JP7520782B2 - 検査装置、処理装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図1に示すように、実施形態に係る検査装置110は、送信部10と、受信部20と、処理部70と、を含む。検査装置110は、支持部60を含んでも良い。
図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。
これらの図の横軸は、時間tmである。これらの図の縦軸は、第1超音波10wの強度Intである。図2(b)は、図2(a)に示す時間tmを拡大して示している。
これらの図の横軸は、時間tmである。図3(a)の縦軸は、信号Sdの強度Intである。図3(c)の縦軸は、導出される信号値の大きさSg(図1参照)に対応する。
これらの図の横軸は、時間tmである。図4(a)の縦軸は、信号Sdの強度Intである。図4(c)の縦軸は、導出される信号値の大きさSgに対応する。
これらの図の横軸は、時間tmである。図5(a)の縦軸は、信号Sdの強度Intである。図5(c)の縦軸は、導出される信号値の大きさSgに対応する。
図6は、第1実施形態に係る検査装置の特性を例示するグラフ図である。
図6の横軸は、比Cr1である。縦軸は、誤検知率Pe1である。誤検知率Pe1は、検査対象80の端部に基づく信号低下を異物として誤って判断する確率である。
ID(n)<IR(n) ・・・(1)
ID(n)<IR(n-1)・・・(2)
ID(n)≦IR(n)×a1 ・・・(3)
ID(n)≦IR(n-1)×a2・・・(4)
第3式において、「a1」は0.4以上0.8以下である。第4式において、「a2」は、0.4以上0.8以下である。
ID(n)<IR(n+1) ・・・(5)
ID(n)≦IR(n+1)×a3 ・・・(6)
第6式において、「a3」は0.4以上0.8以下である。
第2実施形態は、処理装置75(図1参照)に係る。
図1に示すように、処理装置75は、処理部70を含む。処理部70は、受信部20から出力された信号Sdを入手して以下の第1動作を実施可能である。送信部10から送信された第1周期Tp1の複数のバースト波10bを含む第1超音波10wが、送信部10と受信部20との間の検査対象80に入射する。検査対象80を通過した第1超音波10wが受信部20に入射する。受信部20は、受信部20に入射した第1超音波10wに応じた信号Sdを出力する。処理部70に入力される信号Sdは、受信部20から出力された信号が増幅された信号でも良い。
図7は、第3実施形態に係る検査方法を例示するフローチャート図である。
図7に示すように、実施形態に係る検査方法は、受信部20から出力された信号Sdを入手(ステップS110)して、第1動作を実施する(ステップS120)。
(構成1)
第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
受信部であって、前記第1超音波は、前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能である、前記受信部と、
前記信号を入手して第1動作を実施可能な処理部と、
を備え、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、検査装置。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さく、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さい、構成1に記載の検査装置。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下であり、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下である、構成1に記載の検査装置。
前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つよりも小さく、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、構成1~4のいずれか1つに記載の検査装置。
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は、0.4以上0.8以下である、構成4に記載の検査装置。
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第1信号値の前記1つの前である、構成4または5に記載の検査装置。
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第1信号値の前記1つの後である、構成4または5に記載の検査装置。
前記検査信号は、第2条件を満たす前記複数の第1信号値の別の1つの有無にさらに関し、
前記第2条件において、前記複数の第1信号値の前記別の1つは、前記複数の第2信号値の別の1つよりも小さく、
前記複数の第1信号値の前記別の1つは、前記複数の第1期間の別の1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記別の1つは、前記複数の第2期間の前記別の1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第1期間の前記別の1つは、前記複数の第1期間のうちで前記複数の第1期間の前記1つに最も近い、構成4または5に記載の検査装置。
前記検査信号は、第2条件を満たす前記複数の第1信号値の別の1つの有無にさらに関し、
前記第2条件において、前記複数の第1信号値の前記別の1つは、前記複数の第2信号値の別の1つよりも小さく、
前記複数の第1信号値の前記別の1つは、前記複数の第1期間の別の1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記別の1つは、前記複数の第2期間のさらに前記別の1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第1期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間の前記別の1つと、前記複数の第2期間のさらに別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記さらに別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記別の1つに最も近い、構成4または5に記載の検査装置。
前記処理部は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出可能な第1回路部と、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第2回路部と、
を含む、構成1~9のいずれか1つに記載の検査装置。
受信部から出力された信号を入手して第1動作を実施可能な処理部を備え、
送信部から送信された第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、処理装置。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さく、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さい、構成11に記載の処理装置。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下であり、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下である、構成13に記載の処理装置。
前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は0.4以上0.8以下であり、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、構成11~13のいずれか1つに記載の処理装置。
前記処理部は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出可能な第1回路部と、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第2回路部と、
を含む、構成11~14のいずれか1つに記載の処理装置。
受信部から出力された信号を入手して第1動作を実施する検査方法であって、
送信部から送信された第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、検査方法。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さく、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さい、構成16に記載の検査方法。
前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下であり、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下である、構成16または17に記載の検査方法。
前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は0.4以上0.8以下であり、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、構成16~18のいずれか1つに記載の検査方法。
Claims (10)
- 第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
受信部であって、前記第1超音波は、前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能である、前記受信部と、
前記信号を入手して第1動作を実施可能な処理部と、
を備え、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、検査装置。 - 前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さく、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.5倍よりも小さい、請求項1に記載の検査装置。 - 前記複数の第1期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下であり、
前記複数の第2期間のそれぞれの長さは、前記第1周期の0.01倍よりも大きく、0.3倍以下である、請求項1に記載の検査装置。 - 前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つよりも小さく、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、請求項1~3のいずれか1つに記載の検査装置。 - 前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は、0.4以上0.8以下である、請求項4に記載の検査装置。
- 受信部から出力された信号を入手して第1動作を実施可能な処理部を備え、
送信部から送信された第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、処理装置。 - 前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は0.4以上0.8以下であり、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、請求項6に記載の処理装置。 - 前記処理部は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出可能な第1回路部と、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第2回路部と、
を含む、請求項7に記載の処理装置。 - 受信部から出力された信号を入手して第1動作を実施する検査方法であって、
送信部から送信された第1周期の複数のバースト波を含む第1超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第1超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第1動作は、
前記信号から、複数の第1信号値と、複数の第2信号値と、を導出し、
前記複数の第1信号値の少なくとも1つと、前記複数の第2信号値の少なくとも1つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第1信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第1期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第1信号値は、前記第1超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第2信号値は、前記信号から導出され前記第1周期を有する複数の第2期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第1期間の1つは、前記複数の第2期間の1つと、前記複数の第2期間の別の1つと、の間にあり、前記複数の第2期間の前記別の1つは、前記複数の第2期間のうちで前記複数の第2期間の前記1つに最も近い、検査方法。 - 前記検査することは、第1条件を満たす前記複数の第1信号値の1つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第1条件において、前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第2信号値の1つと第1値との積以下であり、前記第1値は0.4以上0.8以下であり、
前記複数の第1信号値の前記1つは、前記複数の第1期間の前記1つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第2信号値の前記1つは、前記複数の第2期間の前記1つにおける前記信号の最大値である、請求項9に記載の検査方法。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|---|
US20030177833A1 (en) | 2001-10-22 | 2003-09-25 | Magnetic Analysis Corporation | Ultrasonic multi-element transducers and methods for testing |
JP2006177872A (ja) | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Nippon Steel Corp | 超音波探傷方法及び超音波探傷装置 |
JP2012185096A (ja) | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Toshiba Corp | 状態判定装置 |
JP2012237761A (ja) | 2012-08-20 | 2012-12-06 | Toshiba Corp | 状態判定装置及び方法 |
JP2017138180A (ja) | 2016-02-03 | 2017-08-10 | デュプロ精工株式会社 | 折畳接着装置、接着状態検出方法及び折畳接着方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000025988A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波を利用したシート材の重送検知方法 |
US7130245B2 (en) | 2003-01-31 | 2006-10-31 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Ultrasonic double feed detecting device |
JP3860126B2 (ja) | 2003-01-31 | 2006-12-20 | キヤノン電子株式会社 | 重送検知装置及び重送検知方法 |
US20120061901A1 (en) | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic detecting device and sheet handling apparatus comprising ultrasonic detecting device |
JP2012063276A (ja) | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | 超音波検査装置、及び超音波検査装置を備える紙葉類処理装置 |
CN108283011B (zh) * | 2015-08-12 | 2021-02-19 | 特里亚德国家安全有限责任公司 | 使用多模声信号对金属结构中的变化进行检测与监控 |
JP6109431B1 (ja) * | 2016-03-01 | 2017-04-05 | 三菱電機株式会社 | 超音波測定装置及び超音波測定方法 |
JP7249924B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-03-31 | 株式会社東芝 | センサ及び検査装置 |
FR3109631B1 (fr) * | 2020-04-22 | 2022-04-15 | Sagemcom Energy & Telecom Sas | Procédé de mesure ultrasonique avec prise en compte de la quantité de bulles gazeuses |
JP7388996B2 (ja) | 2020-09-03 | 2023-11-29 | 株式会社東芝 | 検査装置及び検査方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030177833A1 (en) | 2001-10-22 | 2003-09-25 | Magnetic Analysis Corporation | Ultrasonic multi-element transducers and methods for testing |
JP2006177872A (ja) | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Nippon Steel Corp | 超音波探傷方法及び超音波探傷装置 |
JP2012185096A (ja) | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Toshiba Corp | 状態判定装置 |
JP2012237761A (ja) | 2012-08-20 | 2012-12-06 | Toshiba Corp | 状態判定装置及び方法 |
JP2017138180A (ja) | 2016-02-03 | 2017-08-10 | デュプロ精工株式会社 | 折畳接着装置、接着状態検出方法及び折畳接着方法 |
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