を透過するガラスなどの板４１０で塞ぐ。次に、ケーシング２０の内部に紫外線硬化樹脂４００を充填し、下方からマスクＭを介して紫外線を照射する。これにより、ケーシング２０及び基板３０と一体となった流路ブロック４０を形成することができる。この方法によれば、型枠１００を用いることなく、流路ブロック４０を形成することができる。そのため、製品の製造コストを削減することが可能となる。
≪第２の実施形態≫
次に、本発明の第２の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同一又は同等の構成については、同等の符号を用いるとともに、その説明を省略又は簡略する。
図２２は、第２の実施形態に係るインクジェットヘッド１１の斜視図である。本実施形態に係るインクジェットヘッド１１は、基板３０がオリフィスプレート５０を兼ねている点で、第１の実施形態に係るインクジェットヘッド１０と相違している。
図２３は、インクジェットヘッド１１の展開斜視図である。図２３に示されるように、オリフィスプレートを兼ねる基板３０は、長手方向をＹ軸方向とする基板である。基板３０の上面には、−Ｘ側の外縁に沿って台形に整形されたアクチュエータ３２が等間隔に配置されている。アクチュエータ３２に電圧を印可するための電極パターンは、基板３０の上面に、アクチュエータ３２から基板３０の＋Ｘ側端に渡って形成される。
基板３０の上面には、アクチュエータ３２を包囲するように流路ブロック４０が固定される。そして、流路ブロック４０に、ケーシング２０が固定される。
図２４は、インクジェットヘッド１１のＸＺ断面を示す図である。図２４に示されるように、ケーシング２０の内部には、天井面の中央部から下方に突出する凸部２４が形成されている。凸部２４の下面は、各アクチュエータ３２の上面に接着され、凸部２４の周囲の空間が共通インク室Ｃとして機能する。
アクチュエータ３４の間の空間Ｓは、交互に、圧力室Ｐとダミー室Ｄとなる。圧力室Ｐは、基板３０、アクチュエータ３２、及びケーシング２０の凸部２４によって囲まれる空間である。また、ダミー室Ｄは、基板３０、アクチュエータ３２、ケーシング２０の凸部２４、流路ブロック４０の突出部４２によって囲まれる空間である。
図２４に示されるように、管路２２Ａからインクが供給され、管路２２Ｂからインクが排出されることで、インクジェットヘッド１１をインクが循環する。図２４の実線で示されるように、インクジェットヘッド１１では、管路２２Ａから流入したインクは、ケーシング２０の内部を通った後、流路ブロック４０によって、圧力室Ｐに流入する。そして、圧力室Ｐに流入したインクは、流路ブロック４０によって、ケーシング２０の内部へ導かれ、管路２２Ｂから排出される。
インクが、図２４の実線で示されるように循環しているときに、アクチュエータ３２を駆動すると、白抜き矢印に示されるように、基板３０に形成された開口５１からインクが噴出する。
以上説明したように、本実施形態では、流路ブロック４０の突出部４２によって、アクチュエータ３２の間に形成される空間Ｓが密閉されることによりダミー室Ｄが形成される。また、流路ブロック４０では、隣接する２つの突出部４２によって、各圧力室Ｐを循環するインクの流路が形成される。突出部４２は、流路ブロック４０としてフレーム部４１と一体的に成形されている。このため、従来のように、アクチュエータ３２に規定される空間を密閉してダミー室を設けるために、アクチュエータ３２の間に一か所ずつ樹脂を充填する等の煩雑な作業が不要となる。したがって、インクジェットヘッド１０を容易に製造することが可能となる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、流路ブロック４０を、紫外線硬化樹脂４００を用いて製造する場合について説明した。これに限らず、流路ブロック４０は、紫外線硬化樹脂以外の樹脂から構成されていてもよい。
上記実施形態では、圧力室Ｐとダミー室Ｄが交互に配置される場合について説明した。しかしながら、圧力室Ｐとダミー室Ｄは、必ずしも交互に配置される必要はない。
上記実施形態に係るインクジェットヘッド１０，１１は一例であり、基板３０に設けられるアクチュエータ３２の数や大きさ、圧力室Ｐ及びダミー室Ｄの数や大きさなどは、インクジェットヘッド１０，１１の用途や解像度に応じて、適宜変更することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
１０，１１ インクジェットヘッド
２０ ケーシング
２１ ケーシング本体
２２Ａ，２２Ｂ 管路
２３ 開口
２４ 凸部
３０ 基板
３２ アクチュエータ
３２ａ，３２ｂ 圧電素子
３３ 電極パターン
３４ アクチュエータ
４０ 流路ブロック
４１ フレーム部
４２ 突出部
４３ 凹部
４４ 支持部
５０ オリフィスプレート
５１ 開口
１００ 型枠
３００ 多層フィルム
３２０ シートブロック
３２１ シート
３２２ シート
３３０ メッキ膜
４００ 紫外線硬化樹脂
４１０ 板
Ｃ 共通インク室
Ｄ ダミー室
Ｆ 流路
Ｐ 圧力室

Claims (5)

  1. 記録媒体にインクを噴出するインクジェットヘッドであって、
    基板と、
    前記基板に設けられ直線状に並ぶ複数のアクチュエータと、
    隣接する前記アクチュエータによって規定される空間を交互に閉塞して、前記インクを噴出するための圧力室と、前記圧力室に隣接し前記インクに対して密閉された密閉空間と、を交互に形成する閉塞部、及び前記圧力室を循環する前記インクの流路、を有する流路部材と、
    前記流路部材の上方に形成され、前記圧力室それぞれに通じる共通インク室と、
    を有するインクジェットヘッド。
  2. 前記流路部材の前記閉塞部と前記流路とが一体的に樹脂形成される請求項１に記載のインクジェットヘッド。
  3. 前記閉塞部は、隣接する前記アクチュエータを支持する一対の支持部を有し、一対の前記支持部の間に凹部が形成される請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
  4. 前記圧力室に通じる共通インク室が形成され、前記流路部材を包囲するように設けられるケーシングを有する請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
    基板に直線状に並ぶ複数のアクチュエータを形成する工程と、
    前記アクチュエータを包囲する型枠を設置する工程と、
    前記型枠に感光性樹脂を充填して硬化させ、前記流路部材を形成する工程と、
    を含むインクジェットヘッドの製造方法。
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