JP7520782B2

JP7520782B2 - 検査装置、処理装置及び検査方法

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Publication number: JP7520782B2
Application number: JP2021132583A
Authority: JP
Inventors: 豊中井; 富男小野
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Infrastructure Systems and Solutions Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Infrastructure Systems and Solutions Corp
Priority date: 2021-08-17
Filing date: 2021-08-17
Publication date: 2024-07-23
Anticipated expiration: 2041-08-17
Also published as: US11703479B2; US20230054123A1; JP2023027477A

Description

本発明の実施形態は、検査装置、処理装置及び検査方法に関する。

例えば超音波などを用いた検査装置がある。検査精度の向上が望まれる。

特開２０１２－６３２７６号公報

本発明の実施形態は、検査精度を向上できる検査装置、処理装置及び検査方法を提供する。

本発明の実施形態によれば、検査装置は、送信部、受信部及び処理部を含む。前記送信部は、第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波を送信可能である。前記第１超音波は、前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射する。前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射する。前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた信号を出力可能である。前記処理部は、前記信号を入手して第１動作を実施可能である。前記第１動作は、前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、を含む。前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応する。前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応する。前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応する。前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にある。前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い。

図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。図３（ａ）～図３（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。図５（ａ）～図５（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。図６は、第１実施形態に係る検査装置の特性を例示するグラフ図である。図７は、第３実施形態に係る検査方法を例示するフローチャート図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図１に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、送信部１０と、受信部２０と、処理部７０と、を含む。検査装置１１０は、支持部６０を含んでも良い。

送信部１０は、第１超音波１０ｗを送信可能である。第１超音波１０ｗは、第１周期の複数のバースト波を含む。第１超音波１０ｗの例については、後述する。

第１超音波１０ｗは、送信部１０と受信部２０との間の検査対象８０に入射する。検査対象８０を通過した第１超音波１０ｗが、受信部２０に入射する。受信部２０は、信号Ｓｄを出力可能である。信号Ｓｄは、受信部２０に入射した第１超音波１０ｗに応じている。

支持部６０は、送信部１０と受信部２０との間に設けられる。支持部６０は、検査対象８０を支持可能である。検査対象８０は、送信部１０と受信部２０との間の空間ＳＰを、搬送方向８０Ｄに沿って通過する。

検査対象８０は、例えば紙幣などである。検査対象は、有価証券などの紙葉類でも良い。検査対象８０の材料は任意である。検査対象８０は、例えば、紙及び樹脂の少なくともいずれかを含む。

図１に示すように、送信部１０から受信部２０への方向を第１方向Ｄｃ１とする。第１方向Ｄｃ１は、搬送方向８０Ｄと交差する。第１方向Ｄｃ１は、搬送方向８０Ｄに対して傾斜しても良い。

例えば、支持部６０は、第１搬送部６１（例えばローラ）及び第２搬送部６２（例えばローラ）により搬送される。支持部６０の上に検査対象８０が置かれる。支持部６０の搬送に伴って、検査対象８０が搬送方向８０Ｄに沿って搬送される。

例えば、送信部１０は、第１素子１１を含む。第１素子１１は、変形可能な膜部を含む。第１素子１１の膜部は、第１超音波１０ｗを出射する。第１素子１１に送信回路１０Ｄが接続される。送信回路１０Ｄからの駆動信号Ｓｖにより、第１素子１１の膜部が変形して、第１超音波１０ｗが出射する。第１素子１１の膜部の変形は、例えば、圧電素子などにより生じる。

例えば、受信部２０は、第２素子２１を含む。第２素子２１は、変形可能な膜部を含む。第２素子２１の膜部は、受信した第１超音波１０ｗにより変形する。第２素子２１の膜部の変形に伴って信号Ｓｗが得られる。例えば、第２素子２１の膜部の変形が、圧電素子などにより電気信号に変換される。例えば、第２素子２１から出力された信号Ｓｗが、受信回路２０Ｄに供給される。受信回路２０Ｄは、信号Ｓｗを増幅して、信号Ｓｄを出力する。

図１に示すように、送信部１０は、第１導波部１５を含んでも良い。第１素子１１で発生した第１超音波１０ｗは、第１導波部１５を通過して、受信部２０に向けて進む。受信部２０は、第２導波部２５を含んでも良い。検査対象８０を含む空間ＳＰを通過した第１超音波１０ｗは、第２導波部２５を通過して、受信部２０に向けて進む。

処理部７０は、例えば、送信回路１０Ｄに制御信号Ｓｃを供給しても良い。送信回路１０Ｄは、制御信号Ｓｃに応じて、第１素子１１の膜部を変形させる。これにより、送信部１０から第１超音波１０ｗが出射する。送信部１０から出射した第１超音波１０ｗは、例えば、検査対象８０を通過して、受信部２０に入射する。受信部２０に入射する第１超音波１０ｗは、検査対象８０の状態に応じて、変化する。変化する第１超音波１０ｗが受信部２０で受信される。受信部２０から出力される信号Ｓｄは、検査対象８０の状態を反映している。

例えば、信号Ｓｄが、処理部７０に供給される。処理部７０は、信号Ｓｄを処理して、検査信号ＳＩ１を出力可能である。検査信号ＳＩ１は、検査対象８０の検査結果に関する情報を含む。

処理部７０は、例えば、第１回路部７１及び第２回路部７２を含む。第１回路部７１は、例えば、ピークホールド回路を含む。第１回路部７１は、受信部２０から得られる信号Ｓｄを入手する。第１回路部７１は、信号Ｓｄをサンプリングして複数のピーク値（最大値）を抽出する。第２回路部７２は、第１回路部７１から得られる複数のピーク値を入手し、複数のピーク値に基づく検査結果を検査信号ＳＩ１として出力する。

第２回路部７２は、アナログ回路を含んでも良い。第２回路部７２は、デジタル回路を含んでも良い。第２回路部７２は、例えば、比較器などを含んでも良い。処理部７０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの電気回路（例えばコンピュータなど）を含んでも良い。

送信部１０から出射する第１超音波１０ｗは、送信回路１０Ｄからの駆動信号Ｓｖにより制御されても良い。例えば、第１超音波１０ｗの第１周期が、駆動信号Ｓｖにより制御できる。例えば、複数のバースト波の１つの時間幅が、駆動信号Ｓｖにより制御されても良い。送信回路１０Ｄからの駆動信号Ｓｖは、処理部７０からの制御信号Ｓｃで制御されても良い。

以下、送信部１０から出射する第１超音波１０ｗの例について説明する。
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。
これらの図の横軸は、時間ｔｍである。これらの図の縦軸は、第１超音波１０ｗの強度Ｉｎｔである。図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す時間ｔｍを拡大して示している。

図２（ａ）に示すように、第１超音波１０ｗは、複数のバースト波１０ｂを含む。複数のバースト波１０ｂの周期は、第１周期Ｔｐ１である。１つの例において、第１周期Ｔｐ１は、例えば、０．０５ｍｓ以上１ｍｓ以下である。

図２（ｂ）に示すように、複数のバースト波１０ｂの１つは、複数の振動波１０ａを含む。複数の振動波１０ａは、例えば超音波である。複数の振動波１０ａの周波数は、例えば３０ｋＨｚ以上１２０ｋＨｚ以下である。複数の振動波１０ａの周期Ｔｒ１は、複数の振動波１０ａの周波数の逆数である。複数のバースト波１０ｂの１つの長さＴｑ１は、例えば、８μｓ以上０．５ｍｓ以下である。

このような第１超音波１０ｗが検査対象８０に入射する。検査対象８０に異物などが付着している場合がある。異物の有無により、受信部２０に入射する第１超音波１０ｗの強度などが変化する。強度の変化を検知することで、異物の有無が検知可能である。

検査対象８０に入射した第１超音波１０ｗの一部は、検査対象８０を通過して、受信部２０に直接入射する。受信部２０に直接入射する成分は、直接波に対応する。

例えば、受信部２０に入射した第１超音波１０ｗの一部が受信部２０で反射し、検査対象８０に再度入射する場合がある。検査対象８０に再度入射した第１超音波１０ｗは、検査対象８０で反射し、受信部２０に再度入射する。検査対象８０で反射した後に受信部２０に入射する成分は、反射波に対応する。

このように、受信部２０には、直接波及び反射波が入射する。一般に、直接波が検査に用いられ、反射波は、検査のノイズと見なされる場合が多い。このため、一般に、反射波を抑制することが試みられている。

実施形態においては、一般にノイズと見なされる反射波が検査に用いられる。以下、実施形態における動作の例について説明する。以下の動作は、例えば、処理部７０で実施される第１動作に対応する。

図３（ａ）～図３（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。
これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図３（ａ）の縦軸は、信号Ｓｄの強度Ｉｎｔである。図３（ｃ）の縦軸は、導出される信号値の大きさＳｇ（図１参照）に対応する。

図３（ａ）は、信号Ｓｄに対応する。信号Ｓｄは、受信部２０から出力される。信号Ｓｄは、受信回路２０Ｄで増幅された信号でも良い。信号Ｓｄが、処理部７０に入力される。

図３（ａ）に示すように、信号Ｓｄは、複数の直接波Ｄｗ及び複数の反射波Ｒｗを含む。複数の直接波Ｄｗは、第１周期Ｔｐ１と同じ周期を有する。複数の反射波Ｒｗは、第１周期Ｔｐ１と同じ周期を有する。異物が無い場合、複数の直接波Ｄｗの強度Ｉｎｔ（振幅）は、複数の反射波Ｒｗの強度Ｉｎｔ（振幅）よりも大きい。これは、反射波Ｒｗにおいては、反射時に損失が生じるためである。

図３（ｂ）は、得られた信号Ｓｄに適用される複数の第１期間Ｔ１及び複数の第２期間Ｔ２を例示している。複数の第１期間Ｔ１は、複数の直接波Ｄｗに対応する期間である。複数の第２期間Ｔ２は、複数の反射波Ｒｗに対応する期間である。

複数の第１期間Ｔ１の周期は、第１周期Ｔｐ１と同じである。複数の第２期間Ｔ２の周期は、第１周期Ｔｐ１と同じである。例えば、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれの長さｔ１は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。

このような複数の第１期間Ｔ１は、信号Ｓｄに含まれる第１周期Ｔｐ１の波形から設定できる。例えば、直接波Ｄｗに対応する、強度Ｉｎｔが相対的に高い期間が、複数の第１期間Ｔ１と定められる。例えば、複数の第１期間Ｔ１の間の少なくとも一部の期間が、複数の第２期間Ｔ２と定められる。第１期間Ｔ１及び第２期間Ｔ２は、交互に設けられる。

図３（ｃ）は、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を例示している。複数の第１信号値Ｓｇ１は、複数の第１期間Ｔ１に基づいて、信号Ｓｄから導出できる。複数の第２信号値Ｓｇ２は、複数の第２期間Ｔ２に基づいて、信号Ｓｄから導出できる。

例えば、第１回路部７１（例えば、ピークホールド回路）により、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれにおけるピーク値（最大値）が導出できる。複数の第１期間Ｔ１におけるピーク値が、複数の第１信号値Ｓｇ１に対応する。例えば、第１回路部７１により、複数の第２期間Ｔ２のそれぞれにおけるピーク値（最大値）が導出できる。複数の第２期間Ｔ２におけるピーク値が、複数の第２信号値Ｓｇ２に対応する。

複数の第１信号値Ｓｇ１は、例えば、信号値Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３…Ｄ（ｎ）などを含む。複数の第２信号値Ｓｇ２は、例えば、信号値Ｒ０、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３…Ｒ（ｎ）などを含む。「ｎ」は、例えば、２以上の整数である。

実施形態においては、複数の第１信号値Ｓｇ１、及び、複数の第２信号値Ｓｇ２を用いて、検査対象８０が検査される。これにより、複数の第１信号値Ｓｇ１だけを用いた検査に比べて、高い精度の検査が実施できる。実施形態によれば、検査精度を向上できる検査装置を提供できる。

実施形態において、処理部７０は、信号Ｓｄを入手して以下の第１動作を実施可能である。第１動作は、信号Ｓｄから、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を導出することを含む。この導出は、例えば、第１回路部７１により、実施可能である。第１回路部７１は、信号Ｓｄから、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を導出可能である。

第１動作は、複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つと、複数の第２信号値Ｓｇ２の少なくとも１つと、に基づいて検査対象８０を検査することを含む。この検査のための処理は、例えば、第２回路部７２により実施できる。第２回路部７２は、複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つと、複数の第２信号値Ｓｇ２の少なくとも１つと、に基づいて検査対象８０を検査可能である。

上記のように、複数の第１信号値Ｓｇ１は、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第１期間Ｔ１は、信号Ｓｄから導出される。複数の第１期間Ｔ１は、第１周期Ｔｐ１を有する。複数の第１信号値Ｓｇ１は、第１超音波１０ｗの直接波Ｄｗの強度に対応する。

上記のように、複数の第２信号値Ｓｇ２は、複数の第２期間Ｔ２のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第２期間Ｔ２は、信号Ｓｄから導出される。複数の第２期間Ｔ２は、第１周期Ｔｐ１を有する。

例えば、複数の第１期間Ｔ１の１つは、複数の第２期間Ｔ２の１つと、複数の第２期間Ｔ２の別の１つと、の間にある。複数の第２期間Ｔ２の上記の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２のうちで、複数の第２期間Ｔ２の上記の１つに最も近い。

例えば、複数の第２期間Ｔ２の１つは、複数の第１期間Ｔ１の１つと、複数の第１期間Ｔ１の別の１つと、の間にある。複数の第１期間Ｔ１の上記の別の１つは、複数の第１期間Ｔ１のうちで、複数の第１期間Ｔ１の上記の１つに最も近い。

上記の図３（ａ）～図３（ｃ）は、検査対象８０に異物が存在しない場合に対応する。以下、検査対象８０に異物が存在しない場合の誤検知の例について説明する。

図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。
これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図４（ａ）の縦軸は、信号Ｓｄの強度Ｉｎｔである。図４（ｃ）の縦軸は、導出される信号値の大きさＳｇに対応する。

図４（ａ）に示すように、この場合も、信号Ｓｄは、複数の直接波Ｄｗ及び複数の反射波Ｒｗを含む。この例では、複数の直接波Ｄｗの１つ（波Ｄｗ１）の強度Ｉｎｔ（振幅）が、図３（ａ）に例示した強度Ｉｎｔよりも低い。低い強度Ｉｎｔを有する波Ｄｗ１は、例えば、検査対象８０の端で生じる回折現象などに起因している。検査対象８０の端では、超音波の回折などにより、検査対象８０の中央部とは異なる波形が得られる場合がある。図４（ｂ）に示すように、この場合も、複数の第１期間Ｔ１及び複数の第２期間Ｔ２が定められる。

図４（ｃ）に示すように、複数の第１信号値Ｓｇ１及び複数の第２信号値Ｓｇ２が導出される。図４（ｃ）に示すように、この例では、複数の第１信号値Ｓｇ１のうちの信号値Ｄ１が著しく小さい。信号値Ｄ１は、隣の第２信号値Ｓｇ２（信号値Ｒ０及び信号値Ｒ１）よりも小さい。この小さい信号値Ｄ１は、上記の波Ｄｗ１に対応する。

例えば、隣の第２信号値Ｓｇ２よりも小さい信号値Ｄ１を検出した場合は、検知不可と判断される。例えば、処理部７０は、隣の第２信号値Ｓｇ２よりも小さい信号値Ｄ１を検出した場合に、検知不可に対応する出力信号（検査信号ＳＩ１：図１参照）を出力する。検知不可に対応する出力信号は、データ、表示情報及び音情報などのいずれかを含んで良い。例えば、信号値Ｄ１が小さい場合でも、異物の有無について判定されない。

このように、第１動作において、検査することは、以下の第１条件を満たす複数の第１信号値Ｓｇ１の１つの有無に関する検査信号ＳＩ１を出力することを含む。第１条件において、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の１つよりも小さい。既に説明したように、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第１期間Ｔ１の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第２期間Ｔ２の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。

図５（ａ）～図５（ｃ）は、第１実施形態に係る検査装置の動作を例示する模式図である。
これらの図の横軸は、時間ｔｍである。図５（ａ）の縦軸は、信号Ｓｄの強度Ｉｎｔである。図５（ｃ）の縦軸は、導出される信号値の大きさＳｇに対応する。

図５（ａ）に示すように、この場合も、信号Ｓｄは、複数の直接波Ｄｗ及び複数の反射波Ｒｗを含む。この例では、複数の直接波Ｄｗの１つ（波Ｄｗ１）の強度Ｉｎｔ（振幅）が、図３（ａ）に例示した強度Ｉｎｔよりも小さい。図５（ｂ）に示すように、この場合も、複数の第１期間Ｔ１及び複数の第２期間Ｔ２が定められる。

図５（ｃ）に示すように、複数の第１信号値Ｓｇ１及び複数の第２信号値Ｓｇ２が導出される。図５（ｃ）に示すように、この例では、複数の第１信号値Ｓｇ１のうちの信号値Ｄ１が少し小さいものの、信号値Ｄ１は、隣の第２信号値Ｓｇ２（信号値Ｒ０及び信号値Ｒ１）よりも大きい。信号値Ｄ１は、上記の波Ｄｗ１に対応する。

既に説明したように、例えば、図４（ｃ）ように、隣の第２信号値Ｓｇ２よりも小さい信号値Ｄ１を検出した場合は、検知不可と判断される。一方、図５（ｃ）の例においては、不良と判断されない。第１信号値Ｓｇ１の信号強度に応じて、異物の有無が判定される。

複数の第１信号値Ｓｇ１だけを用いて検査する参考例がある。参考例においては、複数の第１信号値Ｓｇ１に関してしきい値が定められる。例えば、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つがしきい値よりも小さい場合に、不良と判断される。この参考例においては、図５（ｃ）に例示する信号値Ｄ１がしきい値よりも小さいと、不良と判断される。このような参考例においては、小さい信号値Ｄ１が検出された場合に、検査対象８０に異物に起因した小さい信号値であるのか、検査対象８０の端部に起因した小さい信号値であるのか、が区別しにくいことが分かった。検査対象８０の端部に起因した小さい信号値の場合は、不良と判断されるべきではない。参考例においては、誤検知が生じやすいことが分かった。

これに対して、実施形態においては、複数の第１信号値Ｓｇ１だけではなく、複数の第１信号値Ｓｇ１及び複数の第２信号値Ｓｇ２の両方に基づいて、検査が行われる。これにより、誤検知が抑制できる。これにより、高い検査精度が得られる。

例えば、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つと、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つの隣の第２信号値Ｓｇ２と、が比較される。隣の第２信号値Ｓｇ２は、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つの前でも後でも良い。

第１条件の１つの例において、複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つの前で良い。第１条件の別の例において、複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記１つの後で良い。

第１条件において、例えば、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つの０．８倍以下である。例えば、誤検知がより効果的に抑制できる。

複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つの、複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つに対応する比を比Ｃｒ１とする。例えば、０．８以下の比Ｃｒ１を有する第１信号値Ｓｇ１を検出した場合に、検知不可と判定される。

検査対象８０の端部を異物と判断してしまう確率を、誤検知率とする。複数の第１信号値Ｓｇ１だけを用いる参考例においては、誤検知率Ｐｅ１は、４１％である。これに対して、複数の第１信号値Ｓｇ１及び複数の第２信号値Ｓｇ２を用いる実施形態において、１％以下の誤検知率が得られる。

以下、比Ｃｒ１を変更したときの誤検知率の変化について説明する。
図６は、第１実施形態に係る検査装置の特性を例示するグラフ図である。
図６の横軸は、比Ｃｒ１である。縦軸は、誤検知率Ｐｅ１である。誤検知率Ｐｅ１は、検査対象８０の端部に基づく信号低下を異物として誤って判断する確率である。

図６に示すように、比Ｃｒ１が０．４以上０．８以下のときに、低い誤検知率Ｐｅ１が得られる。比Ｃｒ１は、０．４以上０．８以下であることが好ましい。例えば、第１条件において、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つと、第１値と、の積以下であることが好ましい。第１値は、０．４以上０．８以下である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つの隣である。

実施形態において、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれの長さｔ１（図３（ｂ）参照）は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であることが好ましい。これにより、複数の第１信号値Ｓｇ１を、より精度良く導出できる。複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２（図３（ｂ）参照））は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であることが好ましい。これにより、複数の第２信号値Ｓｇ２を、より精度良く導出できる。

第１動作において、検査信号ＳＩ１は、以下の第２条件を満たす複数の第１信号値Ｓｇ１の別の１つの有無にさらに関しても良い。第２条件において、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の別の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の別の１つよりも小さい。複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の別の１つは、複数の第１期間Ｔ１の別の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２の上記の別の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。複数の第１期間Ｔ１の上記の別の１つは、複数の第１期間Ｔ１のうちで複数の第１期間Ｔ１の前記１つに最も近い。

第１動作の別の例において、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の別の１つは、複数の第１期間Ｔ１の別の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２のさらに別の１つにおける信号Ｓｄの最大値で良い。複数の第１期間Ｔ１の上記の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２の上記の別の１つと、複数の第２期間Ｔ２のさらに別の１つと、の間にある。複数の第２期間Ｔ２の上記のさらに別の１つは、複数の第２期間Ｔ２のうちで複数の第２期間Ｔ２の上記の別の１つに最も近い。

実施形態において、処理部７０は、例えば、値ＩＤ（ｎ）と、値ＩＲ（ｎ－１）と、値ＩＲ（ｎ）と、に基づく動作を実施可能である。「ｎ」は、２以上の整数である。値ＩＤ（ｎ）は、複数の第１期間Ｔ１の第ｎ番目の期間における信号Ｓｄの最大値である。値ＩＲ（ｎ－１）は、複数の第２期間Ｔ２の第（ｎ－１）番目の期間における信号Ｓｄの最大値である。複数の第２期間Ｔ２の第（ｎ－１）番目の期間は、複数の第１期間Ｔ１の第ｎ番目の期間の直前の期間である。値ＩＲ（ｎ）は、複数の第２期間Ｔ２の第ｎ番目の期間における信号Ｓｄの最大値である。複数の第２期間Ｔ２の第ｎ番目の期間は、複数の第１期間Ｔ１の第ｎ番目の期間の直後の期間である。例えば、複数の第１期間Ｔ１の第ｎ番目の期間は、複数の第２期間Ｔ２の第（ｎ－１）番目の期間と、複数の第２期間Ｔ２の第ｎ番目の期間と、の間にある。

処理部７０は、例えば、複数の第１期間Ｔ１の少なくとも１つを検出する。複数の第１期間Ｔ１の少なくとも１つは、値ＩＤ（ｎ）と、値ＩＲ（ｎ－１）と、値ＩＲ（ｎ）と、が第１式または第２式を満たす。
ＩＤ（ｎ）＜ＩＲ（ｎ）・・・（１）
ＩＤ（ｎ）＜ＩＲ（ｎ－１）・・・（２）

第１式または第２式を満たす複数の第１期間Ｔ１の少なくとも１つを検出することで、検査対象８０の異物を効率的に検査できる。例えば、検査対象８０の端に起因する信号の影響を抑制できる。低い誤検知率Ｐｅ１が得られる。

処理部７０は、第３式または第４式を満たす第１期間Ｔ１を検出しても良い。
ＩＤ（ｎ）≦ＩＲ（ｎ）×ａ１・・・（３）
ＩＤ（ｎ）≦ＩＲ（ｎ－１）×ａ２・・・（４）
第３式において、「ａ１」は０．４以上０．８以下である。第４式において、「ａ２」は、０．４以上０．８以下である。

処理部７０は、例えば、複数の第１期間Ｔ１の１つを検出する。複数の第１期間Ｔ１の１つは、値ＩＤ（ｎ）と、値ＩＲ（ｎ＋１）と、が第７式を満たす。
ＩＤ（ｎ）＜ＩＲ（ｎ＋１）・・・（５）

処理部７０は、第８式を満たす第１期間Ｔ１を検出しても良い。
ＩＤ（ｎ）≦ＩＲ（ｎ＋１）×ａ３・・・（６）
第６式において、「ａ３」は０．４以上０．８以下である。

値ＩＤ（ｎ）及び値ＩＲ（ｎ＋１）に基づいた判断により、より安定して誤検知を抑制して、高い精度の検査が実施できる。

（第２実施形態）
第２実施形態は、処理装置７５（図１参照）に係る。
図１に示すように、処理装置７５は、処理部７０を含む。処理部７０は、受信部２０から出力された信号Ｓｄを入手して以下の第１動作を実施可能である。送信部１０から送信された第１周期Ｔｐ１の複数のバースト波１０ｂを含む第１超音波１０ｗが、送信部１０と受信部２０との間の検査対象８０に入射する。検査対象８０を通過した第１超音波１０ｗが受信部２０に入射する。受信部２０は、受信部２０に入射した第１超音波１０ｗに応じた信号Ｓｄを出力する。処理部７０に入力される信号Ｓｄは、受信部２０から出力された信号が増幅された信号でも良い。

第１動作は、信号Ｓｄから、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を導出することを含む。第１動作は、複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つと、複数の第２信号値Ｓｇ２の少なくとも１つと、に基づいて検査対象８０を検査することを含む。

複数の第１信号値Ｓｇ１は、信号Ｓｄから導出され第１周期Ｔｐ１を有する複数の第１期間Ｔ１のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第１信号値Ｓｇ１は、第１超音波１０ｗの直接波の強度に対応する。複数の第２信号値Ｓｇ２は、信号Ｓｄから導出され第１周期Ｔｐ１を有する複数の第２期間Ｔ２のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第１期間Ｔ１の１つは、複数の第２期間Ｔ２の１つと、複数の第２期間Ｔ２の別の１つと、の間にある。複数の第２期間Ｔ２の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２のうちで、複数の第２期間Ｔ２の上記の１つに最も近い。

第２実施形態において、例えば、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれの長さｔ１は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。例えば、複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。

第２実施形態において、例えば、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれの長さｔ１は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下でも良い。例えば、複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下でも良い。

第２実施形態において、検査することは、以下の第１条件を満たす、複数の第１信号値Ｓｇ１の１つの有無に関する検査信号ＳＩ１を出力することを含んで良い。第１条件において、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の１つと、第１値と、の積以下である。第１値は、例えば、０．４以上０．８以下である。複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第１期間Ｔ１の上記の１つにおける信号Ｓｄ１の最大値である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第２期間Ｔ２の上記の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。

既に説明したように、処理部７０は、第１回路部７１及び第２回路部７２を含んでも良い（図１参照）。第１回路部７１は、信号Ｓｄから、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を導出可能である。第２回路部７２は、複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つと、複数の第２信号値Ｓｇ２の少なくとも１つと、に基づいて検査対象８０を検査可能である。

第２実施形態において、誤検知を抑制できる。検査精度を向上できる検査装置を提供できる。

（第３実施形態）
図７は、第３実施形態に係る検査方法を例示するフローチャート図である。
図７に示すように、実施形態に係る検査方法は、受信部２０から出力された信号Ｓｄを入手（ステップＳ１１０）して、第１動作を実施する（ステップＳ１２０）。

既に説明したように、送信部１０から送信された第１周期Ｔｐ１の複数のバースト波１０ｂを含む第１超音波１０ｗが送信部１０と受信部２０との間の検査対象８０に入射する。検査対象８０を通過した第１超音波１０ｗが受信部２０に入射する。受信部２０は、受信部２０に入射した第１超音波１０ｗに応じた信号Ｓｄを出力する。

図７に示すように、第１動作は、信号Ｓｄから、複数の第１信号値Ｓｇ１と、複数の第２信号値Ｓｇ２と、を導出すること（ステップＳ１２１）を含む。第１動作は、複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つと、複数の第２信号値Ｓｇ２の少なくとも１つと、に基づいて検査対象８０を検査すること（ステップＳ１２２）を含む。

既に説明したように、複数の第１信号値Ｓｇ１は、信号Ｓｄから導出され第１周期Ｔｐ１を有する複数の第１期間Ｔ１のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第１信号値Ｓｇ１は、第１超音波１０ｗの直接波の強度に対応する。複数の第２信号値Ｓｇ２は、信号Ｓｄから導出され第１周期Ｔｐ１を有する複数の第２期間Ｔ２のそれぞれにおける信号Ｓｄの最大値に対応する。複数の第１期間Ｔ１の１つは、複数の第２期間Ｔ２の１つと、複数の第２期間Ｔ２の別の１つと、の間にある。複数の第２期間Ｔ２の上記の別の１つは、複数の第２期間Ｔ２のうちで複数の第２期間Ｔ２の上記の１つに最も近い。

例えば、複数の第１期間Ｔ１のそれぞれの長さｔ１は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。例えば、複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２は、第１周期Ｔｐ１の０．５倍よりも小さい。例えば、複数の第１期間Ｔｐ１のそれぞれの長さｔ１は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下でも良い。複数の第２期間Ｔ２のそれぞれの長さｔ２は、第１周期Ｔｐ１の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下でも良い。

検査すること（ステップＳ１２２）は、第１条件を満たす複数の第１信号値Ｓｇ１の１つの有無に関する検査信号ＳＩ１を出力することを含んでも良い。第１条件において、複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第２信号値Ｓｇ２の１つと、第１値と、の積以下である。第１値は、例えば、０．４以上０．８以下である。複数の第１信号値Ｓｇ１の上記の１つは、複数の第１期間Ｔ１の上記の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。複数の第２信号値Ｓｇ２の上記の１つは、複数の第２期間Ｔ２の上記の１つにおける信号Ｓｄの最大値である。

検査すること（ステップＳ１２２）は、以下のステップＳ１２５～Ｓ１２７を含んでも良い。例えば、複数の第１信号値Ｓｇ１について、上記の第１条件を満たすかどうかが判断される（ステップＳ１２５）。複数の第１信号値Ｓｇ１の少なくとも１つが、上記の第１条件を満たす場合は、検査信号ＳＩ１を出力する（ステップＳ１２６）。複数の第１信号値Ｓｇ１が、上記の第１条件を満たさない場合は、検査信号ＳＩ１を出力しない（ステップＳ１２７）、検査信号ＳＩ１は、複数の第１期間Ｔ１の信号が検知不可であることに対応する。第１条件が満たされるか満たされないかに応じて、検査結果が変わる。

実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んで良い。
（構成１）
第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波を送信可能な送信部と、
受信部であって、前記第１超音波は、前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた信号を出力可能である、前記受信部と、
前記信号を入手して第１動作を実施可能な処理部と、
を備え、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、検査装置。

（構成２）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さく、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さい、構成１に記載の検査装置。

（構成３）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であり、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下である、構成１に記載の検査装置。

（構成４）
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つよりも小さく、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、構成１～４のいずれか１つに記載の検査装置。

（構成５）
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は、０．４以上０．８以下である、構成４に記載の検査装置。

（構成６）
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第１信号値の前記１つの前である、構成４または５に記載の検査装置。

（構成７）
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第１信号値の前記１つの後である、構成４または５に記載の検査装置。

（構成８）
前記検査信号は、第２条件を満たす前記複数の第１信号値の別の１つの有無にさらに関し、
前記第２条件において、前記複数の第１信号値の前記別の１つは、前記複数の第２信号値の別の１つよりも小さく、
前記複数の第１信号値の前記別の１つは、前記複数の第１期間の別の１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記別の１つは、前記複数の第２期間の前記別の１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第１期間の前記別の１つは、前記複数の第１期間のうちで前記複数の第１期間の前記１つに最も近い、構成４または５に記載の検査装置。

（構成９）
前記検査信号は、第２条件を満たす前記複数の第１信号値の別の１つの有無にさらに関し、
前記第２条件において、前記複数の第１信号値の前記別の１つは、前記複数の第２信号値の別の１つよりも小さく、
前記複数の第１信号値の前記別の１つは、前記複数の第１期間の別の１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記別の１つは、前記複数の第２期間のさらに前記別の１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第１期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間の前記別の１つと、前記複数の第２期間のさらに別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記さらに別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記別の１つに最も近い、構成４または５に記載の検査装置。

（構成１０）
前記処理部は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出可能な第１回路部と、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第２回路部と、
を含む、構成１～９のいずれか１つに記載の検査装置。

（構成１１）
受信部から出力された信号を入手して第１動作を実施可能な処理部を備え、
送信部から送信された第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、処理装置。

（構成１２）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さく、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さい、構成１１に記載の処理装置。

（構成１３）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であり、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下である、構成１３に記載の処理装置。

（構成１４）
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は０．４以上０．８以下であり、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、構成１１～１３のいずれか１つに記載の処理装置。

（構成１５）
前記処理部は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出可能な第１回路部と、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第２回路部と、
を含む、構成１１～１４のいずれか１つに記載の処理装置。

（構成１６）
受信部から出力された信号を入手して第１動作を実施する検査方法であって、
送信部から送信された第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、検査方法。

（構成１７）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さく、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さい、構成１６に記載の検査方法。

（構成１８）
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であり、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下である、構成１６または１７に記載の検査方法。

（構成１９）
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は０．４以上０．８以下であり、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、構成１６～１８のいずれか１つに記載の検査方法。

実施形態によれば、検査精度を向上できる検査装置、処理装置及び検査方法が提供できる。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、検査装置に含まれる送信部、受信部、支持部、送信回路、受信回路及び処理部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述した検査装置及び検査方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての検査装置及び検査方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０…送信部、１０Ｄ…送信回路、１０ａ…振動波、１０ｂ…バースト波、１０ｗ…第１超音波、１１…第１素子、１５…第１導波部、２０…受信部、２０Ｄ…受信回路、２１…第２素子、２５…第２導波部、６０…支持部、６１、６２…第１、第２搬送部、７０…処理部、７１、７２…第１、第２回路部、７５…処理装置、８０…検査対象、８０Ｄ…搬送方向、１１０…検査装置、Ｃｒ１…比、Ｄ１～Ｄ（ｎ）…信号値、Ｄｃ１…第１方向、Ｄｗ…直接波、Ｄｗ１…波、Ｉｎｔ…強度、Ｐｅ１…誤検知率、Ｒ０～Ｒ（ｎ）…信号値、Ｒｗ…反射波、ＳＩ１…検査信号、ＳＰ…空間、Ｓｃ…制御信号、Ｓｄ…信号、Ｓｇ…信号値の大きさ、Ｓｇ１、Ｓｇ２…第１、第２信号値、Ｓｖ…駆動信号、Ｔ１、Ｔ２…第１、第２期間、Ｔｐ１…第１周期、Ｔｑ１…長さ、Ｔｒ１…周期、ｔ１、ｔ２…長さ、ｔｍ…時間

Claims

第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波を送信可能な送信部と、
受信部であって、前記第１超音波は、前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた信号を出力可能である、前記受信部と、
前記信号を入手して第１動作を実施可能な処理部と、
を備え、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、検査装置。
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さく、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．５倍よりも小さい、請求項１に記載の検査装置。
前記複数の第１期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下であり、
前記複数の第２期間のそれぞれの長さは、前記第１周期の０．０１倍よりも大きく、０．３倍以下である、請求項１に記載の検査装置。
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つよりも小さく、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、請求項１～３のいずれか１つに記載の検査装置。
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は、０．４以上０．８以下である、請求項４に記載の検査装置。
受信部から出力された信号を入手して第１動作を実施可能な処理部を備え、
送信部から送信された第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、処理装置。
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は０．４以上０．８以下であり、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、請求項６に記載の処理装置。
前記処理部は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出可能な第１回路部と、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査可能な第２回路部と、
を含む、請求項７に記載の処理装置。
受信部から出力された信号を入手して第１動作を実施する検査方法であって、
送信部から送信された第１周期の複数のバースト波を含む第１超音波が前記送信部と前記受信部との間の検査対象に入射し、前記検査対象を通過した前記第１超音波が前記受信部に入射し、前記受信部は、前記受信部に入射した前記第１超音波に応じた前記信号を出力し、
前記第１動作は、
前記信号から、複数の第１信号値と、複数の第２信号値と、を導出し、
前記複数の第１信号値の少なくとも１つと、前記複数の第２信号値の少なくとも１つと、に基づいて前記検査対象を検査すること、
を含み、
前記複数の第１信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第１期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、前記複数の第１信号値は、前記第１超音波の直接波の強度に対応し、
前記複数の第２信号値は、前記信号から導出され前記第１周期を有する複数の第２期間のそれぞれにおける前記信号の最大値に対応し、
前記複数の第１期間の１つは、前記複数の第２期間の１つと、前記複数の第２期間の別の１つと、の間にあり、前記複数の第２期間の前記別の１つは、前記複数の第２期間のうちで前記複数の第２期間の前記１つに最も近い、検査方法。
前記検査することは、第１条件を満たす前記複数の第１信号値の１つの有無に関する検査信号を出力することを含み、
前記第１条件において、前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第２信号値の１つと第１値との積以下であり、前記第１値は０．４以上０．８以下であり、
前記複数の第１信号値の前記１つは、前記複数の第１期間の前記１つにおける前記信号の最大値であり、
前記複数の第２信号値の前記１つは、前記複数の第２期間の前記１つにおける前記信号の最大値である、請求項９に記載の検査方法。